JPH06213824A - 表面の検査方法および検査装置 - Google Patents
表面の検査方法および検査装置Info
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- JPH06213824A JPH06213824A JP5293190A JP29319093A JPH06213824A JP H06213824 A JPH06213824 A JP H06213824A JP 5293190 A JP5293190 A JP 5293190A JP 29319093 A JP29319093 A JP 29319093A JP H06213824 A JPH06213824 A JP H06213824A
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G01N21/8851—Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 表面を光学的に走査することにより得られた
信号を区分的に処理し、各区分についての平均値、最大
最小値、代表的中間値にもとづく演算判断にもとづき、
小さい表面欠陥を高い確実性をもって検査する。 【構成】 被験材料の表面状態に関する情報を得るた
め、表面を光学測定器でライン状に走査して測定器から
送られた信号を処理し、被験材料の表面を検査する。そ
の場合に、検知されたラインをそれぞれ区分的に処理
し、各区分について平均値、最大値および／または最小
値、および区分の代表的な中間値および後続の処理に到
達する中間値を検知し、この中間値が、最大値または最
小値が平均値を中心に設定された許容誤差範囲の外にあ
る場合には最大値または最小値に等しく、その他の場合
には平均値に等しいようにする。
信号を区分的に処理し、各区分についての平均値、最大
最小値、代表的中間値にもとづく演算判断にもとづき、
小さい表面欠陥を高い確実性をもって検査する。 【構成】 被験材料の表面状態に関する情報を得るた
め、表面を光学測定器でライン状に走査して測定器から
送られた信号を処理し、被験材料の表面を検査する。そ
の場合に、検知されたラインをそれぞれ区分的に処理
し、各区分について平均値、最大値および／または最小
値、および区分の代表的な中間値および後続の処理に到
達する中間値を検知し、この中間値が、最大値または最
小値が平均値を中心に設定された許容誤差範囲の外にあ
る場合には最大値または最小値に等しく、その他の場合
には平均値に等しいようにする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、試験されるべき材料の
表面状態に関する情報を得るために、表面を光学測定器
でライン状に走査して測定器から送られた信号を処理す
る、試験されるべき材料の表面を検査する検査方法に関
するものである。
表面状態に関する情報を得るために、表面を光学測定器
でライン状に走査して測定器から送られた信号を処理す
る、試験されるべき材料の表面を検査する検査方法に関
するものである。
【０００２】さらに本発明は、試験されるべき材料の表
面構造をライン状に検知する光学測定器、特にレーザー
スキャナまたはビデオカメラと、測定器から送られた信
号を処理する信号評価ユニットとを有する表面の検査装
置に関するものである。
面構造をライン状に検知する光学測定器、特にレーザー
スキャナまたはビデオカメラと、測定器から送られた信
号を処理する信号評価ユニットとを有する表面の検査装
置に関するものである。
【０００３】
【従来の技術】この種類の方法またはシステムは、たと
えばシート状の金属、紙および繊維を製造または加工す
る際に表面欠陥を検出するために用いる。この場合、例
えばベルトコンベヤで運ばれる材料に、この材料の表面
をライン状に走査する測定器を通過させる。それによ
り、測定器は材料表面に対する代表的な信号を送り、次
にこの信号は欠陥検出ユニットにより評価される。
えばシート状の金属、紙および繊維を製造または加工す
る際に表面欠陥を検出するために用いる。この場合、例
えばベルトコンベヤで運ばれる材料に、この材料の表面
をライン状に走査する測定器を通過させる。それによ
り、測定器は材料表面に対する代表的な信号を送り、次
にこの信号は欠陥検出ユニットにより評価される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】これらのシステムにお
いて不利益点と感ぜられるのは、それらが十分高い分解
能で作動することがなく、そのためにシステムの信頼性
が制限され、それゆえ確実な欠陥検出が保証できないこ
と、または、確実な欠陥検出を保証する高い分解能は達
成されているが、それが高い製造コストでしか実現でき
ず、そのためにシステムの経済性が著しく低下するこ
と、である。
いて不利益点と感ぜられるのは、それらが十分高い分解
能で作動することがなく、そのためにシステムの信頼性
が制限され、それゆえ確実な欠陥検出が保証できないこ
と、または、確実な欠陥検出を保証する高い分解能は達
成されているが、それが高い製造コストでしか実現でき
ず、そのためにシステムの経済性が著しく低下するこ
と、である。
【０００５】さらに、材料表面に特定の面積で延びてい
る欠陥パターンを検出することは不確実である。その理
由は、この目的のために、一方では欠陥パターンをカバ
ーする数の走査ラインを記憶せねばならず、他方では後
から各走査ラインを試験されるべき材料の表面の位置と
対応できることも保証されなければならないからであ
る。これは特に、試験されるべき材料が測定器を一定の
速度で通過しない場合は問題である。
る欠陥パターンを検出することは不確実である。その理
由は、この目的のために、一方では欠陥パターンをカバ
ーする数の走査ラインを記憶せねばならず、他方では後
から各走査ラインを試験されるべき材料の表面の位置と
対応できることも保証されなければならないからであ
る。これは特に、試験されるべき材料が測定器を一定の
速度で通過しない場合は問題である。
【０００６】本発明の目的は、小さい表面欠陥を高い確
実性と低い経済的コストで表面を検査する方法もしくは
表面検査装置を提供することである。
実性と低い経済的コストで表面を検査する方法もしくは
表面検査装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに本発明の方法は、検知されたラインをそれぞれ区分
的に処理し、各区分について平均値、最大値および／ま
たは最小値、および各区分の代表的な中間値および後続
の処理に到達する中間値を探索し、この中間値が、最大
値または最小値が平均値を中心に設定された許容誤差範
囲の外にある場合には最大値もしくは最小値に等しく、
その他の場合には平均値に等しいようにする。
めに本発明の方法は、検知されたラインをそれぞれ区分
的に処理し、各区分について平均値、最大値および／ま
たは最小値、および各区分の代表的な中間値および後続
の処理に到達する中間値を探索し、この中間値が、最大
値または最小値が平均値を中心に設定された許容誤差範
囲の外にある場合には最大値もしくは最小値に等しく、
その他の場合には平均値に等しいようにする。
【０００８】また本発明の目的を達成するために本発明
の表面検査装置は、信号評価ユニットがデータ整理に用
いる前処理段階を包含し、検知されたラインをこの前処
理段階でそれぞれ区分的に処理し、その際に各区分につ
いて平均値、最大値および／または最小値、および区分
の代表的な中間値および後続の処理に到達する中間値を
探索し、最大値または最小値が平均値を中心に設定され
た許容誤差範囲の外にある場合についてはこの中間値が
最大値または最小値に等しく、その他の場合については
平均値に等しくされるようになっている。
の表面検査装置は、信号評価ユニットがデータ整理に用
いる前処理段階を包含し、検知されたラインをこの前処
理段階でそれぞれ区分的に処理し、その際に各区分につ
いて平均値、最大値および／または最小値、および区分
の代表的な中間値および後続の処理に到達する中間値を
探索し、最大値または最小値が平均値を中心に設定され
た許容誤差範囲の外にある場合についてはこの中間値が
最大値または最小値に等しく、その他の場合については
平均値に等しくされるようになっている。
【０００９】本発明の好適な方法において、光学的測定
器から送られたアナログ信号はディジタル値に変換さ
れ、走査された各ライン区分にそれぞれ所定の数のディ
ジタル値が割り当てられる。例えば、ライン区分ごとに
２つ、４つまたはそれ以上のディジタル値を求めること
ができる。
器から送られたアナログ信号はディジタル値に変換さ
れ、走査された各ライン区分にそれぞれ所定の数のディ
ジタル値が割り当てられる。例えば、ライン区分ごとに
２つ、４つまたはそれ以上のディジタル値を求めること
ができる。
【００１０】次に、１つのライン区分に属するディジタ
ル値から、計算によってそれぞれの平均値、最大値およ
び最小値を求める。次に、これらの値と所定の許容誤差
範囲の大きさから、各ライン区分を代表する中間値を計
算する。こうして各ライン区分について正確に１つの代
表的なディジタル中間値が得られる。さらに、このディ
ジタル中間値は、ディジタル信号処理段階で処理でき
る。
ル値から、計算によってそれぞれの平均値、最大値およ
び最小値を求める。次に、これらの値と所定の許容誤差
範囲の大きさから、各ライン区分を代表する中間値を計
算する。こうして各ライン区分について正確に１つの代
表的なディジタル中間値が得られる。さらに、このディ
ジタル中間値は、ディジタル信号処理段階で処理でき
る。
【００１１】本発明の方法の好都合な構成において、許
容誤差範囲の大きさをそれぞれの要求および周囲条件に
合わせて調節できる。このように構成することにより、
例えば測定器から送られた信号に重畳される雑音信号ま
たは外乱光の影響を除去することができる。この場合、
許容誤差範囲の大きさを、現に走査されている区分と隣
接する区分の測定信号に重畳される雑音信号に適合させ
ることによって、許容誤差範囲を動的に調節できるのも
好都合である。
容誤差範囲の大きさをそれぞれの要求および周囲条件に
合わせて調節できる。このように構成することにより、
例えば測定器から送られた信号に重畳される雑音信号ま
たは外乱光の影響を除去することができる。この場合、
許容誤差範囲の大きさを、現に走査されている区分と隣
接する区分の測定信号に重畳される雑音信号に適合させ
ることによって、許容誤差範囲を動的に調節できるのも
好都合である。
【００１２】特定の応用例では、試験されるべき材料の
表面で複数の走査ラインにわたって延びている表面パタ
ーンを検出することが望ましい。この目的のためには、
信号評価において、少なくとも検出すべき表面パターン
が一緒に検知された走査ラインによって完全にカバーさ
れることを保証する数の走査ラインを調べ、互いに比較
せねばならぬであろう。そのためには、これらの値を比
較できるように、対応する数の走査ラインの中間値を記
憶することが必要である。
表面で複数の走査ラインにわたって延びている表面パタ
ーンを検出することが望ましい。この目的のためには、
信号評価において、少なくとも検出すべき表面パターン
が一緒に検知された走査ラインによって完全にカバーさ
れることを保証する数の走査ラインを調べ、互いに比較
せねばならぬであろう。そのためには、これらの値を比
較できるように、対応する数の走査ラインの中間値を記
憶することが必要である。
【００１３】本発明の方法の別の好適な実施態様におい
て、送り手段、たとえばベルトコンベヤを用いて被験材
料に光学測定器を通過させる。この場合決定的なのは、
測定器と試験されるべき材料との相対運動であるので、
試験されるべき材料を定置して、測定器に材料を通過さ
せることも可能である。試験されるべき材料と測定器と
の相対運動は、走査ラインの方向に対して垂直に行われ
ることが好適である。
て、送り手段、たとえばベルトコンベヤを用いて被験材
料に光学測定器を通過させる。この場合決定的なのは、
測定器と試験されるべき材料との相対運動であるので、
試験されるべき材料を定置して、測定器に材料を通過さ
せることも可能である。試験されるべき材料と測定器と
の相対運動は、走査ラインの方向に対して垂直に行われ
ることが好適である。
【００１４】表面パターンや欠陥パターンを検出するた
めには、信号評価において、表面パターンにとって重要
な標識もしくは欠陥パターンの一部である欠陥が、試験
されるべき材料のどの箇所にあるかについての情報がな
ければならない。走査ラインを記憶することによって、
走査ラインのどの位置に標識または欠陥が発生したかを
困難なく確認できる。
めには、信号評価において、表面パターンにとって重要
な標識もしくは欠陥パターンの一部である欠陥が、試験
されるべき材料のどの箇所にあるかについての情報がな
ければならない。走査ラインを記憶することによって、
走査ラインのどの位置に標識または欠陥が発生したかを
困難なく確認できる。
【００１５】走査ラインの方向に対して垂直な位置で、
すなわちたとえば送り方向で、信号評価において、ライ
ン走査周波数と送り速度に基づき、相前後するそれぞれ
２つの走査ラインの空間的間隔を求め、または一定に保
つことができる。これは、送り速度とライン走査周波数
が一定の場合は問題ない。その理由は、この場合は送り
単位時間毎に常に一定数の走査ラインが検知され、送り
方向における欠陥位置または標識位置の検知が困難なく
実現できるからである。しかし、特定の応用例において
は、ライン走査周波数は一定でも、送り速度は一定に保
てないか、または意識的に変える場合がある。
すなわちたとえば送り方向で、信号評価において、ライ
ン走査周波数と送り速度に基づき、相前後するそれぞれ
２つの走査ラインの空間的間隔を求め、または一定に保
つことができる。これは、送り速度とライン走査周波数
が一定の場合は問題ない。その理由は、この場合は送り
単位時間毎に常に一定数の走査ラインが検知され、送り
方向における欠陥位置または標識位置の検知が困難なく
実現できるからである。しかし、特定の応用例において
は、ライン走査周波数は一定でも、送り速度は一定に保
てないか、または意識的に変える場合がある。
【００１６】しかし、本発明の好適な方法においては、
送り単位時間毎に常に所定数の走査ラインが後続の処理
に到達するように、検知された走査ラインを前処理する
ことによって、送り方向における標識または欠陥の位置
を正確に確認できる。
送り単位時間毎に常に所定数の走査ラインが後続の処理
に到達するように、検知された走査ラインを前処理する
ことによって、送り方向における標識または欠陥の位置
を正確に確認できる。
【００１７】これは、たとえば、特定の送り区間に対応
する送り単位時間について、正確に１つの走査ラインが
後続の処理に送られるようにすることによって実現でき
る。この場合、送り単位時間において検知された最初の
ラインを記憶する。このラインは、場合により同一の送
り単位時間における後続の走査ラインによって上方書込
みが行われ、最後に送り単位時間の終わりにそれぞれ記
憶装置内にある走査ラインが後続の処理に到達する。こ
のように構成することによって、それぞれ送り単位時間
の最後に検知された走査ラインが常に後続において処理
される。
する送り単位時間について、正確に１つの走査ラインが
後続の処理に送られるようにすることによって実現でき
る。この場合、送り単位時間において検知された最初の
ラインを記憶する。このラインは、場合により同一の送
り単位時間における後続の走査ラインによって上方書込
みが行われ、最後に送り単位時間の終わりにそれぞれ記
憶装置内にある走査ラインが後続の処理に到達する。こ
のように構成することによって、それぞれ送り単位時間
の最後に検知された走査ラインが常に後続において処理
される。
【００１８】さらに、送り単位時間において検知された
すべての走査ラインを記憶し、互いに比較し、所定のア
ルゴリズムに従って単一の走査ラインに集中させ、これ
が後続の処理に到達することも可能である。
すべての走査ラインを記憶し、互いに比較し、所定のア
ルゴリズムに従って単一の走査ラインに集中させ、これ
が後続の処理に到達することも可能である。
【００１９】そこでたとえば、送り単位時間において検
知された最初の走査ラインを記憶し、この最初に記憶さ
れたラインの最大値または最小値が、同一の送り単位時
間における後続のラインの、対応するライン位置にあっ
て量的により大きい最大値または最小値によって上方書
込みが行われるようにアルゴリズムを設定することも可
能であろう。後続のラインにおいて走査ライン内部の対
応する位置で最大値または最小値が続く場合も、記憶さ
れた平均値の上方書込みが行われる。
知された最初の走査ラインを記憶し、この最初に記憶さ
れたラインの最大値または最小値が、同一の送り単位時
間における後続のラインの、対応するライン位置にあっ
て量的により大きい最大値または最小値によって上方書
込みが行われるようにアルゴリズムを設定することも可
能であろう。後続のラインにおいて走査ライン内部の対
応する位置で最大値または最小値が続く場合も、記憶さ
れた平均値の上方書込みが行われる。
【００２０】本発明の表面検査装置の好都合な実施態様
において、検知されたラインを区分状に処理する前処理
段階が、マイクロプロセッサで制御したデータ処理ユニ
ットとして構成されている。その際、光学測定器から送
られた信号が少くとも１つのＡ／Ｄ変換器を通過し、次
にディジタル化した信号として前処理段階に送られる。
において、検知されたラインを区分状に処理する前処理
段階が、マイクロプロセッサで制御したデータ処理ユニ
ットとして構成されている。その際、光学測定器から送
られた信号が少くとも１つのＡ／Ｄ変換器を通過し、次
にディジタル化した信号として前処理段階に送られる。
【００２１】前処理段階が２つのＡ／Ｄ変換器を包含し
ていることが有利である。第１のＡ／Ｄ変換器は個々の
ライン区分の平均値を探索するのに用いられる。このＡ
／Ｄ変換器は、測定器から送られた信号を低域フィルタ
を通して受ける。この第１のＡ／Ｄ変換器の走査周波数
は、検知されたライン区分毎に正確に１つのクロック信
号がＡ／Ｄ変換器に供給されるように選択されている。
そのように検知されたライン区分毎にそれぞれ正確に１
つの平均値がＡ／Ｄ変換器の出力端に現れる。
ていることが有利である。第１のＡ／Ｄ変換器は個々の
ライン区分の平均値を探索するのに用いられる。このＡ
／Ｄ変換器は、測定器から送られた信号を低域フィルタ
を通して受ける。この第１のＡ／Ｄ変換器の走査周波数
は、検知されたライン区分毎に正確に１つのクロック信
号がＡ／Ｄ変換器に供給されるように選択されている。
そのように検知されたライン区分毎にそれぞれ正確に１
つの平均値がＡ／Ｄ変換器の出力端に現れる。
【００２２】第２のＡ／Ｄ変換器は測定器から送られた
信号を受けるが、この信号はその前に第１のＡ／Ｄ変換
器の前段の低域フィルタを通過しない。この第２のＡ／
Ｄ変換器は、第１のＡ／Ｄ変換器の２倍、なるべくは４
倍のクロック周波数で信号が供給される。それにより、
検知されたライン区分毎に２つ、なるべくは４つ以上
の、ライン区分内部で測定器から送られた信号の経過を
あらわすディジタル値が出力端に現れる。
信号を受けるが、この信号はその前に第１のＡ／Ｄ変換
器の前段の低域フィルタを通過しない。この第２のＡ／
Ｄ変換器は、第１のＡ／Ｄ変換器の２倍、なるべくは４
倍のクロック周波数で信号が供給される。それにより、
検知されたライン区分毎に２つ、なるべくは４つ以上
の、ライン区分内部で測定器から送られた信号の経過を
あらわすディジタル値が出力端に現れる。
【００２３】第１のＡ／Ｄ変換器のクロック周波数が、
前処理段階の後に続く信号処理段階の処理クロックに適
合しており、特に２０MHz であることが得策である。第
２のＡ／Ｄ変換器のクロック周波数が、第１のＡ／Ｄ変
換器のクロック周波数の４〜５倍、特に８０MHz である
ことが有利である。
前処理段階の後に続く信号処理段階の処理クロックに適
合しており、特に２０MHz であることが得策である。第
２のＡ／Ｄ変換器のクロック周波数が、第１のＡ／Ｄ変
換器のクロック周波数の４〜５倍、特に８０MHz である
ことが有利である。
【００２４】２つのＡ／Ｄ変換器が６〜１６ビットのワ
ード幅を有することが好ましい。このとき、それぞれ１
つのライン区分に属する、２つのＡ／Ｄ変換器の出力値
が、適当な記憶素子を通して同時に後続の処理に到達す
ることが好適である。
ード幅を有することが好ましい。このとき、それぞれ１
つのライン区分に属する、２つのＡ／Ｄ変換器の出力値
が、適当な記憶素子を通して同時に後続の処理に到達す
ることが好適である。
【００２５】第２のＡ／Ｄ変換器から送られた信号か
ら、マイクロプロセッサで制御してそれぞれ１つのライ
ン区分に対して最大値または最小値を求めることができ
る。この場合、最大値と最小値の間にある値は、後続の
処理では考慮されない。
ら、マイクロプロセッサで制御してそれぞれ１つのライ
ン区分に対して最大値または最小値を求めることができ
る。この場合、最大値と最小値の間にある値は、後続の
処理では考慮されない。
【００２６】平均値を生成する第１のＡ／Ｄ変換器を用
いることによって、第２のＡ／Ｄ変換器でそれぞれ１つ
のライン区分について求めたディジタル値から平均値を
計算で求めることは省略できる。それにより、前処理段
階を制御するマイクロプロセッサの計算負担が軽減され
る。
いることによって、第２のＡ／Ｄ変換器でそれぞれ１つ
のライン区分について求めたディジタル値から平均値を
計算で求めることは省略できる。それにより、前処理段
階を制御するマイクロプロセッサの計算負担が軽減され
る。
【００２７】１つのライン区分について求めた走査値
は、たとえば、デマルチプレクサを用いることによって
同時に後続の処理に到達できる。この場合、デマルチプ
レクサの出力端に、それぞれ第２のＡ／Ｄ変換器によっ
て１ライン区分内で検知されたすべての走査値が同時に
現れる。
は、たとえば、デマルチプレクサを用いることによって
同時に後続の処理に到達できる。この場合、デマルチプ
レクサの出力端に、それぞれ第２のＡ／Ｄ変換器によっ
て１ライン区分内で検知されたすべての走査値が同時に
現れる。
【００２８】上述したとおり、本発明の方法により、送
り単位時間毎に常にそれぞれ一定数の走査ラインが後続
の処理に到達することを確保できる。この目的のため
に、例えば、送り単位時間において検知された複数の走
査ラインを、後続の処理に到達する単一の走査ラインに
集中させることができる。
り単位時間毎に常にそれぞれ一定数の走査ラインが後続
の処理に到達することを確保できる。この目的のため
に、例えば、送り単位時間において検知された複数の走
査ラインを、後続の処理に到達する単一の走査ラインに
集中させることができる。
【００２９】このために、上述の方法を実施するための
有利な表面検査システムは、少くとも前処理段階によっ
て走査された、２つの走査ラインの中間値を記憶できる
中間値記憶装置を備えている。この中間値記憶装置内に
ある走査値は、所定のアルゴリズムに従って単一の走査
ラインに集中させることができる。
有利な表面検査システムは、少くとも前処理段階によっ
て走査された、２つの走査ラインの中間値を記憶できる
中間値記憶装置を備えている。この中間値記憶装置内に
ある走査値は、所定のアルゴリズムに従って単一の走査
ラインに集中させることができる。
【００３０】上記のアルゴリズムは、例えば、送り単位
時間において検知された最初の走査ラインが記憶され、
このラインの最大値または最小値が、同一の送り単位時
間における後続ラインの、対応するライン位置にあって
量的により大きい最大値もしくは最小値により上方書込
みが行われるように設定できる。また、最初のラインの
記憶された平均値が、後続のラインで１つの走査ライン
内の対応するライン位置に最大値もしくは最小値が続く
場合も、記憶された平均値は上方書込みが行われる。
時間において検知された最初の走査ラインが記憶され、
このラインの最大値または最小値が、同一の送り単位時
間における後続ラインの、対応するライン位置にあって
量的により大きい最大値もしくは最小値により上方書込
みが行われるように設定できる。また、最初のラインの
記憶された平均値が、後続のラインで１つの走査ライン
内の対応するライン位置に最大値もしくは最小値が続く
場合も、記憶された平均値は上方書込みが行われる。
【００３１】この計算操作において、走査値が１つのラ
イン区分の最大値もしくは最小値あるいは平均値である
か容易に識別できることが必要である。したがって、各
々のライン区分に対して、当該中間値が極端値であるか
平均値であるかを示す追加のステータスビットを導入す
ることが有利である。
イン区分の最大値もしくは最小値あるいは平均値である
か容易に識別できることが必要である。したがって、各
々のライン区分に対して、当該中間値が極端値であるか
平均値であるかを示す追加のステータスビットを導入す
ることが有利である。
【００３２】本発明の表面検査システムが、高域フィル
タとその後段の比較器からなる、暗スパイク（ダークス
パイク）を検出するためのユニットが設けられており、
このユニットに測定信号が現れ、しかもこのユニットに
よりダークスパイクの測定信号偽造的な影響を消滅でき
ることが有利である。このユニットは、ダークスパイク
をそれらの特徴的な周波数および／または振幅に基づい
て欠陥信号から区別できる。
タとその後段の比較器からなる、暗スパイク（ダークス
パイク）を検出するためのユニットが設けられており、
このユニットに測定信号が現れ、しかもこのユニットに
よりダークスパイクの測定信号偽造的な影響を消滅でき
ることが有利である。このユニットは、ダークスパイク
をそれらの特徴的な周波数および／または振幅に基づい
て欠陥信号から区別できる。
【００３３】ダークスパイクを検出したときは、基本的
にダークスパイク発生中に検知された最小値もしくは平
均値のみを後続の処理に供し、最大値を排斥することが
有利である。このことは有意義であり、その理由は、ダ
ークスパイクは原則的には正の振幅を示し、それによ
り、信号の経過において最大値を生起させるが、該最大
値は検査された表面には実際には存在することがなく、
したがって例えば前述の態様で除去されねばならぬもの
であるからである。
にダークスパイク発生中に検知された最小値もしくは平
均値のみを後続の処理に供し、最大値を排斥することが
有利である。このことは有意義であり、その理由は、ダ
ークスパイクは原則的には正の振幅を示し、それによ
り、信号の経過において最大値を生起させるが、該最大
値は検査された表面には実際には存在することがなく、
したがって例えば前述の態様で除去されねばならぬもの
であるからである。
【００３４】または、ダークスパイクが発生している間
に検知された走査値を排斥し、その代わりにダークスパ
イクの発生前に検知された走査値を後続の処理に供する
ことも可能である。
に検知された走査値を排斥し、その代わりにダークスパ
イクの発生前に検知された走査値を後続の処理に供する
ことも可能である。
【００３５】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１および図２は、本発明の表面検査装
置の好ましい実施態様を表している。ベルトコンベヤ１
に載った試験されるべき材料２が、たとえばビデオカメ
ラまたはレーザースキャナとして構成された測定器３を
矢印方向に通過する。測定器３は試験されるべき材料２
の表面構造をライン状に走査し、対応する信号を、マイ
クロコンピュータ１５によって監視された前処理段階４
に送る。前処理段階４は図示されない信号評価ユニット
の構成部分である。
細に説明する。図１および図２は、本発明の表面検査装
置の好ましい実施態様を表している。ベルトコンベヤ１
に載った試験されるべき材料２が、たとえばビデオカメ
ラまたはレーザースキャナとして構成された測定器３を
矢印方向に通過する。測定器３は試験されるべき材料２
の表面構造をライン状に走査し、対応する信号を、マイ
クロコンピュータ１５によって監視された前処理段階４
に送る。前処理段階４は図示されない信号評価ユニット
の構成部分である。
【００３６】前処理段階４はデータ整理の働きをするの
で、前処理段階４に続き、万一発生する表面欠陥の検知
に用いられる信号評価ユニットの構成部分は、より少な
いデータ量を処理すれば済む。それにより、より大きい
作業速度と、信号評価ユニットのより安価な製造が可能
となる。
で、前処理段階４に続き、万一発生する表面欠陥の検知
に用いられる信号評価ユニットの構成部分は、より少な
いデータ量を処理すれば済む。それにより、より大きい
作業速度と、信号評価ユニットのより安価な製造が可能
となる。
【００３７】前処理段階４に到達する測定器３の信号
は、最初に例えば濾過段階および増幅段階を有する信号
処理ユニット５に到達する。次に、加工された測定器３
の信号は走査ライン状に、またライン内部では区分的に
処理される。この処理の目的は、１つのライン区分内で
探索された値を単一の測定値に集中させることである。
は、最初に例えば濾過段階および増幅段階を有する信号
処理ユニット５に到達する。次に、加工された測定器３
の信号は走査ライン状に、またライン内部では区分的に
処理される。この処理の目的は、１つのライン区分内で
探索された値を単一の測定値に集中させることである。
【００３８】そのために加工された信号は、平均値を生
成する低域フィルタ６に送られる。低域フィルタ６の限
界周波数は、１つのライン区分の平均値を代表するそれ
ぞれ１つの平均値が出力端に現れるように調整されてい
る。次に、この平均値は第１のＡ／Ｄ変換器７に送られ
る。そのクロック周波数は、１つのライン区分を走査し
ている間に、正確に１つのクロック信号が供給されるよ
うに選択されている。したがってＡ／Ｄ変換器７の出力
端には、それぞれ検知されたライン区分のディジタル平
均値が現れる。
成する低域フィルタ６に送られる。低域フィルタ６の限
界周波数は、１つのライン区分の平均値を代表するそれ
ぞれ１つの平均値が出力端に現れるように調整されてい
る。次に、この平均値は第１のＡ／Ｄ変換器７に送られ
る。そのクロック周波数は、１つのライン区分を走査し
ている間に、正確に１つのクロック信号が供給されるよ
うに選択されている。したがってＡ／Ｄ変換器７の出力
端には、それぞれ検知されたライン区分のディジタル平
均値が現れる。
【００３９】信号処理ユニット５から送られた信号は、
さらに第２のＡ／Ｄ変換器８に送られる。そのクロック
周波数はＡ／Ｄ変換器７のクロック周波数の４倍であ
る。したがって、Ａ／Ｄ変換器８の出力端には、一連の
ディジタル値が順次現れる。この一連のディジタル値
は、測定器３から送られた信号の経過をあらわす。
さらに第２のＡ／Ｄ変換器８に送られる。そのクロック
周波数はＡ／Ｄ変換器７のクロック周波数の４倍であ
る。したがって、Ａ／Ｄ変換器８の出力端には、一連の
ディジタル値が順次現れる。この一連のディジタル値
は、測定器３から送られた信号の経過をあらわす。
【００４０】次に、Ａ／Ｄ変換器８から順次送られる相
前後するそれぞれ４つの値は、デマルチプレクサ９に送
られる。その４つの出力端には、これら４つのディジタ
ル値が、それぞれ１つのライン区分を代表する値として
同時に現れる。デマルチプレクサ９のそれぞれ２つの出
力値は、それぞれ１つの比較器１０，１１に送られる。
比較器１０，１１は、それらの送られた２つの値のいず
れがより大きく、いずれがより小さいかを確認する。
前後するそれぞれ４つの値は、デマルチプレクサ９に送
られる。その４つの出力端には、これら４つのディジタ
ル値が、それぞれ１つのライン区分を代表する値として
同時に現れる。デマルチプレクサ９のそれぞれ２つの出
力値は、それぞれ１つの比較器１０，１１に送られる。
比較器１０，１１は、それらの送られた２つの値のいず
れがより大きく、いずれがより小さいかを確認する。
【００４１】比較器１０に送られた値のより大きい値と
比較器１１に送られた値のより大きい値は、次にもう１
つの比較器１２に到達する。比較器１２は、これら２つ
の値から再び最大値を求め、後続の処理に供する。比較
器１０に送られた値のより小さい値と比較器１１に送ら
れた値のより小さい値は、次に他の１つの比較器１３に
到達する。比較器１３はこれら２つの値から再び最小値
を求め、後続の処理に供する。
比較器１１に送られた値のより大きい値は、次にもう１
つの比較器１２に到達する。比較器１２は、これら２つ
の値から再び最大値を求め、後続の処理に供する。比較
器１０に送られた値のより小さい値と比較器１１に送ら
れた値のより小さい値は、次に他の１つの比較器１３に
到達する。比較器１３はこれら２つの値から再び最小値
を求め、後続の処理に供する。
【００４２】したがって、比較器１２の出力端には、そ
れぞれ１つのライン区分についてＡ／Ｄ変換器８によっ
て検知された走査値の最大値が、比較器１３の出力端に
はその最小値が現れる。さらに、前処理段階は、許容誤
差範囲の幅を記憶した記憶装置１４を包含している。こ
の記憶値はマイクロコンピュータ１５を通し、それぞれ
の要求に応じて変えることができる。
れぞれ１つのライン区分についてＡ／Ｄ変換器８によっ
て検知された走査値の最大値が、比較器１３の出力端に
はその最小値が現れる。さらに、前処理段階は、許容誤
差範囲の幅を記憶した記憶装置１４を包含している。こ
の記憶値はマイクロコンピュータ１５を通し、それぞれ
の要求に応じて変えることができる。
【００４３】記憶装置１４の出力信号は、Ａ／Ｄ変換器
７によって検知された平均値と一緒に、許容誤差範囲計
算機１６に送られる。許容誤差範囲計算機１６では、一
方では平均値と許容誤差範囲幅の合計が、他方ではそれ
らの差が生成される。これに対応して、許容誤差範囲計
算機１６の３つの出力端には、平均値、平均値と許容誤
差範囲幅の合計および平均値と許容誤差範囲幅の差が現
れる。
７によって検知された平均値と一緒に、許容誤差範囲計
算機１６に送られる。許容誤差範囲計算機１６では、一
方では平均値と許容誤差範囲幅の合計が、他方ではそれ
らの差が生成される。これに対応して、許容誤差範囲計
算機１６の３つの出力端には、平均値、平均値と許容誤
差範囲幅の合計および平均値と許容誤差範囲幅の差が現
れる。
【００４４】これら３つの値は、比較器１２によって検
知された最大値および比較器１３によって検知された最
小値とともに、他の１つの比較装置１７に送られる。比
較器１７は送られた値から、各ライン区分についてそれ
ぞれ１つの中間値を求める。この中間値は、最大値もし
くは最小値が平均値と許容誤差範囲幅の合計または平均
値と許容誤差範囲幅の差より大きいか小さい場合には最
大値または最小値に等しく、その他の場合には平均値に
等しい。
知された最大値および比較器１３によって検知された最
小値とともに、他の１つの比較装置１７に送られる。比
較器１７は送られた値から、各ライン区分についてそれ
ぞれ１つの中間値を求める。この中間値は、最大値もし
くは最小値が平均値と許容誤差範囲幅の合計または平均
値と許容誤差範囲幅の差より大きいか小さい場合には最
大値または最小値に等しく、その他の場合には平均値に
等しい。
【００４５】次に、比較器１７によって検知された中間
値は、ライン記憶装置１８に送られる。ライン記憶装置
１８はそれぞれ１つの走査ラインについて検知したすべ
ての中間値を記憶し、同時に後続の処理に供する。
値は、ライン記憶装置１８に送られる。ライン記憶装置
１８はそれぞれ１つの走査ラインについて検知したすべ
ての中間値を記憶し、同時に後続の処理に供する。
【００４６】ライン記憶装置１８に続く、比較器１９と
ＦＩＦＯ（先入れ先出し）記憶装置２０からなるユニッ
トにより、送り単位時間毎にそれぞれ１つの走査ライン
が後続の処理のために前処理段階４の出力端に到達する
ことが確保される。このユニット１９，２０は、マイク
ロコンピュータ１５により種々の態様で駆動できる。
ＦＩＦＯ（先入れ先出し）記憶装置２０からなるユニッ
トにより、送り単位時間毎にそれぞれ１つの走査ライン
が後続の処理のために前処理段階４の出力端に到達する
ことが確保される。このユニット１９，２０は、マイク
ロコンピュータ１５により種々の態様で駆動できる。
【００４７】１つには、走査ラインを比較器１９で変更
せずにライン記憶装置１８からＦＩＦＯ記憶装置２０に
送ることが可能である。この場合、送り単位時間が終了
したら、ＦＩＦＯ記憶装置２０は走査ラインを常に１つ
のみ前処理段階４の出力端に送る。このように構成する
ことによって、送り単位時間においてそれぞれ最後に検
知された走査ラインが、前処理段階４の出力端に到達す
る。さらに、ユニット１９，２０を次のような態様で駆
動することも可能である。
せずにライン記憶装置１８からＦＩＦＯ記憶装置２０に
送ることが可能である。この場合、送り単位時間が終了
したら、ＦＩＦＯ記憶装置２０は走査ラインを常に１つ
のみ前処理段階４の出力端に送る。このように構成する
ことによって、送り単位時間においてそれぞれ最後に検
知された走査ラインが、前処理段階４の出力端に到達す
る。さらに、ユニット１９，２０を次のような態様で駆
動することも可能である。
【００４８】送り単位時間内に検知された第１の走査ラ
インが、変更なしでＦＩＦＯ記憶装置２０に到達する。
次に、同一の送り単位時間においてこの第１のラインに
続く第２のラインは、比較器１９において第１のライン
と比較される。それに基づき、第２の走査ラインの最大
値または最小値が第１の走査ラインの最大値もしくは最
小値より大きいか、第１の走査ラインの最大値または最
小値に続いて対応するライン位置に第２のラインの極端
値が現れる場合は、ＦＩＦＯ記憶装置２０における第１
のラインの値が対応するライン位置にある第２のライン
の値による上方書込みが行われる。このようにして、Ｆ
ＩＦＯ記憶装置２０において第１の走査ラインと第２の
走査ラインの中間値の組み合わせが得られる。
インが、変更なしでＦＩＦＯ記憶装置２０に到達する。
次に、同一の送り単位時間においてこの第１のラインに
続く第２のラインは、比較器１９において第１のライン
と比較される。それに基づき、第２の走査ラインの最大
値または最小値が第１の走査ラインの最大値もしくは最
小値より大きいか、第１の走査ラインの最大値または最
小値に続いて対応するライン位置に第２のラインの極端
値が現れる場合は、ＦＩＦＯ記憶装置２０における第１
のラインの値が対応するライン位置にある第２のライン
の値による上方書込みが行われる。このようにして、Ｆ
ＩＦＯ記憶装置２０において第１の走査ラインと第２の
走査ラインの中間値の組み合わせが得られる。
【００４９】次に、同一の送り単位時間内で第２のライ
ンに続く第３の走査ラインが、比較器１９内ですでにＦ
ＩＦＯ記憶装置２０内にある第１および第２のラインの
組み合わせと比較される。この場合、記憶された第１お
よび第２のラインの組み合わせの値は、やはり前述の規
則に従い第３のラインの値による上方書込みが行われ
る。次に、例えばＦＩＦＯ記憶装置は、第１、第２およ
び第３のラインの組み合わせを受ける。この作業は、１
つの送り単位時間において検知されたすべての走査ライ
ンが処理されるまで反復されることができる。送り単位
時間が終了すると、ＦＩＦＯ記憶装置２０内にある、処
理された走査ラインの組み合わせが前処理段階４の出力
端に現れる。
ンに続く第３の走査ラインが、比較器１９内ですでにＦ
ＩＦＯ記憶装置２０内にある第１および第２のラインの
組み合わせと比較される。この場合、記憶された第１お
よび第２のラインの組み合わせの値は、やはり前述の規
則に従い第３のラインの値による上方書込みが行われ
る。次に、例えばＦＩＦＯ記憶装置は、第１、第２およ
び第３のラインの組み合わせを受ける。この作業は、１
つの送り単位時間において検知されたすべての走査ライ
ンが処理されるまで反復されることができる。送り単位
時間が終了すると、ＦＩＦＯ記憶装置２０内にある、処
理された走査ラインの組み合わせが前処理段階４の出力
端に現れる。
【００５０】信号加工ユニット５から送られた信号は、
高域フィルタ２１と後段の比較器２２からなる、ダーク
スパイクを検出するためのユニットに送られる。このユ
ニットにおいて、ダークスパイクは振幅と周波数に基づ
いて識別され、ダークスパイクが存在するときは比較器
２２によって対応する信号が比較器１７に送られる。
高域フィルタ２１と後段の比較器２２からなる、ダーク
スパイクを検出するためのユニットに送られる。このユ
ニットにおいて、ダークスパイクは振幅と周波数に基づ
いて識別され、ダークスパイクが存在するときは比較器
２２によって対応する信号が比較器１７に送られる。
【００５１】ダークスパイクを検出したときは、比較器
１７によって基本的にダークスパイクの発生中に検知さ
れた最小値または平均値のみが後続の処理に供され、最
大値は排斥される。
１７によって基本的にダークスパイクの発生中に検知さ
れた最小値または平均値のみが後続の処理に供され、最
大値は排斥される。
【００５２】前記の方法により、ダークスパイクの測定
信号偽造的な影響が消滅させられることができる。
信号偽造的な影響が消滅させられることができる。
【図１】本発明の一実施例としての表面の検査装置の一
部（その１）を示す図である。
部（その１）を示す図である。
【図２】本発明の一実施例として表面の検査装置の一部
（その２）を示す図である。
（その２）を示す図である。
１…送り手段 ２…被験材料 ３…測定器 ４…前処理段階 ５…信号加工ユニット ６…低域フィルタ ７，８…Ａ／Ｄ変換器 ９…デマルチプレクサ １０，１１，１２，１３…比較器 １４…記憶装置 １５…マイクロコンピュータ １６…許容誤差範囲計算装置 １７…比較装置 １８…ライン記憶装置 １９…比較器 ２０…ＦＩＦＯ ２１…高域フィルタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 カール−ルートビヒ シンナー ドイツ連邦共和国，80637 ゼーフェルト, ハオプトシュトラーセ 30 (72)発明者 ウド コルプ ドイツ連邦共和国，82229 ミュンヘン, ダッハウアー シュトラーセ 267
Claims (23)
- 【請求項１】 試験されるべき材料の表面状態に関する
情報を得るために、表面を光学測定器で一行ずつ走査し
測定器から送られた信号を処理する、試験されるべき材
料の表面を検査する検査方法において、 検知されたラインをそれぞれ区分的に処理し、各区分に
ついて平均値、最大値および／または最小値、および各
区分の代表的な中間値および後続の処理に伝達される中
間値を探索し、該中間値が、最大値または最小値が平均
値を中心に設定された許容誤差範囲の外にあるときは、
最大値または最小値に等しく、その他のときは、平均値
に等しいようにする、ことを特徴とする検査方法。 - 【請求項２】 検知された測定値をディジタル値に変換
し、各々のラインの区分について２つ以上、なるべくは
４つのディジタル値を探索し、これらのディジタル値か
ら各々のラインの区分についてそれぞれの平均値、最大
値、最小値を計算し、これらの値と許容誤差範囲から各
々のラインの区分の中間値を計算する、請求項１記載の
方法。 - 【請求項３】 許容誤差範囲がそれぞれの要求に応じ
て、特に現に走査されている区分に隣接する区分の測定
信号に重なる雑音信号に応じて動的に調節可能である、
請求項１または２記載の方法。 - 【請求項４】 それぞれ２つ以上の走査ラインの中間値
を記憶する、請求項１から３までのいずれかに記載の方
法。 - 【請求項５】 試験されるべき材料（２）と測定器
（３）とを互いに相対的に通過させる、請求項１から４
までのいずれかに記載の方法。 - 【請求項６】 一定のライン走査周波数と一定ではない
送り速度において、これに対応してやはり一定ではない
数の、特定の送り区間に対応する送り単位時間毎の走査
ラインを検知し、それにもかかわらず常に送り単位時間
毎の所定数の走査ラインが前処理段階（４）から後続の
処理に到達するように、送り単位時間において検知され
た走査ラインを前処理段階（４）で処理する、請求項４
または５記載の方法。 - 【請求項７】 送り単位時間においてそれぞれ最後に検
知された走査ラインが後続の処理に到達する、請求項６
記載の方法。 - 【請求項８】 送り単位時間において検知された走査ラ
インを互いに比較し、１つのラインに集中させる、請求
項６記載の方法。 - 【請求項９】 送り単位時間において検知された最初の
走査ラインが記憶され、このラインの最大値もしくは最
小値が、同一の送り単位時間内の後続ラインの、対応す
るライン位置にあって量的により大きい最大値または最
小値により上方書込みが行われ、最初のラインの記憶さ
れた平均値が、同一の送り単位時間における後続ライン
の、対応するライン位置にある極値により上方書込みが
行われる、請求項８記載の方法。 - 【請求項１０】 試験されるべき材料の表面構造をライ
ン状に検知する光学測定器、特にレーザースキャナまた
はビデオカメラと、測定器から送られた信号を処理する
信号評価ユニットとを有する表面の検査装置において、 信号評価ユニットがデータ整理に用いる前処理段階
（４）を包含し、検知されたラインを前処理段階（４）
でそれぞれ区分状に処理し、各々の区分についてそれぞ
れ平均値、最大値および／または最小値、および区分の
代表的な中間値および後続の処理に到達する中間値を探
求し、最大値または最小値が平均値を中心に設定された
許容誤差範囲の外にあるときは、この中間値が最大値ま
たは最小値に等しく、その他のときは、平均値に等しく
されるようになっている、ことを特徴とする表面の検査
装置。 - 【請求項１１】 前処理段階（４）が、マイクロプロセ
ッサにより制御されるデータ処理ユニットとして構成さ
れている、請求項１０記載の装置。 - 【請求項１２】 前処理段階（４）が、平均値を生成す
る低域フィルタ（６）を通して測定器（３）から送られ
た信号を受ける第１のＡ／Ｄ変換器（７）を有し、ライ
ンの区分の走査が個々のクロック周期中に行われるよう
に、第１のＡ／Ｄ変換器（７）のクロック周波数が選択
されていること、および前処理段階（４）が測定器
（３）から送られた信号を少くとも第１のＡ／Ｄ変換器
（７）の２倍のクロック周波数で変換する第２のＡ／Ｄ
変換器（８）を有し、２つのＡ／Ｄ変換器（７，８）の
出力信号を、中間値を探索するためにディジタル・デー
タ処理段階へ送る、請求項１０または１１記載の装置。 - 【請求項１３】 前処理段階（４）が、第２のＡ／Ｄ変
換器（８）からそれぞれ１つのラインの区分について送
られた走査値に基づいて最大値および／または最小値を
探索する、請求項１２記載の装置。 - 【請求項１４】 第２のＡ／Ｄ変換器（８）のクロック
周波数が、第１のＡ／Ｄ変換器（７）のクロック周波数
の４〜５倍であり、第１のＡ／Ｄ変換器（７）のクロッ
ク周波数が、前処理段階（４）の後続の信号処理段階の
処理クロックに適合しており、特に２０MHz である、請
求項１２または１３記載の装置。 - 【請求項１５】 ２つのＡ／Ｄ変換器（７，８）が６〜
１６ビットのワード幅を有する請求項１２から１４まで
のいずれかに記載の装置。 - 【請求項１６】 各々の中間値の少なくとも１つの追加
ビットが、それぞれの中間値がラインの区分の最大値ま
たは最小値であるか、または平均値であるかを示す請求
項１０から１５のいずれか１項に記載の装置。 - 【請求項１７】 前処理段階（４）がデマルチプレクサ
（９）を有し、その出力端には２次処理のために、それ
ぞれ第２のＡ／Ｄ変換器（８）によって１つのラインの
区分で把握されたすべての走査値が同時に現れる、請求
項１０から１６までのいずれかに記載の装置。 - 【請求項１８】 デマルチプレクサ（９）の出力信号
が、ラインの区分のそれぞれの最大値および／または最
小値を検知するための比較器回路（１０，１１，１２，
１３）に現れる、請求項１７記載の装置。 - 【請求項１９】 少なくとも前処理段階によって走査さ
れた、２つの走査ラインの中間値を記憶できる中間値記
憶装置（１８，２０）が設けられている、請求項１０か
ら１８までのいずれかに記載の装置。 - 【請求項２０】 試験されるべき材料（２）と測定器
（３）を互いに相対的に通過させる送り手段（１）が設
けられている、請求項１０から１９までのいずれかに記
載の装置。 - 【請求項２１】 高域フィルタ（２１）とその後段の比
較器（２２）からなる、暗スパイク（ダークスパイク）
を検出するためのユニットが設けられており、このユニ
ットに測定信号が現れ、しかもこのユニットによって測
定信号を誤らせる暗スパイクの影響を除去できる、請求
項１０から２０までのいずれかに記載の装置。 - 【請求項２２】 暗スパイクが発生している間は、基本
的に検知された最小値または平均値を後続の処理に供
し、最大値を排斥する、請求項２１記載の方法。 - 【請求項２３】 暗スパイクが発生している間に検知さ
れた走査値を退け、その代わりにダークスパイクの発生
前に検知された走査値を後続の処理に供する、請求項２
１記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4239456:2 | 1992-11-24 | ||
| DE4239456A DE4239456A1 (de) | 1992-11-24 | 1992-11-24 | Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Oberflächen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213824A true JPH06213824A (ja) | 1994-08-05 |
| JP3113470B2 JP3113470B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=6473514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05293190A Expired - Fee Related JP3113470B2 (ja) | 1992-11-24 | 1993-11-24 | 表面の検査方法および検査装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5566243A (ja) |
| JP (1) | JP3113470B2 (ja) |
| DE (1) | DE4239456A1 (ja) |
| GB (1) | GB2272764B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101030857B1 (ko) * | 2008-09-29 | 2011-04-22 | 현대제철 주식회사 | 스트립의 평탄도 측정방법 |
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|---|---|---|---|---|
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| US5754678A (en) * | 1996-01-17 | 1998-05-19 | Photon Dynamics, Inc. | Substrate inspection apparatus and method |
| US5847834A (en) * | 1997-09-11 | 1998-12-08 | Webview, Inc. | Expandable, continuous illumination source for a web inspection assembly and method |
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