JPH06128398A - プラスチック材の表面平滑化法 - Google Patents
プラスチック材の表面平滑化法Info
- Publication number
- JPH06128398A JPH06128398A JP4278765A JP27876592A JPH06128398A JP H06128398 A JPH06128398 A JP H06128398A JP 4278765 A JP4278765 A JP 4278765A JP 27876592 A JP27876592 A JP 27876592A JP H06128398 A JPH06128398 A JP H06128398A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plastic material
- organic solvent
- thin film
- smoothing
- vapor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C71/00—After-treatment of articles without altering their shape; Apparatus therefor
- B29C71/0009—After-treatment of articles without altering their shape; Apparatus therefor using liquids, e.g. solvents, swelling agents
Landscapes
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プラスチック材の表面を簡単に平滑化する方
法。 【構成】 プラスチック材を気化した有機溶剤の蒸気層
の中に浸漬して、その表面を平滑化させる。
法。 【構成】 プラスチック材を気化した有機溶剤の蒸気層
の中に浸漬して、その表面を平滑化させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラスチック材の表面
平滑化法に関し、更に詳しくは、プラスチック材の表面
にアルミニウム薄膜等の金属薄膜を被覆して鏡面仕上げ
する際、金属薄膜をプラスチック材表面に均一な厚さで
凹凸なく被覆することを可能にするために、プラスチッ
ク材の表面を予め平滑化させておくプラスチック材の表
面平滑化法に関する。
平滑化法に関し、更に詳しくは、プラスチック材の表面
にアルミニウム薄膜等の金属薄膜を被覆して鏡面仕上げ
する際、金属薄膜をプラスチック材表面に均一な厚さで
凹凸なく被覆することを可能にするために、プラスチッ
ク材の表面を予め平滑化させておくプラスチック材の表
面平滑化法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラスチック材の表面にアルミニウム等
の金属薄膜を被覆して鏡を製作する場合、基材となるプ
ラスチック材の表面に存在する微小な段差や傷が原因と
なって鏡の反射率を著しく低下させていた。
の金属薄膜を被覆して鏡を製作する場合、基材となるプ
ラスチック材の表面に存在する微小な段差や傷が原因と
なって鏡の反射率を著しく低下させていた。
【０００３】そこで、プラスチック材の表面を平滑化す
る手段としては、金型表面の平滑度を高めた金型を用い
てプラスチック材を成形する方法、成形されたプラスチ
ック材の表面をナイフ、カッター等の鋭利な刃物で削る
方法、或いは該表面を研磨材で研磨する方法が知られて
いる。
る手段としては、金型表面の平滑度を高めた金型を用い
てプラスチック材を成形する方法、成形されたプラスチ
ック材の表面をナイフ、カッター等の鋭利な刃物で削る
方法、或いは該表面を研磨材で研磨する方法が知られて
いる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記プ
ラスチック材の表面を平滑化手段のうち、金型を用いて
プラスチック材を成形する場合は、金型の表面の平滑度
を向上させるためには精度の高い金型加工技術を必要と
し、コスト高になるという問題があり、また、成形され
たプラスチック材の表面を鋭利な刃物で削る方法の場合
は、プラスチック材表面に削りゴミが発生したり、或い
は削り跡が残りやすいため、表面を均一な平滑面に削り
仕上げするには熟練を必要とする問題があり、また、プ
ラスチック材表面を研磨材で研磨する場合は、研磨に長
時間を要して作業性が悪いという問題がある。
ラスチック材の表面を平滑化手段のうち、金型を用いて
プラスチック材を成形する場合は、金型の表面の平滑度
を向上させるためには精度の高い金型加工技術を必要と
し、コスト高になるという問題があり、また、成形され
たプラスチック材の表面を鋭利な刃物で削る方法の場合
は、プラスチック材表面に削りゴミが発生したり、或い
は削り跡が残りやすいため、表面を均一な平滑面に削り
仕上げするには熟練を必要とする問題があり、また、プ
ラスチック材表面を研磨材で研磨する場合は、研磨に長
時間を要して作業性が悪いという問題がある。
【０００５】本発明はかかる問題点を解消し、プラスチ
ック材の表面を低コストで、短時間で極めて容易に平滑
化することが出来るプラスチック材の表面平滑化法を提
供することを目的とする。
ック材の表面を低コストで、短時間で極めて容易に平滑
化することが出来るプラスチック材の表面平滑化法を提
供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明のプラスチック材
の表面平滑化法は、プラスチック材を有機溶剤の気化し
た蒸気中に浸漬し、プラスチック材の表面を平滑化する
ことを特徴とする。
の表面平滑化法は、プラスチック材を有機溶剤の気化し
た蒸気中に浸漬し、プラスチック材の表面を平滑化する
ことを特徴とする。
【０００７】
【作用】プラスチック材を有機溶剤の気化した蒸気中に
浸漬すると、昇温した有機溶剤蒸気によりプラスチック
材表面の一部が溶解して膨潤、または軟化し、プラスチ
ック材表面の微小な傷、段差がなくなって平滑化する。
浸漬すると、昇温した有機溶剤蒸気によりプラスチック
材表面の一部が溶解して膨潤、または軟化し、プラスチ
ック材表面の微小な傷、段差がなくなって平滑化する。
【０００８】
【実施例】先ず、本発明法を実施する際に用いる平滑処
理装置の１例について説明する。
理装置の１例について説明する。
【０００９】図１は本発明のプラスチック材の表面を平
滑化する際に用いる平滑処理装置の１例であり、図中、
１は溶剤浴を示す。溶剤浴１はその下方にジクロロメタ
ン、アセトン等の有機溶剤２を加熱して気化、蒸発させ
るためのスチームヒーター、シースヒーター等の加熱装
置３を配置し、また、溶剤浴１の上方内側に冷却パイプ
４を巻回し、該パイプ４の端部を溶剤浴の外方に配設し
た循環ポンプ（図示せず）に接続し、該循環ポンプで冷
却パイプ４内に一定温度の液体（例えば温度１８℃の冷
却水）を循環させるようにした。
滑化する際に用いる平滑処理装置の１例であり、図中、
１は溶剤浴を示す。溶剤浴１はその下方にジクロロメタ
ン、アセトン等の有機溶剤２を加熱して気化、蒸発させ
るためのスチームヒーター、シースヒーター等の加熱装
置３を配置し、また、溶剤浴１の上方内側に冷却パイプ
４を巻回し、該パイプ４の端部を溶剤浴の外方に配設し
た循環ポンプ（図示せず）に接続し、該循環ポンプで冷
却パイプ４内に一定温度の液体（例えば温度１８℃の冷
却水）を循環させるようにした。
【００１０】そして、溶剤浴１の下方で加熱装置３によ
り加熱、昇温されて気化した有機溶剤２の蒸気層５を該
有機溶剤２の上方に滞留、形成せしめるようにした。ま
た、該蒸気が溶剤浴１の開口部６付近に達した時、冷却
パイプ４に触れさせて冷却凝縮せしめて液状の有機溶剤
として溶剤浴１の下方に落下させ、開口部６より飛散す
ることを防止するようにした。
り加熱、昇温されて気化した有機溶剤２の蒸気層５を該
有機溶剤２の上方に滞留、形成せしめるようにした。ま
た、該蒸気が溶剤浴１の開口部６付近に達した時、冷却
パイプ４に触れさせて冷却凝縮せしめて液状の有機溶剤
として溶剤浴１の下方に落下させ、開口部６より飛散す
ることを防止するようにした。
【００１１】次に、前記図１装置を用いてプラスチック
材の平滑化の具体例を説明する。
材の平滑化の具体例を説明する。
【００１２】実施例１ 先ず、溶剤浴１内に有機溶剤２としてジクロロメタンを
充填し、加熱装置３でジクロロメタンを温度６０℃程度
に加熱して所定温度に昇温させて気化させ、ジクロロメ
タンの蒸気を溶剤浴１の有機溶剤（液状）２の上方に滞
留せしめて蒸発層５を形成させた。次に、縦１００mm、
横１００mm、厚さ５mmのアクリル樹脂製のプラスチック
材７を溶剤浴１内に滞留しているジクロロメタンの蒸気
層５内に０．５秒浸漬した後、直ちに蒸気層５より溶剤
浴１の外方に取り出した。
充填し、加熱装置３でジクロロメタンを温度６０℃程度
に加熱して所定温度に昇温させて気化させ、ジクロロメ
タンの蒸気を溶剤浴１の有機溶剤（液状）２の上方に滞
留せしめて蒸発層５を形成させた。次に、縦１００mm、
横１００mm、厚さ５mmのアクリル樹脂製のプラスチック
材７を溶剤浴１内に滞留しているジクロロメタンの蒸気
層５内に０．５秒浸漬した後、直ちに蒸気層５より溶剤
浴１の外方に取り出した。
【００１３】本発明の平滑化法は前記実施例のみに限定
されるものではなく、プラスチック材としてはその表面
にアルミニウム、クロミウム等の金属薄膜を被覆するこ
とが出来るものであればよく、前記アクリル樹脂の他に
ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン樹脂等が挙げられる。また、
有機溶剤としては気化した蒸気でプラスチック材の表面
を容易に溶解せしめて膨潤、或いは軟化させることが出
来る溶剤であればよく、前記ジクロロメタンの他にアセ
トン、トリクロロエチレン等が挙げられる。
されるものではなく、プラスチック材としてはその表面
にアルミニウム、クロミウム等の金属薄膜を被覆するこ
とが出来るものであればよく、前記アクリル樹脂の他に
ＡＢＳ樹脂、ポリスチレン樹脂等が挙げられる。また、
有機溶剤としては気化した蒸気でプラスチック材の表面
を容易に溶解せしめて膨潤、或いは軟化させることが出
来る溶剤であればよく、前記ジクロロメタンの他にアセ
トン、トリクロロエチレン等が挙げられる。
【００１４】また、プラスチック材の有機溶剤の気化し
た蒸気層内への浸漬する時間はプラスチック材の材質、
形状、および用いる有機溶剤の種類に応じて適宜設定す
ればよく、プラスチック材がＡＢＳで、有機溶剤がトリ
クロロエチレンの場合は０．５〜５秒程度、また、プラ
スチック材がポリスチレンで、有機溶剤がアセトンの場
合は０．５〜５秒程度とすればよい。
た蒸気層内への浸漬する時間はプラスチック材の材質、
形状、および用いる有機溶剤の種類に応じて適宜設定す
ればよく、プラスチック材がＡＢＳで、有機溶剤がトリ
クロロエチレンの場合は０．５〜５秒程度、また、プラ
スチック材がポリスチレンで、有機溶剤がアセトンの場
合は０．５〜５秒程度とすればよい。
【００１５】次に、本発明法のプラスチック材の表面の
平滑化を確認するために次のような実験を行った。
平滑化を確認するために次のような実験を行った。
【００１６】実験例１ 前記実施例１で表面が平滑化されたプラスチック材を真
空処理室内の上方に載置し、真空処理室の下方に配置せ
るカソード上にアルミニウム材をターゲットとして載置
し、ＤＣマグネトロンスパッタ法でスパッタリングして
図２に示すような、該プラスチック材７の表面に膜厚１
０００Åのアルミニウム薄膜８を付着させて、これを試
料１とした。尚、スパッタ中は真空処理室内をアルゴン
ガス雰囲気とし、圧力は３×１０-3Torrとした。
空処理室内の上方に載置し、真空処理室の下方に配置せ
るカソード上にアルミニウム材をターゲットとして載置
し、ＤＣマグネトロンスパッタ法でスパッタリングして
図２に示すような、該プラスチック材７の表面に膜厚１
０００Åのアルミニウム薄膜８を付着させて、これを試
料１とした。尚、スパッタ中は真空処理室内をアルゴン
ガス雰囲気とし、圧力は３×１０-3Torrとした。
【００１７】作成された試料１のアルミニウム薄膜面側
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
【００１８】尚、反射率の測定は自己分光光度計３２３
型（株式会社日立製作所製）を用いて測定した。
型（株式会社日立製作所製）を用いて測定した。
【００１９】実験例２ 縦１００mm、横１００mm、厚さ５mmのアクリル樹脂製の
プラスチック材の表面をNo.2000 エメリー研磨紙（SANK
YO RIKAGAKU Co.LTD製）で研磨し、表面に肉眼で分かる
程度の細かい傷を多数つけた。
プラスチック材の表面をNo.2000 エメリー研磨紙（SANK
YO RIKAGAKU Co.LTD製）で研磨し、表面に肉眼で分かる
程度の細かい傷を多数つけた。
【００２０】続いて、該傷付きプラスチック材を、図１
装置の加熱装置３で所定温度（温度６０℃）に加熱、気
化して、溶剤浴１内に滞留したジクロロメタンの蒸発層
５内に０．５秒間浸漬した後、直ちに蒸気層５より溶剤
浴１の外方に取り出して、平滑化処理を施した。
装置の加熱装置３で所定温度（温度６０℃）に加熱、気
化して、溶剤浴１内に滞留したジクロロメタンの蒸発層
５内に０．５秒間浸漬した後、直ちに蒸気層５より溶剤
浴１の外方に取り出して、平滑化処理を施した。
【００２１】そして、平滑化処理されたプラスチック材
の表面に前記実験例１と同様の方法でアルミニウム薄膜
（膜厚１０００Å）を付着させて、これを試料２とし
た。
の表面に前記実験例１と同様の方法でアルミニウム薄膜
（膜厚１０００Å）を付着させて、これを試料２とし
た。
【００２２】作成された試料２のアルミニウム薄膜面側
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
【００２３】比較実験例１ 縦１００mm、横１００mm値厚さ５mmのアクリル樹脂製の
プラスチック材の表面をNo.2000 エメリー研磨紙で研磨
し、表面に肉眼で分かる程度の細かい傷を多数つけた。
プラスチック材の表面をNo.2000 エメリー研磨紙で研磨
し、表面に肉眼で分かる程度の細かい傷を多数つけた。
【００２４】そして、該傷付きプラスチック材の表面に
前記実験例１と同様の方法でアルミニウム薄膜（膜厚１
０００Å）を付着させて、これを試料３とした。
前記実験例１と同様の方法でアルミニウム薄膜（膜厚１
０００Å）を付着させて、これを試料３とした。
【００２５】作成された試料３のアルミニウム薄膜面側
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
【００２６】対比実験例 鏡面研磨したシリコンウェハーの表面に前記実験例１と
同様の方法でアルミニウム薄膜（膜厚１０００Å）を付
着させて、これを試料４とした。
同様の方法でアルミニウム薄膜（膜厚１０００Å）を付
着させて、これを試料４とした。
【００２７】作成された試料４のアルミニウム薄膜面側
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
に波長５００nmの可視光を当ててその反射率を測定し
た。測定した結果を表１に示す。
【００２８】
【表１】
【００２９】表１より明らかなように、本発明法で平滑
化されたプラスチック材の表面は、鏡面研磨したシリコ
ンウェハーと同等の平滑面を有することが確認された。
化されたプラスチック材の表面は、鏡面研磨したシリコ
ンウェハーと同等の平滑面を有することが確認された。
【００３０】また、本発明の平滑化法を実施するための
装置としては、有機溶剤を気化させ、その蒸気層を滞留
させ、その中にプラスチック材を浸漬することが出来る
溶剤浴であればよく、また、プラスチック材の表面を平
滑化させるにも高度な技術や装置を必要としない。
装置としては、有機溶剤を気化させ、その蒸気層を滞留
させ、その中にプラスチック材を浸漬することが出来る
溶剤浴であればよく、また、プラスチック材の表面を平
滑化させるにも高度な技術や装置を必要としない。
【００３１】従って、本発明法では低コストで、短時間
で極めて簡単にプラスチック材の表面を平滑化させるこ
とが出来る。
で極めて簡単にプラスチック材の表面を平滑化させるこ
とが出来る。
【００３２】本発明法で表面が平滑化されたプラスチッ
ク材の用途としては、前記実験例で行ったようなプラス
チック材の表面にアルミニウム薄膜等の金属薄膜をスパ
ッタ法、或いは蒸着法で被覆形成した高反射率鏡、平滑
な表面を備える光輝面組成体である。
ク材の用途としては、前記実験例で行ったようなプラス
チック材の表面にアルミニウム薄膜等の金属薄膜をスパ
ッタ法、或いは蒸着法で被覆形成した高反射率鏡、平滑
な表面を備える光輝面組成体である。
【００３３】また、本発明法で平滑化されたプラスチッ
ク材の表面に被覆された金属薄膜とプラスチック材とは
良好な付着力を有し、プラスチック材と被覆される金属
薄膜との付着力の改善にも役立つ。
ク材の表面に被覆された金属薄膜とプラスチック材とは
良好な付着力を有し、プラスチック材と被覆される金属
薄膜との付着力の改善にも役立つ。
【００３４】
【発明の効果】このように本発明のプラスチック材の表
面平滑化法によるときは、気化した有機溶剤の蒸気中に
プラスチック材を浸漬するようにしたので、プラスチッ
ク材の表面が有機溶剤の昇温した蒸気に接して溶解、軟
化して微小な傷や段差がなくなるため、低コストで、短
時間でプラスチック材の表面を極めて簡単に平滑化する
ことが出来て、その後、表面に金属薄膜を形成する場
合、金属薄膜を凹凸なく均一な膜厚で被覆することが出
来る等の効果がある。
面平滑化法によるときは、気化した有機溶剤の蒸気中に
プラスチック材を浸漬するようにしたので、プラスチッ
ク材の表面が有機溶剤の昇温した蒸気に接して溶解、軟
化して微小な傷や段差がなくなるため、低コストで、短
時間でプラスチック材の表面を極めて簡単に平滑化する
ことが出来て、その後、表面に金属薄膜を形成する場
合、金属薄膜を凹凸なく均一な膜厚で被覆することが出
来る等の効果がある。
【図１】 本発明法を実施するための装置の１例を示す
説明線図、
説明線図、
【図２】 本発明法で平滑化されたプラスチック材の表
面にアルミニウム薄膜を形成した状態の模式図。
面にアルミニウム薄膜を形成した状態の模式図。
【符号の説明】 ２ 有機溶剤、 ５ 有機溶剤の蒸気、 ７ プラ
スチック材。
スチック材。
Claims (1)
- 【請求項１】 プラスチック材を有機溶剤の気化した蒸
気中に浸漬し、プラスチック材の表面を平滑化すること
を特徴とするプラスチック材の表面平滑化法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4278765A JPH06128398A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | プラスチック材の表面平滑化法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4278765A JPH06128398A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | プラスチック材の表面平滑化法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06128398A true JPH06128398A (ja) | 1994-05-10 |
Family
ID=17601876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4278765A Pending JPH06128398A (ja) | 1992-10-16 | 1992-10-16 | プラスチック材の表面平滑化法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06128398A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005523177A (ja) * | 2002-04-17 | 2005-08-04 | ストラッタシス， インコーポレイテッド | 層状積層モデリングのための平滑化方法 |
| JP2007016076A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Lintec Corp | 高平滑フィルムおよびその製造方法、ならびに光記録媒体用保護層形成シートおよび光記録媒体 |
| JP2009024133A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Technical Research & Development Institute Ministry Of Defence | 材料の化学スムージング法及びデバイス |
| JP2010106929A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Kanto Chem Co Inc | 透明塩化ビニル管の補強方法 |
| US8014889B2 (en) | 2005-10-13 | 2011-09-06 | Stratasys, Inc. | Transactional method for building three-dimensional objects |
| US8075300B2 (en) | 2008-06-30 | 2011-12-13 | Stratasys, Inc. | Vapor smoothing surface finishing system |
| US8765045B2 (en) | 2007-01-12 | 2014-07-01 | Stratasys, Inc. | Surface-treatment method for rapid-manufactured three-dimensional objects |
| WO2025094256A1 (ja) * | 2023-10-31 | 2025-05-08 | 株式会社日立ハイテク | 流体デバイス、及びその製造方法、並びにそれを用いた電気泳動装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4826255A (ja) * | 1971-08-09 | 1973-04-06 | ||
| JPS5026870A (ja) * | 1973-03-26 | 1975-03-19 | ||
| JPS5554052A (en) * | 1978-10-18 | 1980-04-21 | Ato Inc | Plastic surface polishing device |
-
1992
- 1992-10-16 JP JP4278765A patent/JPH06128398A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4826255A (ja) * | 1971-08-09 | 1973-04-06 | ||
| JPS5026870A (ja) * | 1973-03-26 | 1975-03-19 | ||
| JPS5554052A (en) * | 1978-10-18 | 1980-04-21 | Ato Inc | Plastic surface polishing device |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005523177A (ja) * | 2002-04-17 | 2005-08-04 | ストラッタシス， インコーポレイテッド | 層状積層モデリングのための平滑化方法 |
| US8123999B2 (en) | 2002-04-17 | 2012-02-28 | Stratasys, Inc. | Smoothing method for layered deposition modeling |
| JP2007016076A (ja) * | 2005-07-05 | 2007-01-25 | Lintec Corp | 高平滑フィルムおよびその製造方法、ならびに光記録媒体用保護層形成シートおよび光記録媒体 |
| US8014889B2 (en) | 2005-10-13 | 2011-09-06 | Stratasys, Inc. | Transactional method for building three-dimensional objects |
| US8765045B2 (en) | 2007-01-12 | 2014-07-01 | Stratasys, Inc. | Surface-treatment method for rapid-manufactured three-dimensional objects |
| JP2009024133A (ja) * | 2007-07-23 | 2009-02-05 | Technical Research & Development Institute Ministry Of Defence | 材料の化学スムージング法及びデバイス |
| US8075300B2 (en) | 2008-06-30 | 2011-12-13 | Stratasys, Inc. | Vapor smoothing surface finishing system |
| JP2010106929A (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-13 | Kanto Chem Co Inc | 透明塩化ビニル管の補強方法 |
| WO2025094256A1 (ja) * | 2023-10-31 | 2025-05-08 | 株式会社日立ハイテク | 流体デバイス、及びその製造方法、並びにそれを用いた電気泳動装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4684535A (en) | Surface treatment of plastics material | |
| US5492769A (en) | Method for the production of scratch resistance articles and the scratch resistance articles so produced | |
| US6582823B1 (en) | Wear-resistant polymeric articles and methods of making the same | |
| US3953652A (en) | Process for coating glass onto polymeric substrates | |
| JP2006508540A (ja) | ウェーハ処理プロセス及び装置並びに中間層及びキャリヤー層を有するウェーハ | |
| JPH10500633A (ja) | 高度な耐摩耗性コーティングの蒸着のためのイオンビーム法 | |
| US4444467A (en) | Coated laser mirror and method of coating | |
| Amberg et al. | Surface modification of recycled polymers in comparison to virgin polymers using Ar/O2 plasma etching | |
| US5723174A (en) | Method of forming mold release film | |
| JP2000296529A (ja) | 流延製膜方法 | |
| US2641954A (en) | Protective coatings for optical elements and methods for applying them | |
| JP4249937B2 (ja) | 撥水性薄膜を有する光学部材およびレンズの製造方法 | |
| EP1255129B1 (en) | Method for manufacturing optical member having water-repellent thin film | |
| US5851252A (en) | Method of forming mold release film and making a glass optical element | |
| JPH0353260B2 (ja) | ||
| Zhao et al. | Diamond film polishing with argon and oxygen ion beams | |
| EP0440214B1 (en) | Method for producing optical disc | |
| JP3353057B2 (ja) | 表面処理された眼鏡レンズの製造方法 | |
| JP3251419B2 (ja) | 半導体ウェーハの研磨用定盤 | |
| Washo | Surface Property Characterization of Plasma-Polymerized Tetraf luoroethylene Deposits | |
| JP3474312B2 (ja) | 合成樹脂製反射鏡、その製造方法および製造装置 | |
| JPH0560904A (ja) | 光学部品およびその製造方法 | |
| JPH01197701A (ja) | プラスチツク製光学部材およびその製造方法 | |
| JPH0260940A (ja) | ヘルメット用シールドの防曇加工法 | |
| JPH09113702A (ja) | 光学物品およびその製造方法 |