JPH06143219A - キャリアテープ、そのキャリアテープを使用したグリーンシートの製造方法、及びセラミックス焼成体の製造方法 - Google Patents
キャリアテープ、そのキャリアテープを使用したグリーンシートの製造方法、及びセラミックス焼成体の製造方法Info
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- JPH06143219A JPH06143219A JP4299478A JP29947892A JPH06143219A JP H06143219 A JPH06143219 A JP H06143219A JP 4299478 A JP4299478 A JP 4299478A JP 29947892 A JP29947892 A JP 29947892A JP H06143219 A JPH06143219 A JP H06143219A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0011—Working of insulating substrates or insulating layers
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Moulds, Cores, Or Mandrels (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 グリーンシート切断片の枚葉毎に離型剤処理
することなく、連続的に離型剤処理が簡単に行うことが
できるキャリアテープを提供し、このキャリアテープを
使用したグリーンシートの製造方法を提供し、さらにこ
のグリーンシートを用いたセラミック焼成体の製造方法
を提供する。 【構成】 キャリアテープ２上にジルコニア粉末、カー
ボン粉末、バインダ及び溶剤からなるスラリーを塗布す
る。この離型剤層３が形成されたキャリアテープ２上に
ドクターブレード装置によりセラミックスラリーを流し
だしてグリーンシート４を形成する。キャリアテープ２
をグリーンシート４から剥離することにより、離型剤層
３をグリーンシート４側に移行させ、このグリーンシー
トを切断し、積み重ねて焼成する。
することなく、連続的に離型剤処理が簡単に行うことが
できるキャリアテープを提供し、このキャリアテープを
使用したグリーンシートの製造方法を提供し、さらにこ
のグリーンシートを用いたセラミック焼成体の製造方法
を提供する。 【構成】 キャリアテープ２上にジルコニア粉末、カー
ボン粉末、バインダ及び溶剤からなるスラリーを塗布す
る。この離型剤層３が形成されたキャリアテープ２上に
ドクターブレード装置によりセラミックスラリーを流し
だしてグリーンシート４を形成する。キャリアテープ２
をグリーンシート４から剥離することにより、離型剤層
３をグリーンシート４側に移行させ、このグリーンシー
トを切断し、積み重ねて焼成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、グリーンシートをドク
ターブレード法にて製造するためのキャリアテープ、そ
のキャリアテープを使用したグリーンシートの製造方
法、及びグリーンシートを積層して焼成する方法に関す
る。
ターブレード法にて製造するためのキャリアテープ、そ
のキャリアテープを使用したグリーンシートの製造方
法、及びグリーンシートを積層して焼成する方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、アクチュエータ用のチタン酸ジル
コン酸鉛系板、電気回路を形成するアルミナ基板、各種
電子材料用のセラミックス基板等に使用されるグリーン
シートの製造は、水あるいは有機溶剤に均一に分散させ
たセラミックス粉体、有機バインダ等よりなるスラリー
をドクターブレード装置によりポリエステル等の薄いキ
ャリアテープ上に流しだし、乾燥した後、キャリアテー
プより剥離してグリーンシートとし、これをカッター等
により切断して所定の形状のグリーンシート断片とし、
このグリーンシート断片上に反応性の小さなジルコニア
等の粉末を離型剤として敷いて離型剤層を形成して各グ
リーンシート断片を積み重ね、この状態で焼成し、焼成
体を一枚毎に剥離してセラミックス基板として使用して
いた。
コン酸鉛系板、電気回路を形成するアルミナ基板、各種
電子材料用のセラミックス基板等に使用されるグリーン
シートの製造は、水あるいは有機溶剤に均一に分散させ
たセラミックス粉体、有機バインダ等よりなるスラリー
をドクターブレード装置によりポリエステル等の薄いキ
ャリアテープ上に流しだし、乾燥した後、キャリアテー
プより剥離してグリーンシートとし、これをカッター等
により切断して所定の形状のグリーンシート断片とし、
このグリーンシート断片上に反応性の小さなジルコニア
等の粉末を離型剤として敷いて離型剤層を形成して各グ
リーンシート断片を積み重ね、この状態で焼成し、焼成
体を一枚毎に剥離してセラミックス基板として使用して
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の方法では焼成用のグリーンシート断片の一
枚一枚に、層間剥離用のジルコニア粉末を溶剤あるいは
水に分散させたスラリーを刷毛等で塗布するか、乾燥し
たジルコニア粉末を目の細かなふるいによって直接グリ
ーンシート断片上にふるい落とす等により、離型剤層を
形成していた。このため作業工数がかかり、またグリー
ンシート断片の一枚一枚の表面に均一に塗布すること
は、困難であった。
ような従来の方法では焼成用のグリーンシート断片の一
枚一枚に、層間剥離用のジルコニア粉末を溶剤あるいは
水に分散させたスラリーを刷毛等で塗布するか、乾燥し
たジルコニア粉末を目の細かなふるいによって直接グリ
ーンシート断片上にふるい落とす等により、離型剤層を
形成していた。このため作業工数がかかり、またグリー
ンシート断片の一枚一枚の表面に均一に塗布すること
は、困難であった。
【０００４】そこで本発明は、グリーンシート断片の枚
葉毎に離型剤処理することなく連続的に離型剤処理が簡
単に行うことができるキャリアテープを提供し、このキ
ャリアテープを使用したグリーンシートの製造方法を提
供し、さらにこのグリーンシートを用いたセラミックス
焼成体の製造方法を提供することを目的とする。
葉毎に離型剤処理することなく連続的に離型剤処理が簡
単に行うことができるキャリアテープを提供し、このキ
ャリアテープを使用したグリーンシートの製造方法を提
供し、さらにこのグリーンシートを用いたセラミックス
焼成体の製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記した問題点を解決す
るために本発明は、焼成時に離型剤として作用する離型
剤層を表面に形成したキャリアテープとするものであ
る。この離型剤層は、ジルコニア粉末、カーボン粉末、
バインダ及び溶剤からなるスラリーをキャリアテープ上
に塗布して形成したものである。
るために本発明は、焼成時に離型剤として作用する離型
剤層を表面に形成したキャリアテープとするものであ
る。この離型剤層は、ジルコニア粉末、カーボン粉末、
バインダ及び溶剤からなるスラリーをキャリアテープ上
に塗布して形成したものである。
【０００６】また本発明は、ドクターブレード装置を用
いてセラミックススラリーを前記キャリアテープ上に流
しだし、乾燥し、キャリアテープを剥離してグリーンシ
ートに離型剤層を移行させることを特徴とするグリーン
シートの製造方法とするものである。キャリアテープに
は、例えば、ポリエチレン、テフロン、酢酸セルロース
等が好適に用いられる。キャリアテープの表面は、通
常、離型処理が施されているので、この離型処理が施さ
れたキャリアテープ上に形成された離型剤層は、このキ
ャリアテープ上にセラミックススラリーが流しだされて
成形されたグリーンシートを剥離するときに、グリーン
シート側に移行する。
いてセラミックススラリーを前記キャリアテープ上に流
しだし、乾燥し、キャリアテープを剥離してグリーンシ
ートに離型剤層を移行させることを特徴とするグリーン
シートの製造方法とするものである。キャリアテープに
は、例えば、ポリエチレン、テフロン、酢酸セルロース
等が好適に用いられる。キャリアテープの表面は、通
常、離型処理が施されているので、この離型処理が施さ
れたキャリアテープ上に形成された離型剤層は、このキ
ャリアテープ上にセラミックススラリーが流しだされて
成形されたグリーンシートを剥離するときに、グリーン
シート側に移行する。
【０００７】離型剤層を形成するためのスラリーに使用
される溶剤は、水系又は有機溶剤系の何れか一種の溶剤
が選択される。他方、グリーンシートを形成するための
スラリーに使用される溶剤は、前記離型剤層を形成する
ためのスラリーに使用される溶剤の種類と反対の性質の
種類の溶剤が選択されることが望ましい。例えば、離型
剤層を形成するためのスラリーに使用される溶剤が水系
である場合には、グリーンシートを形成するためのスラ
リーに使用される溶剤は有機溶剤系のものを使用する。
される溶剤は、水系又は有機溶剤系の何れか一種の溶剤
が選択される。他方、グリーンシートを形成するための
スラリーに使用される溶剤は、前記離型剤層を形成する
ためのスラリーに使用される溶剤の種類と反対の性質の
種類の溶剤が選択されることが望ましい。例えば、離型
剤層を形成するためのスラリーに使用される溶剤が水系
である場合には、グリーンシートを形成するためのスラ
リーに使用される溶剤は有機溶剤系のものを使用する。
【０００８】このように溶剤の種類を水系及び有機溶剤
系に組み合わせることにより、離型剤層が形成されたキ
ャリアテープ上にグリーンシートを形成するためのスラ
リーを流し込んでも、離型剤層がスラリーに溶解するこ
とがなくグリーンシートの表面が、平滑に作製でき、焼
成体の表面も平滑なものができる。また、グリーンシー
トが水系バインダを用いて形成されるときには、上記と
は反対に離型剤層を形成するためのスラリーに用いるバ
インダを有機溶剤系とすることが同様な理由で好まし
い。
系に組み合わせることにより、離型剤層が形成されたキ
ャリアテープ上にグリーンシートを形成するためのスラ
リーを流し込んでも、離型剤層がスラリーに溶解するこ
とがなくグリーンシートの表面が、平滑に作製でき、焼
成体の表面も平滑なものができる。また、グリーンシー
トが水系バインダを用いて形成されるときには、上記と
は反対に離型剤層を形成するためのスラリーに用いるバ
インダを有機溶剤系とすることが同様な理由で好まし
い。
【０００９】また本発明は、上記の方法により製造され
たグリーンシートを切断した断片を積み重ねて焼成する
ことを特徴とするセラミックス焼成体の製造方法とする
ものである。この焼成中に離型剤層中のカーボン粉末、
バインダは焼却され、セラミックス焼成体どうしの間に
存在する離型剤層はジルコニア粉末のみになり、セラミ
ックス焼成体どうしが反応してくっついてしまうことを
防止する離型剤となる。本発明において、離型剤層中に
ジルコニア粉末に加えてカーボン粉末を含ませる理由
は、焼成時にカーボン粉末が焼失しジルコニア粉末粒子
間に隙間ができ空気が焼成体相互の間まで拡散しやすく
するためである。但し、カーボン粉末を混合せずジルコ
ニア粉末のみで離型剤層を形成しても、焼成時の昇温速
度を制御することにより焼成体になんら問題を与えるこ
となく焼成することは可能である。
たグリーンシートを切断した断片を積み重ねて焼成する
ことを特徴とするセラミックス焼成体の製造方法とする
ものである。この焼成中に離型剤層中のカーボン粉末、
バインダは焼却され、セラミックス焼成体どうしの間に
存在する離型剤層はジルコニア粉末のみになり、セラミ
ックス焼成体どうしが反応してくっついてしまうことを
防止する離型剤となる。本発明において、離型剤層中に
ジルコニア粉末に加えてカーボン粉末を含ませる理由
は、焼成時にカーボン粉末が焼失しジルコニア粉末粒子
間に隙間ができ空気が焼成体相互の間まで拡散しやすく
するためである。但し、カーボン粉末を混合せずジルコ
ニア粉末のみで離型剤層を形成しても、焼成時の昇温速
度を制御することにより焼成体になんら問題を与えるこ
となく焼成することは可能である。
【００１０】
【実施例１】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
図１〜図６は、本発明の一実施例を示す模式図である。
図１は、キャリアテープ２であるポリエステルフィルム
上に離型剤層３を塗布して作製したグリーンシート作製
用の離型剤層付キャリアテープ１であり、図２は図１の
ａ−ｂ断面図である。図３は、ドクターブレード装置６
によりセラミックスのグリーンシート４を作製している
ところを示し、図４は図３のｃ−ｄ断面図であり、シー
ト乾燥部５上に配置されている離型剤層付キャリアテー
プ１上に形成されたグリーンシート４を示す。図５は、
離型剤層付キャリアテープ１上に更にグリーンシート４
を積層したものから離型剤層付キャリアテープ１を剥離
し所定形状に打ち抜いたものであり、離型剤層３が離型
剤層付キャリアテープ１からグリーンシート４側に移行
している状態を示している。また、図６は、離型剤層３
が積層されたグリーンシート４を焼成用台板の上に積み
重ねた状態を示すものである。
図１〜図６は、本発明の一実施例を示す模式図である。
図１は、キャリアテープ２であるポリエステルフィルム
上に離型剤層３を塗布して作製したグリーンシート作製
用の離型剤層付キャリアテープ１であり、図２は図１の
ａ−ｂ断面図である。図３は、ドクターブレード装置６
によりセラミックスのグリーンシート４を作製している
ところを示し、図４は図３のｃ−ｄ断面図であり、シー
ト乾燥部５上に配置されている離型剤層付キャリアテー
プ１上に形成されたグリーンシート４を示す。図５は、
離型剤層付キャリアテープ１上に更にグリーンシート４
を積層したものから離型剤層付キャリアテープ１を剥離
し所定形状に打ち抜いたものであり、離型剤層３が離型
剤層付キャリアテープ１からグリーンシート４側に移行
している状態を示している。また、図６は、離型剤層３
が積層されたグリーンシート４を焼成用台板の上に積み
重ねた状態を示すものである。
【００１１】まず、離型剤としてのジルコニア粉末（平
均粒子径３μｍ）１００重量部とカーボン粉末（平均粒
子径３μｍ）３０重量部をポリビニルブチラール系水溶
性バインダＴＢ−１３（第一工業製薬製）６０重量部と
分散剤、可塑剤、消泡剤及び水を加えてよく混合し、ジ
ルコニア粉末とカーボン粉末が、均一に分散したスラリ
ーを作製した。つづいてこのスラリーを通常のグリーン
シート作製用のドクターブレード装置を用いて、既に離
型処理が施されているポリエステルフィルム上に２０μ
ｍの厚さに塗布し、乾燥することによりジルコニア粉末
とカーボン粉末が均一に分散した離型剤層３が形成され
たポリエステルフィルムが得られた（図１及び図２）。
均粒子径３μｍ）１００重量部とカーボン粉末（平均粒
子径３μｍ）３０重量部をポリビニルブチラール系水溶
性バインダＴＢ−１３（第一工業製薬製）６０重量部と
分散剤、可塑剤、消泡剤及び水を加えてよく混合し、ジ
ルコニア粉末とカーボン粉末が、均一に分散したスラリ
ーを作製した。つづいてこのスラリーを通常のグリーン
シート作製用のドクターブレード装置を用いて、既に離
型処理が施されているポリエステルフィルム上に２０μ
ｍの厚さに塗布し、乾燥することによりジルコニア粉末
とカーボン粉末が均一に分散した離型剤層３が形成され
たポリエステルフィルムが得られた（図１及び図２）。
【００１２】一方、圧電材料である平均粒径０．５μｍ
のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）粉末を１００重量
部、バインダとしてポリビニールブチラール（ＰＶＢ）
を１５重量部、可塑剤としてジオクチルフタレート（Ｄ
ＯＰ）を５重量部、及び適量の分散剤、消泡剤をトルエ
ン、ｎ−ブチルアルコール、イソプロピルアルコールを
混合した溶剤１００重量部をボールミルで１５時間混合
しスラリーを作製した。このスラリーを攪拌脱泡装置に
より溶剤を揮発させながら消泡し、粘度を約２０，００
０ｃｐｓに調整し粘調なスラリー７を作製した。
のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）粉末を１００重量
部、バインダとしてポリビニールブチラール（ＰＶＢ）
を１５重量部、可塑剤としてジオクチルフタレート（Ｄ
ＯＰ）を５重量部、及び適量の分散剤、消泡剤をトルエ
ン、ｎ−ブチルアルコール、イソプロピルアルコールを
混合した溶剤１００重量部をボールミルで１５時間混合
しスラリーを作製した。このスラリーを攪拌脱泡装置に
より溶剤を揮発させながら消泡し、粘度を約２０，００
０ｃｐｓに調整し粘調なスラリー７を作製した。
【００１３】このスラリー７をドクターブレード装置６
により、前記したジルコニア粉末とカーボン粉末を含む
離型剤層３が形成されたポリエステルフィルム上に流し
だし（図３及び図４参照）、乾燥することにより厚さ約
１．０ｍｍのグリーンシート４を得た。このグリーンシ
ート４をポリエステルフィルムより剥離することによ
り、グリーンシート４側に離型剤層３を移行させた。次
に、金型によりこの離型剤層３が積層されたグリーンシ
ート４を一辺が４０ｍｍの四角の形状に打ち抜き、片面
に前記したジルコニア粉末とカーボン粉末を含む薄い離
型剤層３が形成されたＰＺＴの四角状のグリーンシート
断片を得た（図５参照）。
により、前記したジルコニア粉末とカーボン粉末を含む
離型剤層３が形成されたポリエステルフィルム上に流し
だし（図３及び図４参照）、乾燥することにより厚さ約
１．０ｍｍのグリーンシート４を得た。このグリーンシ
ート４をポリエステルフィルムより剥離することによ
り、グリーンシート４側に離型剤層３を移行させた。次
に、金型によりこの離型剤層３が積層されたグリーンシ
ート４を一辺が４０ｍｍの四角の形状に打ち抜き、片面
に前記したジルコニア粉末とカーボン粉末を含む薄い離
型剤層３が形成されたＰＺＴの四角状のグリーンシート
断片を得た（図５参照）。
【００１４】このグリーンシート断片をマグネシア製の
匣にジルコニア粉末とカーボン粉末を含んだ離型剤層３
の部分が下となるように５０枚積み上げ、１２５０℃、
５時間の条件で焼成した。このようにして焼成された焼
成体の５０枚は、一枚づつのＰＺＴ板に簡単に離型でき
た。更に離型剤層３が、均一に形成されているため焼成
されたＰＺＴ板の表面は、平滑であった。
匣にジルコニア粉末とカーボン粉末を含んだ離型剤層３
の部分が下となるように５０枚積み上げ、１２５０℃、
５時間の条件で焼成した。このようにして焼成された焼
成体の５０枚は、一枚づつのＰＺＴ板に簡単に離型でき
た。更に離型剤層３が、均一に形成されているため焼成
されたＰＺＴ板の表面は、平滑であった。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、グリーンシート作製用のキャリアテープ上にジルコ
ニア粉末とカーボン粉末を含む離型剤層を形成し、その
上にセラミックスのグリーンシートを形成し、乾燥後キ
ャリアテープ上より一体として剥離して、離型剤層をグ
リーンシート側に移行させ、このグリーンシートを打ち
抜き、積み上げて焼成するので、従来、焼成時に行われ
たようなジルコニア粉末を離型剤として塗布あるいは篩
により散布する必要がなく、均一に離型剤層を形成する
ことにより、簡単に離型処理ができる。また、このよう
なグリーンシートを用いて焼成したアルミナ基板、圧電
体、電子部品用基板等のセラミック基板等の表面は平滑
に作製できる。
ば、グリーンシート作製用のキャリアテープ上にジルコ
ニア粉末とカーボン粉末を含む離型剤層を形成し、その
上にセラミックスのグリーンシートを形成し、乾燥後キ
ャリアテープ上より一体として剥離して、離型剤層をグ
リーンシート側に移行させ、このグリーンシートを打ち
抜き、積み上げて焼成するので、従来、焼成時に行われ
たようなジルコニア粉末を離型剤として塗布あるいは篩
により散布する必要がなく、均一に離型剤層を形成する
ことにより、簡単に離型処理ができる。また、このよう
なグリーンシートを用いて焼成したアルミナ基板、圧電
体、電子部品用基板等のセラミック基板等の表面は平滑
に作製できる。
【図１】キャリアテープ上に離型剤を塗布して作製した
本発明のグリーンシート作製用フィルムを示す。
本発明のグリーンシート作製用フィルムを示す。
【図２】図１のａ−ｂ断面図である。
【図３】ドクターブレード装置によりセラミックスのグ
リーンシートを作製しているところを示す。
リーンシートを作製しているところを示す。
【図４】図３のｃ−ｄ断面図である。
【図５】離型剤層付キャリアテープ上に更にグリーンシ
ートを積層したものから離型剤層付キャリアテープを剥
離し所定形状に打ち抜いたグリーンシートの断片を示
す。
ートを積層したものから離型剤層付キャリアテープを剥
離し所定形状に打ち抜いたグリーンシートの断片を示
す。
【図６】離型剤層が形成されたグリーンシートを焼成用
台板の上に積み重ねた状態を示す。
台板の上に積み重ねた状態を示す。
１ 離型剤層付キャリアテープ ２ キャリアテープ ３ 離型剤層 ４ グリーンシート ５ シート乾燥部 ６ ドクターブレード装置 ７ スラリー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲鮎▼沢 一年 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 荒井 徹 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内 (72)発明者 加藤 博代 東京都港区虎ノ門１丁目７番12号 沖電気 工業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 焼成時に離型剤として作用する離型剤層
を表面に形成したキャリアテープ。 - 【請求項２】 離型剤層が、ジルコニア粉末、カーボン
粉末、バインダ及び溶剤からなるスラリーを塗布して形
成したものである請求項１記載のキャリアテープ。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のキャリアテープ上
にドクターブレード装置を用いてセラミックススラリー
を流しだし、乾燥し、キャリアテープを剥離して、離型
剤層をグリーンシートに移行させることを特徴とするグ
リーンシートの製造方法。 - 【請求項４】 離型剤層を形成するためのスラリーに使
用される溶剤が水系又は有機溶剤系の何れか一種の溶剤
が選択され、他方、グリーンシートを形成するためのス
ラリーに使用される溶剤が前記離型剤層を形成するため
のスラリーに使用される溶剤の種類と反対の性質の種類
の溶剤が選択されることを特徴とする請求項３記載のグ
リーンシートの製造方法。 - 【請求項５】 請求項３又は４記載のセラミックスグリ
ーシートを積み重ねて焼成することを特徴とするセラミ
ックス焼成体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4299478A JPH06143219A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | キャリアテープ、そのキャリアテープを使用したグリーンシートの製造方法、及びセラミックス焼成体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4299478A JPH06143219A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | キャリアテープ、そのキャリアテープを使用したグリーンシートの製造方法、及びセラミックス焼成体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06143219A true JPH06143219A (ja) | 1994-05-24 |
Family
ID=17873095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4299478A Withdrawn JPH06143219A (ja) | 1992-11-10 | 1992-11-10 | キャリアテープ、そのキャリアテープを使用したグリーンシートの製造方法、及びセラミックス焼成体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06143219A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005047723A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Kyocera Corp | セラミック焼成体の製造方法 |
| JP2007204326A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 平板状セラミックス成形体の乾燥方法 |
| JP2007533865A (ja) * | 2004-04-15 | 2007-11-22 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 金属繊維非焼結体の製造方法 |
-
1992
- 1992-11-10 JP JP4299478A patent/JPH06143219A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005047723A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Kyocera Corp | セラミック焼成体の製造方法 |
| JP2007533865A (ja) * | 2004-04-15 | 2007-11-22 | ナムローゼ・フェンノートシャップ・ベーカート・ソシエテ・アノニム | 金属繊維非焼結体の製造方法 |
| JP2007204326A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 平板状セラミックス成形体の乾燥方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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