JPH06170304A - ペレットボンディング用の接着剤塗布装置及び方法 - Google Patents
ペレットボンディング用の接着剤塗布装置及び方法Info
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- JPH06170304A JPH06170304A JP4352416A JP35241692A JPH06170304A JP H06170304 A JPH06170304 A JP H06170304A JP 4352416 A JP4352416 A JP 4352416A JP 35241692 A JP35241692 A JP 35241692A JP H06170304 A JPH06170304 A JP H06170304A
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- JP
- Japan
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- adhesive
- piston
- syringe
- nozzle
- discharge
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/011—Apparatus therefor
- H10W72/0113—Apparatus for manufacturing die-attach connectors
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきを
少なくすること。 【構成】 ペレットボンディング用の接着剤塗布装置1
0において、シリンジ15内に摺動自在に配設されたピ
ストン21と、ピストン21をシリンジ15内で摺動方
向に進退動させるステッピングモータ24と、ステッピ
ングモータ24(の駆動)を制御することにて上記ピス
トン21を位置制御する回転制御部25とを有してなる
もの。
少なくすること。 【構成】 ペレットボンディング用の接着剤塗布装置1
0において、シリンジ15内に摺動自在に配設されたピ
ストン21と、ピストン21をシリンジ15内で摺動方
向に進退動させるステッピングモータ24と、ステッピ
ングモータ24(の駆動)を制御することにて上記ピス
トン21を位置制御する回転制御部25とを有してなる
もの。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体部品、セラミッ
クス部品等のペレットを基板(リードフレーム)に接着
するに好適な、ペレットボンディング用の接着剤塗布装
置及び方法に関する。
クス部品等のペレットを基板(リードフレーム)に接着
するに好適な、ペレットボンディング用の接着剤塗布装
置及び方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、接着剤塗布装置として、特開昭64
-30236号公報に記載の如くのものがある。この従来技術
は、ペレットボンディング用接着剤を貯留しているシリ
ンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/離隔移動
し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基板上に塗
布するに際し、シリンジに一定圧力の空気を供給する空
気管を接続し、この空気圧により接着剤液面を加圧する
ことにて接着剤を吐出させるようにしている。
-30236号公報に記載の如くのものがある。この従来技術
は、ペレットボンディング用接着剤を貯留しているシリ
ンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/離隔移動
し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基板上に塗
布するに際し、シリンジに一定圧力の空気を供給する空
気管を接続し、この空気圧により接着剤液面を加圧する
ことにて接着剤を吐出させるようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
には、下記(A) 、(B) の問題点がある。
には、下記(A) 、(B) の問題点がある。
【0004】(A) 1回吐出当りの接着剤の塗布量のばら
つき シリンジ内の接着剤液面に印加する空気圧により接着剤
の吐出量を調整しているので、正確な吐出量の制御が困
難であり、1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきが
大きい。
つき シリンジ内の接着剤液面に印加する空気圧により接着剤
の吐出量を調整しているので、正確な吐出量の制御が困
難であり、1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきが
大きい。
【0005】例えば、シリンジ内の接着剤残量が満杯で
あるときには、空気圧印加に対する接着剤吐出の応答性
は良い。これに対し、接着剤残量が少量になってくる
と、シリンジ内の空気層容積が増大する結果、空気の圧
縮性の悪影響により、空気圧印加に対する接着剤吐出の
応答性が悪くなる。
あるときには、空気圧印加に対する接着剤吐出の応答性
は良い。これに対し、接着剤残量が少量になってくる
と、シリンジ内の空気層容積が増大する結果、空気の圧
縮性の悪影響により、空気圧印加に対する接着剤吐出の
応答性が悪くなる。
【0006】また、シリンジ内の接着剤の粘性が大なる
場合にも、空気圧印加に対する接着剤吐出の応答性が悪
い。
場合にも、空気圧印加に対する接着剤吐出の応答性が悪
い。
【0007】(B) 糸引き 接着剤塗布後、シリンジを上昇させたとき、塗布された
接着剤とノズルとの間に糸状の接着剤、即ち糸引きを生
じ、これが切断されて基板上に倒れたり、飛散し、ボン
ディング不良を引き起こす。
接着剤とノズルとの間に糸状の接着剤、即ち糸引きを生
じ、これが切断されて基板上に倒れたり、飛散し、ボン
ディング不良を引き起こす。
【0008】ところで、この糸引きは、接着剤を塗布し
た後、シリンジをゆっくり上昇させた場合には生じにく
い。
た後、シリンジをゆっくり上昇させた場合には生じにく
い。
【0009】即ち、シリンジを上昇させたとき、塗布さ
れた接着剤とノズルとの間の糸状の接着剤は、自重によ
って下方に引張られている。そのため、糸状の接着剤は
この張力によって自然に切断する。
れた接着剤とノズルとの間の糸状の接着剤は、自重によ
って下方に引張られている。そのため、糸状の接着剤は
この張力によって自然に切断する。
【0010】よって、シリンジをゆっくり上昇させる
と、接着剤は低い位置で切断される(図4(A))。
と、接着剤は低い位置で切断される(図4(A))。
【0011】逆に、シリンジを高速で上昇させた場
合、接着剤は高い位置まで引き伸ばされる。
合、接着剤は高い位置まで引き伸ばされる。
【0012】上記の問題点…接着剤の粘性が大きい場
合、接着剤が切断されない場合がある。この場合、基板
を送る際に接着剤が切断されるので、糸状の接着剤が送
り方向に倒れてしまう(図4(B))。導電性接着剤の
場合、ショート等の原因になる。
合、接着剤が切断されない場合がある。この場合、基板
を送る際に接着剤が切断されるので、糸状の接着剤が送
り方向に倒れてしまう(図4(B))。導電性接着剤の
場合、ショート等の原因になる。
【0013】上記の問題点…糸状の接着剤は、高い位
置で突然に切断される。このとき、糸状の接着剤は数箇
所で切断される場合が多く、その切断された接着剤は周
囲に飛び散ってしまう(ペースト飛散、図4(C))。
この飛び散った接着剤がリード上に着地した場合、後の
ワイヤボンディング工程におけるボンディング不良の原
因となる。
置で突然に切断される。このとき、糸状の接着剤は数箇
所で切断される場合が多く、その切断された接着剤は周
囲に飛び散ってしまう(ペースト飛散、図4(C))。
この飛び散った接着剤がリード上に着地した場合、後の
ワイヤボンディング工程におけるボンディング不良の原
因となる。
【0014】本発明は、1回吐出当りの接着剤の塗布量
のばらつきを少なくすることを目的とする。
のばらつきを少なくすることを目的とする。
【0015】また、本発明は1回吐出当りの接着剤の塗
布量のばらつきを少なくし、かつ接着剤塗布後の糸引き
を防止することを目的とする。
布量のばらつきを少なくし、かつ接着剤塗布後の糸引き
を防止することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の本発明
は、ペレットボンディング用接着剤を貯留しているシリ
ンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/離隔移動
し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基板上に塗
布するペレットボンディング用の接着剤塗布装置におい
て、上記シリンジ内に摺動自在に配設されたピストン
と、上記ピストンを上記シリンジ内で摺動方向に進退動
させる駆動部と、上記駆動部(の駆動)を制御すること
にて上記ピストンを位置制御する制御部とを有してなる
ようにしたものである。
は、ペレットボンディング用接着剤を貯留しているシリ
ンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/離隔移動
し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基板上に塗
布するペレットボンディング用の接着剤塗布装置におい
て、上記シリンジ内に摺動自在に配設されたピストン
と、上記ピストンを上記シリンジ内で摺動方向に進退動
させる駆動部と、上記駆動部(の駆動)を制御すること
にて上記ピストンを位置制御する制御部とを有してなる
ようにしたものである。
【0017】請求項2に記載の本発明は、請求項1に記
載の接着剤塗布装置を用いたペレットボンディング用の
接着剤塗布方法であって、接着剤塗布時には、前記ピス
トンを吐出ノズル方向に移動させて該ノズルから接着剤
を吐出し、接着剤塗布後には、前記ピストンを反吐出ノ
ズル方向に移動させるようにしたものである。
載の接着剤塗布装置を用いたペレットボンディング用の
接着剤塗布方法であって、接着剤塗布時には、前記ピス
トンを吐出ノズル方向に移動させて該ノズルから接着剤
を吐出し、接着剤塗布後には、前記ピストンを反吐出ノ
ズル方向に移動させるようにしたものである。
【0018】
【作用】 シリンジ内の接着剤は、ピストンにより押出されてノ
ズルから吐出される。このとき、接着剤の吐出量は、ピ
ストンの移動ストロークに応じて正確に制御される。従
って、制御部によってピストンの移動ストロークを制御
することにより、所望の接着剤の吐出量を得ることがで
き、1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきを少なく
することができる。
ズルから吐出される。このとき、接着剤の吐出量は、ピ
ストンの移動ストロークに応じて正確に制御される。従
って、制御部によってピストンの移動ストロークを制御
することにより、所望の接着剤の吐出量を得ることがで
き、1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきを少なく
することができる。
【0019】接着剤塗布後、ピストンを反吐出ノズル
方向に移動することにより、シリンジの吐出ノズルと塗
布された接着剤との間に生ずる糸状の余分な接着剤をシ
リンジ内に引込み、糸引きの発生を防止できる。
方向に移動することにより、シリンジの吐出ノズルと塗
布された接着剤との間に生ずる糸状の余分な接着剤をシ
リンジ内に引込み、糸引きの発生を防止できる。
【0020】
【実施例】図1は本発明の一実施例に係る接着剤塗布装
置の要部構成を示す模式図、図2は接着剤塗布装置の全
体構成を示す模式図、図3は接着剤の塗布動作を示す模
式図である。
置の要部構成を示す模式図、図2は接着剤塗布装置の全
体構成を示す模式図、図3は接着剤の塗布動作を示す模
式図である。
【0021】接着剤塗布装置10は、図2に示す如く、
基台11にスライドブロック12をスライド可能に支持
し、スライドブロック12にシリンジホルダ13を結合
し、シリンジホルダ13にはペースト状接着剤14を貯
留しているシリンジ15が固定される。シリンジ15は
吐出ノズル16を備えている。
基台11にスライドブロック12をスライド可能に支持
し、スライドブロック12にシリンジホルダ13を結合
し、シリンジホルダ13にはペースト状接着剤14を貯
留しているシリンジ15が固定される。シリンジ15は
吐出ノズル16を備えている。
【0022】塗布装置10は、リニアサーボモータ1
7、制御装置18、設定装置19を備えている。リニア
サーボモータ17は、速度制御可能であり、シリンジホ
ルダ13を駆動してノズル16を基板1に対し接近/離
隔移動する。制御装置18は、設定装置19の設定デー
タに基づき、リニアサーボモータ17の駆動状態を制御
し、ノズル16の移動状態(ノズル16の移動速度、ノ
ズル16と基板1との間隙量、塗布時間等)をデジタル
制御する。尚、図2において、13Aはシリンジホルダ
13の上昇端検出センサ、13Bはセンサドグである。
7、制御装置18、設定装置19を備えている。リニア
サーボモータ17は、速度制御可能であり、シリンジホ
ルダ13を駆動してノズル16を基板1に対し接近/離
隔移動する。制御装置18は、設定装置19の設定デー
タに基づき、リニアサーボモータ17の駆動状態を制御
し、ノズル16の移動状態(ノズル16の移動速度、ノ
ズル16と基板1との間隙量、塗布時間等)をデジタル
制御する。尚、図2において、13Aはシリンジホルダ
13の上昇端検出センサ、13Bはセンサドグである。
【0023】即ち、塗布装置10にあっては、制御装置
18が設定装置19にて予め設定された動作タイミング
でリニアサーボモータ17を駆動制御し、下降、停止、
上昇の1サイクルの動作を行ない、この過程でシリンジ
15の吐出ノズル16から吐出された接着剤を基板1上
に塗布する。
18が設定装置19にて予め設定された動作タイミング
でリニアサーボモータ17を駆動制御し、下降、停止、
上昇の1サイクルの動作を行ない、この過程でシリンジ
15の吐出ノズル16から吐出された接着剤を基板1上
に塗布する。
【0024】然るに、塗布装置10にあっては、図1に
示す如く、シリンジ15内にピストン21を摺動自在に
配設するとともに、このピストン21の背面部に螺合す
る送りねじ22を有しており、更に、シリンジ15の上
端フランジ部に被着されるモータホルダ23に固定のス
テッピングモータ24の出力軸を送りねじ22の上端部
に結合し、送りねじ22を回転動せしめるようになって
いる。ステッピングモータ24は回転制御部25によっ
て制御される。尚、26はピストン21を回り止めする
回り止めロッドである。
示す如く、シリンジ15内にピストン21を摺動自在に
配設するとともに、このピストン21の背面部に螺合す
る送りねじ22を有しており、更に、シリンジ15の上
端フランジ部に被着されるモータホルダ23に固定のス
テッピングモータ24の出力軸を送りねじ22の上端部
に結合し、送りねじ22を回転動せしめるようになって
いる。ステッピングモータ24は回転制御部25によっ
て制御される。尚、26はピストン21を回り止めする
回り止めロッドである。
【0025】即ち、塗布装置10において、前述の制御
装置18は、設定装置19の設定データに基づき、回転
制御部25をしてステッピングモータ24を作動させる
ことにより送りねじ22を駆動し、この送りねじ22に
螺合されているピストン21をシリンジ15内にて摺動
させ、その移動ストロークに応ずる吐出量の接着剤を吐
出ノズル16から吐出せしめる。
装置18は、設定装置19の設定データに基づき、回転
制御部25をしてステッピングモータ24を作動させる
ことにより送りねじ22を駆動し、この送りねじ22に
螺合されているピストン21をシリンジ15内にて摺動
させ、その移動ストロークに応ずる吐出量の接着剤を吐
出ノズル16から吐出せしめる。
【0026】このとき、塗布装置10は、シリンジ15
回りにピストン原位置検出センサ27を備えており、制
御装置18はセンサ27の検出結果に基づき、回転制御
部25をしてステッピングモータ24を作動させること
によりピストン21をシリンジ15内の原位置に設定可
能とする。また、制御装置18は、ピストン21を原位
置に設定した以後におけるステッピングモータ24の回
転量をカウントすることにて、接着剤吐出開始に伴うピ
ストン21の原位置からの移動ストロークを検出し、結
果としてピストン21の現在位置を把握し、ひいてはシ
リンジ15内の接着剤の残量を把握可能としている。
回りにピストン原位置検出センサ27を備えており、制
御装置18はセンサ27の検出結果に基づき、回転制御
部25をしてステッピングモータ24を作動させること
によりピストン21をシリンジ15内の原位置に設定可
能とする。また、制御装置18は、ピストン21を原位
置に設定した以後におけるステッピングモータ24の回
転量をカウントすることにて、接着剤吐出開始に伴うピ
ストン21の原位置からの移動ストロークを検出し、結
果としてピストン21の現在位置を把握し、ひいてはシ
リンジ15内の接着剤の残量を把握可能としている。
【0027】以下、塗布装置10を用いた接着剤塗布方
法について説明する。 (1) 基板1が不図示のリードフレーム搬送装置により搬
送され、接着剤塗布位置に停止位置決めされ、その位置
決め完了信号が制御装置18に転送されると、制御装置
18はリニアサーボモータ17を駆動制御開始し、シリ
ンジ15を下降、停止、上昇せしめる。
法について説明する。 (1) 基板1が不図示のリードフレーム搬送装置により搬
送され、接着剤塗布位置に停止位置決めされ、その位置
決め完了信号が制御装置18に転送されると、制御装置
18はリニアサーボモータ17を駆動制御開始し、シリ
ンジ15を下降、停止、上昇せしめる。
【0028】(2) 制御装置18は、シリンジ15の下降
の途中の所定の接着剤吐出タイミングで、ステッピング
モータ24の回転制御部25に吐出信号を転送する。こ
れにより、回転制御部25はステッピングモータ24を
駆動し、送りねじ22を所定回転数だけ回転することに
てピストン21をノズル16の方向に所定の移動ストロ
ークだけ移動させて、吐出ノズル16から所定の吐出量
だけの接着剤を吐出し、シリンジ15の下降、停止段階
で、基板1上に接着剤を塗布する。
の途中の所定の接着剤吐出タイミングで、ステッピング
モータ24の回転制御部25に吐出信号を転送する。こ
れにより、回転制御部25はステッピングモータ24を
駆動し、送りねじ22を所定回転数だけ回転することに
てピストン21をノズル16の方向に所定の移動ストロ
ークだけ移動させて、吐出ノズル16から所定の吐出量
だけの接着剤を吐出し、シリンジ15の下降、停止段階
で、基板1上に接着剤を塗布する。
【0029】尚、回転制御部25がステッピングモータ
24を回転制御することによって定める接着剤の吐出タ
イミング、吐出量は、前述の制御装置18、設定装置1
9を用いて数値設定することができる。
24を回転制御することによって定める接着剤の吐出タ
イミング、吐出量は、前述の制御装置18、設定装置1
9を用いて数値設定することができる。
【0030】(3) 制御装置18は、接着剤塗布後、シリ
ンジ15を上昇させるとともに、ステッピングモータ2
4の回転制御部25にピストン引き上げ信号を転送す
る。これにより、シリンジ15内のピストン21をノズ
ル16の反対方向に所定量引き戻すように回転制御部2
5をしてモータ24を駆動し、シリンジ15のノズル1
6と基板1上に塗布された接着剤との間の糸状の接着剤
をシリンジ15内に引込み、糸引きの発生を防止する
(図3)。
ンジ15を上昇させるとともに、ステッピングモータ2
4の回転制御部25にピストン引き上げ信号を転送す
る。これにより、シリンジ15内のピストン21をノズ
ル16の反対方向に所定量引き戻すように回転制御部2
5をしてモータ24を駆動し、シリンジ15のノズル1
6と基板1上に塗布された接着剤との間の糸状の接着剤
をシリンジ15内に引込み、糸引きの発生を防止する
(図3)。
【0031】従って、本実施例によれば、以下の如くの
作用がある。 シリンジ15内の接着剤は、ピストン21により押出
されてノズル16から吐出される。このとき、接着剤の
吐出量は、ピストン21の移動ストロークに応じて正確
に制御される。従って、ステッピングモータ24の回転
制御部25によって送りねじ22の回転量、ひいてはピ
ストン21の移動ストロークを制御することにより、所
望の接着剤の吐出量を得ることができ、1回吐出当りの
接着剤の塗布量のばらつきを少なくすることができる。
作用がある。 シリンジ15内の接着剤は、ピストン21により押出
されてノズル16から吐出される。このとき、接着剤の
吐出量は、ピストン21の移動ストロークに応じて正確
に制御される。従って、ステッピングモータ24の回転
制御部25によって送りねじ22の回転量、ひいてはピ
ストン21の移動ストロークを制御することにより、所
望の接着剤の吐出量を得ることができ、1回吐出当りの
接着剤の塗布量のばらつきを少なくすることができる。
【0032】尚、シリンジ15内におけるピストン21
の現在位置を検出することにより、シリンジ15内の接
着剤の残量を正確に確認できる。このとき、接着剤満杯
時のピストン位置をピストン原位置検出センサが検出す
る原位置に定め、接着剤吐出開始に伴うピストン21の
原位置からの移動ストロークを検出(演算)することに
よりピストン21の現在位置を検出することができる。
の現在位置を検出することにより、シリンジ15内の接
着剤の残量を正確に確認できる。このとき、接着剤満杯
時のピストン位置をピストン原位置検出センサが検出す
る原位置に定め、接着剤吐出開始に伴うピストン21の
原位置からの移動ストロークを検出(演算)することに
よりピストン21の現在位置を検出することができる。
【0033】接着剤塗布後、ピストン21を吐出ノズ
ル16の反対方向に移動することにより、シリンジ15
の吐出ノズル16と塗布された接着剤との間に生ずる糸
状の余分な接着剤をシリンジ15内に引込み、糸引きの
発生を防止できる。
ル16の反対方向に移動することにより、シリンジ15
の吐出ノズル16と塗布された接着剤との間に生ずる糸
状の余分な接着剤をシリンジ15内に引込み、糸引きの
発生を防止できる。
【0034】尚、本発明の実施において、ピストン移動
のための駆動モータとしては、ステッピングモータに限
らず、サーボモータ等を用いることもできる。
のための駆動モータとしては、ステッピングモータに限
らず、サーボモータ等を用いることもできる。
【0035】また、実施例においては、ピストンの駆動
部として、ピストンの背面部に送りねじを螺合し、この
送りねじをステッピングモータにて回転させる構成のも
のを示したが、駆動部としてリニアモータを用い、リニ
アモータの作動軸をピストンに連結する構成のものとし
ても同等の作用効果が得られる。
部として、ピストンの背面部に送りねじを螺合し、この
送りねじをステッピングモータにて回転させる構成のも
のを示したが、駆動部としてリニアモータを用い、リニ
アモータの作動軸をピストンに連結する構成のものとし
ても同等の作用効果が得られる。
【0036】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、1回吐出
当りの接着剤の塗布量のばらつきを少なくすることがで
きる。
当りの接着剤の塗布量のばらつきを少なくすることがで
きる。
【0037】また、本発明によれば、1回吐出当りの接
着剤の塗布量のばらつきを少なくし、かつ接着剤塗布後
の糸引きを防止することができる。
着剤の塗布量のばらつきを少なくし、かつ接着剤塗布後
の糸引きを防止することができる。
【図1】図1は本発明の一実施例に係る接着剤塗布装置
の要部構成を示す模式図である。
の要部構成を示す模式図である。
【図2】図2は接着剤塗布装置の全体構成を示す模式図
である。
である。
【図3】図3は接着剤の塗布動作を示す模式図である。
【図4】図4は従来法の糸引き発生状態を示す模式図で
ある。
ある。
1 基板 10 接着剤塗布装置 15 シリンジ 16 吐出ノズル 21 ピストン 22 送りねじ 24 ステッピングモータ(駆動部) 25 回転制御部(制御部)
Claims (2)
- 【請求項1】 ペレットボンディング用接着剤を貯留し
ているシリンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/
離隔移動し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基
板上に塗布するペレットボンディング用の接着剤塗布装
置において、 上記シリンジ内に摺動自在に配設されたピストンと、 上記ピストンを上記シリンジ内で摺動方向に進退動させ
る駆動部と、 上記駆動部(の駆動)を制御することにて上記ピストン
を位置制御する制御部とを有してなることを特徴とする
ペレットボンディング用の接着剤塗布装置。 - 【請求項2】 請求項1に記載の接着剤塗布装置を用い
たペレットボンディング用の接着剤塗布方法であって、 接着剤塗布時には、前記ピストンを吐出ノズル方向に移
動させて該ノズルから接着剤を吐出し、 接着剤塗布後には、前記ピストンを反吐出ノズル方向に
移動させることを特徴とするペレットボンディング用の
接着剤塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4352416A JPH06170304A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | ペレットボンディング用の接着剤塗布装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4352416A JPH06170304A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | ペレットボンディング用の接着剤塗布装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06170304A true JPH06170304A (ja) | 1994-06-21 |
Family
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| JP4352416A Pending JPH06170304A (ja) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | ペレットボンディング用の接着剤塗布装置及び方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JPH06170304A (ja) |
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