JPH06230401A - プローブカード - Google Patents
プローブカードInfo
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- JPH06230401A JPH06230401A JP1894493A JP1894493A JPH06230401A JP H06230401 A JPH06230401 A JP H06230401A JP 1894493 A JP1894493 A JP 1894493A JP 1894493 A JP1894493 A JP 1894493A JP H06230401 A JPH06230401 A JP H06230401A
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- Japan
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- probe card
- probe
- probes
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- diagonally
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Links
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 abstract description 2
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- 238000007743 anodising Methods 0.000 abstract 2
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プローバのクロスショート試験においても、
Ｘ軸及びＹ軸のプローブ３１が互いにショートすること
なく電極パッドの配置にかかわらず検査残りを生じさせ
ることがない。 【構成】 プローブカード３０のプローブ３１が固定さ
れる先端側端３０ａ、３０ｂを斜めにカットすることに
よって、Ｘ軸とＹ軸とのプローブカードを近接可能とし
た。
Ｘ軸及びＹ軸のプローブ３１が互いにショートすること
なく電極パッドの配置にかかわらず検査残りを生じさせ
ることがない。 【構成】 プローブカード３０のプローブ３１が固定さ
れる先端側端３０ａ、３０ｂを斜めにカットすることに
よって、Ｘ軸とＹ軸とのプローブカードを近接可能とし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はプローブカード、特に複
数のプローブが先端に固定されるプローブカードの先端
形状の改良に関する。
数のプローブが先端に固定されるプローブカードの先端
形状の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣウェハあるいは液晶表示素子などの
内部結線を検査するために、複数の電極パッドにプロー
ブ（触針）を接触させ、電気的な結線状態例えばオープ
ン検査あるいはショート検査などを行うプローバが周知
である。近年のＩＣウェハあるいは液晶表示素子の細密
化に従い、このようなプローバも複数本のプローブを精
密に配置して迅速に各種検査を行うことが要望されてい
る。
内部結線を検査するために、複数の電極パッドにプロー
ブ（触針）を接触させ、電気的な結線状態例えばオープ
ン検査あるいはショート検査などを行うプローバが周知
である。近年のＩＣウェハあるいは液晶表示素子の細密
化に従い、このようなプローバも複数本のプローブを精
密に配置して迅速に各種検査を行うことが要望されてい
る。
【０００３】図３には一般的なプローバの全体配置が示
されている。
されている。
【０００４】図３において、プローバ本体１０の基台１
１には被測定体であるＩＣウェハあるいは液晶表示素子
１２が着脱可能に装着され、Ｘ軸及びＹ軸方向に配列さ
れた多数の電極パッドに順次プローブを接触させ、図示
していない検査機によって所望のオープンあるいはショ
ート検査が行われる。Ｘ及びＹの両軸に対して全ての電
極パッドに接触するためにＸ軸方向に対して一対のＸ1
ステージ１３、Ｘ2 ステージ１４そしてＹ軸方向に対し
て同様に一対のＹ1 ステージ１５及びＹ2 ステージ１６
が設けられている。これら各ステージ１３、１４、１
５、１６はそれぞれ案内レール１７、１８、１９、２０
によって各軸方向に移動自在に案内されている。そし
て、これらの各ステージ１３、１４、１５、１６には先
端に被測定体の電極パッドに接触可能な複数のプローブ
が固定されたＸ1 プローブカード２１、Ｘ2 プローブカ
ード２２、Ｙ1 プローブカード２３そしてＹ2 プローブ
カード２４が着脱自在に装着されている。
１には被測定体であるＩＣウェハあるいは液晶表示素子
１２が着脱可能に装着され、Ｘ軸及びＹ軸方向に配列さ
れた多数の電極パッドに順次プローブを接触させ、図示
していない検査機によって所望のオープンあるいはショ
ート検査が行われる。Ｘ及びＹの両軸に対して全ての電
極パッドに接触するためにＸ軸方向に対して一対のＸ1
ステージ１３、Ｘ2 ステージ１４そしてＹ軸方向に対し
て同様に一対のＹ1 ステージ１５及びＹ2 ステージ１６
が設けられている。これら各ステージ１３、１４、１
５、１６はそれぞれ案内レール１７、１８、１９、２０
によって各軸方向に移動自在に案内されている。そし
て、これらの各ステージ１３、１４、１５、１６には先
端に被測定体の電極パッドに接触可能な複数のプローブ
が固定されたＸ1 プローブカード２１、Ｘ2 プローブカ
ード２２、Ｙ1 プローブカード２３そしてＹ2 プローブ
カード２４が着脱自在に装着されている。
【０００５】従って、このようなプローバ１０によれ
ば、被測定体１２の所望電極パッドに対して各プローブ
カード２１、２２、２３、２４を移動させ、その先端に
設けられた複数のプローブを電極パッドに接触させ、外
部の検査機によって被測定体内の配線検査を行うことが
できる。
ば、被測定体１２の所望電極パッドに対して各プローブ
カード２１、２２、２３、２４を移動させ、その先端に
設けられた複数のプローブを電極パッドに接触させ、外
部の検査機によって被測定体内の配線検査を行うことが
できる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来において、通常の
オープン検査においては、それぞれ一対ずつのＸ1 プロ
ーブカード２１、Ｘ2 プローブカード２２そしてＹ1 プ
ローブカード２３、Ｙ2プローブカード２４を用いて各
電極パッドの両端に接触させ所望のオープン（切断）検
査が行われる。
オープン検査においては、それぞれ一対ずつのＸ1 プロ
ーブカード２１、Ｘ2 プローブカード２２そしてＹ1 プ
ローブカード２３、Ｙ2プローブカード２４を用いて各
電極パッドの両端に接触させ所望のオープン（切断）検
査が行われる。
【０００７】しかしながら、近年においては、Ｘ軸とＹ
軸相互間のクロスショート（相互短絡）検査の必要性が
高まり、このような場合には、いずれか一方の軸に関す
るプローブを特定の電極パッドに静止した状態で接触さ
せ、他軸のプローブカードを移動させながらクロスショ
ート検査が行われる。このような場合には、Ｘ軸のプロ
ーブカードとＹ軸のプローブカードとを極く近接するこ
とが要求される。
軸相互間のクロスショート（相互短絡）検査の必要性が
高まり、このような場合には、いずれか一方の軸に関す
るプローブを特定の電極パッドに静止した状態で接触さ
せ、他軸のプローブカードを移動させながらクロスショ
ート検査が行われる。このような場合には、Ｘ軸のプロ
ーブカードとＹ軸のプローブカードとを極く近接するこ
とが要求される。
【０００８】しかしながら、従来のプローブカードは、
図４から明らかなように、例えばＸ1 プローブカード２
１あるいはＹ2 プローブカード２４は略矩形状からな
り、それぞれのプローブ２１ａ、２４ａが固定される先
端部はその側端がそれぞれのプローブ２１ａ、２４ａよ
り横に張り出しており、両プローブカード２１、２４を
近接させたときにはこの張出し部が衝突してしまい、電
極パッド１００の一部と接触不能な部分が生じてしまう
という問題があった。
図４から明らかなように、例えばＸ1 プローブカード２
１あるいはＹ2 プローブカード２４は略矩形状からな
り、それぞれのプローブ２１ａ、２４ａが固定される先
端部はその側端がそれぞれのプローブ２１ａ、２４ａよ
り横に張り出しており、両プローブカード２１、２４を
近接させたときにはこの張出し部が衝突してしまい、電
極パッド１００の一部と接触不能な部分が生じてしまう
という問題があった。
【０００９】従って、従来のプローブカードにおいて
は、ＩＣウェハあるいは液晶表示素子の電極パッド配置
によっては測定不能な場合が生じるという問題があっ
た。
は、ＩＣウェハあるいは液晶表示素子の電極パッド配置
によっては測定不能な場合が生じるという問題があっ
た。
【００１０】本発明は上記従来の課題に鑑みなされたも
のであり、その目的は、クロスショート検査において
も、測定不能の生じることのない改良されたプローブカ
ードを提供することにある。
のであり、その目的は、クロスショート検査において
も、測定不能の生じることのない改良されたプローブカ
ードを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るプローブカードは、プローブが固定さ
れる先端側端が斜めにカットされていることを特徴とす
る。
に、本発明に係るプローブカードは、プローブが固定さ
れる先端側端が斜めにカットされていることを特徴とす
る。
【００１２】
【作用】従って、本発明によれば、直交方向に移動する
他のプローブカードと近接するときに、前記斜めにカッ
トした側端によって、先端のプローブを著しく近くまで
接近させることができ、従来クロスショート検査などで
生じていた測定不能な領域を確実に除去することが可能
となる。
他のプローブカードと近接するときに、前記斜めにカッ
トした側端によって、先端のプローブを著しく近くまで
接近させることができ、従来クロスショート検査などで
生じていた測定不能な領域を確実に除去することが可能
となる。
【００１３】
【実施例】以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を
説明する。
説明する。
【００１４】図１には本発明に係るプローブカード３０
の好適な実施例が示されている。
の好適な実施例が示されている。
【００１５】プローブカード３０の先端には複数のプロ
ーブ３１が固定配置されており、そのプローブカード３
０の本体構造は従来と同様である。
ーブ３１が固定配置されており、そのプローブカード３
０の本体構造は従来と同様である。
【００１６】本発明において特徴的なことは、プローブ
カード３０の先端側端が符号３０ａ及び３０ｂで示され
ているように斜めにカットされていることであり、実施
例においては４５°の角度で予め切断されている。実施
例において、プローブカード３０はそれ自体アルミニウ
ム素材を白アルマイト処理した構造からなり、前記斜め
カット３０ａ、３０ｂにて形状加工した後に前記電気的
絶縁処理である白アルマイト処理が行われる。
カード３０の先端側端が符号３０ａ及び３０ｂで示され
ているように斜めにカットされていることであり、実施
例においては４５°の角度で予め切断されている。実施
例において、プローブカード３０はそれ自体アルミニウ
ム素材を白アルマイト処理した構造からなり、前記斜め
カット３０ａ、３０ｂにて形状加工した後に前記電気的
絶縁処理である白アルマイト処理が行われる。
【００１７】各プローブカード３０の先端に設けられる
プローブ３１はその長さ、線径及び本数が任意に設定さ
れ、被測定体であるＩＣウェハあるいは液晶表示素子に
合わせて選択される。
プローブ３１はその長さ、線径及び本数が任意に設定さ
れ、被測定体であるＩＣウェハあるいは液晶表示素子に
合わせて選択される。
【００１８】図２には本発明に係るプローブカード３０
−１をＹ軸用としまたプローブカード３０−２をＸ軸用
として用いた使用状態が示され、図から明らかなよう
に、両プローブカード３０−１、３０−２はそれらのプ
ローブ３１−１、３１−２が著しく近接可能であること
が理解される。
−１をＹ軸用としまたプローブカード３０−２をＸ軸用
として用いた使用状態が示され、図から明らかなよう
に、両プローブカード３０−１、３０−２はそれらのプ
ローブ３１−１、３１−２が著しく近接可能であること
が理解される。
【００１９】従って、本発明によれば、特にクロスショ
ート試験において、被測定体の検査不能領域を残すこと
なくすべての電極パッドに対するクロスショート試験を
行うことが可能となる。
ート試験において、被測定体の検査不能領域を残すこと
なくすべての電極パッドに対するクロスショート試験を
行うことが可能となる。
【００２０】前述した実施例において、プローブカード
の斜めカット角度は４５°に設定されているが、この角
度は任意に選択可能である。
の斜めカット角度は４５°に設定されているが、この角
度は任意に選択可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
簡単な構造によってプローバに必要な各種テストを電極
パッドとの接触不能領域を作ることなく行うことが可能
となり、多数項目の試験を迅速かつ確実に行うことがで
きるという利点がある。
簡単な構造によってプローバに必要な各種テストを電極
パッドとの接触不能領域を作ることなく行うことが可能
となり、多数項目の試験を迅速かつ確実に行うことがで
きるという利点がある。
【図１】本発明に係るプローブカードの好適な実施例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図２】本発明に係るプローブカードのクロスショート
試験時の使用状態を示す説明図である。
試験時の使用状態を示す説明図である。
【図３】従来におけるプローバの概略構成を示す説明図
である。
である。
【図４】従来におけるクロスショートテストの説明図で
ある。
ある。
３０ プローブカード ３１ プローブ ３０ａ、３０ｂ 斜めカット部
Claims (1)
- 【請求項１】 基台に対してＸ軸あるいはＹ軸の少なく
とも１方向に移動自在に支持され、被測定体の電極パッ
ドに接触可能な複数のプローブが先端に固定されたプロ
ーブカードにおいて、 直交方向に移動する他のプローブカードと近接可能に先
端側端が斜めにカットされていることを特徴とするプロ
ーブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1894493A JPH06230401A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1894493A JPH06230401A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | プローブカード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06230401A true JPH06230401A (ja) | 1994-08-19 |
Family
ID=11985761
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1894493A Pending JPH06230401A (ja) | 1993-02-05 | 1993-02-05 | プローブカード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06230401A (ja) |
-
1993
- 1993-02-05 JP JP1894493A patent/JPH06230401A/ja active Pending
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