JPS5961942A - 薄板キヤリア治具 - Google Patents
薄板キヤリア治具Info
- Publication number
- JPS5961942A JPS5961942A JP57170881A JP17088182A JPS5961942A JP S5961942 A JPS5961942 A JP S5961942A JP 57170881 A JP57170881 A JP 57170881A JP 17088182 A JP17088182 A JP 17088182A JP S5961942 A JPS5961942 A JP S5961942A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- carrier jig
- thin plate
- separating plate
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/15—Horizontal carrier comprising wall type elements whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising sidewalls
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は比較的に脆い材質より成る薄板、例えば半導体
製品の母材である半導体ウェハのためのキャリア（運搬
）用治具に関する。
製品の母材である半導体ウェハのためのキャリア（運搬
）用治具に関する。
トランジスタやＩＣ等の半導体素子は一般にシリコン単
結晶の５すい円板（ウエノ・）上に光学食刻処理や不純
物拡散処理を繰り返して素子形成を行なうものであり、
したがって素子が加工されるウェハ表面は常に物理的に
他の物体から非接触の状態にあることが望ましい。
結晶の５すい円板（ウエノ・）上に光学食刻処理や不純
物拡散処理を繰り返して素子形成を行なうものであり、
したがって素子が加工されるウェハ表面は常に物理的に
他の物体から非接触の状態にあることが望ましい。
このウェハに半導体素子を加工する工程間の運搬時にお
いては多数のウェハを縦にして支持するための複数の溝
部と隔板を交互に形成した枠体からなるウェハキャリア
治具が用いられている。第１図は現在使用さしているキ
ャリア治具の一例を横断面図により示し、第２図は一部
を切り欠いて第１図におけるＡ−Ｘ親網断面をあられす
正面図により示すものである。これらの図において、１
は処理されるシリコンウェハ、２は枠体脚部、３は枠体
側板、４は隔板、５はウエノ・を挿入さｎる溝部で、こ
の溝部５と隔板４とは前後方向に交互に複数組形成され
ている。
いては多数のウェハを縦にして支持するための複数の溝
部と隔板を交互に形成した枠体からなるウェハキャリア
治具が用いられている。第１図は現在使用さしているキ
ャリア治具の一例を横断面図により示し、第２図は一部
を切り欠いて第１図におけるＡ−Ｘ親網断面をあられす
正面図により示すものである。これらの図において、１
は処理されるシリコンウェハ、２は枠体脚部、３は枠体
側板、４は隔板、５はウエノ・を挿入さｎる溝部で、こ
の溝部５と隔板４とは前後方向に交互に複数組形成され
ている。
ウェハｌは枠体の上部から隔板４にそって溝部５に挿入
さ扛、隔板４の一方の面にもたせかける状態で収納され
る。このようなキャリア治具は通常に置かれた状態で隔
板４は水平面に対して直角（垂直方向）に設けであるた
めウェハ製品移動時において振動や軽度の傾きによって
第３図に示すようにウェハ１が破線で示すように傾いて
その加工される面（表面とする）＋Ａが隔板４の内面に
接触し、そのためウェハの＋Ａ面で傷、チッピングが発
生し、これが素子形成面での外観不良を来たすことで問
題となっている。
さ扛、隔板４の一方の面にもたせかける状態で収納され
る。このようなキャリア治具は通常に置かれた状態で隔
板４は水平面に対して直角（垂直方向）に設けであるた
めウェハ製品移動時において振動や軽度の傾きによって
第３図に示すようにウェハ１が破線で示すように傾いて
その加工される面（表面とする）＋Ａが隔板４の内面に
接触し、そのためウェハの＋Ａ面で傷、チッピングが発
生し、これが素子形成面での外観不良を来たすことで問
題となっている。
本発明は上記した問題を解決したもので、キャリア治具
の構造を改善し、運搬時に生じる薄板の外観不良をなく
すことを目的とする。以下実施例にそって詳述する。
の構造を改善し、運搬時に生じる薄板の外観不良をなく
すことを目的とする。以下実施例にそって詳述する。
第４図は本発明の一実施例であるキャリア治具の原理的
構造を一部切り欠き縦断面図により示すものである。同
図において在来例として示した第２図と共通する構成部
分は同一の指示番号で示している。
構造を一部切り欠き縦断面図により示すものである。同
図において在来例として示した第２図と共通する構成部
分は同一の指示番号で示している。
本発明においては、ウェハ１の素子が形成される被加工
面ＩＡが治具の隔板４と非接触を保つように各隔板４及
び溝部らを垂直面（Ｙ−Ｙ’）より後方−１θだけ傾け
である。この場合、水平面Ｘ−Ｚに対してθだけ傾いた
枠体上面に対して各隔板４（及び溝部５）の主面が直角
方向に形成される。
面ＩＡが治具の隔板４と非接触を保つように各隔板４及
び溝部らを垂直面（Ｙ−Ｙ’）より後方−１θだけ傾け
である。この場合、水平面Ｘ−Ｚに対してθだけ傾いた
枠体上面に対して各隔板４（及び溝部５）の主面が直角
方向に形成される。
このためには枠体の本体（）、鵬は在来の枠体の本体部
分と同じ形状のものを用い、脚部において前後の高さを
変える構造とすればよい。すなわち、同図に示すように
前脚部２ａの高さｈｌ とし、後脚部２ｂの高さｈ２と
して、ｈＩ＞ｈ２ とする。具体的にはｈｌをｈ２ よ
りも５〜１０９程度高（することにより、治具を通常に
設置した場合に隔板に適度の傾きをもたせることができ
る。第６図は本発明によるキャリア治具を全体斜面図に
より示すものである。
分と同じ形状のものを用い、脚部において前後の高さを
変える構造とすればよい。すなわち、同図に示すように
前脚部２ａの高さｈｌ とし、後脚部２ｂの高さｈ２と
して、ｈＩ＞ｈ２ とする。具体的にはｈｌをｈ２ よ
りも５〜１０９程度高（することにより、治具を通常に
設置した場合に隔板に適度の傾きをもたせることができ
る。第６図は本発明によるキャリア治具を全体斜面図に
より示すものである。
以上実施例で述べた本発明によれば第５図に示すように
キャリア治具の溝部５内にウェハを挿入しウェハの素子
の形成されない裏面ＩＢを隔板４にもたせかけるように
して収納できる構造であるためと素子の形成される表面
ＩＡは常に傾いた面の上側となっており、製品の移動時
の軽度の傾きや振動に対してもウェハが常に一定の向き
を保ち治具（隔板）に接触することがなく、接触による
傷、チッピング等を防止し外観不良が大幅に改善される
。
キャリア治具の溝部５内にウェハを挿入しウェハの素子
の形成されない裏面ＩＢを隔板４にもたせかけるように
して収納できる構造であるためと素子の形成される表面
ＩＡは常に傾いた面の上側となっており、製品の移動時
の軽度の傾きや振動に対してもウェハが常に一定の向き
を保ち治具（隔板）に接触することがなく、接触による
傷、チッピング等を防止し外観不良が大幅に改善される
。
本発明によれば溝部の開口側となる枠体上面に対して各
溝面な直角方向に形成しであるためにウェハを一つのキ
ャリア治具かも他のキャリア治具に移し替える場合に容
易に行なうことが出来る。
溝面な直角方向に形成しであるためにウェハを一つのキ
ャリア治具かも他のキャリア治具に移し替える場合に容
易に行なうことが出来る。
第７図はキャリア治具Ｉ内に収納されたウェハをキャリ
ア治具■に移し替える場合の形態を示すものである。こ
のウェハ移し替えにあたって２つの治具１．ｌＩ内でウ
ェハ１が素子形成面ＩＡを上にして水平になるように設
置する。すなわち２つの治具１．ｌＩの前脚部２ａが上
に後脚部２ｂが下になるようにして治具の上面を対向さ
せれば向い合う各治具の隔板は合せ面０−ＯＫ対し対称
位置になり、一方から他方ヘウェハを容易に移すことが
できる。
ア治具■に移し替える場合の形態を示すものである。こ
のウェハ移し替えにあたって２つの治具１．ｌＩ内でウ
ェハ１が素子形成面ＩＡを上にして水平になるように設
置する。すなわち２つの治具１．ｌＩの前脚部２ａが上
に後脚部２ｂが下になるようにして治具の上面を対向さ
せれば向い合う各治具の隔板は合せ面０−ＯＫ対し対称
位置になり、一方から他方ヘウェハを容易に移すことが
できる。
本発明は半導体ウェハに限らず、薄いガラスマスクの如
き脆い月質より成る薄板の運搬用キャリア治具として利
用できる。
き脆い月質より成る薄板の運搬用キャリア治具として利
用できる。
第１図はこれまでのキャリア治具の例を示す横断面図で
ある。 第２図は第１図の一部Ａ−Ａ縦断面正面図である。 第３図は第２図の一部を拡大した縦断面図である。 第４図は本発明によるキャリア治具の例を示す一部縦断
面正面図である。 第５図は第４図の一部を拡大した縦断面図である。 第６図は本発明によるキャリア治具の全体斜面図である
。 第７図は本発明によるキャリア治具を用いてウェハ移し
替えを行なう場合の正面図である。 １・・・ウェハ、２・・・枠体脚部、３・・・枠体側板
、４・・・隔板、訃・・溝部。 代理人 弁理士 薄 １）利 幸 ・ノ 第 １ 図 − Ａ′−２ 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図 ／ γ 、ノ 第 ５ 図 、、）Ｏ
ある。 第２図は第１図の一部Ａ−Ａ縦断面正面図である。 第３図は第２図の一部を拡大した縦断面図である。 第４図は本発明によるキャリア治具の例を示す一部縦断
面正面図である。 第５図は第４図の一部を拡大した縦断面図である。 第６図は本発明によるキャリア治具の全体斜面図である
。 第７図は本発明によるキャリア治具を用いてウェハ移し
替えを行なう場合の正面図である。 １・・・ウェハ、２・・・枠体脚部、３・・・枠体側板
、４・・・隔板、訃・・溝部。 代理人 弁理士 薄 １）利 幸 ・ノ 第 １ 図 − Ａ′−２ 第 ２ 図 第 ３ 図 第 ４ 図 ／ γ 、ノ 第 ５ 図 、、）Ｏ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、薄板を立てかけるための溝部と隔板とを交互に有す
る枠体からなる薄板キャリア治具におい−〔、薄板の一
方の面が隔板と非接触となるように各隔板に傾きを持た
せたことを特徴と１″る薄板キャリア治具。 ２、各隔板をその開口側となる枠体上面に対して直角に
形成するとともに枠体の脚部の一方を他方より高（する
ことにより隔板に傾きをもたせた特許請求の範囲第１項
に記載の薄板キャリア治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57170881A JPS5961942A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 薄板キヤリア治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57170881A JPS5961942A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 薄板キヤリア治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5961942A true JPS5961942A (ja) | 1984-04-09 |
Family
ID=15913037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57170881A Pending JPS5961942A (ja) | 1982-10-01 | 1982-10-01 | 薄板キヤリア治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5961942A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60223111A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体ウェーハ用収納ケース |
| JPS60245143A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-04 | Tokyo Erekutoron Kk | ウエ−ハカセツト搬送機構 |
-
1982
- 1982-10-01 JP JP57170881A patent/JPS5961942A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60223111A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体ウェーハ用収納ケース |
| JPS60245143A (ja) * | 1984-05-18 | 1985-12-04 | Tokyo Erekutoron Kk | ウエ−ハカセツト搬送機構 |
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