JPH058849A - 物品搬送装置 - Google Patents
物品搬送装置Info
- Publication number
- JPH058849A JPH058849A JP3795291A JP3795291A JPH058849A JP H058849 A JPH058849 A JP H058849A JP 3795291 A JP3795291 A JP 3795291A JP 3795291 A JP3795291 A JP 3795291A JP H058849 A JPH058849 A JP H058849A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary table
- endless belt
- horizontal rotary
- article
- rear end
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 101100321304 Bacillus subtilis (strain 168) yxdM gene Proteins 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Attitude Control For Articles On Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 後端から前端に物品を搬送すると同時に、後
端における物品の向きを前端において変更することが出
来る物品搬送装置を提供する。 【構成】 基枠２と、この基枠２に設けられたガイドレ
ール３に沿って摺動するスライダ４と、このスライダ４
に回転自在に設けられた垂直回転軸６に固定された水平
回転台８と、前記垂直回転軸６に嵌め止められたピニオ
ン９と、このピニオン９に噛み合う、長手方向をガイド
レール３と直交させるようにしてスライダ４に水平摺動
自在に設けられたラック１０と、このラック１０の端が
垂直ピン１１を介して枢着されたエンドレス帯１２と、
このエンドレス帯１２が掛け渡される基枠２に回転自在
に設けられた所要個のホイール１３とを有している。
端における物品の向きを前端において変更することが出
来る物品搬送装置を提供する。 【構成】 基枠２と、この基枠２に設けられたガイドレ
ール３に沿って摺動するスライダ４と、このスライダ４
に回転自在に設けられた垂直回転軸６に固定された水平
回転台８と、前記垂直回転軸６に嵌め止められたピニオ
ン９と、このピニオン９に噛み合う、長手方向をガイド
レール３と直交させるようにしてスライダ４に水平摺動
自在に設けられたラック１０と、このラック１０の端が
垂直ピン１１を介して枢着されたエンドレス帯１２と、
このエンドレス帯１２が掛け渡される基枠２に回転自在
に設けられた所要個のホイール１３とを有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えば、多数の半導
体ウエハが収納されたキャリアをクリーン倉庫内で搬送
するときに好適に使用される物品搬送装置に関する。
体ウエハが収納されたキャリアをクリーン倉庫内で搬送
するときに好適に使用される物品搬送装置に関する。
【０００２】
【発明の目的】この発明は、後端から前端に物品を搬送
すると同時に、後端における物品の向きを前端において
変更することが出来る物品搬送装置を提供することを目
的とするものである。
すると同時に、後端における物品の向きを前端において
変更することが出来る物品搬送装置を提供することを目
的とするものである。
【０００３】
【実施例】以下にこの発明を図面に示す実施例に基づい
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１右
側を、後とは同図左側をいい、左とは図１上側を、右と
は同図下側をいう。前後方向に長い平面形状矩形の基枠
２は中空状となされており、この基枠２内に位置するよ
うにして、基枠２の底壁に、長手方向を前後方向に向け
たガイドレール３が設けられ、このガイドレール３に中
空部を有するスライダ４が前後摺動自在に設けられ、こ
のスライダ４に垂直回転軸６が回転自在に設けられ、こ
の垂直回転軸６の上端は、スライダ４から上方に突出す
ると共に、基枠２の頂壁に形成された前後方向に長いス
リット７を通じて、基枠２の上部に露出している。前記
垂直回転軸６の上端に水平回転台８が固定されている。
また、垂直回転軸６にはピニオン９が嵌め止められ、こ
のピニオン９に噛み合うラック１０が、その長手方向を
左右方向に向けるようにして、スライダ４に左右水平摺
動自在に設けられている。なお、前記ラック１０は、ス
ライダ４を左右方向に貫通している。
て説明する。なお、この明細書において、前とは図１右
側を、後とは同図左側をいい、左とは図１上側を、右と
は同図下側をいう。前後方向に長い平面形状矩形の基枠
２は中空状となされており、この基枠２内に位置するよ
うにして、基枠２の底壁に、長手方向を前後方向に向け
たガイドレール３が設けられ、このガイドレール３に中
空部を有するスライダ４が前後摺動自在に設けられ、こ
のスライダ４に垂直回転軸６が回転自在に設けられ、こ
の垂直回転軸６の上端は、スライダ４から上方に突出す
ると共に、基枠２の頂壁に形成された前後方向に長いス
リット７を通じて、基枠２の上部に露出している。前記
垂直回転軸６の上端に水平回転台８が固定されている。
また、垂直回転軸６にはピニオン９が嵌め止められ、こ
のピニオン９に噛み合うラック１０が、その長手方向を
左右方向に向けるようにして、スライダ４に左右水平摺
動自在に設けられている。なお、前記ラック１０は、ス
ライダ４を左右方向に貫通している。
【０００４】前記ラック１０の右端が垂直ピン１１を介
してチェーン等からなるエンドレス帯１２に枢着され、
このエンドレス帯１２が基枠２に軸心を上下方向に向け
るようにして回転自在に設けられた４個のホイール１３
に掛け渡されている。なお、ホイール１３のいずれかが
正逆回転自在なモーター（図示略）によって、回転させ
られるようになされている。なお、ラック１０とエンド
レス帯１２及びホイール１３とは衝突・緩衝しないよう
に上下にずれており、また、スライダ４は前端後端にお
いてエンドレス帯１２と衝突・緩衝しないような形状と
なされている。
してチェーン等からなるエンドレス帯１２に枢着され、
このエンドレス帯１２が基枠２に軸心を上下方向に向け
るようにして回転自在に設けられた４個のホイール１３
に掛け渡されている。なお、ホイール１３のいずれかが
正逆回転自在なモーター（図示略）によって、回転させ
られるようになされている。なお、ラック１０とエンド
レス帯１２及びホイール１３とは衝突・緩衝しないよう
に上下にずれており、また、スライダ４は前端後端にお
いてエンドレス帯１２と衝突・緩衝しないような形状と
なされている。
【０００５】
【実施例の作用】次に実施例装置の作用を説明する。水
平回転台８が後端に至ると水平回転台８に物品（例え
ば、多数の半導体ウエハが収納されたキャリア）がロボ
ット等によって移載される。なお、水平回転台８が後端
に至った状態において、垂直ピン１１の設けられたエン
ドレス帯１２の部分は右側部にある。水平回転台８に物
品が載せられるとエンドレス帯１２が図１の矢印Ａの方
向に駆動させられ、その結果、ラック１０ひいてはそれ
と前後方向に遊びのないスライダ４（水平回転台８）が
前方に摺動させられる。
平回転台８が後端に至ると水平回転台８に物品（例え
ば、多数の半導体ウエハが収納されたキャリア）がロボ
ット等によって移載される。なお、水平回転台８が後端
に至った状態において、垂直ピン１１の設けられたエン
ドレス帯１２の部分は右側部にある。水平回転台８に物
品が載せられるとエンドレス帯１２が図１の矢印Ａの方
向に駆動させられ、その結果、ラック１０ひいてはそれ
と前後方向に遊びのないスライダ４（水平回転台８）が
前方に摺動させられる。
【０００６】そして、図４に示すごとく、垂直ピン１１
の設けられたエンドレス帯１２の部分が前端右側のホイ
ール１３から離れ、完全に左右方向に移動するようにな
ると、水平回転台８の前進は停止する。他方、垂直ピン
１１が設けられたエンドレス帯１２の部分が前端右側の
ホイール１３に掛かる位置まで移動すると、それ以降
は、エンドレス帯１２の駆動に伴って垂直ピン１１が徐
々に左側に移動することとなるので、ラック１０がスラ
イダ４に対して左側に移動し、その結果、ピニオン９
（水平回転台８）が水平回転させられることになる。そ
して、水平回転台８が、例えば９０度水平回転した位置
まで来るとエンドレス帯１２の駆動を停止させる。な
お、エンドレス帯１２の駆動の停止時期は、水平回転台
８の回転角度を基準にして、ホイール１３の大きさやピ
ニオン９の大きさを考慮して、定められる。
の設けられたエンドレス帯１２の部分が前端右側のホイ
ール１３から離れ、完全に左右方向に移動するようにな
ると、水平回転台８の前進は停止する。他方、垂直ピン
１１が設けられたエンドレス帯１２の部分が前端右側の
ホイール１３に掛かる位置まで移動すると、それ以降
は、エンドレス帯１２の駆動に伴って垂直ピン１１が徐
々に左側に移動することとなるので、ラック１０がスラ
イダ４に対して左側に移動し、その結果、ピニオン９
（水平回転台８）が水平回転させられることになる。そ
して、水平回転台８が、例えば９０度水平回転した位置
まで来るとエンドレス帯１２の駆動を停止させる。な
お、エンドレス帯１２の駆動の停止時期は、水平回転台
８の回転角度を基準にして、ホイール１３の大きさやピ
ニオン９の大きさを考慮して、定められる。
【０００７】そして、水平回転台８の物品が搬出された
後、エンドレス帯１２が逆に駆動して、水平回転台８は
後端に戻る。
後、エンドレス帯１２が逆に駆動して、水平回転台８は
後端に戻る。
【０００８】
【発明の効果】この発明は、前記した如き構成によっ
て、以下の如き効果を奏するものである。基枠と、この
基枠に設けられたガイドレールに沿って摺動するスライ
ダと、このスライダに回転自在に設けられた垂直回転軸
に固定された水平回転台と、前記垂直回転軸に嵌め止め
られたピニオンと、このピニオンに噛み合う、長手方向
をガイドレールと直交させるようにしてスライダに水平
摺動自在に設けられたラックと、このラックの端が垂直
ピンを介して枢着されたエンドレス帯と、このエンドレ
ス帯が掛け渡される基枠に回転自在に設けられた所要個
のホイールとを有しているので、後端から前端に物品を
搬送すると同時に、後端における物品の向きを前端にお
いて変更することが出来る。
て、以下の如き効果を奏するものである。基枠と、この
基枠に設けられたガイドレールに沿って摺動するスライ
ダと、このスライダに回転自在に設けられた垂直回転軸
に固定された水平回転台と、前記垂直回転軸に嵌め止め
られたピニオンと、このピニオンに噛み合う、長手方向
をガイドレールと直交させるようにしてスライダに水平
摺動自在に設けられたラックと、このラックの端が垂直
ピンを介して枢着されたエンドレス帯と、このエンドレ
ス帯が掛け渡される基枠に回転自在に設けられた所要個
のホイールとを有しているので、後端から前端に物品を
搬送すると同時に、後端における物品の向きを前端にお
いて変更することが出来る。
【図１】この発明の実施例を示す中間省略の一部破砕平
面図である。
面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】スライダが前端に至ったときの状態を示す要部
水平断面図である。
水平断面図である。
２ 基枠 ３ ガイドレール ４ スライダ ６ 垂直回転軸 ８ 水平回転台 ９ ピニオン １０ ラック １１ 垂直ピン １２ エンドレス帯 １３ ホイール
【手続補正書】
【提出日】平成４年６月２３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｂ６５Ｇ 47/52 １０１ Ｂ 8010−3Ｆ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 基枠と、この基枠に設けられたガイドレ
ールに沿って摺動するスライダと、このスライダに回転
自在に設けられた垂直回転軸に固定された水平回転台
と、前記垂直回転軸に嵌め止められたピニオンと、この
ピニオンに噛み合う、長手方向をガイドレールと直交さ
せるようにしてスライダに水平摺動自在に設けられたラ
ックと、このラックの端が垂直ピンを介して枢着された
エンドレス帯と、このエンドレス帯が掛け渡される基枠
に回転自在に設けられた所要個のホイールとを有してい
る物品搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3795291A JPH058849A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 物品搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3795291A JPH058849A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 物品搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH058849A true JPH058849A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=12511889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3795291A Pending JPH058849A (ja) | 1991-02-06 | 1991-02-06 | 物品搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH058849A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007191278A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体 |
| CN113493094A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-10-12 | 机械工业第九设计研究院有限公司 | 一种x向位置可调节的定位装置 |
-
1991
- 1991-02-06 JP JP3795291A patent/JPH058849A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007191278A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置、基板搬送方法及び記憶媒体 |
| CN113493094A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-10-12 | 机械工业第九设计研究院有限公司 | 一种x向位置可调节的定位装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR950031827A (ko) | 물품 이송 적재장치 | |
| JPH05501240A (ja) | 小物品、特にパッケージを連続的な搬送経路上で位置変えする装置 | |
| JPH058849A (ja) | 物品搬送装置 | |
| JPH07151708A (ja) | 容器検査機 | |
| JPH02239026A (ja) | トレイ積み重ね装置 | |
| JP2791750B2 (ja) | 揺動式パーツ整列機及び整列方法 | |
| JP3072405B2 (ja) | 搬送装置 | |
| CN222098957U (zh) | 一种试剂管搬运装置 | |
| CN222475258U (zh) | 一种安瓿瓶托盘自动分托机进料槽 | |
| JP2542906Y2 (ja) | 材料倒し装置 | |
| JPH0446661B2 (ja) | ||
| JP2581085B2 (ja) | ウエ−ハアライメント装置 | |
| JPH07149423A (ja) | 容器ハンドラー | |
| JPH058854A (ja) | トランスフアーロボツト | |
| JPH0724336Y2 (ja) | 容器取出装置 | |
| JPH0367813A (ja) | 搬送装置 | |
| JP3452990B2 (ja) | 切断装置 | |
| JPH071995Y2 (ja) | 反転搬送装置、特に冷凍麺の反転装置 | |
| JPS6026743Y2 (ja) | せいろの供給装置 | |
| JPS63242819A (ja) | 物品の起立方法及びその装置 | |
| JPS60242109A (ja) | 移載装置 | |
| JPS6240985Y2 (ja) | ||
| JPH0760673A (ja) | 搬送位置決めロボット | |
| JPH03203292A (ja) | 多面付けリードフレームの小切れ装置 | |
| JPH0627758U (ja) | コンベアの中間荷卸装置 |