JPH0621245Y2 - 逆置防止装置付キャリヤ支持台 - Google Patents
逆置防止装置付キャリヤ支持台Info
- Publication number
- JPH0621245Y2 JPH0621245Y2 JP13526087U JP13526087U JPH0621245Y2 JP H0621245 Y2 JPH0621245 Y2 JP H0621245Y2 JP 13526087 U JP13526087 U JP 13526087U JP 13526087 U JP13526087 U JP 13526087U JP H0621245 Y2 JPH0621245 Y2 JP H0621245Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- partition wall
- carrier support
- prevention device
- mounting portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造に用いるウエハを収容するキャ
リヤ（カセットともいう）の支持台に関するものであ
る。
リヤ（カセットともいう）の支持台に関するものであ
る。
従来の技術 ウエハは、キャリヤに収容されて所定位置まで、搬送さ
れた後、自動ウエハ移し替え機により石英ボートに移し
替えられる。
れた後、自動ウエハ移し替え機により石英ボートに移し
替えられる。
そして、この石英ボートを熱処理炉に挿入して、ウエハ
の熱処理が行われる。
の熱処理が行われる。
ところで、ウエハの熱処理に際し、ウエハの加工面を所
定方向にしないとプロセス上問題が生じる。
定方向にしないとプロセス上問題が生じる。
そこで、ウエハ溝Ｗを形成したキャリヤＣの前面Ｆを、
第３図に示す様に、両足部１、２の間に水平部３を設
け、Ｈ字形状即ちＨ面４にしキャリヤＣの後面Ｂを、第
４図に示す様に、脚部５の上方にＵ字形状のくりぬき部
６を形成してＵ面７とすると共に通常ウエハの加工面を
Ｕ面７に向けて並べ、この状態で、キャリヤ支持台にキ
ャリヤをセットしている。
第３図に示す様に、両足部１、２の間に水平部３を設
け、Ｈ字形状即ちＨ面４にしキャリヤＣの後面Ｂを、第
４図に示す様に、脚部５の上方にＵ字形状のくりぬき部
６を形成してＵ面７とすると共に通常ウエハの加工面を
Ｕ面７に向けて並べ、この状態で、キャリヤ支持台にキ
ャリヤをセットしている。
考案が解決しようとする問題点 従来例のキャリヤ支持台は、垂直状のＨ面側仕切壁とＵ
面側仕切壁によりキャリヤを挟持しているが、このキャ
リヤ支持台には、逆置防止手段がないので、作業者が誤
ってキャリヤを逆向きにセットすることがある。
面側仕切壁によりキャリヤを挟持しているが、このキャ
リヤ支持台には、逆置防止手段がないので、作業者が誤
ってキャリヤを逆向きにセットすることがある。
そのため、キャリヤ内のウエハの加工面が反対向きとな
り、この状態で石英ボートにウエハを移し替えて熱処理
すると、前述にようにプロセス上の問題が生ずる。
り、この状態で石英ボートにウエハを移し替えて熱処理
すると、前述にようにプロセス上の問題が生ずる。
この考案は、上記事情に鑑み、キャリヤの逆置の防止を
図ることを目的とする。
図ることを目的とする。
問題点を解決するための手段 この考案は、対向するＨ面とＵ面とを備えたキャリヤを
載置する載置部と；該載置部に、前記キャリヤのＨ面Ｕ
面を挟む様に配設された一対の垂直状の仕切壁と；を備
えたキャリヤ支持台において、前記Ｈ面側の仕切壁が該
Ｈ面の切欠部に対応する位置に形成され、かつ、その内
側に突出する突起部を備えていることを特徴とする逆置
防止装置付キャリヤ支持台、により前記目的を達成しよ
うとするものである。
載置する載置部と；該載置部に、前記キャリヤのＨ面Ｕ
面を挟む様に配設された一対の垂直状の仕切壁と；を備
えたキャリヤ支持台において、前記Ｈ面側の仕切壁が該
Ｈ面の切欠部に対応する位置に形成され、かつ、その内
側に突出する突起部を備えていることを特徴とする逆置
防止装置付キャリヤ支持台、により前記目的を達成しよ
うとするものである。
作用 キャリヤＨ面をＨ面側仕切壁に対向させながらキャリヤ
を降下させると、該仕切壁の突起部は、Ｈ面の切欠部に
嵌入するので、キャリヤは載置部にセットされるが逆に
キャリヤＵ面をＨ面側仕切壁に対向させながら、キャリ
ヤを降下させると、該仕切壁の突起部はＵ面の脚部と衝
突するのでキャリヤを載置部にセットすることができな
い。
を降下させると、該仕切壁の突起部は、Ｈ面の切欠部に
嵌入するので、キャリヤは載置部にセットされるが逆に
キャリヤＵ面をＨ面側仕切壁に対向させながら、キャリ
ヤを降下させると、該仕切壁の突起部はＵ面の脚部と衝
突するのでキャリヤを載置部にセットすることができな
い。
実施例 この考案の実施例を添付図面により説明すると、１０
は、キャリヤＣが設置されるキャリヤ支持台１１の載置
部で、この載置部１０の両側には、Ｕ面側仕切壁１２と
Ｈ面側仕切壁１３が設けられている。
は、キャリヤＣが設置されるキャリヤ支持台１１の載置
部で、この載置部１０の両側には、Ｕ面側仕切壁１２と
Ｈ面側仕切壁１３が設けられている。
Ｕ面側仕切壁１２は、垂直状に形成され、キャリヤＣが
正常にセットされた時には、Ｕ面７と対向する。
正常にセットされた時には、Ｕ面７と対向する。
Ｈ面側仕切壁１３は、その内側に突起部１４が形成さ
れ、キャリヤＣが正常にセットされた時には、この突起
部１４は、Ｈ面４の切欠部１５に嵌入される。
れ、キャリヤＣが正常にセットされた時には、この突起
部１４は、Ｈ面４の切欠部１５に嵌入される。
次に、この実施例の作動につき説明する。
Ｕ面７にウエハの加工面を向けながら、ウエハをキャリ
ヤＣに収容した後、該キャリヤＣをＵ面側仕切壁１２と
Ｈ面側仕切壁１３との間の載置部１０にセットするが、
この時、キャリヤＣのＨ面４とＨ面側仕切壁１３とが対
向していると、即ち、キャリヤＣが正常の方向である時
には、仕切壁１３の突起部１４は、Ｈ面４の切欠部１５
に嵌入されるのでキャリヤＣは、第１図に示す様に載置
部１０にセットされるが、これと反対にキャリヤＣのＵ
面７とＨ面側仕切壁１３とが対向していると、即ち、キ
ャリヤＣが逆方向であるときには、仕切壁１３の突起部
１４は、Ｕ面７の脚部５に衝突し第２図の様になるの
で、キャリヤＣを載置部１０にセットすることができな
い。
ヤＣに収容した後、該キャリヤＣをＵ面側仕切壁１２と
Ｈ面側仕切壁１３との間の載置部１０にセットするが、
この時、キャリヤＣのＨ面４とＨ面側仕切壁１３とが対
向していると、即ち、キャリヤＣが正常の方向である時
には、仕切壁１３の突起部１４は、Ｈ面４の切欠部１５
に嵌入されるのでキャリヤＣは、第１図に示す様に載置
部１０にセットされるが、これと反対にキャリヤＣのＵ
面７とＨ面側仕切壁１３とが対向していると、即ち、キ
ャリヤＣが逆方向であるときには、仕切壁１３の突起部
１４は、Ｕ面７の脚部５に衝突し第２図の様になるの
で、キャリヤＣを載置部１０にセットすることができな
い。
考案の効果 この考案は、以上の様にＨ面側仕切壁がその内側に突起
部を備えているので、キャリヤのＵ面がＨ面側仕切壁に
対向している時、即ち、キャリヤが逆置の時には、突起
部がＵ面の脚部に衝突するのでキャリヤをセットするこ
とができない。
部を備えているので、キャリヤのＵ面がＨ面側仕切壁に
対向している時、即ち、キャリヤが逆置の時には、突起
部がＵ面の脚部に衝突するのでキャリヤをセットするこ
とができない。
従って、キャリヤの逆置は、完全に防止することができ
るので従来例のようなプロセス上の問題は発生しない。
るので従来例のようなプロセス上の問題は発生しない。
第１図は、この考案の実施例を示す一部断面正面図、第
２図は、第１図の他の状態を示す一部断面正面図、第３
図〜第５図は、従来例を示す図で第３図は、キャリヤの
左側面図、第４図は、同右側面図、第５図は、同平面図
である。 １０……載置部 １１……キャリヤ支持台 １２……Ｕ面側仕切壁 １３……Ｈ面側仕切壁 １４……突起部
２図は、第１図の他の状態を示す一部断面正面図、第３
図〜第５図は、従来例を示す図で第３図は、キャリヤの
左側面図、第４図は、同右側面図、第５図は、同平面図
である。 １０……載置部 １１……キャリヤ支持台 １２……Ｕ面側仕切壁 １３……Ｈ面側仕切壁 １４……突起部
Claims (1)
- 【請求項１】対向するＨ面とＵ面とを備えたキャリヤを
載置する載置部と；該載置部に、前記キャリヤのＨ面Ｕ
面を挟む様に配設された一対の垂直状の仕切壁と；を備
えたキャリヤ支持台において、前記Ｈ面側の仕切壁が、
該Ｈ面の切欠部に対応する位置に形成され、かつ、その
内側に突出する突起部を備えていることを特徴とする逆
置防止装置付キャリヤ支持台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13526087U JPH0621245Y2 (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 | 逆置防止装置付キャリヤ支持台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13526087U JPH0621245Y2 (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 | 逆置防止装置付キャリヤ支持台 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439640U JPS6439640U (ja) | 1989-03-09 |
| JPH0621245Y2 true JPH0621245Y2 (ja) | 1994-06-01 |
Family
ID=31394727
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13526087U Expired - Lifetime JPH0621245Y2 (ja) | 1987-09-04 | 1987-09-04 | 逆置防止装置付キャリヤ支持台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621245Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-04 JP JP13526087U patent/JPH0621245Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6439640U (ja) | 1989-03-09 |
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