JPH06100680B2 - 放射線画像変換パネルの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

本発明は輝尽性蛍光体を用いた放射線画像変換パネルに
関するものであり、さらに詳しくは放射線に対する感度
の高い放射線画像変換パネルの製造方法に関するもので
ある。

【従来の背景】

Ｘ線画像のような放射線画像は病気診断用などに多く用
いられている。このＸ線画像を得るために、被写体を透
過したＸ線を蛍光体層（蛍光スクリーン）に照射し、こ
れにより可視光を生じさせてこの可視光を通常の写真を
とるときと同じように銀塩を使用したフィルムに照射し
て、そのフィルムを現像した、いわゆる放射線写真が利
用されている。しかし、近年銀塩を塗布したフィルムを
使用しないで蛍光体層から直接画像を取り出す方法が工
夫されるようになった。 この方法としては被写体を透過した放射線を蛍光体に吸
収せしめ、しかる後この蛍光体を例えば光又は熱エネル
ギーで励起することによりこの蛍光体が上記吸収により
蓄積している放射線エネルギーを蛍光として放射せし
め、この蛍光を検出して画像化する方法がある。具体的
には、例えば米国特許第3,859,527号及び特開昭55-1214
4号には輝尽性蛍光体を用い可視光線又は赤外線を輝尽
励起光とした放射線画像変換方法が示されている。この
方法は支持体上に輝尽性蛍光体層を形成した放射線画像
変換パネルを使用するもので、この放射線画像変換パネ
ルの輝尽性蛍光体層に被写体を透過した放射線を当てて
被写体各部の放射線透過度に対応する放射線エネルギー
を蓄積させて潜像を形成し、しかる後にこの輝尽性蛍光
体層を輝尽励起光で走査することによって各部の蓄積さ
れた放射線エネルギーを放射させてこれを光に変換し、
この光の強弱による光信号により画像を得るものであ
る。この最終的な画像はハードコピーとして再生しても
良いし、CRT上に再生しても良い。 この放射線画像変換方法に用いられる輝尽性蛍光体層を
有する放射線画像変換パネルにも、前述の螢光スクリー
ンを用いる放射線写真法におけるように放射線感度が高
くて画像の粒状性が良いこと、および画像の鮮鋭度が高
いことが要求される。しかし、放射線画像変換パネルと
蛍光スクリーンとは、放射線画像変換パネルの放射線感
度の高いことは放射線エネルギーを後に励起光で輝尽発
光させ得るように吸収蓄積する効率が高いことであるの
に対して、蛍光スクリーンの放射線感度が高いことは放
射線エネルギーを即刻光に変換する効率が高いことであ
って、放射線エネルギーを吸収蓄積すると即刻光に変換
する分が減少するようになるといったように、利用して
いる自然法則が異なっている。放射線画像変換パネルの
放射線感度について、従来の輝尽性蛍光体層を有する放
射線画像変換パネルは粒径１〜30μｍ程度の粒状の輝尽
性蛍光体と有機結着剤とを含む分散液を支持体あるいは
保護層上に塗布、乾燥して作成されるので、輝尽性蛍光
体の充填密度が低く（充填率50％）、放射線感度を充分
高くするには輝尽性蛍光体層の層厚を厚くする必要があ
った。 一方、これに対し前記放射線画像変換方法における画像
の鮮鋭性は、放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の
層厚が薄いほど高い傾向にあり、鮮鋭性の向上のために
は、輝尽性蛍光体層の薄層化が必要であった。 また、前記放射線画像変換方法における画像の粒状性
は、放射線量子数の場所的ゆらぎ（量子モトル）あるい
は放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の構造的乱れ
（構造モトル）等によって決定されるので、輝尽性蛍光
体層の層厚が薄くなると、輝尽性蛍光体層に吸収される
放射線量子数が減少して量子モトルが増加したり、構造
的乱れが顕在化して構造モトルが増加したりして画質の
低下を生ずる。よって画像の粒状性を向上させるために
は輝尽性蛍光体層の層厚は厚い必要があった。 即ち、前述のように、従来の放射線画像変換パネルは放
射線に対する感度および画像の粒状性と、画像の鮮鋭性
とが輝尽性蛍光体層の層厚に対してまったく逆の傾向を
示すので、前記放射線画像変換パネルは放射線に対する
感度と粒状性と鮮鋭性間のある程度の相互犠牲によって
作成されてきた。 また前述の蛍光スクリーンと放射線画像変換パネルの相
違に関して、放射線写真法にける画像の鮮鋭性が蛍光ス
クリーン中の蛍光体の瞬間発光（放射線照射時の発光）
の広がりによって決定されるのは周知の通りであるが、
これに対し前述の輝尽性蛍光体を利用した放射線画像変
換方法における画像の鮮鋭性は放射線画像変換パネル中
の輝尽性蛍光体の輝尽発光の広がりによって決定される
のではく、すなわち放射線写真法におけるように蛍光体
の発光の広がりによって決定されるのではなく、輝尽励
起光の該パネル内での広がりに依存して決まると言う相
違もある。この相違は、放射線画像変換方法において
は、放射線画像変換パネルに蓄積された放射線画像情報
は時系列化されて取り出されるので、ある時間（ti）に
照射された輝尽励起光による輝尽発光は望ましくは全て
採光されその時間に輝尽励起光が照射されていた該パネ
ル上にある画素（xi,yi）からの出力として記録される
が、もし輝尽励起光が該パネル内で散乱等により広が
り、照射画素（xi,yi）の外側に存在する輝尽性蛍光体
をも励起してしまうと、上記（xi,yi）なる画素から出
力としてその画素よりも広い領域からの出力が記録され
てしまうことによる。従って、ある時間（ti）に照射さ
れた輝尽励起光による輝尽発光が、その時間（ti）に輝
尽励起光が真に照射されていた該パネル上の画素（xi,y
i）からの発光のみであれば、その発光がいかなる広が
りを持つものであろうと得られる画像の鮮鋭性には影響
がないのである。 このような状況の中で、放射線画像の鮮鋭性を改善する
方法がいくつか考案されて来た。例えば特開昭55-14644
7号記載の放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層中に
白色粉体を混入する方法、特開昭55-163500号記載の放
射線画像変換パネルを輝尽性蛍光体の輝尽励起波長領域
における平均反射率が前記輝尽性蛍光体の輝尽発光波長
領域における平均反射率よりも小さくなるように着色す
る方法等である。しかし、これらの方法は鮮鋭性を改良
すると必然的に感度が著しく低下してしまい、好ましい
方法とは言えない。 本出願人は、前述のような欠点及び特性間の相反性に鑑
みて、特開昭59-196365号において輝尽性蛍光体層に結
着剤を含有しない放射線画像変換パネル及びその製造方
法を提案している。これによれば、前記放射線画像変換
パネルの輝尽性蛍光体層が結着剤を含有しないので輝尽
性蛍光体層の充填率が著しく向上すると共に輝尽性蛍光
体層の輝尽励起光及び輝尽発光の指向性が向上し、放射
線画像変換パネルの放射線に対する感度と画像の粒状性
が改善されると同時に画像の鮮鋭性も改善される。 さて、前記の結着剤を含有しない放射線画像変換パネル
は、スパッタ法、CVD法、蒸着法等種々の気相堆積方法
で製造可能であるが、製造コスト等を考慮すると蒸着法
が最も好ましい方法と言える。 ところが、前記蒸着法において一般的に行われている抵
抗加熱法で輝尽性蛍光体層を形成した場合、ある坩堝温
度に対する輝尽性蛍光体を構成する複数の物質は蒸気圧
がそれぞれ異なり、蒸気圧の高い物質ほど優先的に蒸発
する。このため支持体上に形成された輝尽性蛍光体層の
組成は、坩堝中に仕込んだ輝尽性蛍光体の組成と一致せ
ず、放射線画像変換パネルの放射線に対する感度が低下
する重大な欠点があることが明らかとなった。 すなわち、輝尽性蛍光体を気相堆積させる方法は、前記
したように数々の利点をもたらすが、輝尽性蛍光体の層
を形成する場合に該蛍光体の気化条件を蔑ろにすること
によって大きな陥穽に陥る。 例えばTlを付活剤とするRbBr:Tl輝尽性蛍光体に関する
本発明者らの研究によると、該蛍光体の発光強度は第６
図に示すようにTl含有量が10^-2〜10⁰mol％の範囲にあっ
ては瞬間発光強度は一定でありTl含有量が一定幅に収っ
ている限り一般的蛍光体としてその組成比に関し深く注
意する必要はない。 しかし本発明に係る放射線画像変換パネルの死命を制す
る輝尽発光は３×10^-2mol％付近にピークを有しその前
後で強度は大きく低下する。 従って蒸着法等によって輝尽性蛍光体を気相堆積させる
際に付活剤と輝尽性蛍光体母体の蒸気圧が異なることに
よって、均一に調整した付活輝尽性蛍光体の蒸発源体か
ら付活剤が蛍光体母体に先行し或いは遅滞してパネル支
持体に蒸着され輝尽性蛍光体層中で厚み方向に付活剤濃
度が異なり最適濃度から逸脱すれば、付活剤の本来の目
的の活性付与は転じて付活剤による中毒症状を呈するに
至る。因みにRbBrの蒸気圧は777℃に於て1mmHgを示しTl
Brは522℃に於て10mmHgを呈し蒸気圧に大差を有してい
る。この点に関心を拂った事例はなく、往々にして総体
的には最適の付活剤濃度であるにも拘らず性能不良の付
活輝尽性蛍光体層の例を見る。

【発明の目的】

本発明は輝尽性蛍光体を用いた前記提案の放射線画像変
換パネルの製造方法に関連し、これを更に改良するもの
であり、本発明の目的は仕込みの輝尽性蛍光体組成と製
造後の輝尽性蛍光体組成とがほぼ等しく、放射線に対す
る感度の高い放射線画像変換パネルの製造方法を提供す
ることにある。 更に本発明の他の目的は気相堆積法の利点を充分に発揮
させた良好な粒状性と鮮鋭性とを有し且つ放射線に対す
る感度の高い放射線画像変換パネルの製造方法を提供す
ることにある。

【発明の構成】

本発明は、支持体上に輝尽性蛍光体層、または更に輝尽
性蛍光体層上に保護層を有して、画像情報を担持した放
射線が入射されると前記輝尽性蛍光体層に画像情報を蓄
積記録し、次いで輝尽励起光が入射されると蓄積画像情
報を担持した輝尽発光を放出する放射線画像変換パネル
の製造方法において、 蒸着装置の真空槽内に前記支持体または保護層の被蒸着
体と蒸発皿とを所定の間隔となるように対向させて配置
した後、前記真空槽内を所定の真空度とし、前記蒸発皿
を加熱して、該蒸発皿に蒸発源資を貯蔵容器から滞積が
生じないように少量ずつ供給して蒸発させ、蒸着速度が
10²〜10⁷Å／分となるように制御して前記被蒸着体上に
タリウム付活ハロゲン化ルビジウム輝尽性蛍光体を蒸着
し、前記輝尽性蛍光体層を形成することを特徴とする放
射線画像変換パネルの製造方法にあり、この構成により
前記目的を達成する。 以下本発明を詳細に説明する。 第１図は本発明に用いるフラッシュ蒸着装置の１例の断
面概略図である。１はベルジャー（真空槽）、４は輝尽
性蛍光体を蒸着すべき支持体、５は蒸発させる輝尽性蛍
光体（蒸発源資）７を入れる貯蔵容器、６はフラッシュ
蒸着すなわち、蒸発物質の融点より充分高温に加熱した
蒸発皿上に蒸発物質を連続的あるいは断続的に少量ずつ
供給して蒸発皿上に蒸発物質が滞積することのないよう
に蒸発させる方法による蒸着を行うための蒸発皿、８は
輝尽性蛍光体（蒸発源資）７を一定量ずつ蒸発皿６に供
給するための供給装置、９は蒸発皿６を加熱する電力を
導入するための電流導入線、11はメインバルブ、10は補
助バルブ、12はリークバルブであって排気装置（図示せ
ず）と連動してベルジャー１内の所定真空度の現出、そ
の保持調整に用いられる。 本発明に於て前記蒸着装置を用いるに当たってまず蒸発
させる輝尽性蛍光体は均一に溶解させるかプレス、ホッ
トプレスによってフレーク状、ペレット状、柱状等の小
塊に成形することが好ましいが粉体のままであってもよ
い。 尚輝尽性蛍光体の成形の際には脱ガス処理を併せて行う
ことが好ましい。また、前記蒸発源資７はかならずしも
輝尽性蛍光体である必要はなく、輝尽性蛍光体原料を混
和したものであってもよい。 まず蒸発源資７を貯蔵容器５に仕込んだ後、支持体４を
蒸発源６に対向させて設置する。その間隔は輝尽性蛍光
体の平均飛程に合せて、概ね10〜40cmにとられる。また
支持体４は加熱ヒータ３によって50〜350℃に加熱され
てもよい。 尚支持体４の蒸着素地表面は、一連の特願昭59-266913
号乃至同59-266916号に記載されているように輝尽性蛍
光体が微細柱状結晶に成長するように加工されていても
よい。 次いでメインバルブ11等を操作してベルジャー１の内部
の気体を排除し10^-4〜10^-6Torr程度の真空度にもたら
す。尚この際アルゴン等の付活性ガスを混入してもよ
い。 次いで蒸発皿６を充分加熱し、貯蔵容器５から供給装置
８によって輝尽性蛍光体７を少量ずつ前記蒸発皿６に供
給して蒸発させ、膜厚モニタ２によって蒸着速度、蒸着
厚みを監視しながら蒸着を進め所定の厚みになったら蒸
着を停止する。尚本発明に於て蒸着速度は輝尽性蛍光
体、目的特性によって異なるけれども10²〜10⁷Å/minで
あり、より好ましくは10³〜10⁶Å/minである。10²Å/mi
nより遅い場合は輝尽性蛍光体槽の製造に時間がかかり
すぎるため好ましくないし、10⁷Å/minより速い場合に
は速度のコントロールが困難となり好ましくない。 また互いに異なる蒸発源資７を仕込んだ貯蔵容器を複数
個ベルジャー１中に設置し、順次蒸着させ複数種の輝尽
性蛍光体から成る堆積層としてもよい。 第２図には別の蒸着装置を用いる例を示した。該装置に
於ては、複数個の蒸発皿及び貯蔵容器が設けられてい
る。このタイプは一般に大型であり、蒸着面積が大きく
とれ、大面積の蒸着に好都合である。 尚第２図に於て第１図と同符号は同義の物件を表す。 本発明に係る放射線画像変換パネルにおいて輝尽性蛍光
体とは、最初の光もしくは高エネルギー放射線が放射さ
れた後に、光的、熱的、機械的、化学的または電気的等
の刺激（輝尽励起）により、最初の光もしくは高エネル
ギー放射線の照射量に対応した輝尽発光を示す蛍光体を
言うが、実用的な面から好ましくは500nm以上の輝尽励
起光によって輝尽発光を示す蛍光体である。本発明に係
る放射線画像変換パネルに用いられる輝尽性蛍光体は、
タリウム付活ハロゲン化ルビジウムである。この輝尽性
蛍光体は、アルカリ一価金属であるルビジウム、F,Cl,B
rから選ばれるハロゲン及びタリウムを含有する。 本発明に係る放射線画像変換パネルは前記の輝尽性蛍光
体の少なくとも一種類を含む一つ若しくは二つ以上の輝
尽性蛍光体層から成る輝尽蛍光体層群であってもよい。
また、それぞれの輝尽性蛍光体層に含まれる輝尽性蛍光
体は同一であってもよいが異なっていてもよい。 本発明に係る放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光体層の
層厚は放射線画像変換パネルの放射線に対する感度、輝
尽性蛍光体の種類等によって異なるが、10μｍ〜1000μ
ｍの範囲から選ばれるのが好ましく、20μｍ〜800μｍ
の範囲から選ばれるのがより好ましい。 第３図は本発明に係る放射線画像変換パネルの輝尽性蛍
光体の層厚および該層厚に対する輝尽性蛍光体の附着量
と放射線感度の関係を表している。本発明に係る放射線
画像変換パネルの輝尽性蛍光体層は従来のパネルの様に
結着剤を含んでいないので輝尽性蛍光体の附着量（充填
率）が従来の放射線画像変換パネルの約２倍あり、輝尽
性蛍光体層単位厚さ当たりの放射線吸収率が向上して従
来の放射線画像変換パネルより放射線に対して高感度と
なるばかりか、画像の粒状性が向上する。 また、本発明に係る放射線画像変換パネルの輝尽性蛍光
体層は結着剤を含有していないので、指向性に優れてお
り、輝尽励起光及び輝尽発光の透過性が高く、従来の放
射線画像変換パネルより層厚を厚くすることが可能であ
る。 さらに、本発明に係る放射線画像変換パネルの輝尽性蛍
光体層は前述のように指向性に優れているため、輝尽励
起光の輝尽性蛍光体層中での散乱が減少し、画像の鮮鋭
性が著しく向上する。 本発明に係る放射線画像変換パネルにおいて用いられる
支持体としては各種高分子材料、ガラス、金属等が用い
られ、セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフ
ィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリア
ミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフ
ィルム、ポリカーボネイトフィルム等のプラスチックフ
ィルム、アルミニウム、鉄、銅、クロム等の金属シート
或いは該金属酸化物の被覆層を有する金属シートが好ま
しい。 これら支持体の表面は滑面であってもよいし、輝尽性蛍
光体層との接着性を向上させる目的でマット面としても
よいし反射層あるいは吸収層を設けてもよい。また、支
持体の表面は第４図（ａ）に示すような凹凸面21として
もよいし、（ｂ）に示すように隔絶されたタイル状板23
を敷きつめた構造でもよい。第４図（ａ）の場合には輝
尽性蛍光体層が第４図（ｃ）の断面図に示すように凹凸
面21によって細分化されるので画像の鮮鋭性が一段と向
上する。第４図（ｂ）の場合には輝尽性蛍光体層が支持
体のタイル状板23の輪郭を維持しながら堆積するので、
結果的には輝尽性蛍光体層は第４図（ｄ）の断面図に示
すように亀裂26によって隔絶された輝尽性蛍光体の柱状
ブロック25から成るため、画像の鮮鋭性が一段と向上す
る。 さらにこれら支持体は、輝尽性蛍光体層との接着性を向
上させる目的で輝尽性蛍光体層が設けられる面に下引層
を設けてもよい。また、これら支持体の層厚は用いる支
持体の材質等によって異なるが、一般的には80μｍ〜20
00μｍであり、取扱い上の点からさらに好ましくは80μ
ｍ〜1000μｍである。 本発明に係る放射線画像変換パネルにおいては、一般的
に前記輝尽性蛍光体層が露呈する面に、輝尽性蛍光体層
を物理的にあるいは化学的に保護するための保護層が設
けられてもよい。この保護層は、保護層用塗布液を輝尽
性蛍光体層上に直接塗布して形成してもよいし、あるい
はあらかじめ別途形成した保護層を輝尽性蛍光体層上に
接着してもよい。保護層の材料としては酢酸セルロー
ス、ニトロセルロース、ポリメチルメタクリレート、ポ
リビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリカー
ボネート、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレン、塩化ビニリデン、ナイロン等の通常
の保護層用材料が用いられる。また、この保護層は蒸着
法、スパッタ法により、Sic,SiO₂,SiN,Al₂O₃などの無機
物質を積層して形成してもよい。これらの保護層の層厚
は一般には0.1μｍ〜100μｍ程度が好ましい。 尚、本発明にかかわる輝尽性蛍光体は、本発明の効果を
妨げない範囲の量であれば他の金属を含有してもよい。 本発明に係る放射線画像変換パネルは第５図に概略的に
示される放射線画像変換方法に用いられた場合、優れた
鮮鋭性、粒状性および感度を与える。すなわち、第５図
において、31は放射線発生装置、32は被写体、33は本発
明に係る放射線画像変換パネル、34は輝尽励起光源、35
は該放射線画像変換パネルより放射された輝尽蛍光を検
出する光電変換装置、36は35で検出された信号を画像と
して再生する装置、37は再生された画像を表示する装
置、38は輝尽励起光と輝尽蛍光とを分離し、輝尽蛍光の
みを透過させるフィルターである。尚35以降は33からの
光情報を何らかの形で画像として再生できるものであれ
ばよく、上記に限定されるものではない。 第５図に示されるように、放射線発生装置31からの放射
線は被写体32を通して本発明に係る放射線画像変換パネ
ル33に入射する。この入射した放射線は放射線画像変換
パネル33の輝尽性蛍光体層に吸収され、そのエネルギー
が蓄積され、放射線透過像の蓄積像が形成される。次に
この蓄積像を輝尽励起光源34からの輝尽励起光で励起し
て輝尽発光として放出せしめる。放射線画像変換パネル
33は、輝尽性蛍光体層中に結着剤が含まれておらず輝尽
性蛍光体層の透明性が高いため上記輝尽励起光による走
査の際に、輝尽励起光が輝尽性蛍光体層中で拡散するの
が抑制される。 放射される輝尽発光の強弱は蓄積された放射線エネルギ
ー量に比例するので、この光信号を例えば光電子増倍管
等の光電変換装置35で光電変換し、画像再生装置36によ
って画像として再生し、画像表示装置37によって表示す
ることにより、被写体の放射線透過像を観察することが
できる。

【実施例】

次に本発明を実施例によって説明する。 実施例１ 支持体として500μｍ厚の化学強化ガラスを第１図に示
した蒸着器中に設置した。 次いで貯蔵容器５に蒸発源資としてアルカリハライド輝
尽性蛍光体（RbBr:0.0006Tl）粉末を入れ、続いて蒸着
器を排気し、５×10^-6Torrの真空度とした。 次に支持体150℃に加熱保持しながら蒸発皿６に電力を
導入して蒸発皿を加熱し、続いて貯蔵容器５から前記ア
ルカリハライド輝尽性蛍光体粉末を少量ずつ蒸発皿に供
給して輝尽性蛍光体の蒸着を行った。目的とする輝尽性
蛍光体層を得るために膜厚モニタにより蒸着速度を検出
し、蒸着速度が10⁵Å/minとなるようにコントロールし
た。 輝尽性蛍光体層の層厚が300μｍとなったところで蒸着
を終了させ、本発明の製造方法による放射線画像変換パ
ネルＡを得た。 このようにして得られた本発明による放射線画像変換パ
ネルＡに管電圧80KVpのＸ線を10mR照射した後、He-Neレ
ーザー光（633nm）で輝尽励起し、輝尽性蛍光体層から
放射される輝尽発光を光検出器（光電子倍増管）で光電
変換し、この信号を画像再生装置によって画像として再
生し、銀塩フィルム上に記録した。信号の大きさより、
放射線画像変換パネルＡのＸ線に対する感度を調べ第１
表に示す。 第１表において、Ｘ線に対する感度は本発明による放射
線画像変換パネルＡを100として相対値で示してある。 実施例２ 実施例１において蒸着装置を第２図に示すタイプに変更
した以外は実施例１と同様にして本発明による放射線画
像変換パネルＢを得た。 このようにして得られた本発明による放射線画像変換パ
ネルＢは、実施例１と同様にして評価し、結果を第１表
に併記する。 実施例３ 実施例１において、蒸発源資としてアルカリハライド輝
尽性蛍光体を用いる代わりにアルカリハライド輝尽性蛍
光体原料（RbBr1モル,TlBr0.0006モルの混合物）を用い
た以外は実施例１と同様にして本発明による放射線画像
変換パネルＣを得た。 このようにして得られた本発明による放射線画像変換パ
ネルＣは実施例１と同様にして評価し、結果を第１表に
併記する。 比較例１ 支持体として500μｍ厚の化学強化ガラスを蒸着器中に
設置した。次に抵抗加熱用のモリブテンボート中にアル
カリハライド輝尽性蛍光体（RbBr:0.0006Tl）を入れ、
抵抗加熱用電極にセットし、続いて蒸着器を排気して５
×10^-6Torrの真空度とした。 次に支持体を150℃に加熱保持しながらモリブテンボー
トに電流を流し、抵抗加熱法によってアルカリハライド
輝尽性蛍光体を蒸発させ膜厚モニタにより蒸着速度を検
出し、蒸着速度を10⁵Å/minとなるようコントロールし
ながら前記支持体上に層厚が300μｍになるまで堆積さ
せて比較の製造方法による放射線画像変換パネルＰを得
た。 このようにして得られた比較による放射線画像変換パネ
ルＰは実施例１と同様にして評価し、結果を第１表に併
記する。 第１表より明らかなように本発明の製造方法による放射
線画像変換パネルA,B,Cは比較の製造方法による放射線
画像変換パネルＰに比べて粒状性、鮮鋭性は同等ながら
Ｘ線感度は約３倍高いものとなった。これは輝尽性蛍光
体層の形成時において付活剤であるTlBrの蒸気圧がRbBr
の蒸気圧と大きく異なるために、比較例においては形成
された輝尽性蛍光体層に目的とする濃度のTlがドープさ
れなかったのに対し、実施例においては蒸着時により、
目的とする付活剤濃度の輝尽性蛍光体層が得られたため
である。 実施例４ 実施例１において輝尽性蛍光体の蒸着速度を３×10⁶Å/
minとなるようにコントロールした以外は実施例１と同
様にして本発明による放射線画像変換パネルＤを得た。 このようにして得られた本発明による放射線画像変換パ
ネルＤは実施例１と同様にして評価し、結果を第２表に
示す。 第２表において、Ｘ線に対する感度は本発明による放射
線画像変換パネルＡを100として相対値で示してある。 第２表から明らかなように本発明による放射線画像変換
パネルＤは前記本発明による放射線画像変換パネルＡと
同様高いＸ線感度を示した。

【発明の効果】

設計特性を現出する輝尽性蛍光体組成を忠実に写しとっ
た蒸着堆積層を形成する手段として該組成の輝尽性蛍光
体を瞬時に加熱蒸発させるフラッシュ蒸着法を採用し、
設計と製品との間の性能偏倚を排除し、品質の保証性を
高めると共に安定した信頼性のある生産工程とすること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明に用いるフラッシュ蒸着装置
例の断面概略図である。 第３図は本発明で得られる放射線画像変換パネルの感度
特性を示す。 第４図は支持体の蒸着素地表面の形状を例示している。 第５図は放射線画像変換方法を説明する図である。 第６図は輝尽性蛍光体（RbBr:Tl）における瞬時発光強
度及び輝尽発光強度のTl濃度依存性を示す図である。 １……ベルジャー ２……膜厚モニタ ３……支持体加熱ヒータ ４……支持体 5,5′……貯蔵容器 6,6′……蒸発皿 7,7′……蒸発源資（輝尽性蛍光体） ８……供給装置 ９……電流導入線 11……メインバルブ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 島田 文生 東京都日野市さくら町１番地 小西六写真 工業株式会社内 審査官 田村 爾 (56)参考文献 特開 昭62−47599（ＪＰ，Ａ) 特公 昭52−20818（ＪＰ，Ｂ１)

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】支持体上に輝尽性蛍光体層、または更に輝
   尽性蛍光体層上に保護層を有して、画像情報を担持した
   放射線が入射されると前記輝尽性蛍光体層に画像情報を
   蓄積記録し、次いで輝尽励起光が入射されると蓄積画像
   情報を担持した輝尽発光を放出する放射線画像変換パネ
   ルの製造方法において、 蒸着装置の真空槽内に前記支持体または保護層の被蒸着
   体と蒸発皿とを所定の間隔となるように対向させて配置
   した後、前記真空槽内を所定の真空度とし、前記蒸発皿
   を加熱して、該蒸発皿に蒸発源資を貯蔵容器から滞積が
   生じないように少量ずつ供給して蒸発させ、蒸着速度が
   10²〜10⁷Å／分となるように制御して前記被蒸着体上に
   タリウム付活ハロゲン化ルビジウム輝尽性蛍光体を蒸着
   し、前記輝尽性蛍光体層を形成することを特徴とする放
   射線画像変換パネルの製造方法。