JPH0614546B2 - 複合サイリスタ - Google Patents
複合サイリスタInfo
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- JPH0614546B2 JPH0614546B2 JP2822590A JP2822590A JPH0614546B2 JP H0614546 B2 JPH0614546 B2 JP H0614546B2 JP 2822590 A JP2822590 A JP 2822590A JP 2822590 A JP2822590 A JP 2822590A JP H0614546 B2 JPH0614546 B2 JP H0614546B2
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- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 title 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 17
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- JCALBVZBIRXHMQ-UHFFFAOYSA-N [[hydroxy-(phosphonoamino)phosphoryl]amino]phosphonic acid Chemical compound OP(O)(=O)NP(O)(=O)NP(O)(O)=O JCALBVZBIRXHMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は低電圧回路のサージ防護に好適する複合サイリ
スタに関するものである。
スタに関するものである。
(従来技術と解決すべき問題点) 第1図に示す段面図のようにP1 N1 PN2 P2 の5層
からなり、P1 とN1 層を金属電極T1 により短絡し、
N2 とP2 層を金属電極T2 により短絡した構成をもつ
両方向短絡エミッタ型2端子サイリスタは、通信回路そ
の他の回路に接続された電子機器回路のサージ防護素子
と広く用いられるようになりつつある。
からなり、P1 とN1 層を金属電極T1 により短絡し、
N2 とP2 層を金属電極T2 により短絡した構成をもつ
両方向短絡エミッタ型2端子サイリスタは、通信回路そ
の他の回路に接続された電子機器回路のサージ防護素子
と広く用いられるようになりつつある。
しかし上記の如きPNPNP型サイリスタを用いて、横
サージと縦サージの両サージに対して防護作用を発揮さ
せるためには、第2図に示すように被防護機器回路Mが
接続された線路L1 ,L2 間に、中点が接地Eされた直
列の縦サージ用サイリスタZ1 ,Z2 を接続し、また横
サージ用としてサイリスタZ3 を接続しなければならな
い。従って回路構成が複雑となる。
サージと縦サージの両サージに対して防護作用を発揮さ
せるためには、第2図に示すように被防護機器回路Mが
接続された線路L1 ,L2 間に、中点が接地Eされた直
列の縦サージ用サイリスタZ1 ,Z2 を接続し、また横
サージ用としてサイリスタZ3 を接続しなければならな
い。従って回路構成が複雑となる。
また最近の電子機器回路の集積化はサイリスタの低耐圧
(VBO)化を要求し、また電子機器回路のデジタル化は
サイリスタの低静電容量化を強く要求している。しかし
第1図に示した構造では、その耐圧は例えば共通基板で
あるPの厚み(比抵抗)によって定まるため、要求され
る耐圧としたとき厚さが薄くなりすぎて製造が困難であ
り、特性の不均一を生じ易い。
(VBO)化を要求し、また電子機器回路のデジタル化は
サイリスタの低静電容量化を強く要求している。しかし
第1図に示した構造では、その耐圧は例えば共通基板で
あるPの厚み(比抵抗)によって定まるため、要求され
る耐圧としたとき厚さが薄くなりすぎて製造が困難であ
り、特性の不均一を生じ易い。
また通常の構造では静電容量は、第1図の接合J2 の面
積と共通基板であるP層の比抵抗によって定まり、比抵
抗が小になると静電容量は大となる。従って上記のよう
に低耐圧化のため、P層の厚みを小としたときには静電
容量は大となる。従って耐圧,静電容量が共に小さいサ
イリスタを作り得ず、デジタル化された集積回路の防護
を行いサイリスタの実現は難しい。
積と共通基板であるP層の比抵抗によって定まり、比抵
抗が小になると静電容量は大となる。従って上記のよう
に低耐圧化のため、P層の厚みを小としたときには静電
容量は大となる。従って耐圧,静電容量が共に小さいサ
イリスタを作り得ず、デジタル化された集積回路の防護
を行いサイリスタの実現は難しい。
またサイリスタのサージ耐量はターンオン移行領域にお
ける電力損失と、初期点弧が領域全面に広がるスピード
によって定まるが、初期点弧位置は第1図の接合J1 J
2 や、横方向抵抗等の製作時などに生ずる微妙な不均一
によって変動する。従って均一なサージ電流流量をもつ
ものの製作が難かしい。従って前記第2図のように3個
のサイリスタZ1 Z2 Z3 の特性の不均一を生じて動作
不良のおそれを招き易い。
ける電力損失と、初期点弧が領域全面に広がるスピード
によって定まるが、初期点弧位置は第1図の接合J1 J
2 や、横方向抵抗等の製作時などに生ずる微妙な不均一
によって変動する。従って均一なサージ電流流量をもつ
ものの製作が難かしい。従って前記第2図のように3個
のサイリスタZ1 Z2 Z3 の特性の不均一を生じて動作
不良のおそれを招き易い。
(発明の目的) 本発明は先に本発明者が提案したサイリスタ構造を応用
し、縦,横両サージに対して1個のサイリスタにより防
護を行うことができるのみでなく、デジタル化された集
積回路の防護を行いうる低耐圧,低静電容量、しかもサ
ージ耐量の大きい均一な特性をもつ複合サイリスタの実
現を図ったものである。
し、縦,横両サージに対して1個のサイリスタにより防
護を行うことができるのみでなく、デジタル化された集
積回路の防護を行いうる低耐圧,低静電容量、しかもサ
ージ耐量の大きい均一な特性をもつ複合サイリスタの実
現を図ったものである。
(問題点を解決するための本発明の手段) 本発明者は先に前記第1図のサイリスタの各種の問題点
を解決しうるサイリスタを提案した。このサイリスタは
第3図(a)に示す断面図のように接合J2 J3 が表面露
呈した部分の一部、或いは第3図(b)に示す断面図のよ
うにP1 P5 層の直下に接合J2 J3 の他の部分に比べ
て耐圧の低い領域Lを例えばP+ 層によって設けて、以
下の動作が行われようにしたものである。なお第3図に
おいてIは絶縁膜である。
を解決しうるサイリスタを提案した。このサイリスタは
第3図(a)に示す断面図のように接合J2 J3 が表面露
呈した部分の一部、或いは第3図(b)に示す断面図のよ
うにP1 P5 層の直下に接合J2 J3 の他の部分に比べ
て耐圧の低い領域Lを例えばP+ 層によって設けて、以
下の動作が行われようにしたものである。なお第3図に
おいてIは絶縁膜である。
即ち第4図(a)に示す動作説明用の単方向サイリスタに
おいて、順方向であるT1 からT2 の方向に電流を流す
と、接合J2 に逆方向電圧に加わり、これによって先ず
低耐圧領域Lが第5図の電圧VBでブレークダウンし、
この部分に電流が集中して流れる。この電流が増加する
とP1層の直下のN2層の横方向抵抗Rに生ずる電圧によ
り接合J1 の左方が順バイアスされ、低耐圧領域におい
てバイアス値が最大となる。そしてこれが接合J1 の拡
散電位を越えるとP1 層から正孔の注入が行われて、第
5図のブレークオーバー電流IL で電極T1T2 間がタ
ーンオン状態に移行するようにしたものである。
おいて、順方向であるT1 からT2 の方向に電流を流す
と、接合J2 に逆方向電圧に加わり、これによって先ず
低耐圧領域Lが第5図の電圧VBでブレークダウンし、
この部分に電流が集中して流れる。この電流が増加する
とP1層の直下のN2層の横方向抵抗Rに生ずる電圧によ
り接合J1 の左方が順バイアスされ、低耐圧領域におい
てバイアス値が最大となる。そしてこれが接合J1 の拡
散電位を越えるとP1 層から正孔の注入が行われて、第
5図のブレークオーバー電流IL で電極T1T2 間がタ
ーンオン状態に移行するようにしたものである。
また上記と逆方向の電圧が印加された場合には、第4図
(b)に示す単方向サイリスタにおいて同様の動作が行わ
れるようにしたものである。
(b)に示す単方向サイリスタにおいて同様の動作が行わ
れるようにしたものである。
この構造によれば耐圧は低耐圧領域Lの耐圧によって定
まるので、その設計により所要の耐圧のサイリスタを得
ることができ、また静電容量値従って接合J2 の接合容
量値は、大部分を占める低耐圧領域L以外の部分で定ま
ることから、通常の構造のものに比較して低静電容量と
なり、低耐圧低静電容量のサイリスタの実現が可能とな
る。
まるので、その設計により所要の耐圧のサイリスタを得
ることができ、また静電容量値従って接合J2 の接合容
量値は、大部分を占める低耐圧領域L以外の部分で定ま
ることから、通常の構造のものに比較して低静電容量と
なり、低耐圧低静電容量のサイリスタの実現が可能とな
る。
本発明はこの短絡エミッタ型サイリスタ構造を応用し
て、1個のサイリスタによりサージ防護を行いうる低耐
圧低静電容量、しかもサージ電流耐量の大きいサイリス
タを提供しようとするものである。次に本発明を実施例
により詳細に説明する。
て、1個のサイリスタによりサージ防護を行いうる低耐
圧低静電容量、しかもサージ電流耐量の大きいサイリス
タを提供しようとするものである。次に本発明を実施例
により詳細に説明する。
第6図は本発明の実施例を示す断面図であって、P型半
導体を共通基板としてその一面とN11層とP11層および
N21層とP21層を設け、また他面にはN13層とP13層お
よびN23層とP23層を設ける。また接合J12とJ21およ
び接合J13とJ23の表面への露呈部分にはP+ 層により
低耐圧の領域Lを設けた5層構造S1 S2 を形成する。
そしてP11層とN11層を第1金属電極T1 により短絡
し、P21層とN21層を第2金属電極T2 により短絡する
と共に、他面のP13層とN11層、およびP23層とN23層
を、第3金属電極T3 により共通に短絡して一つの電極
として、第7図に示す等価回路をもつ複合サイリスタと
して以下に述べる動作を行うようにしたものである。な
お第7図において、第6図と同一符号部分は同等部分を
示し、図中の抵抗R11 RP P23は電流の流路に沿った
各層の横方向抵抗を示す。またツェナダイオードZD12
ZD23は低耐圧領域Lの耐圧を示す。
導体を共通基板としてその一面とN11層とP11層および
N21層とP21層を設け、また他面にはN13層とP13層お
よびN23層とP23層を設ける。また接合J12とJ21およ
び接合J13とJ23の表面への露呈部分にはP+ 層により
低耐圧の領域Lを設けた5層構造S1 S2 を形成する。
そしてP11層とN11層を第1金属電極T1 により短絡
し、P21層とN21層を第2金属電極T2 により短絡する
と共に、他面のP13層とN11層、およびP23層とN23層
を、第3金属電極T3 により共通に短絡して一つの電極
として、第7図に示す等価回路をもつ複合サイリスタと
して以下に述べる動作を行うようにしたものである。な
お第7図において、第6図と同一符号部分は同等部分を
示し、図中の抵抗R11 RP P23は電流の流路に沿った
各層の横方向抵抗を示す。またツェナダイオードZD12
ZD23は低耐圧領域Lの耐圧を示す。
このサイリスタにおいては、電極T1 からT2 の方向に
電圧が印加された場合には、P11 N11 P N21は本質
的には短絡ベース型サイリスタであるが、低耐圧領域が
ない場合には各層の相対位置関係から接合J12がブレー
クダウンしたとき、N11P N21層に電流が流れて3層
ダイオードの特性となりオン状態に移行しない。
電圧が印加された場合には、P11 N11 P N21は本質
的には短絡ベース型サイリスタであるが、低耐圧領域が
ない場合には各層の相対位置関係から接合J12がブレー
クダウンしたとき、N11P N21層に電流が流れて3層
ダイオードの特性となりオン状態に移行しない。
しかし低耐圧領域が存在すると、ツェナダイオードZD
12がブレークダウンして、電流が〔T1 →N11→R11→
→ZD12→P→RP→P→ N21→T2 〕に流れる。そ
してこの電流が増加すると、P層の横方向抵抗RP によ
る電圧降下によって〔P→N13→N23R23→→ZD23→
P〕にも電圧がかかった状態になる。
12がブレークダウンして、電流が〔T1 →N11→R11→
→ZD12→P→RP→P→ N21→T2 〕に流れる。そ
してこの電流が増加すると、P層の横方向抵抗RP によ
る電圧降下によって〔P→N13→N23R23→→ZD23→
P〕にも電圧がかかった状態になる。
この状態は第7図に示す等価回路において、サイリスタ
の電極T1 とT2 間にサイリスタ〔P11 N11 P
N13〕および〔P23 N23 P N21 〕が直列に接続さ
れ、それぞれ〔N11 Pゲート〕と〔N23 Pゲート〕に
点呼電流が流出入していることに相当するので、電極T
1 →T2 →T3 の経路で電極T1 T2 間がオン状態に移
行することになる。この動作状態は電圧印加の方向を逆
にした場合にも成立する。従って電極T1 T2 間、T2
T3 間、T1 T2 間が実質的に等しい耐圧の両方向サイ
リスタ作用を行うことになる。
の電極T1 とT2 間にサイリスタ〔P11 N11 P
N13〕および〔P23 N23 P N21 〕が直列に接続さ
れ、それぞれ〔N11 Pゲート〕と〔N23 Pゲート〕に
点呼電流が流出入していることに相当するので、電極T
1 →T2 →T3 の経路で電極T1 T2 間がオン状態に移
行することになる。この動作状態は電圧印加の方向を逆
にした場合にも成立する。従って電極T1 T2 間、T2
T3 間、T1 T2 間が実質的に等しい耐圧の両方向サイ
リスタ作用を行うことになる。
従って例えば第8図のように電極T1 T2 を線路L1 L
2 間に接続し、電極T3 を接地Eに落として通信回線に
おける機器Mの防護に使用すれば、前記第2図に示すサ
イリスタZ1 Z2 Z3 の計3個の役割を1個で果たすこ
とができる。
2 間に接続し、電極T3 を接地Eに落として通信回線に
おける機器Mの防護に使用すれば、前記第2図に示すサ
イリスタZ1 Z2 Z3 の計3個の役割を1個で果たすこ
とができる。
またこの複合サイリスタを形成する5層サイリスタはそ
れぞれ低耐圧領域Lを備えている。従って前記第3図,
第4図で説明したようにP層の厚みを小とすることなく
低耐圧化が可能となり、特性が均一であって低静電容量
の複合サイリスタを得ることがでる。これに加えて初期
点弧位置も一定となるので、サージ防護耐量のばらつき
が少なくしかもサージ電流耐量が大となる。従って本発
明によれば従来のものに比べて更に使用が簡単であって
動作が確実、しかも製作が容易な低耐圧であってデジタ
ル化された電子機器回路のサージ防護に好適する複合サ
イリスタを提供できる。
れぞれ低耐圧領域Lを備えている。従って前記第3図,
第4図で説明したようにP層の厚みを小とすることなく
低耐圧化が可能となり、特性が均一であって低静電容量
の複合サイリスタを得ることがでる。これに加えて初期
点弧位置も一定となるので、サージ防護耐量のばらつき
が少なくしかもサージ電流耐量が大となる。従って本発
明によれば従来のものに比べて更に使用が簡単であって
動作が確実、しかも製作が容易な低耐圧であってデジタ
ル化された電子機器回路のサージ防護に好適する複合サ
イリスタを提供できる。
以上本発明をPNPNP型について説明したが、伝導型
を逆にしたものを作りうることは云うまでもない。また
サイリスタの信頼性の向上のため、第3図にようにチャ
ネルストッパとなるPL 層を設けるなどの従来公知の手
段を適用できる。
を逆にしたものを作りうることは云うまでもない。また
サイリスタの信頼性の向上のため、第3図にようにチャ
ネルストッパとなるPL 層を設けるなどの従来公知の手
段を適用できる。
(発明の効果) 以上から明らかなように本発明によれば、使用が簡単で
あって動作の確実なデジタル化集積回路からなる電子機
器回路のサージ防護素子を提供できる。
あって動作の確実なデジタル化集積回路からなる電子機
器回路のサージ防護素子を提供できる。
第1図,第2図は従来素子の説明図、第3図,第4図は
本発明によって提案された複合サイリスタの説明図、第
5図,第6図,第7図,第8図は本発明の実施例の説明
図である。
本発明によって提案された複合サイリスタの説明図、第
5図,第6図,第7図,第8図は本発明の実施例の説明
図である。
Claims (1)
- 【請求項1】P(N)型半導体を共通基板として、順方
向耐圧をきめる接合部の一部にそれぞれ他の部分に比し
て耐圧の低い領域を設けた2組のPNPNP(NPNP
N)5層構造を形成すると共に、一面の表面にそれぞれ
露呈させた2組のP(N)エミッタとN(P)ベースを
それぞれ独立に短絡して第1,第2の電極として、他面
の表面にそれぞれ露呈させた2組のP(N)エミッタと
N(P)ベースを共通に短絡して第3の電極としたこと
を特徴とする複合サイリスタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2822590A JPH0614546B2 (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | 複合サイリスタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2822590A JPH0614546B2 (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | 複合サイリスタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03233973A JPH03233973A (ja) | 1991-10-17 |
| JPH0614546B2 true JPH0614546B2 (ja) | 1994-02-23 |
Family
ID=12242671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2822590A Expired - Fee Related JPH0614546B2 (ja) | 1990-02-09 | 1990-02-09 | 複合サイリスタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0614546B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3142617B2 (ja) * | 1991-11-27 | 2001-03-07 | 新電元工業株式会社 | サージ防護素子 |
| US5500377A (en) * | 1994-09-06 | 1996-03-19 | Motorola, Inc. | Method of making surge suppressor switching device |
| JP2012054356A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体装置 |
-
1990
- 1990-02-09 JP JP2822590A patent/JPH0614546B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03233973A (ja) | 1991-10-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |