JPH06200906A - 油圧サーボ系のサーボバルブ制御装置 - Google Patents
油圧サーボ系のサーボバルブ制御装置Info
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- JPH06200906A JPH06200906A JP34768192A JP34768192A JPH06200906A JP H06200906 A JPH06200906 A JP H06200906A JP 34768192 A JP34768192 A JP 34768192A JP 34768192 A JP34768192 A JP 34768192A JP H06200906 A JPH06200906 A JP H06200906A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 オイルハンマ現象を生じることない高速、高
精度の油圧サーボ系を実現すること。 【構成】 油圧サーボ系のサーボバルブ１の動作をフィ
ードバック制御するサーボバルブ制御装置に於いて、ゲ
イン設定信号を入力してこのゲイン設定信号に応じて前
記サーボバルブを含む油圧サーボ系のゲインを可変設定
するゲイン設定手段３を設け、油圧サーボ系に於ける制
御量を入力してこの制御量に応じてゲイン設定信号を発
生し、これをゲイン設定手段３へ出力するゲイン設定信
号発生手段５を設ける。
精度の油圧サーボ系を実現すること。 【構成】 油圧サーボ系のサーボバルブ１の動作をフィ
ードバック制御するサーボバルブ制御装置に於いて、ゲ
イン設定信号を入力してこのゲイン設定信号に応じて前
記サーボバルブを含む油圧サーボ系のゲインを可変設定
するゲイン設定手段３を設け、油圧サーボ系に於ける制
御量を入力してこの制御量に応じてゲイン設定信号を発
生し、これをゲイン設定手段３へ出力するゲイン設定信
号発生手段５を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、油圧サーボ系のサーボ
バルブ制御装置に関し、サーボバルブの動作をフィード
バック制御するサーボバルブ制御装置に関するものであ
る。
バルブ制御装置に関し、サーボバルブの動作をフィード
バック制御するサーボバルブ制御装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】一般にフィードバック制御方式の油圧サ
ーボ系に於いては、位置決めモジュールが動作指令を受
けると、位置決めモジュールが、スプール開度指令をサ
ーボバルブ制御装置に与え、これに応じてサーボバルブ
制御装置がサーボバルブを駆動することにより、油圧シ
リンダ装置に対する油圧の流量が制御され、油圧シリン
ダ装置に対する油圧の流量制御によりピストンに変位が
生じ、そしてこのピストンの変位量が変位センサにより
検出され、このピストン変位量が位置決めモジュールに
フィードバックされる。
ーボ系に於いては、位置決めモジュールが動作指令を受
けると、位置決めモジュールが、スプール開度指令をサ
ーボバルブ制御装置に与え、これに応じてサーボバルブ
制御装置がサーボバルブを駆動することにより、油圧シ
リンダ装置に対する油圧の流量が制御され、油圧シリン
ダ装置に対する油圧の流量制御によりピストンに変位が
生じ、そしてこのピストンの変位量が変位センサにより
検出され、このピストン変位量が位置決めモジュールに
フィードバックされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の如きフィードバ
ック制御方式の油圧サーボ系に於いて、例えば、パンチ
プレスに於けるニブリングパターンによるラム駆動のた
めに、油圧シリンダ装置のピストンを、初期位置よりラ
ム下死点位置となる所定の制御目標位置にまで変位さ
せ、その後にピストンを元の初期位置にまで戻す如き往
復動作させる場合、油圧サーボ系のループゲインを大き
くすると、時間遅れ、制御目標値に対する偏差が少なく
なる反面、ピストンが元の初期位置に戻る手前に於ける
偏差が増加し、オイルハンマ現象が生じる。
ック制御方式の油圧サーボ系に於いて、例えば、パンチ
プレスに於けるニブリングパターンによるラム駆動のた
めに、油圧シリンダ装置のピストンを、初期位置よりラ
ム下死点位置となる所定の制御目標位置にまで変位さ
せ、その後にピストンを元の初期位置にまで戻す如き往
復動作させる場合、油圧サーボ系のループゲインを大き
くすると、時間遅れ、制御目標値に対する偏差が少なく
なる反面、ピストンが元の初期位置に戻る手前に於ける
偏差が増加し、オイルハンマ現象が生じる。
【０００４】本発明は、従来の油圧サーボ系に於ける上
述の如き問題点に着目してなされたものであり、オイル
ハンマ現象を低減させて低振動とすると共に高速、高精
度の油圧サーボ系を実現できるサーボバルブ制御装置を
提供することを目的としている。
述の如き問題点に着目してなされたものであり、オイル
ハンマ現象を低減させて低振動とすると共に高速、高精
度の油圧サーボ系を実現できるサーボバルブ制御装置を
提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述の如き目的は、本発
明によれば、油圧サーボ系のサーボバルブの動作をフィ
ードバック制御するサーボバルブ制御装置に於いて、ゲ
イン設定信号を入力し、当該ゲイン設定信号に応じて前
記サーボバルブを含む油圧サーボ系のゲインを可変設定
するゲイン設定手段を備えて油圧サーボ系のサーボバル
ブ制御装置によって達成される。しかも、油圧サーボ系
のサーボバルブ制御装置において、油圧サーボ系に於け
る制御量を入力し入力制御量とサーボアンプ内の状態量
に応じてゲイン設定信号を発生してこれをゲイン設定手
段へ出力するゲイン設定信号発生手段を有していること
が望ましいものである。
明によれば、油圧サーボ系のサーボバルブの動作をフィ
ードバック制御するサーボバルブ制御装置に於いて、ゲ
イン設定信号を入力し、当該ゲイン設定信号に応じて前
記サーボバルブを含む油圧サーボ系のゲインを可変設定
するゲイン設定手段を備えて油圧サーボ系のサーボバル
ブ制御装置によって達成される。しかも、油圧サーボ系
のサーボバルブ制御装置において、油圧サーボ系に於け
る制御量を入力し入力制御量とサーボアンプ内の状態量
に応じてゲイン設定信号を発生してこれをゲイン設定手
段へ出力するゲイン設定信号発生手段を有していること
が望ましいものである。
【０００６】
【作用】上述の如き構成によれば、ゲイン設定信号発生
手段が油圧サーボ系に於ける制御量を入力して当該制御
量に応じてゲイン設定信号を発生し、このゲイン設定信
号によりゲイン設定手段が油圧サーボ系の制御量、換言
すれば油圧サーボ系の動作状態に応じて油圧サーボ系の
ゲインを可変設定する。
手段が油圧サーボ系に於ける制御量を入力して当該制御
量に応じてゲイン設定信号を発生し、このゲイン設定信
号によりゲイン設定手段が油圧サーボ系の制御量、換言
すれば油圧サーボ系の動作状態に応じて油圧サーボ系の
ゲインを可変設定する。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
【０００８】図１は本発明による油圧サーボ系のサーボ
バルブ制御装置の基本的構成を示している。この油圧サ
ーボ系は制御対象としてのサーボバルブ１と、ゲイン設
定手段３と、ゲイン設定信号発生手段５とを有してい
る。
バルブ制御装置の基本的構成を示している。この油圧サ
ーボ系は制御対象としてのサーボバルブ１と、ゲイン設
定手段３と、ゲイン設定信号発生手段５とを有してい
る。
【０００９】サーボゲイン設定手段３は、目標値Ｒと位
置検出器により検出されるサーボバルブ１の開度、即ち
サーボバルブ１の制御量Ｙとの差による制御偏差Ｅを与
えられ、入力するゲイン設定信号Ｋｓに応じてゲインＫ
を設定して操作量信号Ｕをサーボバルブ１へ出力するよ
うになっている。
置検出器により検出されるサーボバルブ１の開度、即ち
サーボバルブ１の制御量Ｙとの差による制御偏差Ｅを与
えられ、入力するゲイン設定信号Ｋｓに応じてゲインＫ
を設定して操作量信号Ｕをサーボバルブ１へ出力するよ
うになっている。
【００１０】ゲイン設定信号発生手段５は、サーボバル
ブ１の制御量Ｙを入力し、制御量Ｙに応じて予め定めら
れた特性に従って変化するゲイン設定信号Ｋｓを発生
し、このゲイン設定信号Ｋｓをサーボゲイン設定手段３
へ出力するようになっている。
ブ１の制御量Ｙを入力し、制御量Ｙに応じて予め定めら
れた特性に従って変化するゲイン設定信号Ｋｓを発生
し、このゲイン設定信号Ｋｓをサーボゲイン設定手段３
へ出力するようになっている。
【００１１】これにより油圧サーボ系のゲインＫはサー
ボバルブ１の制御量Ｙに応じて予め定められた特性に従
って変化する。
ボバルブ１の制御量Ｙに応じて予め定められた特性に従
って変化する。
【００１２】図２および図３は本発明によるサーボバル
ブ制御装置を含む油圧サーボ系をタレットパンチプレス
のラム駆動装置に適用した場合の一実施例を示してい
る。図２に示されている如く、タレットパンチプレス
は、上部タレットディスク１１にパンチ１３を、下部タ
レットディスク１５にダイ１７を各々保持している。パ
ンチ１３はプレス位置にてラム１９に接続されたストラ
イカ２１の真下に位置してストライカ２１により打圧さ
れるようになっている。
ブ制御装置を含む油圧サーボ系をタレットパンチプレス
のラム駆動装置に適用した場合の一実施例を示してい
る。図２に示されている如く、タレットパンチプレス
は、上部タレットディスク１１にパンチ１３を、下部タ
レットディスク１５にダイ１７を各々保持している。パ
ンチ１３はプレス位置にてラム１９に接続されたストラ
イカ２１の真下に位置してストライカ２１により打圧さ
れるようになっている。
【００１３】ラム１９は、油圧シリンダ装置２３のピス
トンロッド２５と接続され、油圧シリンダ装置２３によ
り上下方向に往復駆動されるようになっている。油圧シ
リンダ装置２３はピストン２７の両側に各々シリンダ室
２９、３１を有する復動式の油圧シリンダ装置であり、
シリンダ室３１に油圧を供給されることによりラム１９
を上昇駆動するようになっている。
トンロッド２５と接続され、油圧シリンダ装置２３によ
り上下方向に往復駆動されるようになっている。油圧シ
リンダ装置２３はピストン２７の両側に各々シリンダ室
２９、３１を有する復動式の油圧シリンダ装置であり、
シリンダ室３１に油圧を供給されることによりラム１９
を上昇駆動するようになっている。
【００１４】シリンダ室２９、３１に対する油圧の供
給、排出はリニアサーボバルブ３３により定量的に行わ
れるようになっている。
給、排出はリニアサーボバルブ３３により定量的に行わ
れるようになっている。
【００１５】リニアサーボバルブ３３は、電磁作動式の
リニアサーボバルブであり、リニアドライブマグネット
３５に与えられる電流に応じてスプール開度を定量的に
変化するように構成されており、油圧ポンプ３７、プレ
ッシャレギュレートバルブ３９を含む油圧供給系より油
圧を与えられ、スプール開度に応じてシリンダ室２９、
３１に供給する油圧の流量を定量的に制御するようにな
っている。
リニアサーボバルブであり、リニアドライブマグネット
３５に与えられる電流に応じてスプール開度を定量的に
変化するように構成されており、油圧ポンプ３７、プレ
ッシャレギュレートバルブ３９を含む油圧供給系より油
圧を与えられ、スプール開度に応じてシリンダ室２９、
３１に供給する油圧の流量を定量的に制御するようにな
っている。
【００１６】リニアサーボバルブ３３のリニアドライブ
マグネット３５に与える電流の制御はサーボバルブ制御
装置４１により行われるようになっている。
マグネット３５に与える電流の制御はサーボバルブ制御
装置４１により行われるようになっている。
【００１７】図３に示されている如く、サーボバルブ制
御装置４１は、スプール開度指令発生部４３、スプール
位置アンプ４５、電流アンプ４７を有している。
御装置４１は、スプール開度指令発生部４３、スプール
位置アンプ４５、電流アンプ４７を有している。
【００１８】スプール開度指令発生部４３はスプール開
度指令信号を発生してスプール開度指令信号を加え合わ
せ点４９へ出力し、加え合わせ点４９はスプール開度指
令信号とリニアサーボバルブ３３に設けられた位置検出
器５１により検出されるリニアサーボバルブ３３のスプ
ール位置を示す位置フィードバック信号との差による制
御偏差をスプール位置アンプ４５へ出力するようになっ
ている。
度指令信号を発生してスプール開度指令信号を加え合わ
せ点４９へ出力し、加え合わせ点４９はスプール開度指
令信号とリニアサーボバルブ３３に設けられた位置検出
器５１により検出されるリニアサーボバルブ３３のスプ
ール位置を示す位置フィードバック信号との差による制
御偏差をスプール位置アンプ４５へ出力するようになっ
ている。
【００１９】スプール位置アンプ４５はゲイン可変型の
増幅器であり、入力したゲイン設定信号に応じてゲイン
を設定し、そのゲインをもって制御偏差を増幅して速度
指令信号として加え合わせ点５３へ出力するようになっ
ている。
増幅器であり、入力したゲイン設定信号に応じてゲイン
を設定し、そのゲインをもって制御偏差を増幅して速度
指令信号として加え合わせ点５３へ出力するようになっ
ている。
【００２０】加え合わせ点５３は速度指令信号と位置フ
ィードバック信号を微分する微分器５５が出力する速度
フィードバック信号との差よる制御偏差を電流アンプ４
７へ出力するようになっている。
ィードバック信号を微分する微分器５５が出力する速度
フィードバック信号との差よる制御偏差を電流アンプ４
７へ出力するようになっている。
【００２１】電流アンプ４７は入力する制御偏差を所定
の増幅度をもって増幅してバルブ駆動電流をリニアサー
ボバルブ３３のリニアドライブマグネット３５へ供給す
るようになっている。
の増幅度をもって増幅してバルブ駆動電流をリニアサー
ボバルブ３３のリニアドライブマグネット３５へ供給す
るようになっている。
【００２２】スプール位置アンプ４５が入力するゲイン
設定信号はゲイン選択回路５７が出力するようになって
いる。ゲイン選択回路５７は、位置検出器５１より位置
フィードバック信号を、微分器５５より速度フィードバ
ック信号を各々入力し、これらより、油圧シリンダ装置
２３のピストン変位を検出し、図４（ｂ）に示されてい
る如く、ラム１９の往復駆動に於いてピストン変位が零
点（初期位置）より最大になり、その後に零点近くにま
で戻る領域Ａと、その零点近くにまで戻った点よりピス
トン変位が零点に戻るまでの領域Ｂとを判別し、領域Ａ
に於いてはゲインを比較的大きい値に設定するゲイン設
定信号をスプール位置アンプ４５へ出力し、領域Ｂに於
いてはゲインを比較的小さい値に設定するゲイン設定信
号をスプール位置アンプ４５へ出力するように構成され
ている。
設定信号はゲイン選択回路５７が出力するようになって
いる。ゲイン選択回路５７は、位置検出器５１より位置
フィードバック信号を、微分器５５より速度フィードバ
ック信号を各々入力し、これらより、油圧シリンダ装置
２３のピストン変位を検出し、図４（ｂ）に示されてい
る如く、ラム１９の往復駆動に於いてピストン変位が零
点（初期位置）より最大になり、その後に零点近くにま
で戻る領域Ａと、その零点近くにまで戻った点よりピス
トン変位が零点に戻るまでの領域Ｂとを判別し、領域Ａ
に於いてはゲインを比較的大きい値に設定するゲイン設
定信号をスプール位置アンプ４５へ出力し、領域Ｂに於
いてはゲインを比較的小さい値に設定するゲイン設定信
号をスプール位置アンプ４５へ出力するように構成され
ている。
【００２３】上述の如きによれば、ラム１９の往復駆動
に於いて、ピストン変位が零点（初期位置）より最大に
なり、その後に零点近くにまで戻る領域Ａに於いては、
ゲイン選択回路５７がゲインを比較的大きい値に設定す
るゲイン設定信号をスプール位置アンプ４５へ出力し、
これによりこの領域Ａに於いては、スプール位置アンプ
４５のゲインが比較的大きい値に設定される。このこと
により領域Ａに於いては、時間遅れ、制御目標値に対す
る偏差が小さい値になり、速応性と高精度性とが保た
れ、またラム１９の高速駆動が可能になる。
に於いて、ピストン変位が零点（初期位置）より最大に
なり、その後に零点近くにまで戻る領域Ａに於いては、
ゲイン選択回路５７がゲインを比較的大きい値に設定す
るゲイン設定信号をスプール位置アンプ４５へ出力し、
これによりこの領域Ａに於いては、スプール位置アンプ
４５のゲインが比較的大きい値に設定される。このこと
により領域Ａに於いては、時間遅れ、制御目標値に対す
る偏差が小さい値になり、速応性と高精度性とが保た
れ、またラム１９の高速駆動が可能になる。
【００２４】これに対しピストン変位が零点近くにまで
戻った点よりピストン変位が零点に戻るまでの領域Ｂに
於いては、スプール位置アンプ４５のゲインが比較的小
さい値に切り替え設定される。このことにより領域Ｂに
於いてオイルハンマ現象が発生することが回避される。
戻った点よりピストン変位が零点に戻るまでの領域Ｂに
於いては、スプール位置アンプ４５のゲインが比較的小
さい値に切り替え設定される。このことにより領域Ｂに
於いてオイルハンマ現象が発生することが回避される。
【００２５】図４（ａ）は上述の如きゲイン調整下に於
けるリニアサーボバルブ３３のスプールの速度変化とス
プール変位を各々示しており、また図４（ｂ）はこの時
の油圧シリンダ装置２３のピストン変位特性を示してい
る。
けるリニアサーボバルブ３３のスプールの速度変化とス
プール変位を各々示しており、また図４（ｂ）はこの時
の油圧シリンダ装置２３のピストン変位特性を示してい
る。
【００２６】すなわち、ニブリング加工において、例え
ば１打目、２打目ではゲインを図５にて実線で示すごと
くゲインを大にし、１打目から２打目へ移る間すなわち
クランプされたワークを移動させているとき、ゲインを
点線で示すごとく、小となるように、前記ゲイン選択回
路５７で切換えることができる。したがって、ニブリン
グ加工中に低振動となり、振動音を小さくさせることが
できる。
ば１打目、２打目ではゲインを図５にて実線で示すごと
くゲインを大にし、１打目から２打目へ移る間すなわち
クランプされたワークを移動させているとき、ゲインを
点線で示すごとく、小となるように、前記ゲイン選択回
路５７で切換えることができる。したがって、ニブリン
グ加工中に低振動となり、振動音を小さくさせることが
できる。
【００２７】以上に於ては、本発明を特定の実施例につ
いて詳細に説明したが、本発明は、これに限定されるも
のではなく、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能で
あることは当業者にとって明らかであろう。図１におい
て、ゲイン設定信号発生手段５を２点鎖線で示すごと
く、サーボバルブ１の制御量のフィードバックを取り込
まず、予め外部に設けてもよい。
いて詳細に説明したが、本発明は、これに限定されるも
のではなく、本発明の範囲内にて種々の実施例が可能で
あることは当業者にとって明らかであろう。図１におい
て、ゲイン設定信号発生手段５を２点鎖線で示すごと
く、サーボバルブ１の制御量のフィードバックを取り込
まず、予め外部に設けてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明から理解される如く、本発明
によるサーボバルブ制御装置によれば、ゲイン設定信号
発生手段が油圧サーボ系に於ける制御量を入力して当該
制御量に応じてゲイン設定信号を発生し、このゲイン設
定信号によりゲイン設定手段が油圧サーボ系の動作状態
に応じて油圧サーボ系のゲインを可変設定するから、オ
イルハンマ現象の低減が図られ低振動となると共に高
速、高精度の油圧サーボ系が実現されるようになる。
によるサーボバルブ制御装置によれば、ゲイン設定信号
発生手段が油圧サーボ系に於ける制御量を入力して当該
制御量に応じてゲイン設定信号を発生し、このゲイン設
定信号によりゲイン設定手段が油圧サーボ系の動作状態
に応じて油圧サーボ系のゲインを可変設定するから、オ
イルハンマ現象の低減が図られ低振動となると共に高
速、高精度の油圧サーボ系が実現されるようになる。
【図１】本発明による油圧サーボ系のサーボバルブ制御
装置の基本的構成を示すブロック線図である。
装置の基本的構成を示すブロック線図である。
【図２】本発明によるサーボバルブ制御装置を含む油圧
サーボ系をタレットパンチプレスのラム駆動装置に適用
した場合の一実施例を示す要部の構成図である。
サーボ系をタレットパンチプレスのラム駆動装置に適用
した場合の一実施例を示す要部の構成図である。
【図３】本発明によるサーボバルブ制御装置を含む油圧
サーボ系をタレットパンチプレスのラム駆動装置に適用
した場合のサーボバルブ制御装置の一実施例を示すブロ
ック線図である。
サーボ系をタレットパンチプレスのラム駆動装置に適用
した場合のサーボバルブ制御装置の一実施例を示すブロ
ック線図である。
【図４】（ａ）は本発明によるサーボバルブ制御装置に
よるゲイン調整下に於けるリニアサーボバルブのスプー
ルの速度変化とスプール変位を各々示し、（ｂ）はこの
時の油圧シリンダ装置のピストン変位特性を示すグラフ
である。
よるゲイン調整下に於けるリニアサーボバルブのスプー
ルの速度変化とスプール変位を各々示し、（ｂ）はこの
時の油圧シリンダ装置のピストン変位特性を示すグラフ
である。
【図５】ニブリング加工における油圧サーボ系に於ける
スプール開度とピストン変位との関係を示すグラフであ
る。
スプール開度とピストン変位との関係を示すグラフであ
る。
１ サーボバルブ ３ ゲイン設定手段 ５ ゲイン設定信号発生手段 １３ パンチ １７ ダイ １９ ラム ２１ ストライカ ２３ 油圧シリンダ装置 ３３ リニアサーボバルブ ４１ サーボバルブ制御装置 ４３ スプール開度指令発生部 ４５ スプール位置アンプ ４７ 電流アンプ ５１ 位置検出器 ５７ ゲイン選択回路
Claims (2)
- 【請求項１】 油圧サーボ系のサーボバルブの動作をフ
ィードバック制御するサーボバルブ制御装置に於いて、
ゲイン設定信号を入力し当該ゲイン設定信号に応じて前
記サーボバルブを含む油圧サーボ系のゲインを可変設定
するゲイン設定手段を備えてなることを特徴とする油圧
サーボ系のサーボバルブ制御装置。 - 【請求項２】 油圧サーボ系に於ける制御量を入力し入
力制御量とサーボアンプ内の状態量に応じてゲイン設定
信号を発生してこれをゲイン設定手段へ出力するゲイン
設定信号発生手段を有していることを特徴とする請求項
１記載の油圧サーボ系のサーボバルブ制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34768192A JP3265020B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 油圧サーボ系のサーボバルブ制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34768192A JP3265020B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 油圧サーボ系のサーボバルブ制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06200906A true JPH06200906A (ja) | 1994-07-19 |
| JP3265020B2 JP3265020B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=18391856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34768192A Expired - Fee Related JP3265020B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 油圧サーボ系のサーボバルブ制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3265020B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002297243A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | スプール型流量制御弁及びその制御装置 |
| JP2013032913A (ja) * | 2011-07-07 | 2013-02-14 | Shimadzu Corp | 材料試験機 |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP34768192A patent/JP3265020B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002297243A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | スプール型流量制御弁及びその制御装置 |
| JP2013032913A (ja) * | 2011-07-07 | 2013-02-14 | Shimadzu Corp | 材料試験機 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3265020B2 (ja) | 2002-03-11 |
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