JPH0617301Y2 - ウエーハカセット - Google Patents
ウエーハカセットInfo
- Publication number
- JPH0617301Y2 JPH0617301Y2 JP1988022618U JP2261888U JPH0617301Y2 JP H0617301 Y2 JPH0617301 Y2 JP H0617301Y2 JP 1988022618 U JP1988022618 U JP 1988022618U JP 2261888 U JP2261888 U JP 2261888U JP H0617301 Y2 JPH0617301 Y2 JP H0617301Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- shelf
- cassette
- notch
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［概要］ 複数枚のウエーハが整列収納されるウエーハカセットに
関し、 棚に対するウエーハの接触面積を減少し、かつ、ウエー
ハ収納の際にウエーハが棚の一部に衝突したりウエーハ
が棚に対し摺動することによりウエーハが傷付くのを防
止することを目的とし、 棚の孔または切欠の側の縁部がその周囲よりも薄く、ウ
エーハを棚上に載置したとき、ウエーハと棚上面との間
隔が、該周囲から該縁部へ近づくにつれて増加するよう
に構成する。
関し、 棚に対するウエーハの接触面積を減少し、かつ、ウエー
ハ収納の際にウエーハが棚の一部に衝突したりウエーハ
が棚に対し摺動することによりウエーハが傷付くのを防
止することを目的とし、 棚の孔または切欠の側の縁部がその周囲よりも薄く、ウ
エーハを棚上に載置したとき、ウエーハと棚上面との間
隔が、該周囲から該縁部へ近づくにつれて増加するよう
に構成する。
［産業上の利用分野］ 本考案は複数枚のウエーハが整列収納されるウエーハカ
セットに関する。
セットに関する。
［従来の技術］ ウエーハカセットは工程間搬送を目的として用いられ、
第５図に示す如く、略四角筒状のフレーム１０の内周面
に棚１２が一定ピッチで複数段突設されて構成されてい
る。
第５図に示す如く、略四角筒状のフレーム１０の内周面
に棚１２が一定ピッチで複数段突設されて構成されてい
る。
ウエーハ（不図示）は、上下に隣合う棚１２の間に挿入
され、下側の棚１２上へその周縁部が載置される。すな
わち、複数枚のウエーハがウエーハカセット内に一定間
隔をおいて上下方向へ整列収納される。
され、下側の棚１２上へその周縁部が載置される。すな
わち、複数枚のウエーハがウエーハカセット内に一定間
隔をおいて上下方向へ整列収納される。
しかし、ウエーハカセットの棚１２の上面に塵埃が付着
していると、ウエーハ取出時にこの塵埃の一部がウエー
ハに付着し、デバイス欠陥を引き起こす原因となる。こ
の付着は、パターンの線幅が狭くなるほど大きな問題と
なり、集積化が著しい現今においては、その減少化の強
い要請がある。
していると、ウエーハ取出時にこの塵埃の一部がウエー
ハに付着し、デバイス欠陥を引き起こす原因となる。こ
の付着は、パターンの線幅が狭くなるほど大きな問題と
なり、集積化が著しい現今においては、その減少化の強
い要請がある。
そこで、第６図に示すような構成のウエーハカセットが
提案されている（特開昭６１−６７２４２号公報）。図
中、１５は前前フランジ、１６は天板、１８は取手であ
る。このウエーハカセットは、フレーム１０の内周面か
ら突設された棚２２に切欠２２ａが形成されているの
で、棚２２に対するウエーハの接触面積は第６図の構成
よりも狭くなっている。歯部２２ｂの幅に対する切欠２
２ａの幅の比を大きくするほど、ウエーハ底面外周部と
棚２２との接触面積を狭くすることができる。しかし、
歯部２２ｂの幅に対する切欠２２ａの幅の比を大きくす
るほど、ウエーハ収納の際にウエーハが歯部２２ｂの側
面に衝突し易くなるという問題がある。
提案されている（特開昭６１−６７２４２号公報）。図
中、１５は前前フランジ、１６は天板、１８は取手であ
る。このウエーハカセットは、フレーム１０の内周面か
ら突設された棚２２に切欠２２ａが形成されているの
で、棚２２に対するウエーハの接触面積は第６図の構成
よりも狭くなっている。歯部２２ｂの幅に対する切欠２
２ａの幅の比を大きくするほど、ウエーハ底面外周部と
棚２２との接触面積を狭くすることができる。しかし、
歯部２２ｂの幅に対する切欠２２ａの幅の比を大きくす
るほど、ウエーハ収納の際にウエーハが歯部２２ｂの側
面に衝突し易くなるという問題がある。
また、他のウエーハカセットとして、棚２２に切欠２２
ａを形成する代わりに、棚上面に円柱形支持部を形成し
て、棚に対するウエーハの接触面積を狭くした構成が提
案されている（特開昭６１−３３９６８号公報）。
ａを形成する代わりに、棚上面に円柱形支持部を形成し
て、棚に対するウエーハの接触面積を狭くした構成が提
案されている（特開昭６１−３３９６８号公報）。
しかし、ウエーハ収納の際にウエーハが円柱形支持部に
衝突したり、円柱形支持部のエッジとの摺動によりウエ
ーハが傷付くという問題がある。
衝突したり、円柱形支持部のエッジとの摺動によりウエ
ーハが傷付くという問題がある。
［考案が解決しようとする問題点］ 本考案の目的は、上記問題点に鑑み、棚に対するウエー
ハの接触面積を減少でき、かつ、ウエーハ収納の際にウ
エーハが棚の一部に衝突したりウエーハが棚に対し摺動
することによりウエーハが傷付くのを防止することがで
きるウエーハカセットを提供することにある。
ハの接触面積を減少でき、かつ、ウエーハ収納の際にウ
エーハが棚の一部に衝突したりウエーハが棚に対し摺動
することによりウエーハが傷付くのを防止することがで
きるウエーハカセットを提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 本考案は、ウエーハ周縁部を保持する棚がフレームに複
数段形成され、該棚に複数の孔または切欠が形成された
ウエーハカセットであって、該棚の該孔または該切欠の
側の縁部がその周囲よりも薄く、ウエーハを該棚上に載
置したとき、該ウエーハと棚上面との間隔が、該周囲か
ら該縁部へ近づくにつれて増加するように構成したこと
を特徴とする。
数段形成され、該棚に複数の孔または切欠が形成された
ウエーハカセットであって、該棚の該孔または該切欠の
側の縁部がその周囲よりも薄く、ウエーハを該棚上に載
置したとき、該ウエーハと棚上面との間隔が、該周囲か
ら該縁部へ近づくにつれて増加するように構成したこと
を特徴とする。
［作用］ 本考案によれば、棚に形成された孔または切欠の幅に対
する隣合う該孔または切欠の間のウエーハ受け部の幅の
比よりも、ウエーハと棚の非接触部のウエーハ周方向長
さに対するウエーハと棚の接触部のウエーハ周方向長さ
を充分小さくでき、したがって、ウエーハ外周部と棚と
の接触面積を狭くすることができ、しかも、ウエーハ収
納の際にウエーハが棚と滑らかに摺動するので、ウエー
ハ収納の際にウエーハが棚の一部に衝突したりウエーハ
が棚に対し摺動することによりウエーハが傷付くのを防
止することができる。
する隣合う該孔または切欠の間のウエーハ受け部の幅の
比よりも、ウエーハと棚の非接触部のウエーハ周方向長
さに対するウエーハと棚の接触部のウエーハ周方向長さ
を充分小さくでき、したがって、ウエーハ外周部と棚と
の接触面積を狭くすることができ、しかも、ウエーハ収
納の際にウエーハが棚と滑らかに摺動するので、ウエー
ハ収納の際にウエーハが棚の一部に衝突したりウエーハ
が棚に対し摺動することによりウエーハが傷付くのを防
止することができる。
［実施例］ 以下、図面に基づいて本考案の実施例を説明する。
（１）第１実施例 第１図及び第２図は第１実施例構成図であり、第１図は
ウエーハカセットの棚３２の平面形状を示し、第２図は
棚３２を構成する歯部３２ｂの立体形状を示す。
ウエーハカセットの棚３２の平面形状を示し、第２図は
棚３２を構成する歯部３２ｂの立体形状を示す。
この歯部３２ｂは、基端部より先端部の方が薄くなって
いる点は第６図の歯部２２ｂと同一であるが、さらに、
幅方向へ湾曲しており、中央部より側部の方が薄くなっ
ている。
いる点は第６図の歯部２２ｂと同一であるが、さらに、
幅方向へ湾曲しており、中央部より側部の方が薄くなっ
ている。
したがって、ウエーハと棚との接触面積は、第第６図の
場合よりもさらに狭い。しかも、ウエーハ収納時に、歯
部３２ｂの側部の角がウエーハと衝突するのを防止でき
る。
場合よりもさらに狭い。しかも、ウエーハ収納時に、歯
部３２ｂの側部の角がウエーハと衝突するのを防止でき
る。
他の点は、第６図のウエーハカセットと同一である。
（２）第２実施例 第３図及び第４図は第２実施例構成図であり、第３図は
ウエーハ１４が載置される棚４２の平面形状を示し、第
４図はその一部の立体形状を示す。
ウエーハ１４が載置される棚４２の平面形状を示し、第
４図はその一部の立体形状を示す。
この棚４２には、第１図に示す切欠３２ａの代わりに孔
４２ａが形成されている。棚４２は、基端部より先端部
の方が薄くなっており、さらに、孔４２の方向へ湾曲し
ており、孔４２ａ側がその外方側より薄くなっている。
４２ａが形成されている。棚４２は、基端部より先端部
の方が薄くなっており、さらに、孔４２の方向へ湾曲し
ており、孔４２ａ側がその外方側より薄くなっている。
したがって、ウエーハと棚４２との接触面積は、第６図
の場合よりもさらに狭い。しかも、ウエーハ収納時に、
孔４２ａの周面の角がウエーハと衝突するのを防止でき
る。
の場合よりもさらに狭い。しかも、ウエーハ収納時に、
孔４２ａの周面の角がウエーハと衝突するのを防止でき
る。
他の点は上記第１実施例と同一である。
なお、本考案には外にも種々の変形例が含まれる。
例えば、切欠の形状は方形波状に限られず、サイン波状
等であってもよい。また、孔の形状は円形に限られず、
楕円、多角形等であってもよいことは勿論である。さら
に、切欠と孔の両方を棚に形成してもよい。
等であってもよい。また、孔の形状は円形に限られず、
楕円、多角形等であってもよいことは勿論である。さら
に、切欠と孔の両方を棚に形成してもよい。
［考案の効果］ 以上説明したように、本考案では、ウエーハ周縁部を保
持する棚がフレームに複数段形成され、該棚に複数の孔
または切欠が形成されたウエーハカセットにおいて、該
棚の該孔または該切欠の側の縁部がその周囲よりも薄
く、ウエーハを該棚上に載置したとき、該ウエーハと棚
上面との間隔が、該周囲から該縁部へ近づくにつれて増
加するように構成しているので、棚に形成された孔また
は切欠の幅に対する隣合う該孔または切欠の間のウエー
ハ受け部の幅の比よりも、ウエーハと棚の非接触部のウ
エーハ周方向長さに対するウエーハと棚の接触部のウエ
ーハ周方向長さを充分小さくでき、したがって、ウエー
ハ外周部と棚との接触面積を狭くすることができ、しか
も、ウエーハ収納の際にウエーハが棚と滑らかに摺動す
るので、ウエーハ収納の際にウエーハが棚の一部に衝突
したりウエーハが棚に対し摺動することによりウエーハ
が傷付くのを防止することができるという優れた効果を
奏し、集積化が著しい現今においてデバイス欠陥減少化
に寄与するところが大きい。
持する棚がフレームに複数段形成され、該棚に複数の孔
または切欠が形成されたウエーハカセットにおいて、該
棚の該孔または該切欠の側の縁部がその周囲よりも薄
く、ウエーハを該棚上に載置したとき、該ウエーハと棚
上面との間隔が、該周囲から該縁部へ近づくにつれて増
加するように構成しているので、棚に形成された孔また
は切欠の幅に対する隣合う該孔または切欠の間のウエー
ハ受け部の幅の比よりも、ウエーハと棚の非接触部のウ
エーハ周方向長さに対するウエーハと棚の接触部のウエ
ーハ周方向長さを充分小さくでき、したがって、ウエー
ハ外周部と棚との接触面積を狭くすることができ、しか
も、ウエーハ収納の際にウエーハが棚と滑らかに摺動す
るので、ウエーハ収納の際にウエーハが棚の一部に衝突
したりウエーハが棚に対し摺動することによりウエーハ
が傷付くのを防止することができるという優れた効果を
奏し、集積化が著しい現今においてデバイス欠陥減少化
に寄与するところが大きい。
第１図は本考案の第１実施例のウエーハカセットの棚の
平面図である。 第２図は第１図に示す棚の歯部の斜視図である。 第３図は本考案の第２実施例のウエーハカセットの棚の
平面図である。 第４図は第３図に示す棚の一部斜視図である。 第５図は従来のウエーハカセットの斜視図である。 第６図は従来の他のウエーハカセットの要部斜視図であ
る。 図中 １０はフレーム １２、２２、３２、４２は棚 １４はウエーハ １５は前面フランジ １６は天板 ２２ａは切欠 ２２ｂ、３２ｂは歯部 ４２ａは孔
平面図である。 第２図は第１図に示す棚の歯部の斜視図である。 第３図は本考案の第２実施例のウエーハカセットの棚の
平面図である。 第４図は第３図に示す棚の一部斜視図である。 第５図は従来のウエーハカセットの斜視図である。 第６図は従来の他のウエーハカセットの要部斜視図であ
る。 図中 １０はフレーム １２、２２、３２、４２は棚 １４はウエーハ １５は前面フランジ １６は天板 ２２ａは切欠 ２２ｂ、３２ｂは歯部 ４２ａは孔
Claims (1)
- 【請求項１】ウエーハ（１４）周縁部を保持する棚（３
２、４２）がフレーム（１０）に複数段形成され、該棚
に複数の孔（４２ａ）または切欠（２２ａ）が形成され
たウエーハカセットであって、 該棚の該孔または該切欠の側の縁部がその周囲よりも薄
く、ウエーハを該棚上に載置したとき、該ウエーハと棚
上面との間隔が、該周囲から該縁部へ近づくにつれて増
加するようにしたことを特徴とするウエーハカセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988022618U JPH0617301Y2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | ウエーハカセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988022618U JPH0617301Y2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | ウエーハカセット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01127244U JPH01127244U (ja) | 1989-08-31 |
| JPH0617301Y2 true JPH0617301Y2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=31240891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988022618U Expired - Lifetime JPH0617301Y2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | ウエーハカセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0617301Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133968A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-18 | 株式会社日立製作所 | 運搬具 |
| JPS6167242A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | Mitsubishi Electric Corp | ウエ−ハ収容治具 |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP1988022618U patent/JPH0617301Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01127244U (ja) | 1989-08-31 |
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