JPH06232682A

JPH06232682A - 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ

Info

Publication number: JPH06232682A
Application number: JP2001793A
Authority: JP
Inventors: Kazushi Watanabe; 一志渡辺; Norio Hosaka; 憲生保坂; Hideo Onuki; 秀男大貫
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1993-02-08
Filing date: 1993-02-08
Publication date: 1994-08-19

Abstract

(57)【要約】【目的】ＳＡＷ共振子の共振周波数と反共振周波数と
の間でのモ−ド結合と見られる不要スプリアスがないＳ
ＡＷ共振子およびＳＡＷ共振子を組み合わせた共振子型
フィルタならびに通過域特性の良好なＳＡＷフィルタを
提供する。【構成】圧電性基板１上に金属膜からなるすだれ状電
極２，３，４を有する弾性表面波共振子もしくは圧電性
基板上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面
波共振子を複数個バスバ−により直列に接続した多段型
弾性表面波共振子において、前記共振子の開口長Ｗ１と
共振子を構成するすだれ状電極の電極指非交差部Ｗ２の
比を１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、伝搬波動のモード結合
によるスプリアスを低減した弾性表面波共振子、また
は、弾性表面波フィルタ、ならびに、弾性表面波共振子
型フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波共振子は、ＵＨＦ、ＶＨＦ帯
での水晶振動子に比べ、基本発振が可能で、小型化、高
Ｑを実現できることから、各種通信装置、家電製品に適
用されている。弾性表面波共振子の基本的な構成は大き
く分けると、入出力用すだれ状電極（以下、ＩＤＴとい
う）の両側に反射器を設けたキャビティ型、反射器を設
けないＩＤＴ型の２つがある。またこの弾性表面波共振
子の基板材料として、水晶基板が、温度特性の点から数
多く用いられている。特開平２−７５２１５号公報に
は、近接して配置した２つの弾性表面波共振子を弾性的
に結合させた場合、対称モードと反対称モードの２つの
振動モードが生じること、この対称モードの共振周波数
と反対称モードの反共振周波数を一致させ所望の特性の
多重モード共振器型弾性表面波フィルタを得ることにつ
いて述べられており、ＩＤＴの端部に、弾性表面波の伝
搬方向に直角方向に伸びる導体パタ−ン設けたものであ
る。この導体パタ−ンを設けることにより、ＩＤＴ端部
での不要な振動モードの発生、および不要なモード結合
を防ぐ効果がある。図１０は、開口長Ｗ１と電極指非交
差開口部Ｗ２の比が８の、従来の弾性表面波共振子のイ
ンピーダンス特性を示したものであり、共振周波数Ｆｒ
と、反共振周波数Ｆａの間（９５０ＭＨｚから９５５Ｍ
Ｈｚ付近）で不要なスプリアスが発生していることがわ
かる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】圧電性基板上に形成し
たＩＤＴに励振する波のモードは、圧電性基板の種類、
基板のカット角、基板表面伝搬路の電気的状態により違
ってくる。タンタル酸リチウム単結晶基板（ＬｉＴａＯ
₃）、または、ニオブ酸リチウム単結晶基板（ＬｉＮｂ
Ｏ₃）においては、基板のカット角によって、擬似弾性
表面波（Leaky Surface Acoustic Wave；以下、ＬＳＡ
Ｗという）、もしくは、バルク波（Surface Skimming B
ulk Wave；以下、ＳＳＢＷという）が主伝搬波動とな
り、結合係数が通常のレ−リ−モードの弾性表面波より
大きくなる特徴がある。特に、ＬｉｔａＯ₃３６度回転
Ｙ板Ｘ軸伝搬では、伝搬路が自由表面ではＳＳＢＷが主
伝搬波動となり、他方、伝搬路が短絡表面、すなわち、
金属電極下では、ＬＳＡＷが主伝搬波動となることが知
られている。また、上記従来例の水晶基板においては、
レ−リ−モードのいわゆる表面波（ＳｕｒｆａｃｅＡ
ｃｏｕｓｔｉｃＷａｖｅ）が主伝搬波動となる。但
し、上記従来例の水晶基板は、温度特性には優れるが、
結合係数が小さく、共振子を組み合わせたフィルタとし
て応用する場合、共振周波数と反共振周波数間の周波数
幅が取れないので、広帯域のフィルタには不都合であ
る。この広帯域フィルタには、ＬｉＴａＯ₃基板または
ＬｉＮｂＯ₃が適している。中でも、結合係数の大きな
ＬＳＡＷを生ずるカット角の基板が適している。しかし
発明者らは、これ等の基板を用いた場合に、上記説明し
たＬＳＡＷおよびＳＳＢＷの２つの波が発生し、特有の
スプリアスピ−クを生ずる問題点を見出した。特に弾性
表面波共振子のインピーダンス特性においては、弾性表
面波共振子の共振周波数と反共振周波数との間で、ＬＳ
ＡＷとＳＳＢＷの結合と見られる不要スプリアスが発生
する。このため、弾性表面波共振子を組み合わせた弾性
表面波共振子型フィルタでは、帯域内で、不要なリップ
ルが発生する不具合を生じる。発明者らは、この不要ス
プリアスがＬＳＡＷとＳＳＢＷとの結合が関与している
ことを明らかにした。本発明は、上記知見に基づき、従
来の問題点を解決し、弾性表面波共振子の共振周波数と
反共振周波数との間でのモード結合と見られる不要スプ
リアスがない弾性表面波共振子、および、弾性表面波共
振子を組み合わせた弾性表面波共振子型フィルタ、なら
びに、弾性表面波フィルタを提供することを目的とす
る。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、圧電性基板上に形成した弾性表面波共振
子または弾性表面波フィルタの、共振子の開口長Ｗ１と
弾性表面波共振子または弾性表面波フィルタを構成する
ＩＤＴの電極指非交差部Ｗ２の比を１４以上（Ｗ１／Ｗ
２≧１４）と規定するか、または、ＩＤＴの電極指非交
差部とバスバー部分を吸音材で塗布した構成により解決
される。

【０００５】

【作用】上記のような手段をとることにより、弾性表面
波共振子のインピーダンス特性において、不要スプリア
スの発生を低減できる。すなわち、ＬｉＴａＯ₃基板上
に形成されたＩＤＴは、金属電極下すなわちＩＤＴ交差
部分ではＬＳＡＷが主伝搬波動となり、自由表面すなわ
ちＩＤＴの電極指非交差部分ではＳＳＢＷが主伝搬波動
となる。このため、弾性表面波共振子の開口長Ｗ１と共
振子を構成するＩＤＴの電極指非交差部Ｗ２の比を１４
以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）と規定する、またはＩＤＴの
電極指非交差部とバスバー部分を吸音材で塗布すること
で、電極指非交差部分で発生するＬＳＡＷを減衰させ、
このＬＳＡＷにより発生するＳＳＢＷの波の強度レベル
を低減し、ＩＤＴ交差部分へのＳＳＢＷの侵入を低減で
きる。このため、ＳＳＢＷとＬＳＡＷの波のモード結合
を低減することができる。また、弾性表面波フィルタに
おいても、同様の作用がある。

【０００６】

【実施例】以下、本発明を図面を用いて説明する。図１
は、本発明の第１の実施例を示すもので、１段のすだれ
状電極（ＩＤＴ）型弾性表面波共振子に関するものであ
る。このＩＤＴ型弾性表面波共振子は、３６度回転Ｙ軸
切断Ｘ軸伝搬のタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）か
らなる圧電性基板１の上に、ワイヤリング用のボンディ
ングパッド２を有するとともにＩＤＴを構成する電極指
３とこの電極指を電気的に接続するバスバー４からなる
一対の電極が形成されて構成されている。第１の実施例
は、この電極指３の対数が３００本であるが、図１では
省略して模式的に図示している。また、このＩＤＴの共
振子の開口長Ｗ１は７０μｍに設定されており、電極指
３が交差しない電極指非交差開口部Ｗ２は５μｍに設定
されており、開口長Ｗ１と電極指非交差開口部Ｗ２の比
は１４に設定されている。また、電極指３の電極線幅
と、スペース部分の幅は共に１．２μｍである。この弾
性表面波共振子の電極指材料は、アルミニウム−チタン
合金（Ａｌ−Ｔｉ合金）を用いてＤＣマグネトロンスパ
ッタ法により電極膜厚１００ｎｍに成膜して構成されて
いる。

【０００７】図２は、第１の実施例の１段のＩＤＴ型弾
性表面波共振子の周波数−インピーダンス特性を示す図
であり、共振周波数Ｆｒは９３５ＭＨｚ、反共振周波数
Ｆａは９６５ＭＨｚである。この共振周波数Ｆｒと反共
振周波数Ｆａとの間隔は、近似的には、

【数１】で表わされ、この間隔が、フィルタの帯域幅や肩特性に
関係する。ＩＤＴ型弾性表面波共振子の集中定数等価回
路は、共振抵抗をＲ，制動容量をＣｄとし、共振のＬ，
Ｃから、共振周波数Ｆｒと、反共振周波数Ｆａは、

【数２】

【数３】で表わされる。ここで、制動容量Ｃｄは、

【数４】で表わされる。

【０００８】この図からわかるように、共振子の開口長
と電極指非交差開口部の比（Ｗ１／Ｗ２）を１４と大き
く規定することで、電極指交差部Ｗ３での主伝搬波動で
あるＬＳＡＷと、電極指非交差開口部での主伝搬波動で
あるＳＳＢＷとの不要波の結合が低減され、従来の弾性
表面波共振子で発生した、共振子の共振周波数と反共振
周波数との間で発生する不要スプリアスが低減される。
尚、この不要スプリアスは、共振子の開口長と電極指非
交差開口部の比（Ｗ１／Ｗ２）が１４以上では発生しな
いことが、実験からわかった。また、同じ電極構成で、
ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）基板上に作成した共
振子では、上記不要スプリアスは発生せず、タンタル酸
リチウム基板にのみ発生するＳＳＢＷに特有な現象であ
ることがわかった。

【０００９】図３は、本発明の第２の実施例の２段ＩＤ
Ｔ型弾性表面波共振子の平面図である。この弾性表面波
共振子は、第１の実施例の弾性表面波共振子をバスバー
４を会して２つ直列に接続した２段ＩＤＴ型弾性表面波
共振子である。また、図３は、図１の第１の実施例のイ
ンピーダンス特性を示している。図３からわかるよう
に、Ｗ１／Ｗ２の比を大きく規定することで、電極指交
差部Ｗ３での主伝搬波動であるＬＳＡＷと、電極指非交
差開口部での主伝搬波動であるＳＳＢＷとの不要波の結
合が低減され、図１０の従来ＳＡＷ共振子で発生した、
共振子の共振周波数と反共振周波数との間で発生する不
要スプリアスが低減される。尚、この不要スプリアス
は、Ｗ１／Ｗ２の比が１４以上では発生しないことが、
実験からわかった。また図２に示す弾性表面波共振子で
も、同様の結果が得られた。また、同じ電極構成で、Ｌ
ｉＮｂＯ₃基板上に作成した共振子では、上記不要スプ
リアスは発生せず、ＳＳＢＷ特有な現象であることがわ
かった。

【００１０】図４は、本発明の第３の実施例の２段ＩＤ
Ｔ型弾性表面波共振子の平面図であり、この弾性表面波
共振子は、第２の実施例の２段ＩＤＴ型弾性表面波共振
子の電極指非交差開口部Ｗ２とバスバー部分４との間
に、吸音剤５を塗布したものである。この実施例によれ
ば、電極指非交差開口部に発生するＳＳＢＷを吸音剤に
よって吸収することができるので、第１の実施例および
第２の実施例と同様に、ＬＳＡＷとＳＳＢＷとの不要波
の結合を低減させることができ、同等の効果が得られ
た。

【００１１】図５、６は、本発明の第４の実施例であ
り、実施例１および実施例２の弾性表面波共振子を組み
合わせた弾性表面波共振子型フィルタについて示したも
のである。図５は、この弾性表面波共振子型フィルタの
回路構成図であり、共振周波数のそれぞれ違う弾性表面
波共振子６、７、８、９、１０、１１と、この共振子を
調整するインダクタパターンＬ１、Ｌ２、Ｌ３、Ｌ４、
Ｌ５で構成されている。図に示すように、インダクタパ
ターンＬ１，Ｌ２および弾性表面波共振子４，９，１１
ならびにインダクタパターンＬ５が直列に接続され、イ
ンダクタパターンＬ１とインダクタパタ−ンＬ２の接続
点に、弾性表面波共振子４が、弾性表面波共振子４と弾
性表面波共振子９の接続点および弾性表面波共振子９と
弾性表面波共振子１１の接続点に、それぞれ弾性表面波
共振子８とインダクタパターンＬ３の直列回路および弾
性表面波共振子１０とインダクタパターンＬ４の直列回
路が並列に接続されて、弾性表面波共振子型フィルタを
構成している。インダクタパターンは、アルミナ基板上
に銅でスパイラル状に形成されたものであり、弾性表面
波共振子と２５μφのアルミニウムワイヤーで接続され
ている。尚、このワイヤーは、材料としてアルミニウム
（Ａｌ）を使用したが、アルミニウムのほか金（Ａｕ）
等であっても構わない。

【００１２】図６は、図５の回路構成に基づいた弾性表
面波共振子型フィルタの周波数特性を示したものであ
る。実線で示した周波数曲線は本発明の弾性表面波共振
子を組み合わせたフィルタに関する特性を示し、破線で
示した周波数特性は、従来の弾性表面波共振子を組み合
わせたフィルタに関する特性を示す。従来例では、弾性
表面波共振子単体特性で、共振周波数と反共振周波数と
の間で不要スプリアスが発生するため、フィルタ特性に
おいても、通過域で不要スプリアスが生じ、損失を大き
く劣化させている。しかしながら実線で示した、電極指
の開口長Ｗ１と電極指非交差開口部Ｗ２の比を１４以上
（Ｗ１／Ｗ２≧１４）に規定した、本発明の弾性表面波
共振子を組み合わせることで、フィルタ特性の通過域の
不要スプリアスが発生せず、良好なフィルタの周波数特
性が実現可能となった。

【００１３】図７および図８は、本発明の第５の実施例
を示し、図７は、第５の実施例の弾性表面波フィルタの
平面図を示したものである。本実施例では、３６度回転
Ｙ軸切断Ｘ軸伝搬のタンタル酸リチウム（ＬｉＴａ
Ｏ₃）からなる圧電性基板１の上に、入力すだれ状電極
（ＩＤＴ）１２と出力ＩＤＴ１３が交互に配置されてお
り、入出力ＩＤＴ１２、１３の個数は、入力ＩＤＴ１２
は２個、出力ＩＤＴ１３は３個の多電極型構成となって
いる。入力ＩＤＴ１２、および出力ＩＤＴ１３はそれぞ
れ、電極指３から構成される。伝搬路上に形成されたこ
の電極指３とスペース部分は、共に等しくなっている。
また、入、出力ＩＤＴ１２、１３の間は、接地用電極パ
ターン１４が形成され、電極指３の形成周期と同間隔
で、しかも電極指３より大きな幅で隣接して形成されて
いる。この多電極型弾性表面波フィルタの中心周波数は
８８０ＭＨｚであり、入出力ＩＤＴ１２，１３の開口長
Ｗ１は１００μｍであり、電極指３の電極指非交差開口
部Ｗ２は５μｍに設定され、電極指の開口長Ｗ１と電極
指非交差開口部Ｗ２の比（Ｗ１／Ｗ２）を２０としてい
る。また電極指３の電極線幅およびスペース部分の幅は
共に１．２μｍとされ、接地用電極パターン１４の幅は
５μｍに設定されている。さらに、電極材料には、アル
ミニウム−チタン合金（Ａｌ−Ｔｉ合金）を用いてＤＣ
マグネトロンスパッタ法により電極膜厚を１００ｎｍに
成膜している。

【００１４】図８は、図７の多電極型弾性表面波フィル
タの周波数特性を示したものであり、実線は本発明のフ
ィルタの曲線を示し、破線は従来のフィルタの曲線を示
す。本発明においては、ＬＳＡＷと、ＳＳＢＷとの不要
波の結合を低減させるため、入出力ＩＤＴ１２、１３の
開口長Ｗ１と電極指非交差開口部Ｗ２の比（Ｗ１／Ｗ
２）を１４以上となるように考慮することで、従来技術
の周波数特性に比べ、過域での不要なうねりが緩和され
る。

【００１５】また、図４の本発明第３の実施例と同様
に、電極指非交差開口部Ｗ２とバスバー部分４との間に
吸音剤５を塗布した構成としても、本発明の第５の実施
例と同様に、ＬＳＡＷと、ＳＳＢＷとの不要波の結合を
低減でき、同等の効果が得られた。

【００１６】上述のように、本発明においては、圧電性
基板はＬＳＡＷとＳＳＢＷが主伝搬波動となるタンタル
酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）を用いたが、タンタル酸リ
チウムに限らず、電極指の開口部と電極指非交差開口部
で、違うモ−ドの発生する可能性のあるニオブ酸リチウ
ム（ＬｉＮｂＯ₃）、あるいは水晶基板であっても良
い。さらに、電極材料はアルミニウム−チタン合金（Ａ
ｌ−Ｔｉ合金）に限らず、他のアルミニウム系合金であ
っても良い。

【００１７】一般に、弾性表面波共振子を含む弾性表面
波フィルタは、電圧を印加して基板に機械的振動を生じ
させるので、余分な慣性的負荷が加わるのは好ましくな
い。このため、導電性良好で軽い材料、たとえばアルミ
ニウムあるいはアルミニウム合金で電極を形成すること
が好ましい。さらに、機械振動を生じる電極指３は、耐
マイグレーション性が重要であるので、導電性は多少低
いが、耐マイグレーション性の良好なアルミニウム−チ
タン合金（Ａｌ−Ｔｉ合金）を選定した。また、電極指
３の形成には、電極幅に高い寸法精度が要求されるの
で、湿式化学エッチングに代わり、塩化硼素（ＢＣ
ｌ₃）、ＣＦ₄ガスを用いた反応性ドライエッチング（Ｒ
ＩＥ）技術を用いた。

【００１８】図９は、本発明の弾性表面波共振子型フィ
ルタを用いて構成した、移動無線機システムのアンテナ
分波器の構成を示す図である。この分波器の送信フィル
タ１５および受信フィルタ１６に、弾性表面波共振子型
フィルタを用いた。送信フィルタ１５および受信フィル
タ１６は、それぞれ分岐回路１７を介してアンテナ１８
と接続されている。移動無線機システムに用いる送信フ
ィルタ１５および受信フィルタ１６は、耐電力性を必要
とするだけでなく、８００〜９００ＭＨｚと高周波であ
るので弾性表面波共振子型フィルタを構成する入出力Ｉ
ＤＴの電極指が１μｍ程度と微細となる。又、フィルタ
特性として非常に低損失かつ急峻なフィルタの肩特性を
必要とし、組み合わせる共振子のインピーダンス特性が
非常に重要である。本発明の弾性表面波共振子を用いる
ことで、弾性表面波共振子のインピーダンス特性におい
て、反共振周波数と共振周波数の間での不要スプリアス
が低減でき、良好なフィルタ特性が提供できる。また、
入出力ＩＤＴを持つ弾性表面波フィルタでも、不要な伝
搬波動の結合が低減でき通過域特性の良好な弾性表面波
フィルタが提供できる。

【００１９】尚、本発明は、移動無線機システムに限ら
ず、ＶＴＲまたはＣＡＴＶ用コンバ−タならびに衛星放
送用受信機システム等に用いる弾性表面波共振子や弾性
表面波共振子型フィルタ、さらに一般の弾性表面波フィ
ルタにおいても有効な手段であることはいうまでもな
い。

【００２０】更に、本発明は、共振子の電極構成とし
て、１ポートのＩＤＴ型弾性表面波共振子を取り上げた
が、ＩＤＴの外側に、反射電極を形成したキャビティ構
成のＩＤＴ型弾性表面波共振子、１チップ内に電気的に
独立した２つの弾性表面波共振子を形成した多重モード
構成のＩＤＴ型弾性表面波共振子、入出力ＩＤＴを２つ
持つ２ポート型構成のＩＤＴ型弾性表面波共振子等全て
の弾性表面波共振子構成においても有効な手段であるこ
とは、いうまでもない。本発明においては、電極指の開
口長Ｗ１とＩＤＴ電極の電極指非交差部Ｗ２の比を１４
以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）とするほど、つまり電極指非
交差部Ｗ２が小さいほど、電極指非交差部分で発生する
ＳＳＢＷの波の強度レベルを低減し、モ−ド結合と見ら
れる不要スプリアスを低減できる。

【００２１】

【発明の効果】本発明によれば、圧電性基板上に形成さ
れた弾性表面波共振子および弾性表面波共振子を組み合
わせた弾性表面波共振子型フィルタならびに入出力ＩＤ
Ｔを持つ弾性表面波フィルタにおいて、ＩＤＴの開口長
Ｗ１と、電極指非交差部Ｗ２の比を１４以上と規定する
こと、またはＩＤＴの電極指非交差部とバスバー部分
を、吸音材で塗布することで、インピーダンス−周波数
特性の良好な弾性表面波共振子および弾性表面波共振子
型フィルタならびに弾性表面波フィルタを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明第１の実施例の平面図。

【図２】本発明第１の実施例のインピ−ダンス特性。

【図３】本発明第２の実施例の平面図。

【図４】本発明第３の実施例の平面図。

【図５】本発明第４の実施例の回路構成図。

【図６】本発明第４の実施例の周波数特性。

【図７】本発明第５の実施例の平面図。

【図８】本発明第５の実施例の周波数特性。

【図９】本発明を用いた移動無線機のアンテナ分波器。

【図１０】従来技術のインピ−ダンス特性。

【符号の説明】

１圧電性基板２ボンディングパッド３電極指４バスバ− ５吸音剤６〜１１弾性表面波共振子１２入力ＩＤＴ１３出力ＩＤＴ１４接地用電極パターン１５送信フィルタ１６受信フィルタ１７分岐回路１８アンテナ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ状
電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基板
上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波共
振子を複数個バスバ−により直列に接続した多段型弾性
表面波共振子において、前記共振子の開口長Ｗ１と共振子を構成するすだれ状電
極の電極指非交差部Ｗ２の比を１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧
１４）としたことを特徴とする弾性表面波共振子。
【請求項２】金属膜からなるすだれ状電極を有する圧
電性基板が、バルク波（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉ
ｎｇＢｕｌｋＷａｖｅ；ＳＳＢＷ）もしくは疑似弾
性表面波（ＬｅａｋｙＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔ
ｉｃ；ＷａｖｅＬＳＡＷ）を励振するタンタル酸リチ
ウム単結晶基板（ＬｉＴａＯ₃）またはニオブ酸リチウ
ム単結晶基板（ＬｉＮｂＯ₃）を用いたものである、請
求項１に記載の弾性表面波共振子。
【請求項３】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ状
電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基板
上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波共
振子を複数個バスバーにより直列に接続した多段型弾性
表面波共振子において、前記共振子を構成するすだれ状電極の電極指非交差部と
バスバー部分を吸音材で塗布したことを特徴とする弾性
表面波共振子。
【請求項４】金属膜からなるすだれ状電極を有する圧
電性基板が、バルク波（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉ
ｎｇＢｕｌｋＷａｖｅ；ＳＳＢＷ）もしくは疑似弾
性表面波（ＬｅａｋｙＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔ
ｉｃ；ＷａｖｅＬＳＡＷ）を励振するタンタル酸リチ
ウム単結晶基板（ＬｉＴａＯ₃）またはニオブ酸リチウ
ム単結晶基板（ＬｉＮｂＯ₃）を用いたものである、請
求項３に記載の弾性表面波共振子。
【請求項５】圧電性基板上に金属膜からなる互いに弾
性表面波を送受する１個以上の入力すだれ状電極と出力
すだれ状電極を同一伝搬路上に配設した弾性表面波フィ
ルタまたは多電極型弾性表面波フィルタにおいて、該弾性表面波フィルタまたは該多電極型弾性表面波フィ
ルタの入力すだれ状電極および出力すだれ状電極の開口
長Ｗ１と入力すだれ状電極および出力すだれ状電極の電
極指非交差部Ｗ２の比を１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）
としたことを特徴とする弾性表面波フィルタまたは多電
極型弾性表面波フィルタ。
【請求項６】金属膜からなるすだれ状電極を有する圧
電性基板が、バルク波（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉ
ｎｇＢｕｌｋＷａｖｅ；ＳＳＢＷ）もしくは疑似弾
性表面波（ＬｅａｋｙＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔ
ｉｃＷａｖｅ；ＬＳＡＷ）を励振するタンタル酸リチ
ウム単結晶基板（ＬｉＴａＯ₃）またはニオブ酸リチウ
ム単結晶基板（ＬｉＮｂＯ₃）を用いたものである、請
求項５に記載の弾性表面波共振子型フィルタ。
【請求項７】圧電性基板上に金属膜からなる互いに弾
性表面波を送受する１個以上の入力すだれ状電極と出力
すだれ状電極を同一伝搬路上に配設した弾性表面波フィ
ルタまたは多電極型弾性表面波フィルタにおいて、該弾性表面波フィルタまたは該多電極型弾性表面波フィ
ルタの入力すだれ状電極および出力すだれ状電極の電極
指非交差部とバスバー部分を吸音材で塗布したことを特
徴とする弾性表面波フィルタ、または多電極型弾性表面
波フィルタ。
【請求項８】金属膜からなるすだれ状電極を有する圧
電性基板が、バルク波（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍｉ
ｎｇＢｕｌｋＷａｖｅ；ＳＳＢＷ）もしくは疑似弾
性表面波（ＬｅａｋｙＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓｔ
ｉｃＷａｖｅ；ＬＳＡＷ）を励振するタンタル酸リチ
ウム単結晶基板（ＬｉＴａＯ₃）またはニオブ酸リチウ
ム単結晶基板（ＬｉＮｂＯ₃）を用いたものである、請
求項７に記載の弾性表面波共振子型フィルタ。
【請求項９】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ状
電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基板
上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波共
振子を複数個バスバーにより直列に接続した多段型弾性
表面波共振子であって、前記共振子の開口長Ｗ１と共振
子を構成するすだれ状電極の電極指非交差部Ｗ２の比を
１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）とした弾性表面波共振子
を用い、共振周波数の違う共振子を、それぞれインダク
タを介して接続したことを特徴とした弾性表面波共振子
型フィルタ。
【請求項１０】金属膜からなるすだれ状電極を有する
圧電性基板が、バルク波（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍ
ｉｎｇＢｕｌｋＷａｖｅ；ＳＳＢＷ）もしくは疑似
弾性表面波（ＬｅａｋｙＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓ
ｔｉｃＷａｖｅ；ＬＳＡＷ）を励振するタンタル酸リ
チウム単結晶基板（ＬｉＴａＯ₃）またはニオブ酸リチ
ウム単結晶基板（ＬｉＮｂＯ₃）を用いたものである、
請求項９に記載の弾性表面波共振子型フィルタ。
【請求項１１】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ
状電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基
板上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波
共振子を複数個バスバーにより直列に接続した多段型弾
性表面波共振子であって、前記共振子を構成するすだれ
状電極の電極指非交差部とバスバー部分を吸音材で塗布
した弾性表面波共振子を用い、共振周波数の違う共振子
を、それぞれインダクタを介して接続したことを特徴と
した弾性表面波共振子型フィルタ。
【請求項１２】金属膜からなるすだれ状電極を有する
圧電性基板が、バルク波（ＳｕｒｆａｃｅＳｋｉｍｍ
ｉｎｇＢｕｌｋＷａｖｅ；ＳＳＢＷ）もしくは疑似
弾性表面波（ＬｅａｋｙＳｕｒｆａｃｅＡｃｏｕｓ
ｔｉｃＷａｖｅ；ＬＳＡＷ）を励振するタンタル酸リ
チウム単結晶基板（ＬｉＴａＯ₃）またはニオブ酸リチ
ウム単結晶基板（ＬｉＮｂＯ₃）を用いたものである、
請求項１１に記載の弾性表面波共振子型フィルタ。
【請求項１３】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ
状電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基
板上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波
共振子を複数個バスバーにより直列に接続した多段型弾
性表面波共振子であって、前記共振子の開口長Ｗ１と共
振子を構成するすだれ状電極の電極指非交差部Ｗ２の比
を１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）とした弾性表面波共振
子を移動無線機の中間周波フィルタとして用いたことを
特徴とする移動無線機システム。
【請求項１４】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ
状電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基
板上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波
共振子を複数個バスバーにより直列に接続した多段型弾
性表面波共振子であって、前記共振子を構成するすだれ
状電極の電極指非交差部とバスバー部分を吸音材で塗布
した弾性表面波共振子を移動無線機の中間周波フィルタ
として用いたことを特徴とする移動無線機システム。
【請求項１５】圧電性基板上に金属膜からなる互いに
弾性表面波を送受する１個以上の入力すだれ状電極と出
力すだれ状電極を同一伝搬路上に配設した弾性表面波フ
ィルタまたは多電極型弾性表面波フィルタであって、該
弾性表面波フィルタまたは該多電極型弾性表面波フィル
タの入力すだれ状電極および出力すだれ状電極の開口長
Ｗ１と入力すだれ状電極および出力すだれ状電極の電極
指非交差部Ｗ２の比を１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）と
した弾性表面波フィルタまたは多電極型弾性表面波フィ
ルタを移動無線機の中間周波フィルタとして用いたこと
を特徴とする移動無線機システム。
【請求項１６】圧電性基板上に金属膜からなる互いに
弾性表面波を送受する１個以上の入力すだれ状電極と出
力すだれ状電極を同一伝搬路上に配設した弾性表面波フ
ィルタまたは多電極型弾性表面波フィルタであって、該
弾性表面波フィルタまたは該多電極型弾性表面波フィル
タの入力すだれ状電極および出力すだれ状電極の電極指
非交差部とバスバー部分を吸音材で塗布した弾性表面波
フィルタまたは多電極型弾性表面波フィルタを移動無線
機の中間周波フィルタとして用いたことを特徴とする移
動無線機システム。
【請求項１７】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ
状電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基
板上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波
共振子を複数個バスバーにより直列に接続した多段型弾
性表面波共振子であって、前記共振子の開口長Ｗ１と共
振子を構成するすだれ状電極の電極指非交差部Ｗ２の比
を１４以上（Ｗ１／Ｗ２≧１４）とした弾性表面波共振
子を用い、共振周波数の違う共振子を、それぞれインダ
クタを介して接続したことを特徴とした弾性表面波共振
子型フィルタを移動無線機の中間周波フィルタとして用
いたことを特徴とする移動無線機システム。
【請求項１８】圧電性基板上に金属膜からなるすだれ
状電極を有する弾性表面波共振子、もしくは、圧電性基
板上に金属膜からなるすだれ状電極を有する弾性表面波
共振子を複数個バスバーにより直列に接続した多段型弾
性表面波共振子であって、前記共振子を構成するすだれ
状電極の電極指非交差部とバスバー部分を吸音材で塗布
した弾性表面波共振子を用い、共振周波数の違う共振子
を、それぞれインダクタを介して接続したことを特徴と
した弾性表面波共振子型フィルタを移動無線機の中間周
波フィルタとして用いたことを特徴とする移動無線機シ
ステム。