JPH0317206B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0317206B2 JPH0317206B2 JP59098487A JP9848784A JPH0317206B2 JP H0317206 B2 JPH0317206 B2 JP H0317206B2 JP 59098487 A JP59098487 A JP 59098487A JP 9848784 A JP9848784 A JP 9848784A JP H0317206 B2 JPH0317206 B2 JP H0317206B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- sheets
- ceramic green
- laminated
- green sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Laminated Bodies (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
〔発明の属する技術分野〕
本発明は積層型のチツプ電子部品として用いら
れる積層セラミツクコンデンサや積層チツプイン
ダクタ等の電子部品の製造方法に関する。 〔従来技術〕 この種の製造方法の一例を、積層セラミツクコ
ンデンサの例をとつて第１図により説明する。 まず、誘電体と有機結合剤、可塑剤とを含む泥
漿を、第１図ａに示すようにドクターブレイド１
１によりキヤリアシート１２上に成膜し、乾燥機
１３により乾燥してキヤリア付グリーンシート１
４を作成する。その後、第１図ｂに示すように、
キヤリア付グリーンシート１４からグリーンシー
ト１５を剥離し、抜き装置１６で後述する積層金
型より一回り大きい形状に打ち抜きケース１７に
ストツクする。次に、目合せマーカを含む内部電
極パターンを印刷し乾燥する。更に、内部電極パ
ターンが設計位置にあるよう、目合せマーカを基
準位置に合せ、第１図ｃに示すように、打ち抜き
金型１８内に積層してゆく。そして、第１図ｄに
示すように、設定枚数の積層終了後、熱プレス機
１９によりプレスを行い、定形状に切断、焼成す
る。最後に、外部電極を形成する。 この場合、内部電極を印刷したシートは同一形
状のものを規定枚数だけ準備し、一枚ずつこの内
部電極印刷シートを目合せし、打抜き、金型への
積層を行う。しかも内部電極印刷シートは、コン
デンサ内で有効内部電極が交互に外部電極に短絡
する様積層する為、交互に向きを変えなければな
らない。 従来のこの方法で積層した生チツプの切断面を
観察すると、内部電極のズレが切りしろ（約１
mm）の半分の0.5mm程度有り、ズレのバラツキが
非常に大きい。これは積層枚数が多いほど顕著で
ある。そしてこの積層ズレは積層セラミツクコン
デンサに於いて、内部電極部と切りしろ（内部電
極のない部分）との密度差の大きい部位に位置す
る為、電圧印加時対向電極もしくは対向の外部電
極とのシヨートとなつて現われ、信頼性は大きく
低下する。この積層ズレは目合せマーカの印刷精
度、そして目合せ精度に起因するところが大であ
り、両者の精度向上が印刷にじみ等により阻害さ
れ非常に困難である。 〔発明の目的〕 本発明はこの欠点を除去し、積層ズレの度合を
小さくした信頼性の高い積層セラミツク部品を提
供しようとするものである。 〔発明の構成〕 本発明は、セラミツクシートの打抜き−内部電
極の印刷、乾燥−積層の一連の工程をセラミツク
シートを吸着パツドに吸着させたまま行い、印刷
精度、マーカの位置合せによる積層ズレをなくし
た方法である。 すなわち、本発明では積層ズレの誤差として
（印刷精度＋積層精度）の２項目を考えればよく、
〔従来はこれに（マーカー印刷精度＋マーカー位
置合せ精度）をプラスして考慮しなければならな
い。〕積層ズレの要因を減らし、その度合いを極
端に小さくすることができる。 〔実施例〕 次に、第２図を参照して本発明の実施例を説明
する。 誘電体磁気素材としては、Pb（Nb1/2、Fe1/2）
（Ｗ1/3）O3を組成とする複合ペロブスカイト系
誘電体材料を使用した。この材料を混合、予焼、
湿式粉砕してポリビニルブチラールの有機結合剤
と溶剤とから泥漿を作成する。次に、第２図ａに
示すように、キヤリアフイルム２２上に30μのグ
リーンシートを有するキヤリア付グリーンシート
２４をドクターブレイド２１により作成する。２
３は乾燥機である。 このキヤリア付グリーンシート２４は、第２図
ｂに示す工程でグリーンシート２５が剥離され、
抜き装置２６で100×120mm形状に打ち抜きながら
保持手段としての吸着パツド３０に吸着させる。
そして、第２図ｃに示すように、吸着パツド３０
への吸着状態のままで印刷機３１によりスクリー
ン３２を通してシート２５′に内部電極パターン
の印刷が行われる。次に、第２図ｄに示すよう
に、熱風ドライヤ３３により乾燥を行う。勿論、
この工程も吸着パツド３０で吸着したままで行わ
れる。 第２図ｅでは乾燥終了後のシート２５′が吸着
パツド３０で打ち抜き金型２８へ積層される。そ
して、所定枚数だけ積層されると、熱プレス機２
９により熱圧着が行われる。 この場合の内部電極印刷シート枚数は61枚であ
り、内部電極ペーストはAg粉及びPd粉と有機結
合剤、可塑剤とを混練したものである。この積層
体を12×16mmに外周刃切断機で切断し、脱バイン
ダー、焼成し、外部Ag電極の塗布、焼付けを行
い、積層セラミツクコンデンサの信頼性試験を行
つた。この結果を第１表に示す。なお、抜き装置
２６のカツターの熱防御の為、冷却管３４を取り
付けた。印刷機３１はスクリーン印刷でナイロン
メツシユ＃200を使用し、塗布コータとしてはグ
ラビアコータの改造タイプを使用した。
れる積層セラミツクコンデンサや積層チツプイン
ダクタ等の電子部品の製造方法に関する。 〔従来技術〕 この種の製造方法の一例を、積層セラミツクコ
ンデンサの例をとつて第１図により説明する。 まず、誘電体と有機結合剤、可塑剤とを含む泥
漿を、第１図ａに示すようにドクターブレイド１
１によりキヤリアシート１２上に成膜し、乾燥機
１３により乾燥してキヤリア付グリーンシート１
４を作成する。その後、第１図ｂに示すように、
キヤリア付グリーンシート１４からグリーンシー
ト１５を剥離し、抜き装置１６で後述する積層金
型より一回り大きい形状に打ち抜きケース１７に
ストツクする。次に、目合せマーカを含む内部電
極パターンを印刷し乾燥する。更に、内部電極パ
ターンが設計位置にあるよう、目合せマーカを基
準位置に合せ、第１図ｃに示すように、打ち抜き
金型１８内に積層してゆく。そして、第１図ｄに
示すように、設定枚数の積層終了後、熱プレス機
１９によりプレスを行い、定形状に切断、焼成す
る。最後に、外部電極を形成する。 この場合、内部電極を印刷したシートは同一形
状のものを規定枚数だけ準備し、一枚ずつこの内
部電極印刷シートを目合せし、打抜き、金型への
積層を行う。しかも内部電極印刷シートは、コン
デンサ内で有効内部電極が交互に外部電極に短絡
する様積層する為、交互に向きを変えなければな
らない。 従来のこの方法で積層した生チツプの切断面を
観察すると、内部電極のズレが切りしろ（約１
mm）の半分の0.5mm程度有り、ズレのバラツキが
非常に大きい。これは積層枚数が多いほど顕著で
ある。そしてこの積層ズレは積層セラミツクコン
デンサに於いて、内部電極部と切りしろ（内部電
極のない部分）との密度差の大きい部位に位置す
る為、電圧印加時対向電極もしくは対向の外部電
極とのシヨートとなつて現われ、信頼性は大きく
低下する。この積層ズレは目合せマーカの印刷精
度、そして目合せ精度に起因するところが大であ
り、両者の精度向上が印刷にじみ等により阻害さ
れ非常に困難である。 〔発明の目的〕 本発明はこの欠点を除去し、積層ズレの度合を
小さくした信頼性の高い積層セラミツク部品を提
供しようとするものである。 〔発明の構成〕 本発明は、セラミツクシートの打抜き−内部電
極の印刷、乾燥−積層の一連の工程をセラミツク
シートを吸着パツドに吸着させたまま行い、印刷
精度、マーカの位置合せによる積層ズレをなくし
た方法である。 すなわち、本発明では積層ズレの誤差として
（印刷精度＋積層精度）の２項目を考えればよく、
〔従来はこれに（マーカー印刷精度＋マーカー位
置合せ精度）をプラスして考慮しなければならな
い。〕積層ズレの要因を減らし、その度合いを極
端に小さくすることができる。 〔実施例〕 次に、第２図を参照して本発明の実施例を説明
する。 誘電体磁気素材としては、Pb（Nb1/2、Fe1/2）
（Ｗ1/3）O3を組成とする複合ペロブスカイト系
誘電体材料を使用した。この材料を混合、予焼、
湿式粉砕してポリビニルブチラールの有機結合剤
と溶剤とから泥漿を作成する。次に、第２図ａに
示すように、キヤリアフイルム２２上に30μのグ
リーンシートを有するキヤリア付グリーンシート
２４をドクターブレイド２１により作成する。２
３は乾燥機である。 このキヤリア付グリーンシート２４は、第２図
ｂに示す工程でグリーンシート２５が剥離され、
抜き装置２６で100×120mm形状に打ち抜きながら
保持手段としての吸着パツド３０に吸着させる。
そして、第２図ｃに示すように、吸着パツド３０
への吸着状態のままで印刷機３１によりスクリー
ン３２を通してシート２５′に内部電極パターン
の印刷が行われる。次に、第２図ｄに示すよう
に、熱風ドライヤ３３により乾燥を行う。勿論、
この工程も吸着パツド３０で吸着したままで行わ
れる。 第２図ｅでは乾燥終了後のシート２５′が吸着
パツド３０で打ち抜き金型２８へ積層される。そ
して、所定枚数だけ積層されると、熱プレス機２
９により熱圧着が行われる。 この場合の内部電極印刷シート枚数は61枚であ
り、内部電極ペーストはAg粉及びPd粉と有機結
合剤、可塑剤とを混練したものである。この積層
体を12×16mmに外周刃切断機で切断し、脱バイン
ダー、焼成し、外部Ag電極の塗布、焼付けを行
い、積層セラミツクコンデンサの信頼性試験を行
つた。この結果を第１表に示す。なお、抜き装置
２６のカツターの熱防御の為、冷却管３４を取り
付けた。印刷機３１はスクリーン印刷でナイロン
メツシユ＃200を使用し、塗布コータとしてはグ
ラビアコータの改造タイプを使用した。
従来方法では、工程が単一で、連続工程ではな
く、内部電極印刷シートがストツクヤードに保管
されていたため位置決めに熟練を要していたが、
本発明方法のようにすれば、生産性が大幅に向上
できる。また、シートの積層ズレの度合を小さく
して高信頼性の積層セラミツク部品を提供でき
る。
く、内部電極印刷シートがストツクヤードに保管
されていたため位置決めに熟練を要していたが、
本発明方法のようにすれば、生産性が大幅に向上
できる。また、シートの積層ズレの度合を小さく
して高信頼性の積層セラミツク部品を提供でき
る。
第１図ａ〜ｄは従来の製造方法の工程を示す図
で、第２図ａ〜ｆは本発明方法の工程を示した図
である。 図中、１１，２１はドクターブレイド、１２，
２２はキヤリアシート、１３，２３は乾燥機、１
４，２４はキヤリア付グリーンシート、１５，２
５はグリーンシート、１６，２６は抜き装置、１
８，２８は打ち抜き金型、１９，２９は熱プレス
機、３０は吸着パツド、３１は印刷機、３２はス
クリーン、３３は熱風ドライヤ。
で、第２図ａ〜ｆは本発明方法の工程を示した図
である。 図中、１１，２１はドクターブレイド、１２，
２２はキヤリアシート、１３，２３は乾燥機、１
４，２４はキヤリア付グリーンシート、１５，２
５はグリーンシート、１６，２６は抜き装置、１
８，２８は打ち抜き金型、１９，２９は熱プレス
機、３０は吸着パツド、３１は印刷機、３２はス
クリーン、３３は熱風ドライヤ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ セラミツクスのグリーン（生）シートに内部
電極を印刷し積層するセラミツク部品の製造方法
に於いて、 () 有機フイルムのキヤリア膜にセラミツクス
グリーンシートを連続して成膜する工程と、 () この後、前記セラミツクスグリーンシート
を前記キヤリア膜から剥離して所望の寸法に打
ち抜く工程と、 () 前記工程（）で保持手段に前記打ち抜か
れたセラミツクスグリーンシートを保持させた
状態で、シート背面にスクリーンを介して導電
性内部電極を印刷する工程と、 () 引き続き前記保持手段に保持させたままで
シートを乾燥させる工程と、 () この後、金型に前記工程（）で得られた
シートを挿入する工程と、 () 以下、前記工程（）〜（）をくり返
し、シートを積層する工程と、 () 前記工程（）で積層されたシートを熱圧
着する工程とを含み、前記工程（）〜前記工
程（）の順に積層セラミツクコンデンサを製
造することを特徴とする積層セラミツクコンデ
ンサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9848784A JPS60244014A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 積層セラミツク部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9848784A JPS60244014A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 積層セラミツク部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60244014A JPS60244014A (ja) | 1985-12-03 |
| JPH0317206B2 true JPH0317206B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=14221008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9848784A Granted JPS60244014A (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | 積層セラミツク部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60244014A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102667167A (zh) * | 2010-02-02 | 2012-09-12 | 三菱重工业株式会社 | 离心泵 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR920009170B1 (ko) * | 1988-03-07 | 1992-10-14 | 마쓰시다 덴기 산교 가부시기가이샤 | 적층세라믹 전자부품의 제조방법 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60189211A (ja) * | 1984-03-07 | 1985-09-26 | 太陽誘電株式会社 | 積層磁器コンデンサ用生シ−トの加工方法及び装置 |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP9848784A patent/JPS60244014A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102667167A (zh) * | 2010-02-02 | 2012-09-12 | 三菱重工业株式会社 | 离心泵 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60244014A (ja) | 1985-12-03 |
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