JPH0624046B2 - 記録媒体の摺接部品の製造方法 - Google Patents
記録媒体の摺接部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH0624046B2 JPH0624046B2 JP60060370A JP6037085A JPH0624046B2 JP H0624046 B2 JPH0624046 B2 JP H0624046B2 JP 60060370 A JP60060370 A JP 60060370A JP 6037085 A JP6037085 A JP 6037085A JP H0624046 B2 JPH0624046 B2 JP H0624046B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording medium
- sliding contact
- glassy carbon
- contact component
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/255—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features comprising means for protection against wear
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、記録媒体の摺接部品の製造方法に関する。特
に、記録媒体に接触する面にガラス状炭素の被膜を設け
た摺接部品の製造方法に関する。
に、記録媒体に接触する面にガラス状炭素の被膜を設け
た摺接部品の製造方法に関する。
現在、シートやフィルム等に磁性体層を設けた記録媒体
を用いる記録再生装置や、紙を記録媒体として用いる記
録再生装置が各種市販されている。これらの記録再生装
置には、記録媒体と常時または一時的に摺接する部品が
多数含まれている。このような部品としては、例えば、
フレキシブルディスクのヘッドスライダ、ハードディス
クの浮上スライダ、感熱式印刷ヘッド、磁気ヘッド等を
挙げることができる。これらの部品には、耐久性に優
れ、しかも相対的に摺接する記録媒体に損傷を与えない
ことが必要である。
を用いる記録再生装置や、紙を記録媒体として用いる記
録再生装置が各種市販されている。これらの記録再生装
置には、記録媒体と常時または一時的に摺接する部品が
多数含まれている。このような部品としては、例えば、
フレキシブルディスクのヘッドスライダ、ハードディス
クの浮上スライダ、感熱式印刷ヘッド、磁気ヘッド等を
挙げることができる。これらの部品には、耐久性に優
れ、しかも相対的に摺接する記録媒体に損傷を与えない
ことが必要である。
従来のこのような摺接部品の材質としては、フェライ
ト、センダスト、二酸化ケイ素、炭化ケイ素、硬質ガラ
ス、アルミナ系セラミック等が用いられているが、これ
らはいずれも硬度が高く、記録媒体との摺動性が悪いた
め、記録媒体を損傷させる欠点があった。
ト、センダスト、二酸化ケイ素、炭化ケイ素、硬質ガラ
ス、アルミナ系セラミック等が用いられているが、これ
らはいずれも硬度が高く、記録媒体との摺動性が悪いた
め、記録媒体を損傷させる欠点があった。
この点を改良するため、記録媒体表面に保護膜を設けた
り、記録媒体に潤滑剤を塗布したり、記録媒体と摺接す
る部品の表面に潤滑剤を塗布する等により、記録媒体の
損傷を防止する試みがなされた。
り、記録媒体に潤滑剤を塗布したり、記録媒体と摺接す
る部品の表面に潤滑剤を塗布する等により、記録媒体の
損傷を防止する試みがなされた。
しかし、潤滑剤を用いる場合には、潤滑剤が経時的に失
われる問題がある。すなわち、潤滑作用を長時間持続さ
せることが困難であり、定期的に潤滑剤を塗布しなけれ
ばならない欠点があった。
われる問題がある。すなわち、潤滑作用を長時間持続さ
せることが困難であり、定期的に潤滑剤を塗布しなけれ
ばならない欠点があった。
保護膜を設けた例としては、特開昭56-83829に、磁気ヘ
ッドの表面にアルミナまたは炭化塩素の保護膜を設けた
例が開示され、特開昭56-83869に薄膜磁気ヘッドのスラ
イダ面にアルミナ、シリカあるいはチタン酸バリウムの
被膜を形成した例が開示されている。しかし、これらの
例では、磁気ヘッドの耐久性が向上するが、被膜の材質
が硬すぎるため、記録媒体を損傷させやすい欠点があっ
た。
ッドの表面にアルミナまたは炭化塩素の保護膜を設けた
例が開示され、特開昭56-83869に薄膜磁気ヘッドのスラ
イダ面にアルミナ、シリカあるいはチタン酸バリウムの
被膜を形成した例が開示されている。しかし、これらの
例では、磁気ヘッドの耐久性が向上するが、被膜の材質
が硬すぎるため、記録媒体を損傷させやすい欠点があっ
た。
本発明は、耐久性に優れ、しかも記録媒体との摩擦抵抗
が少なく、記録媒体を損傷させることのないガラス状炭
素を用いて、磁気記録媒体の摺接部品を製造する方法を
提供することを目的とする。
が少なく、記録媒体を損傷させることのないガラス状炭
素を用いて、磁気記録媒体の摺接部品を製造する方法を
提供することを目的とする。
本発明は、記録媒体と接触する面にガラス状炭素の被膜
を形成する記録媒体の摺接部品の製造方法において、堆
積源としてガラス状炭素を用い、１eV以上の運動エネル
ギの粒子を真空中に放射させて上記被膜として堆積させ
る方法を特徴とする。
を形成する記録媒体の摺接部品の製造方法において、堆
積源としてガラス状炭素を用い、１eV以上の運動エネル
ギの粒子を真空中に放射させて上記被膜として堆積させ
る方法を特徴とする。
堆積させる方法としては、スパッタ法またはクラスタイ
オンビーム法を用いる。
オンビーム法を用いる。
本発明の方法は、１eV以上の運動エネルギの粒子を用い
るため、耐久性のよいガラス状炭素の被膜が得られる。
ガラス状炭素の被膜は記録媒体との潤滑性が優れてい
る。
るため、耐久性のよいガラス状炭素の被膜が得られる。
ガラス状炭素の被膜は記録媒体との潤滑性が優れてい
る。
摺接部品の表面に被膜を形成する方法としては、スパッ
タ法、クラスタイオンビーム法の他に真空蒸着法等があ
る。真空蒸着法では、蒸着する粒子の運動エネルギが通
常0.5eVと比較的低いので、形成された被膜は剥がれや
すく、耐久性に欠ける。
タ法、クラスタイオンビーム法の他に真空蒸着法等があ
る。真空蒸着法では、蒸着する粒子の運動エネルギが通
常0.5eVと比較的低いので、形成された被膜は剥がれや
すく、耐久性に欠ける。
被膜の堆積源としてガラス状炭素以外の材料、例えば石
墨等を用いた場合にも、摺接部品の表面にガラス状炭素
の被膜を形成することができる。しかし、この場合に
は、良好な耐久性を有する被膜を形成するために、粒子
の運動エネルギを10eV以上に設定する必要がある。運動
エネルギを高く設定するためには、高価な装置を用いる
必要がある。
墨等を用いた場合にも、摺接部品の表面にガラス状炭素
の被膜を形成することができる。しかし、この場合に
は、良好な耐久性を有する被膜を形成するために、粒子
の運動エネルギを10eV以上に設定する必要がある。運動
エネルギを高く設定するためには、高価な装置を用いる
必要がある。
本発明では、粒子の運動エネルギの上限は特に制限しな
いが、通常は１〜５eVであれば十分である。
いが、通常は１〜５eVであれば十分である。
本発明では、堆積源として、熱硬化性樹脂を炭化して得
られるガラス状炭素、共重合や共縮合等により熱硬化す
るように変性された樹脂を炭素化して得られるガラス状
炭素、硬化あるいは炭素化の過程で化学処理により結晶
化を著しく妨げることにより得られるガラス状炭素、メ
タン、エチレン、ベンゼン等の低分子量炭化水素類を気
相で熱分解して得られるガラス状炭素等を用いる。具体
的には、ポリアクリロニトリル系ガラス状炭素、レーヨ
ン系ガラス状炭素、ピッチ系ガラス状炭素、リグニン系
ガラス状炭素、フェノール系ガラス状炭素、フラン系ガ
ラス状炭素、アルキッド樹脂系ガラス状炭素、不飽和ポ
リエステル系ガラス状炭素、キシレン樹脂系ガラス状炭
素等を用いることができる。
られるガラス状炭素、共重合や共縮合等により熱硬化す
るように変性された樹脂を炭素化して得られるガラス状
炭素、硬化あるいは炭素化の過程で化学処理により結晶
化を著しく妨げることにより得られるガラス状炭素、メ
タン、エチレン、ベンゼン等の低分子量炭化水素類を気
相で熱分解して得られるガラス状炭素等を用いる。具体
的には、ポリアクリロニトリル系ガラス状炭素、レーヨ
ン系ガラス状炭素、ピッチ系ガラス状炭素、リグニン系
ガラス状炭素、フェノール系ガラス状炭素、フラン系ガ
ラス状炭素、アルキッド樹脂系ガラス状炭素、不飽和ポ
リエステル系ガラス状炭素、キシレン樹脂系ガラス状炭
素等を用いることができる。
本発明は、摺接部品自体の耐久性が優れ、しかも記録媒
体を損傷させることのない摺接部品を製造できる。した
がって、フレキシブルディスクのヘッドスライダ、ハー
ドディスクの浮上スライダ、磁気ヘッド、熱感式印刷ヘ
ッド等に用いて大きな効果がある。
体を損傷させることのない摺接部品を製造できる。した
がって、フレキシブルディスクのヘッドスライダ、ハー
ドディスクの浮上スライダ、磁気ヘッド、熱感式印刷ヘ
ッド等に用いて大きな効果がある。
以下に本発明の実施例および比較例を示して、本発明を
詳細に説明する。実施例ではスパッタ法によりガラス状
炭素薄膜を形成しているが、クラスタイオンビーム法等
の、ガラス状炭素を１eV以上の運動エネルギで堆積させ
ることができる方法であれば、本発明を同様に実施でき
る。
詳細に説明する。実施例ではスパッタ法によりガラス状
炭素薄膜を形成しているが、クラスタイオンビーム法等
の、ガラス状炭素を１eV以上の運動エネルギで堆積させ
ることができる方法であれば、本発明を同様に実施でき
る。
（実施例） 図は本発明実施例磁気ヘッドの構造を示す。
記憶媒体の摺接部品として、フェライト薄膜をチタン酸
カルシウムで挟んだ構造の、リングタイプのフレキシブ
ルディスク用磁気ヘッド１を用いた。この磁気ヘッド１
の記録媒体に接触する面に、直径127mmで厚さが３mmの
フラン系ガラス状炭素をターゲット材として用い、高周
波スパッタリングにより約0.1μｍの厚さのガラス状炭
素被膜２を形成した。スパッタリングの条件は、 ・背景の圧力 ：１×10-7Torr ・アルゴンガス圧 ：１×10-3Torr ・高周波電力 ：100W ・粒子運動エネルギ：２eV とした。被膜の厚さは段差計を用いて測定した。
カルシウムで挟んだ構造の、リングタイプのフレキシブ
ルディスク用磁気ヘッド１を用いた。この磁気ヘッド１
の記録媒体に接触する面に、直径127mmで厚さが３mmの
フラン系ガラス状炭素をターゲット材として用い、高周
波スパッタリングにより約0.1μｍの厚さのガラス状炭
素被膜２を形成した。スパッタリングの条件は、 ・背景の圧力 ：１×10-7Torr ・アルゴンガス圧 ：１×10-3Torr ・高周波電力 ：100W ・粒子運動エネルギ：２eV とした。被膜の厚さは段差計を用いて測定した。
この磁気ヘッド１のガラス状炭素薄被膜２を形成した面
と記録媒体との間の摩擦特性を調べるため、Co被着γ-F
e2O3塗布膜（以下Coγ-Fe2O3膜という）、メッキにより
形成したNip膜およびスパッタリングにより形成したCoC
r膜との間の動摩擦特性を、特開昭55-128142に記載され
た装置により測定した。この結果を表に示す。
と記録媒体との間の摩擦特性を調べるため、Co被着γ-F
e2O3塗布膜（以下Coγ-Fe2O3膜という）、メッキにより
形成したNip膜およびスパッタリングにより形成したCoC
r膜との間の動摩擦特性を、特開昭55-128142に記載され
た装置により測定した。この結果を表に示す。
（比較例１） 実施例で用いた磁気ヘッドの記録媒体と接触する面に、
カーボンブラック粒子を2000°Ｋに加熱して、約0.5eV
のカーボン蒸着膜を形成した。粒子の運動エネルギは0.
5eVであった。この磁気ヘッドを用いて、実施例と同じ
方法により動摩擦特性を測定した。この結果を表に示
す。
カーボンブラック粒子を2000°Ｋに加熱して、約0.5eV
のカーボン蒸着膜を形成した。粒子の運動エネルギは0.
5eVであった。この磁気ヘッドを用いて、実施例と同じ
方法により動摩擦特性を測定した。この結果を表に示
す。
（比較例２） 実施例で用いた磁気ヘッドの記録媒体と接触する面をそ
のまま、すなわち何等の被膜も形成しないで、実施例と
同じ方法により動摩擦特性を測定した。この結果を表に
示す。
のまま、すなわち何等の被膜も形成しないで、実施例と
同じ方法により動摩擦特性を測定した。この結果を表に
示す。
図は本発明実施例磁気ヘッドの構造を示す。 １……磁気ヘッド、２……ガラス状炭素被膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１１Ｂ 5/255 7303−5Ｄ
Claims (4)
- 【請求項１】記録媒体と接触する面にガラス状炭素の被
膜を形成する記録媒体の摺接部品の製造方法において、 堆積源としてガラス状炭素を用い、１eV以上の運動エネ
ルギの粒子を真空中に放射させて上記被膜として堆積さ
せる方法 を特徴とする記録媒体の摺接部品の製造方法。 - 【請求項２】堆積させる方法はスパッタ法である特許請
求の範囲第(1)項に記載の記録媒体の摺接部品の製造方
法。 - 【請求項３】堆積させる方法はクラスタイオンビーム法
である特許請求の範囲第(1)項に記載の記録媒体の摺接
部品の製造方法。 - 【請求項４】摺接部品は磁気ヘッドである特許請求の範
囲第(1)項に記載の記録媒体の摺接部品の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060370A JPH0624046B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 記録媒体の摺接部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060370A JPH0624046B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 記録媒体の摺接部品の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61220109A JPS61220109A (ja) | 1986-09-30 |
| JPH0624046B2 true JPH0624046B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=13140177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60060370A Expired - Lifetime JPH0624046B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 記録媒体の摺接部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624046B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6396643U (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-22 | ||
| JPH01130354A (ja) * | 1987-11-16 | 1989-05-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 磁気記録再生装置のガイドシリンダ |
| JPH0610853B2 (ja) * | 1988-01-22 | 1994-02-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 炭素膜がコートされた磁気部材の作製方法 |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP60060370A patent/JPH0624046B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61220109A (ja) | 1986-09-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1292402C (zh) | 适用于磁性材料的超薄型保护涂层 | |
| JPH0556567B2 (ja) | ||
| US6312798B1 (en) | Magnetic recording medium having a nitrogen-doped hydrogenated carbon protective overcoat | |
| JPH0624046B2 (ja) | 記録媒体の摺接部品の製造方法 | |
| US7045175B2 (en) | Magnetic recording medium and method for manufacturing the same | |
| US6613422B1 (en) | Nitrogen -implanted, high carbon density overcoats for recording media | |
| US10978103B2 (en) | Magnetic recording medium and magnetic storage apparatus | |
| JPH062936B2 (ja) | 炭素被膜の製造方法 | |
| JPH0410124B2 (ja) | ||
| Lal et al. | Asymmetric DC-magnetron sputtered carbon-nitrogen thin-film overcoat for rigid-disk applications | |
| JPH0778871B2 (ja) | 磁気ディスク | |
| JPS63168836A (ja) | 円盤状磁気記録担体の製造方法 | |
| JPH05171430A (ja) | 炭素薄膜の形成方法 | |
| JP2004054991A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法、磁気記憶装置 | |
| JPH03256220A (ja) | 磁気ディスク及びその製造方法 | |
| JP2701384B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01125781A (ja) | テープカセットおよびその滑りシートの製造方法 | |
| CN1490789A (zh) | 薄膜磁头、其制造方法和带使用薄膜磁头的滑动器的磁盘装置 | |
| Choong et al. | Overcoat Materials for Magnetic Recording Media | |
| JPH0991651A (ja) | ハードディスク装置に適用されるディスク及びディスク製造方法 | |
| JPH1145429A (ja) | ハードディスク及びハードディスクの製造方法 | |
| JPS59144019A (ja) | 磁気ヘッド用基体 | |
| US20070050971A1 (en) | Magnetic read/write slider with micro-texture and method for forming the same | |
| JPH02189715A (ja) | 磁気ディスクとその製造方法および記録装置 | |
| JPH0289216A (ja) | 磁気記録媒体 |