JPH0615760U - 液体塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 特殊な形状をしたセラミック材料の表面の特
定位置にレジスト等の液体を塗布するのに好適な液体塗
布装置を提供する。 【構成】 二平面がある角度で交差して壁を形成してお
り、壁の内側面の夫々に、二平面の交線に平行に液溜め
用の溝が設けられており、液溜め用の溝には液供給口が
開口されてなり、さらに液溜め用の溝に液を供給するた
めの液供給管が液供給口に接続された液体塗布装置。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、セラミック−金属膜複合体の金属膜の不要部分をエッチングする際 にレジスト等の液体を上記の複合体の表面に塗布するのに好適な液体塗布装置に 関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、セラミック−金属膜複合体を得るには、セラミック材料の全表面に形成 した金属膜の不要部分以外の部分にレジストを塗布して硬化させ、レジストで被 覆されていない金属膜をエッチングにより除去するという方法が採用されている 。

【０００３】 図２（ａ）に示したように、四辺形の板状体４の周囲に、板状体平面より突設 した壁体５が設けられたような形状のセラミック材料の場合には、図２（ｂ）（ 第２図（ａ）のＡＡ断面図）に太線で示した部分、即ち、壁体５の内面、外面及 び上面にレジストが塗布される。しかも、内面の塗布幅よりも外面の塗布幅が大 きくなるように塗布される。

【０００４】 このようにレジストをセラミック材料に塗布する方法として次のような方法が 採用されていた。即ち、まず、壁体５の外面が上になるようにセラミック材料を 縦一列に並べて、所定の塗布幅でスクリーン印刷等の方法でレジストを塗布する 工程と、浅い容器中に壁体５の内面の塗布幅分の深さまでレジストを入れ、その 中に上記のセラミック材料の壁体５を下方にして浸漬し、壁体５の内面に所定の 塗布幅で、また、壁体５の上面にレジストを塗布する工程の２工程よりなる方法 である。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記の方法によると、セラミック材料の壁体にレジストを塗布 する作業が２工程となる上、１工程目において、セラミック材料１個につき壁体 の外面が４面もあるために、セラミック材料の壁体の外面を上に向けて縦一列に 並べる作業に多くの人手を要し、その作業性は必ずしも良好ではなかった。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案者は、上記した問題に鑑み、セラミック材料の形状が上記した四辺形の 板状体の周囲に板状体平面より突設した壁体が設けられた形状であっても、容易 に精度よくレジストを塗布するための装置を開発することを目的として種々検討 を加えた結果、本考案を提案するに至った。

【０００７】 即ち、本考案は、交差した二平面よりなる壁の内側面の夫々に、二平面の交線 に平行に液溜め用の溝が設けられてなり、液溜め用の溝には液供給口が開口され てなり、さらに液溜め用の溝に液を供給するための液供給管が液供給口に接続さ れてなる液体塗布装置である。

【０００８】 以下、添付図面を用いて本考案を説明する。

【０００９】 尚、以下の説明においては、セラミック材料にレジストを塗布する場合につい て述べるが、本考案はこれに限定されるものではなく、種々の形状及び材質の成 形体に比較的粘性の高い液体を塗布する場合に適用可能である。

【００１０】 図１は、本考案の液体塗布装置の斜視図である。

【００１１】 壁１は、二つの平面がある角度をなしてＶ字型に交差して形成されている。二 つの平面のなす角度（θ）は、セラミック材料の壁体５の内面及び外面へ塗布す るレジストの塗布幅の差に応じて決定される。しかし、あまりθが小さい場合に は、後述する液溜め用の溝３へレジストを入れても、レジストが流出する惧れが あり、逆にあまりθが大きい場合には、セラミック材料の壁体５の内面及び外面 へのレジストの塗布幅にほとんど差を設けることができなくなるため、通常、θ は６０〜１２０°の範囲から採用される。

【００１２】 また、壁１の内側面の夫々には、二平面の交線２に平行に液溜め用の溝３が設 けられている。液溜め用の溝３を設ける位置は、セラミック材料の形状に応じて 決定される。例えば、セラミック材料が正方形又は長方形の場合には、液溜め用 の溝３は、夫々の壁１の内側面に交線２を軸にして対称となるように設けられる 。液溜め用の溝３にはレジストが入れられる。液溜め用の溝３の交線２に垂直な 平面で切断した断面の形状は、レジストの保液が可能な形状であればよく、何ら 制限されない。例えば、図３に示すように三角形（ａ）、台形（ｂ）及び長方形 （ｃ）等が挙げられる。これらの液溜め用の溝３の長さや深さは、セラミック材 料の大きさ、レジストの塗布幅や粘度に応じて決定すれば良い。

【００１３】 本考案においては、図１に示したように、上記した液溜め用の溝３のすべてに 液供給口６が設けられている。液供給口６を設ける位置は特に制限されず、液溜 め用の溝３を形成する壁面であれば、側面および底面のいずれであってもよい。

【００１４】 さらに、図１の断面図である図４に示されているように、液供給管７の一端は 、交差した二平面よりなる壁よりも下方において液供給口６に接続されている。 液供給管は、液体塗布装置本体が中実のときは液体塗布装置本体内に穿たれた穴 であってよく、また、液体塗布装置本体が中空のときは単に配管であってよい。 各液溜め用の溝からの液供給管は、それぞれ独立に液体塗布装置本体の側面ある いは底面において他端を開口していてもよく、また、図４に示すようにそれぞれ が一つにまとまって液体塗布装置の側面または底面に開口していてもよい。

【００１５】 液供給管７の他端には液の逆流防止装置が設けられていることが好ましい。液 の逆流防止装置としては、図４に示すように、液供給管７の他端において、液供 給管７の内径よりも小さい球８を該液供給管内に有し、該球８が液供給管外に出 ないように液供給管の先端の内径は球８の外径よりも小さく絞られており、且つ 、該先端に球８を押しつけて液の逆流を防止するためのバネ９を液供給管内に有 する構造のものが、簡単な構造であるために本考案において好適に用いられる。

【００１６】 本考案の液体塗布装置を用いてセラミック材料にレジストを塗布する方法を説 明すると、まず、液溜め用の溝３に、液供給管７を通して液供給口６からレジス トが充填される。このとき、レジストを液供給管７に注入する装置は、注入口先 端に突起を有しており、注入口先端を液供給管７の他端に接続したときに、注入 口先端の突起が液逆流防止装置の球を押すことによって液供給管の先端と球との 間に間隙を形成させ、その間隙からレジストを注入する装置が使用される。レジ ストの注入が終わると、液供給管内の球８はバネ９の力によって、内径の絞られ た液供給管７の先端部に押し付けられ、液の逆流が防止される。液溜め用の溝に 供給された余分のレジストはドクターブレード等の公知の手段によってかき取ら れる。 次いで、セラミック材料の壁体５を液溜め用の溝３内に浸漬した後引き 上げる。このようにしてセラミック材料の相対する１対の壁体にレジストを塗布 することができる。残り１対の壁体にレジストを塗布する場合には、上記の操作 を繰返すか、又は、図５に示すように残り１対の壁体への塗布用に１対の液溜め 用の溝３′を別途設け、これら２対の液溜め用の溝３及び３′へ２対の壁体を順 に浸漬する方法が採用される。

【００１７】

【効果】

本考案の液体塗布装置によれば、前記した四辺形の板状体４の周囲に板状体平 面より突設した壁体５が設けられたセラミック材料の壁体５の内側と外側を異な る塗布幅でレジストを塗布する場合、わずかに１回の操作で容易に行なうことが できる。その際、壁体５の内側と外側の塗布幅の差は、二つの平面のなす角度（ θ）を適当に選択することによって容易に調節し得るし、また、塗布幅の増減は 、液溜め用の溝の深さを選択することによって調節することができる。

【００１８】 さらに、レジストの供給は、液供給管を経由して液供給口から行われるために 迅速に且つ正確に行なうことができる。

【００１９】 従って、本考案の液体塗布装置を用いることによって、任意の塗布幅のレジス トが塗布されたセラミック材料を容易に得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は、本考案の液体塗布装置の斜視図であ
る。

【図２】 図２は、液体が塗布される成形体である。

【図３】 図３は、液溜め用の溝の断面形状を示す概略
図である。

【図４】 図４は、本考案の液体塗布装置の断面図であ
る。

【図５】 図５は、本考案の液体塗布装置の他の態様を
示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 壁 ２ 交線 ３及び３′液溜め用の溝 ４ 板状体 ５ 壁体 ６ 液供給口 ７ 液供給管 ８ 球 ９ バネ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】交差した二平面よりなる壁の内側面の夫々
   に、二平面の交線に平行に液溜め用の溝が設けられてな
   り、液溜め用の溝には液供給口が開口されてなり、さら
   に液溜め用の溝に液を供給するための液供給管が液供給
   口に接続されてなる液体塗布装置。