JPH0599624A - 反射型光フアイバセンサ - Google Patents
反射型光フアイバセンサInfo
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- JPH0599624A JPH0599624A JP3205938A JP20593891A JPH0599624A JP H0599624 A JPH0599624 A JP H0599624A JP 3205938 A JP3205938 A JP 3205938A JP 20593891 A JP20593891 A JP 20593891A JP H0599624 A JPH0599624 A JP H0599624A
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- Japan
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- laser light
- optical fiber
- light
- light source
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射型光センサの分解能を向上し、微細な傷
検査を可能とする。 【構成】 レーザー光を発するレーザー光源１と、末端
に受光素子が配置された受光側光ファイバ３とを、レー
ザー光源１から照射されるレーザー光の検査対象面Ｓに
おける照射範囲と、受光側光ファイバ３の検査対象面Ｓ
における受光範囲の少なくとも一部が重複するように、
支持体５によって共に支持している。この支持体５の内
部には、レーザー光を収束させるレンズ４も設けられて
いる。
検査を可能とする。 【構成】 レーザー光を発するレーザー光源１と、末端
に受光素子が配置された受光側光ファイバ３とを、レー
ザー光源１から照射されるレーザー光の検査対象面Ｓに
おける照射範囲と、受光側光ファイバ３の検査対象面Ｓ
における受光範囲の少なくとも一部が重複するように、
支持体５によって共に支持している。この支持体５の内
部には、レーザー光を収束させるレンズ４も設けられて
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばアルミディスク
の傷検査のように、微細な欠陥検出に適した反射型光フ
ァイバセンサに関する。
の傷検査のように、微細な欠陥検出に適した反射型光フ
ァイバセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、物品の傷検査を行う分野では
反射型光センサが多用されている。その多くは発光素子
と受光素子を並べて配置し、発光素子が発する光線を直
接またはレンズを通して検査対象面に照射し、その反射
光を受光素子で受け、電気信号に変えて傷検出を行うも
のであった。なお、発光素子としては、電球や発光ダイ
オード等が使用されることが多い。
反射型光センサが多用されている。その多くは発光素子
と受光素子を並べて配置し、発光素子が発する光線を直
接またはレンズを通して検査対象面に照射し、その反射
光を受光素子で受け、電気信号に変えて傷検出を行うも
のであった。なお、発光素子としては、電球や発光ダイ
オード等が使用されることが多い。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の反射型光
センサでは、その発光素子による光照射範囲が比較的広
く、この光照射範囲に比べて小さな傷は検出することが
困難だった。このため、最近需要が生じている磁気記録
装置用のアルミディスク等のように、極めて微細な傷
（例えば１０μｍ以下）を検査する用途には、分解能が
不足して対応できない欠点があった。
センサでは、その発光素子による光照射範囲が比較的広
く、この光照射範囲に比べて小さな傷は検出することが
困難だった。このため、最近需要が生じている磁気記録
装置用のアルミディスク等のように、極めて微細な傷
（例えば１０μｍ以下）を検査する用途には、分解能が
不足して対応できない欠点があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するためになされたもので、レーザー光を発するレーザ
ー光源と、末端に受光素子が配置された受光側光ファイ
バとを、前記レーザー光源から発射されるレーザー光の
検査対象面における照射範囲と、前記受光側光ファイバ
の前記検査対象面における受光範囲の少なくとも一部が
重複するように支持体によってそれぞれ支持したことを
特徴とする。
するためになされたもので、レーザー光を発するレーザ
ー光源と、末端に受光素子が配置された受光側光ファイ
バとを、前記レーザー光源から発射されるレーザー光の
検査対象面における照射範囲と、前記受光側光ファイバ
の前記検査対象面における受光範囲の少なくとも一部が
重複するように支持体によってそれぞれ支持したことを
特徴とする。
【０００５】なお、前記支持体には、前記レーザー光源
が発するレーザー光を収束させて前記検査対象面に照射
するためのレンズが設けられていてもよい。また、前記
受光側光ファイバは２以上設けられ、前記レーザー光源
の周囲において前記支持体に支持されていてもよい。さ
らに、前記レーザー光および／または受光側光ファイバ
は、それぞれの光軸の角度が変化できるように角度調整
手段を介して前記支持体に支持されていてもよいし、レ
ーザー光源には、レーザー光に変調をかける変調装置が
接続されていてもよい。
が発するレーザー光を収束させて前記検査対象面に照射
するためのレンズが設けられていてもよい。また、前記
受光側光ファイバは２以上設けられ、前記レーザー光源
の周囲において前記支持体に支持されていてもよい。さ
らに、前記レーザー光および／または受光側光ファイバ
は、それぞれの光軸の角度が変化できるように角度調整
手段を介して前記支持体に支持されていてもよいし、レ
ーザー光源には、レーザー光に変調をかける変調装置が
接続されていてもよい。
【０００６】
【作用】本発明の反射型光ファイバセンサによれば、レ
ーザー光源が発する位相の揃ったレーザー光を直接検査
対象面に照射するため、レーザー光の照射範囲を極めて
小さい領域に集中させることができる。また、光源側に
は光ファイバを介在させないため、光ファイバ中での拡
散、位相ズレ等に起因する照射箇所での光拡散が生じな
いうえ、レーザー光源による照射範囲と受光側光ファイ
バによる受光範囲の一部が重複するように設定されてい
るから、傷検出領域をこの狭い重複範囲に限定すること
ができ、高い分解能を得ることが可能である。
ーザー光源が発する位相の揃ったレーザー光を直接検査
対象面に照射するため、レーザー光の照射範囲を極めて
小さい領域に集中させることができる。また、光源側に
は光ファイバを介在させないため、光ファイバ中での拡
散、位相ズレ等に起因する照射箇所での光拡散が生じな
いうえ、レーザー光源による照射範囲と受光側光ファイ
バによる受光範囲の一部が重複するように設定されてい
るから、傷検出領域をこの狭い重複範囲に限定すること
ができ、高い分解能を得ることが可能である。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明に係わる反射型光ファイバセ
ンサの第１実施例を示す断面図である。図中符号１は、
リード線２を介して図示しない電源に接続されたレーザ
ー光源、符号３は末端に受光素子（図示略）が配置され
た受光側光ファイバ、４はレーザー光源１と同軸に配置
されそのレーザー光を集光するためのレンズ、５はこれ
らレーザー光源１，受光側光ファイバ３およびレンズ４
を相対固定する支持体、６はリード線２および光ファイ
バ３を保護する樹脂製のシースである。
ンサの第１実施例を示す断面図である。図中符号１は、
リード線２を介して図示しない電源に接続されたレーザ
ー光源、符号３は末端に受光素子（図示略）が配置され
た受光側光ファイバ、４はレーザー光源１と同軸に配置
されそのレーザー光を集光するためのレンズ、５はこれ
らレーザー光源１，受光側光ファイバ３およびレンズ４
を相対固定する支持体、６はリード線２および光ファイ
バ３を保護する樹脂製のシースである。
【０００８】レーザー光源１としては、半導体レーザー
発光素子が小型で制御しやすい点から好適であるが、必
要に応じては他種のレーザー発光素子を用いてもよい。
レーザー光源１および光ファイバ３は、互いに平行に位
置決めされ、レーザー光源１から発射されるレーザー光
の照射範囲と、受光側光ファイバ３の受光範囲とは、支
持体５の先端からＤ１以上の位置で重複するようになっ
ている。なお、この場合、レーザー光はレンズ４により
照射面に向けて若干広がるように屈折される。
発光素子が小型で制御しやすい点から好適であるが、必
要に応じては他種のレーザー発光素子を用いてもよい。
レーザー光源１および光ファイバ３は、互いに平行に位
置決めされ、レーザー光源１から発射されるレーザー光
の照射範囲と、受光側光ファイバ３の受光範囲とは、支
持体５の先端からＤ１以上の位置で重複するようになっ
ている。なお、この場合、レーザー光はレンズ４により
照射面に向けて若干広がるように屈折される。
【０００９】受光素子としては、フォトダイオードやフ
ォトトランジスタ、フォトマルチプライア等が好適であ
るが、可能であれば他種の受光素子を使用してもよい。
また、受光素子と受光側光ファイバ３との接続は従来使
用されているいかなる構造でもよい。一方、支持体５
は、プラスチックまたは金属製からなり、特に金属製と
した場合には、レーザー光源１の放熱性を高めるヒート
シンクとしての作用も得られる。
ォトトランジスタ、フォトマルチプライア等が好適であ
るが、可能であれば他種の受光素子を使用してもよい。
また、受光素子と受光側光ファイバ３との接続は従来使
用されているいかなる構造でもよい。一方、支持体５
は、プラスチックまたは金属製からなり、特に金属製と
した場合には、レーザー光源１の放熱性を高めるヒート
シンクとしての作用も得られる。
【００１０】図２は、この実施例における検査対象面Ｓ
と支持体５の先端面との距離Ｄと、受光素子による受光
光量との関係を示すグラフである。受光光量は、距離Ｄ
が照射範囲と受光範囲とが交差する距離Ｄ１より大きく
なると急増し、やがて極大値をとって急減する。このた
め、距離Ｄをこの急増範囲Ｗ１あるいは急減範囲Ｗ２内
に設定することにより、検査対象面Ｓの表面にある突起
や溝、凹部等の傷（欠陥）を鋭敏に検出することができ
る。
と支持体５の先端面との距離Ｄと、受光素子による受光
光量との関係を示すグラフである。受光光量は、距離Ｄ
が照射範囲と受光範囲とが交差する距離Ｄ１より大きく
なると急増し、やがて極大値をとって急減する。このた
め、距離Ｄをこの急増範囲Ｗ１あるいは急減範囲Ｗ２内
に設定することにより、検査対象面Ｓの表面にある突起
や溝、凹部等の傷（欠陥）を鋭敏に検出することができ
る。
【００１１】上記構成からなる反射型光ファイバセンサ
によれば、レーザー光源１が発するレーザー光を検査対
象面Ｓに直接照射するため、レーザー光の照射範囲を極
めて小さい領域に集中させることができるうえ、レーザ
ー光照射範囲と受光側光ファイバ３による受光範囲とが
一部のみ重複するように設定されているから、傷検出領
域をこの狭い重複範囲に限定することができ、極めて高
い分解能を得ることが可能である。
によれば、レーザー光源１が発するレーザー光を検査対
象面Ｓに直接照射するため、レーザー光の照射範囲を極
めて小さい領域に集中させることができるうえ、レーザ
ー光照射範囲と受光側光ファイバ３による受光範囲とが
一部のみ重複するように設定されているから、傷検出領
域をこの狭い重複範囲に限定することができ、極めて高
い分解能を得ることが可能である。
【００１２】また、小形化が困難な受光側装置を分離
し、小型化できるレーザー光源１および光ファイバ３を
支持体５に収容したことにより、支持体３の寸法が小型
化でき、従来のセンサでは検査できなかった狭い部分に
も、この反射型光ファイバセンサは設置することが可能
である。
し、小型化できるレーザー光源１および光ファイバ３を
支持体５に収容したことにより、支持体３の寸法が小型
化でき、従来のセンサでは検査できなかった狭い部分に
も、この反射型光ファイバセンサは設置することが可能
である。
【００１３】なお、上記実施例ではレンズ４の位置が固
定されていたが、ネジ機構等を介して、レンズ４を光軸
方向変位可能に支持体５に支持してもよい。また、レー
ザー光源１およびレンズ４をユニット化する一方、支持
体５に球状支持面を形成し、この球状支持面に沿って前
記ユニットを回動可能に支持することにより、レーザー
光の照射角度を変更できるようにしてもよい。同様に、
光ファイバ３の先端部を傾動可能としてもよい。これら
の変形は以下の他の実施例においても可能である。
定されていたが、ネジ機構等を介して、レンズ４を光軸
方向変位可能に支持体５に支持してもよい。また、レー
ザー光源１およびレンズ４をユニット化する一方、支持
体５に球状支持面を形成し、この球状支持面に沿って前
記ユニットを回動可能に支持することにより、レーザー
光の照射角度を変更できるようにしてもよい。同様に、
光ファイバ３の先端部を傾動可能としてもよい。これら
の変形は以下の他の実施例においても可能である。
【００１４】また、上記実施例ではレンズ４によりレー
ザー光を広げていたが、図３に示すようにレーザー光を
検査対象面Ｓに向けて収束させてもよい。この例では、
検査対象面Ｓの小面積にレーザー光が照射されるため、
図４に示すように、照射範囲と受光範囲とが交差する距
離Ｄ１からＷの範囲において、先の実施例よりもグラフ
の傾斜が大きくなる。したがって、前記実施例よりも小
さな傷や欠陥を鋭敏に検出することができ、分解能が向
上する。
ザー光を広げていたが、図３に示すようにレーザー光を
検査対象面Ｓに向けて収束させてもよい。この例では、
検査対象面Ｓの小面積にレーザー光が照射されるため、
図４に示すように、照射範囲と受光範囲とが交差する距
離Ｄ１からＷの範囲において、先の実施例よりもグラフ
の傾斜が大きくなる。したがって、前記実施例よりも小
さな傷や欠陥を鋭敏に検出することができ、分解能が向
上する。
【００１５】次に、図５および図６は本発明の第３実施
例を示し、この例では、支持体５の中央部にレーザー光
源１を配置すると共に、その周囲に複数（この例では８
本）の受光側光ファイバ３を配置したことを特徴とす
る。全ての受光側光ファイバ３はレーザー光源１から等
距離かつ平行に配置されており、それぞれの受光範囲と
レーザー光源１による照射範囲は、いずれも距離Ｄ１以
上の位置において重複する。他の構成は上記各実施例と
同様である。
例を示し、この例では、支持体５の中央部にレーザー光
源１を配置すると共に、その周囲に複数（この例では８
本）の受光側光ファイバ３を配置したことを特徴とす
る。全ての受光側光ファイバ３はレーザー光源１から等
距離かつ平行に配置されており、それぞれの受光範囲と
レーザー光源１による照射範囲は、いずれも距離Ｄ１以
上の位置において重複する。他の構成は上記各実施例と
同様である。
【００１６】この実施例では、対象面に傷があるとその
位置および寸法に応じて、いずれかの光ファイバ３に接
続された受光素子が反応するから、傷の寸法や位置を特
定することが容易になり、より高精度の検査が行える。
位置および寸法に応じて、いずれかの光ファイバ３に接
続された受光素子が反応するから、傷の寸法や位置を特
定することが容易になり、より高精度の検査が行える。
【００１７】なお、以上の実施例はいずれも、レーザー
光源１の光軸と受光側光ファイバ３の光軸とを平行に配
置した例であったが、図７に示すように、支持体５の内
部で光ファイバ３とレーザー光源１とを、これらの光軸
が交差するように配置してもよい。このように各光軸を
交差させることにより、重複開始距離Ｄ１が小さくなる
から、前記各実施例よりも検査対象面Ｓに接近できる特
徴がある。
光源１の光軸と受光側光ファイバ３の光軸とを平行に配
置した例であったが、図７に示すように、支持体５の内
部で光ファイバ３とレーザー光源１とを、これらの光軸
が交差するように配置してもよい。このように各光軸を
交差させることにより、重複開始距離Ｄ１が小さくなる
から、前記各実施例よりも検査対象面Ｓに接近できる特
徴がある。
【００１８】次に図８は、本発明の第５実施例を示す図
であり、この例では、レーザー光源１の両側に複数の受
光側光ファイバ３を１列に並べて配置し、それぞれの光
軸を照射面に向けたことを特徴とする。この例によれ
ば、検査対象面Ｓによるレーザー光の反射角度に応じ
て、その反射光を受光する光ファイバ３が異なるから、
各光ファイバ３の受光強度を比較することにより、検査
対象面Ｓに生じた傷の立体形状を把握することができ
る。
であり、この例では、レーザー光源１の両側に複数の受
光側光ファイバ３を１列に並べて配置し、それぞれの光
軸を照射面に向けたことを特徴とする。この例によれ
ば、検査対象面Ｓによるレーザー光の反射角度に応じ
て、その反射光を受光する光ファイバ３が異なるから、
各光ファイバ３の受光強度を比較することにより、検査
対象面Ｓに生じた傷の立体形状を把握することができ
る。
【００１９】なお、本発明は上記各実施例のみに限定さ
れるものではなく、必要に応じて適宜変更してよいのは
勿論である。例えば、レーザー光源１に、レーザー光を
ＡＭまたはＦＭ変調するための変調装置を接続するとと
もに、受光素子からの信号を逆変調して出力信号として
もよい。このように変調−逆変調を行った場合には、検
出分解能が向上するとともに、外部からの光（外乱光）
によるノイズが低減できる利点を有する。
れるものではなく、必要に応じて適宜変更してよいのは
勿論である。例えば、レーザー光源１に、レーザー光を
ＡＭまたはＦＭ変調するための変調装置を接続するとと
もに、受光素子からの信号を逆変調して出力信号として
もよい。このように変調−逆変調を行った場合には、検
出分解能が向上するとともに、外部からの光（外乱光）
によるノイズが低減できる利点を有する。
【００２０】また、受光側光ファイバ３の先端部に対応
して集光用のレンズを設けてもよいし、レンズ４として
凹レンズを使用することにより、光束をさらに広げる構
成も可能である。さらに、センサの感度および分解能を
低下させてもよい場合、レーザー光源１の代わりに発光
ダイオードを使用してもよい。
して集光用のレンズを設けてもよいし、レンズ４として
凹レンズを使用することにより、光束をさらに広げる構
成も可能である。さらに、センサの感度および分解能を
低下させてもよい場合、レーザー光源１の代わりに発光
ダイオードを使用してもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係わる反
射型光ファイバセンサによれば、レーザー光源が発する
位相の揃ったレーザー光を直接検査対象面に照射するた
め、レーザー光の照射範囲を極めて小さい領域に集中さ
せることができる。また、光源側には光ファイバを介在
させないため、光ファイバ中での拡散、位相ズレ等に起
因する照射箇所での光拡散が生じないうえ、レーザー光
源による照射範囲と受光側光ファイバによる受光範囲の
一部が重複するように設定されているから、傷検出領域
をこの狭い重複範囲に限定することができ、高い分解能
を得ることが可能である。また、この反射型光ファイバ
センサは、光ファイバ並びに信号線のみからなる接続コ
ードを介して外部機器に接続されるため、この接続コー
ドの曲げ性がよく、センサ設置上の自由度が大きい利点
を有する。
射型光ファイバセンサによれば、レーザー光源が発する
位相の揃ったレーザー光を直接検査対象面に照射するた
め、レーザー光の照射範囲を極めて小さい領域に集中さ
せることができる。また、光源側には光ファイバを介在
させないため、光ファイバ中での拡散、位相ズレ等に起
因する照射箇所での光拡散が生じないうえ、レーザー光
源による照射範囲と受光側光ファイバによる受光範囲の
一部が重複するように設定されているから、傷検出領域
をこの狭い重複範囲に限定することができ、高い分解能
を得ることが可能である。また、この反射型光ファイバ
センサは、光ファイバ並びに信号線のみからなる接続コ
ードを介して外部機器に接続されるため、この接続コー
ドの曲げ性がよく、センサ設置上の自由度が大きい利点
を有する。
【図１】本発明に係わる反射型光ファイバセンサの第１
実施例を示す断面図である。
実施例を示す断面図である。
【図２】第１実施例の出力特性を示すグラフである。
【図３】本発明の第２実施例を示す断面図である。
【図４】第２実施例の出力特性を示すグラフである。
【図５】本発明の第３実施例を示す断面図である。
【図６】第３実施例の先端面を示す平面図である。
【図７】本発明の第４実施例を示す断面図である。
【図８】本発明の第５実施例を示す断面図である。
１ レーザー光源 ２ リード線 ３ 受光側光ファイバ ４ レンズ ５ 支持体 ６ シース Ｓ 検査対象面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年１月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】レーザー光源１としては、半導体レーザー
発光素子が小型で制御しやすい点から好適であるが、必
要に応じては他種のレーザー発光素子を用いてもよい。
レーザー光源１および光ファイバ３は、互いに平行に位
置決めされ、レーザー光源１から発射されるレーザー光
の照射範囲と、受光側光ファイバ３の受光範囲とは、支
持体５の先端からＤ１以上の位置で重複するようになっ
ている。なお、この場合、レーザー光はレンズ４により
照射面に向けて一旦焦点を結び再度広がるように屈折さ
れる。
発光素子が小型で制御しやすい点から好適であるが、必
要に応じては他種のレーザー発光素子を用いてもよい。
レーザー光源１および光ファイバ３は、互いに平行に位
置決めされ、レーザー光源１から発射されるレーザー光
の照射範囲と、受光側光ファイバ３の受光範囲とは、支
持体５の先端からＤ１以上の位置で重複するようになっ
ている。なお、この場合、レーザー光はレンズ４により
照射面に向けて一旦焦点を結び再度広がるように屈折さ
れる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】図２は、この実施例における検査対象面Ｓ
と支持体５の先端面との距離Ｄと、受光素子による受光
光量との関係を示すグラフである。受光光量は、距離Ｄ
が照射範囲と受光範囲とが交差する距離Ｄ１より大きく
なると急増し、やがて極大値をとって急減する。このた
め、距離Ｄをこの急増範囲Ｗ１あるいは急減範囲Ｗ２内
に設定することにより、検査対象面Ｓの表面にある突起
や溝、凹部等の傷（欠陥）を鋭敏に検出することができ
る。Ｗ１，Ｗ２間にＤを設定することも可能である。
と支持体５の先端面との距離Ｄと、受光素子による受光
光量との関係を示すグラフである。受光光量は、距離Ｄ
が照射範囲と受光範囲とが交差する距離Ｄ１より大きく
なると急増し、やがて極大値をとって急減する。このた
め、距離Ｄをこの急増範囲Ｗ１あるいは急減範囲Ｗ２内
に設定することにより、検査対象面Ｓの表面にある突起
や溝、凹部等の傷（欠陥）を鋭敏に検出することができ
る。Ｗ１，Ｗ２間にＤを設定することも可能である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】上記構成からなる反射型光ファイバセンサ
によれば、レーザー光源１が発するレーザー光を検査対
象面Ｓに直接照射するため、レーザー光の照射範囲を必
要に応じて極めて小さい領域に集中させることができる
うえ、レーザー光照射範囲と受光側光ファイバ３による
受光範囲とが一部のみ重複するように設定されているか
ら、傷検出領域をこの狭い重複範囲に限定することがで
き、極めて高い分解能を得ることが可能である。
によれば、レーザー光源１が発するレーザー光を検査対
象面Ｓに直接照射するため、レーザー光の照射範囲を必
要に応じて極めて小さい領域に集中させることができる
うえ、レーザー光照射範囲と受光側光ファイバ３による
受光範囲とが一部のみ重複するように設定されているか
ら、傷検出領域をこの狭い重複範囲に限定することがで
き、極めて高い分解能を得ることが可能である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】また、上記実施例ではレンズ４によりレー
ザー光を広げていたが、図３に示すようにレーザー光を
検査対象面Ｓに向けて収束させてもよい。この例では、
検査対象面Ｓの小面積にレーザー光が照射されるため、
図４に示すように、照射範囲と受光範囲とが交差する距
離Ｄ１からＷの範囲において、先の実施例よりもグラフ
の傾斜が大きくなる。したがって、前記実施例よりも小
さな傷や欠陥を鋭敏に検出することができ、分解能が向
上する。測定対象に応じて、レンズを使用しない構造、
レンズによりレーザー光ビームをコリメートする構造の
いずれかを選択可能としてもよい。
ザー光を広げていたが、図３に示すようにレーザー光を
検査対象面Ｓに向けて収束させてもよい。この例では、
検査対象面Ｓの小面積にレーザー光が照射されるため、
図４に示すように、照射範囲と受光範囲とが交差する距
離Ｄ１からＷの範囲において、先の実施例よりもグラフ
の傾斜が大きくなる。したがって、前記実施例よりも小
さな傷や欠陥を鋭敏に検出することができ、分解能が向
上する。測定対象に応じて、レンズを使用しない構造、
レンズによりレーザー光ビームをコリメートする構造の
いずれかを選択可能としてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
Claims (5)
- 【請求項１】 レーザー光を発するレーザー光源と、末
端に受光素子が配置された受光側光ファイバとを、前記
レーザー光源から照射されるレーザー光の検査対象面に
おける照射範囲と、前記受光側光ファイバの前記検査対
象面における受光範囲の少なくとも一部が重複するよう
に、支持体によって共に支持したことを特徴とする反射
型光ファイバセンサ。 - 【請求項２】 前記支持体には、前記レーザー光源が発
するレーザー光を収束させて前記検査対象面に照射する
ためのレンズが設けられていることを特徴とする請求項
１記載の反射型光ファイバセンサ。 - 【請求項３】 前記受光側光ファイバは２以上設けら
れ、前記レーザー光源の周囲において前記支持体に支持
されていることを特徴とする請求項１または２記載の反
射型光ファイバセンサ。 - 【請求項４】 前記レーザー光源および／または前記受
光側光ファイバは、それぞれの光軸角度が変化できるよ
うに角度調整手段を介して前記支持体に支持されている
ことを特徴とする請求項１，２または３記載の反射型光
ファイバセンサ。 - 【請求項５】 前記レーザー光源には、レーザー光に変
調をかける変調装置が接続されていることを特徴とする
請求項１，２，３，または４記載の反射型光ファイバセ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3205938A JPH0599624A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | 反射型光フアイバセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3205938A JPH0599624A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | 反射型光フアイバセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0599624A true JPH0599624A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=16515213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3205938A Withdrawn JPH0599624A (ja) | 1991-08-16 | 1991-08-16 | 反射型光フアイバセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0599624A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09229764A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Omron Corp | 光電センサ |
| JP2024521436A (ja) * | 2021-06-09 | 2024-05-31 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | アパーチャアポダイゼーションを備えた構造照明を使用したレチクル粒子検出用の検査システム |
-
1991
- 1991-08-16 JP JP3205938A patent/JPH0599624A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09229764A (ja) * | 1996-02-23 | 1997-09-05 | Omron Corp | 光電センサ |
| JP2024521436A (ja) * | 2021-06-09 | 2024-05-31 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | アパーチャアポダイゼーションを備えた構造照明を使用したレチクル粒子検出用の検査システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |