JPH0590878U - イオン源用電界装置 - Google Patents

イオン源用電界装置

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JPH0590878U
JPH0590878U JP1328191U JP1328191U JPH0590878U JP H0590878 U JPH0590878 U JP H0590878U JP 1328191 U JP1328191 U JP 1328191U JP 1328191 U JP1328191 U JP 1328191U JP H0590878 U JPH0590878 U JP H0590878U
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閃一 増田
雄飛 福浦
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Niterra Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 沿面放電に対する強度を得るために面状誘電
体基板をフアインセラミック誘電体で形成した場合、そ
の表面近くの層内に湿気が入ったり、或は表面に水分や
塵埃などが付着して、その性能を低下したりすることの
ないようにする。 【構成】 面状誘電体基板１の表面に線状電極２を配置
し、その内部に面状誘導電極３を配置したイオン源用電
界装置において、該面状誘電体基板をフアインセラミッ
クで形成し、前記面状誘導電極３をヒーターで形成す
る。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は、オゾナイザや粉体荷電装置等のイオン源として使用する沿面放電 発生用電界装置に関する。 更にのべれば、誘電体で形成した基板の表面と内部に夫々電界形成用電極を設け 、それらの間に高周波高圧電源を接続して使用するイオン源用電界装置に関する ものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の電界装置の誘電体基板を放電に対する強度上フアインセラミック誘電 体で形成すると、そのフアインセラミック誘電体の性質上、その表面付近の層内 に湿気が吸収され、又その表面に水分、塵埃などが付着し易く、それによって導 電性が生じ、その表面に沿面放電が発生しなくなり、イオンの生成が減少し、ま た放電による誘電体の劣化が発生し、絶縁破壊強度も低下するなどイオン源用電 界装置としての性能が低下するおそれがあった。
【０００３】 この考案の目的は、このおそれ即ち、沿面放電に対する強度を得るために面状 誘電体基板をフアインセラミック誘電体で形成した場合その表面近くの層内に湿 気が入ったり、或は表面に水分や塵埃などが付着して、その性能を低下したりす ることのないイオン源用電界装置を得ることである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
この考案は、面状誘電体基板の表面に、線状電極を配置し、その内部に面状誘 導電極を配置したイオン源用電界装置において、該面状誘電体基板をフアインセ ラミックで形成し、前記面状誘導電極をヒーターで形成することを特徴とするイ オン源用電界装置である。
【０００５】
【実施例】 以下、この考案を図１に記載せる実施例に基づいて説明すると、フアインセ ラミックで形成した面状誘電体基板１の表面に、線状電極２を配置すると共に、 その面状誘電体基板１の内部に面状誘導電極３を配置し、該面状誘導電極３を、 例えば、波形、或はその他の形状のヒーターで形成するものである。
【０００６】 又この実施例のイオン源用電界装置を製造する際には、先ずアルミナ粉末のよ うなフアインセラミック原料に、バインダー、例えば塩ビ、醋ビの共重合物を添 加し、混練後シート状に加熱圧延して上層グリーンシート１ａを形成する。 この上層グリーンシート１ａの表面に導電材を含むペーストをスクリーン印刷 して、図２に示すように端子２ａ付き線状電極２を形成すると共に、その上層グ リーンシート１ａの裏面に同様のスクリーン印刷を行って図３に示すようにヒー ター線を波形に折り曲げて全体の形状が面状をなす誘導電極３を形成し、その面 に上層グリーンシート１ａと同様にして得られる図４、図５の下層グリーンシー ト１ｂを重ね合わせ、前述の各上層グリーンシート１ａ及び下層グリーンシート １ｂを一体的に加熱圧着した後、それを焼成して前述の面状誘電体基板１、線状 電極２とヒータで形成した面状誘導電極３とからなるイオン源用電界装置を得る ものである。
【０００７】 本案のイオン源用電界装置を使用する際は図１に示す如く、この面状基板１の 表面に配置されている前記線状電極２と、前記面状誘導電極３との間に沿面放電 発生用電源５を接続する。さらにヒーター配線４の両端間にはヒーター用電源６ を接続する。
【０００８】
【考案の効果】
この考案は上述の通りであるので線状電極と面状誘導電極の間及びヒーター材 で形成する面状誘導電極３の両端間に夫々前述の放電発生用電源５及びヒーター 用電源６を接続して電圧を印加し、面状誘電体基板の温度を５０°〜１００°Ｃ に保つときはその基板の表面に滲透した湿気及びそこに付着した水分は蒸発して 消滅し、更に該基板温度を３００°Ｃ〜５００°Ｃに保つときはその基板の表面 に付着した塵埃を焼却し、飛散させることができる。即ち、この考案は、従来の 装置のように面状誘電体基板の表面に水分が滲透したり、塵埃などが付着するお それがないので面状誘電体基板の表面に沿面放電が直ちに発生し、イオン源とし てイオンを十分に発生し、又放電による誘電体の劣化もなく、耐久性も伸び、絶 縁破壊強度を十分に保持し、イオン源用電界装置としての性能の低下を来すこと なく、その寿命を著しく延ばすことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本案の実施例を示す断面図である。
【図２】図１のイオン源用電界装置の製造工程を示す斜
面図であり、その中の図２は上層グリーンシートの上面
の斜面図である。
【図３】上層グリーンシートの下面の斜面図である。
【図４】下層グリーンシートの上面の斜面図である。
【図５】下層グリーンシートの下面の斜面図である。
【符号の説明】
１ 面状誘電体基板 ２ 線状電極 ３ 誘導電極 ５ 沿面放電発生用電源 ６ ヒーター用電源

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 面状誘電体基板の表面に、線状電極を配
    置し、その内部に面状誘導電極を配置したイオン源用電
    界装置において、該面状誘電体基板をフアインセラミッ
    クで形成し、前記面状誘導電極をヒーターで形成するこ
    とを特徴とするイオン源用電界装置。
JP1991013281U 1991-02-16 1991-02-16 イオン源用電界装置 Expired - Lifetime JP2511953Y2 (ja)

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