JPH0624227B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
- Publication number
- JPH0624227B2 JPH0624227B2 JP58138046A JP13804683A JPH0624227B2 JP H0624227 B2 JPH0624227 B2 JP H0624227B2 JP 58138046 A JP58138046 A JP 58138046A JP 13804683 A JP13804683 A JP 13804683A JP H0624227 B2 JPH0624227 B2 JP H0624227B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- input
- output buffer
- control circuit
- cell
- basic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D84/00—Integrated devices formed in or on semiconductor substrates that comprise only semiconducting layers, e.g. on Si wafers or on GaAs-on-Si wafers
- H10D84/90—Masterslice integrated circuits
- H10D84/903—Masterslice integrated circuits comprising field effect technology
- H10D84/907—CMOS gate arrays
Landscapes
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明はマスタースライス方式の半導体集積回路装置に
関する。
関する。
近年、通信機やコンピュータ等においてマスタースライ
ス方式の半導体集積回路装置が利用されることが多くな
ってきた。マスタースライス方式とは半導体ウェーハに
予め一定の規則性を有するトランジスタ群を全ての開発
品種に共通に利用できるように設けた下地を形成してお
き、この下地から各品種毎にアルミニウム導電膜やコン
タクト穴を設け所望の回路を実現するものである。
ス方式の半導体集積回路装置が利用されることが多くな
ってきた。マスタースライス方式とは半導体ウェーハに
予め一定の規則性を有するトランジスタ群を全ての開発
品種に共通に利用できるように設けた下地を形成してお
き、この下地から各品種毎にアルミニウム導電膜やコン
タクト穴を設け所望の回路を実現するものである。
第1図は従来のマスタースライス方式により製造される
半導体チップの構成を説明するための配置図である。
半導体チップの構成を説明するための配置図である。
半導体チップ10は入出力バッファ回路部11、周辺配
線部12、内部セル部13、内部配線領域14から成
る。内部セル部13は基本セルAが規則的に配置されて
構成されている。基本セルAはm(mは2以上の整数)
個の直列接続されたP型トランジスタとm個の直接接続
されたN型トランジスタとから成る。
線部12、内部セル部13、内部配線領域14から成
る。内部セル部13は基本セルAが規則的に配置されて
構成されている。基本セルAはm(mは2以上の整数)
個の直列接続されたP型トランジスタとm個の直接接続
されたN型トランジスタとから成る。
第2図は第1図に示す基本セルAの一例の回路図であ
る。
る。
この例の基本セルはm=2とした場合を示す。即ち2個
のP型トランジスタTP1,TP2が直列接続されたもの
と、2個のN型トランジスタTN1,TN2が直列接続され
たものから成る。基本セルAは、第6図に示すように、
m=3とすることもできる。
のP型トランジスタTP1,TP2が直列接続されたもの
と、2個のN型トランジスタTN1,TN2が直列接続され
たものから成る。基本セルAは、第6図に示すように、
m=3とすることもできる。
第3図は第1図に示す入出力バッファ回路部の構成を説
明するための配置図である。
明するための配置図である。
かかる基本セルAからはインバータやフリップ・フロッ
プ等を形成することができる。インバータはP型トラン
ジスタTP1,TP2の直列接続とN型トランジスタTN1,TN2
の直列接続とを直列に接続し、4つのトランジスタのゲ
ートを共通に入力端子に接続し、異種トランジスタの直
列接続の接続点を出力端子に接続して形成したり、P型
トランジスタ TP1,TP2の中間接続点をN型トランジス
タTN1,TN2の中間接続点に接続し、一方のP型トランジ
スタTP2と一方のN型トランジスタTN1とを用いこれらに
電源電圧を印加するとともにこれらトランジスタのゲー
トを共通入力端子に接続して中間接続点を出力端子に接
続して形成できる。また、フリップ・フロップはP型ト
ランジスタTP1,TP2の直列接続とN型トランジスタ
TN1,TN2の直列接続とを電源に対し並列に接続し、一方
の中間接続点を他方の直列接続の一方のゲートに接続す
ることによって形成できる。
プ等を形成することができる。インバータはP型トラン
ジスタTP1,TP2の直列接続とN型トランジスタTN1,TN2
の直列接続とを直列に接続し、4つのトランジスタのゲ
ートを共通に入力端子に接続し、異種トランジスタの直
列接続の接続点を出力端子に接続して形成したり、P型
トランジスタ TP1,TP2の中間接続点をN型トランジス
タTN1,TN2の中間接続点に接続し、一方のP型トランジ
スタTP2と一方のN型トランジスタTN1とを用いこれらに
電源電圧を印加するとともにこれらトランジスタのゲー
トを共通入力端子に接続して中間接続点を出力端子に接
続して形成できる。また、フリップ・フロップはP型ト
ランジスタTP1,TP2の直列接続とN型トランジスタ
TN1,TN2の直列接続とを電源に対し並列に接続し、一方
の中間接続点を他方の直列接続の一方のゲートに接続す
ることによって形成できる。
入出力バッファ回路部11は、例えばインバータで構成
される入出力バッファ領域Bと、入力信号を内部回路の
動作に必要な電圧レベルに調整したり、内部回路の出力
から外部出力として必要な形式の信号に整形したりする
入出力バッファ制御回路Cとから成る。入出力バッファ
領域は入力保護抵抗及び出力バッファトランジスタを含
んで構成される。
される入出力バッファ領域Bと、入力信号を内部回路の
動作に必要な電圧レベルに調整したり、内部回路の出力
から外部出力として必要な形式の信号に整形したりする
入出力バッファ制御回路Cとから成る。入出力バッファ
領域は入力保護抵抗及び出力バッファトランジスタを含
んで構成される。
第4図(a),(b)は入出力バッファ制御回路に使用
される基本回路図である。
される基本回路図である。
第4図(a)は入力インターフェース回路、第4図
(b)は、ステートコントロール回路である。第4図
(a)の入力インターフェース回路はインバータであり、
第2図に関連して説明したように形成する。第4図(b)
は上記インバータとNAND回路とNOR回路とで形成されて
いる。かかるNAND回路もNOR回路も周知の回路構成で形
成される。例えばNAND回路は2つのP型トランジスタと
1つのN型トランジスタを直列に接続し、このN型トラ
ンジスタに並列に他のN型トランジスタを接続すること
によって形成できる。2つのP型トランジスタの直列接
続は第2図のP型トランジスタの基本セルをそのまま用
いることができ、N型トランジスタの並列接続は同図の
N型トランジスタの基本セルの中間接続点をP型トラン
ジスタに直列に接続して形成できる。NOR回路はNAND回
路と逆に2つのP型トランジスタの並列接続に2つのN
型トランジスタの直列接続を直列に接続して形成でき
る。第2図の基本セルからはNAND回路の場合と同様に形
成できる。この2種の基本回路を用いて、CMOSイン
ターフェース入力、TTLインターフェース入力、真数
出力、補数出力、CMOSインターフェースバス線ドラ
イバ、TTLインターフェースバス線ドライバ等の種々
の機能を有する回路を構成するのである。
(b)は、ステートコントロール回路である。第4図
(a)の入力インターフェース回路はインバータであり、
第2図に関連して説明したように形成する。第4図(b)
は上記インバータとNAND回路とNOR回路とで形成されて
いる。かかるNAND回路もNOR回路も周知の回路構成で形
成される。例えばNAND回路は2つのP型トランジスタと
1つのN型トランジスタを直列に接続し、このN型トラ
ンジスタに並列に他のN型トランジスタを接続すること
によって形成できる。2つのP型トランジスタの直列接
続は第2図のP型トランジスタの基本セルをそのまま用
いることができ、N型トランジスタの並列接続は同図の
N型トランジスタの基本セルの中間接続点をP型トラン
ジスタに直列に接続して形成できる。NOR回路はNAND回
路と逆に2つのP型トランジスタの並列接続に2つのN
型トランジスタの直列接続を直列に接続して形成でき
る。第2図の基本セルからはNAND回路の場合と同様に形
成できる。この2種の基本回路を用いて、CMOSイン
ターフェース入力、TTLインターフェース入力、真数
出力、補数出力、CMOSインターフェースバス線ドラ
イバ、TTLインターフェースバス線ドライバ等の種々
の機能を有する回路を構成するのである。
限られた面積の半導体チップ上でどの品種にでも対応で
きるように、多機能とするために入出力バッファ制御回
路Cの面積を大きくしてやると、内部セル部13の面積
が小さくなり、記憶容量とかその多の内部セル部の機能
が低下するという欠点を生ずる。しかも、品種によって
は入出力バッファ制御回路の機能を多く必要としない場
合があり、使用されない基本セルが多数でてきてセル利
用率を低下させ、コストアップを招くという欠点を生ず
る。逆に、入出力バッファ制御回路Cの面積を小さくす
ると、内部セル部13の面積が大きくなり、内部セル数
を増加させられるが、入出力バッファ制御回路Cの機能
が少なくなり、用途が限定されるという欠点を生ずる。
入出力バッファ制御回路Cの機能も拡げ、内部セル部1
3のセル数も増加させるとどの品種にも対応できるよう
になるが、半導体チップの面積の増大を招き、コストが
大幅に増大するのみならず品種によっては利用されない
セルも多くでできて、セル利用率を低下させるという欠
点を生ずる。
きるように、多機能とするために入出力バッファ制御回
路Cの面積を大きくしてやると、内部セル部13の面積
が小さくなり、記憶容量とかその多の内部セル部の機能
が低下するという欠点を生ずる。しかも、品種によって
は入出力バッファ制御回路の機能を多く必要としない場
合があり、使用されない基本セルが多数でてきてセル利
用率を低下させ、コストアップを招くという欠点を生ず
る。逆に、入出力バッファ制御回路Cの面積を小さくす
ると、内部セル部13の面積が大きくなり、内部セル数
を増加させられるが、入出力バッファ制御回路Cの機能
が少なくなり、用途が限定されるという欠点を生ずる。
入出力バッファ制御回路Cの機能も拡げ、内部セル部1
3のセル数も増加させるとどの品種にも対応できるよう
になるが、半導体チップの面積の増大を招き、コストが
大幅に増大するのみならず品種によっては利用されない
セルも多くでできて、セル利用率を低下させるという欠
点を生ずる。
本発明の目的は、入出力バッファ制御回路を内部セル部
内に含め、両者に融通性にもたせ、入出力バッファ制御
回路に要求されている機能数に応じて内部セル部のセル
数を増減でき、セル利用率を向上させ、コストアップを
防ぐことのできるマスタースライス方式の半導体集積回
路装置を提供することにある。
内に含め、両者に融通性にもたせ、入出力バッファ制御
回路に要求されている機能数に応じて内部セル部のセル
数を増減でき、セル利用率を向上させ、コストアップを
防ぐことのできるマスタースライス方式の半導体集積回
路装置を提供することにある。
本発明によれば、内部セル部と入出力バッファ回路部と
を有する半導体集積回路装置において、入出力バッファ
回路部のうち、入力保護抵抗及び出力バッファトランジ
スタを含む部分を入出力バッファ領域とし、半導体チッ
プの最外周に設け、入出力バッファ回路部のうち前述の
入出力バッファ領域以外の部分を入出力バッファ制御回
路領域として入出力バッファ領域の内即に設け、入出力
バッファ領域と従属接続され、更に入出バッファ制御回
路領域の内側に内部セル領域を有し、入出力バッファ制
御回路領域と内部セル領域とは共に複数の異種のトラン
ジスタを直列に接続して形成された基本セルをマトリク
ス状に配置して構成されるとともに入出力バッファ制御
回路領域内の基本セルと内部セル領域内の前記基本セル
とは共に同じ数のトランジスタを直列接続して形成され
た同じ基本セルで構成されている半導体集積回路装置が
得られる。
を有する半導体集積回路装置において、入出力バッファ
回路部のうち、入力保護抵抗及び出力バッファトランジ
スタを含む部分を入出力バッファ領域とし、半導体チッ
プの最外周に設け、入出力バッファ回路部のうち前述の
入出力バッファ領域以外の部分を入出力バッファ制御回
路領域として入出力バッファ領域の内即に設け、入出力
バッファ領域と従属接続され、更に入出バッファ制御回
路領域の内側に内部セル領域を有し、入出力バッファ制
御回路領域と内部セル領域とは共に複数の異種のトラン
ジスタを直列に接続して形成された基本セルをマトリク
ス状に配置して構成されるとともに入出力バッファ制御
回路領域内の基本セルと内部セル領域内の前記基本セル
とは共に同じ数のトランジスタを直列接続して形成され
た同じ基本セルで構成されている半導体集積回路装置が
得られる。
次に、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
第5図(a),(b)は本発明の一実施例に用いる入出
力バッファ制御回路の構成を説明するための配置図であ
る。
力バッファ制御回路の構成を説明するための配置図であ
る。
入出力バッファ制御回路は、第5図(a)に示すよう
に、基本セルDをp行q列に配置したもの、あるいは第
5図(b)に示すように、基本セルDをr行s列に配置
したものから成る。
に、基本セルDをp行q列に配置したもの、あるいは第
5図(b)に示すように、基本セルDをr行s列に配置
したものから成る。
基本セルDは、n(nは2以上の整数)個の直列接続さ
れたP型トランジスタとn個の直列接続されたN型トラ
ンジスタとで構成される。
れたP型トランジスタとn個の直列接続されたN型トラ
ンジスタとで構成される。
第6図は第5図(a),(b)に示す基本セルDの一例
の回路図である。
の回路図である。
この例はn=3の場合を示す。n=2とすると第2図に
示した基本セルAと同じになる。直列接続されるトラン
ジスタの数nはn=m,n≠mのいずれでも良い、セル
利用率を良くするためには、n=mとした方が良い。第
6図の例では3個のトランジスタのうち2個を用いるこ
とによって、第2図の基本セルと同様に種々の回路を形
成できる。
示した基本セルAと同じになる。直列接続されるトラン
ジスタの数nはn=m,n≠mのいずれでも良い、セル
利用率を良くするためには、n=mとした方が良い。第
6図の例では3個のトランジスタのうち2個を用いるこ
とによって、第2図の基本セルと同様に種々の回路を形
成できる。
第7図は本発明の一実施例の各回路の配置図である。
半導体チップ10の最外周には、入出力バッファ領域B
を配置する。その内側に入出力バッファ制御回路Cを配
置する。この実施例では、図面の上下には第5図(a)
に示した配列のものを、左右には第5図(b)に示した
配列のものを配置してあるが、配置はこれに限定される
ものではなく、同じものを配置しても良い。即ち、p=
r,q=sであっても良く、p≠r,q≠sであっても
良い。
を配置する。その内側に入出力バッファ制御回路Cを配
置する。この実施例では、図面の上下には第5図(a)
に示した配列のものを、左右には第5図(b)に示した
配列のものを配置してあるが、配置はこれに限定される
ものではなく、同じものを配置しても良い。即ち、p=
r,q=sであっても良く、p≠r,q≠sであっても
良い。
内部セル部の基本セルAと入出力バッファ制御回路の基
本セルDと全く同じか、あるいは直列数が異なるだけそ
の他は同じものであるから、基本セルAと基本セルDと
の間に融通性ができる。従って、入出力バッファ制御回
路Cに多機能が要求されるときは内部セル部の基本セル
Aを使用することもできるし、少機能で良い場合には、
使われない基本セルDを内部セル部として使用して内部
セル部のセル数を増加させることもできる。また、この
相互利用は基本セル単位だけでなく、基本セル内の2列
のトランジスタを分け合って利用することもできる。例
えば、入出力バッファ制御回路がP型トランジスタを使
用し、内部セル部がN型トランジスタを使用することも
できる。このような利用でも可能であるのでp,q,
r,sは整数でなくても良いことになる。つまり、2.
5,3.5といったような数になっても良い。ここで
0.5は基本のセルの2列のトランジスタのうちいずれ
か片方だけの直列トランジスタの列を作る、あるいは使
用するということを意味する。
本セルDと全く同じか、あるいは直列数が異なるだけそ
の他は同じものであるから、基本セルAと基本セルDと
の間に融通性ができる。従って、入出力バッファ制御回
路Cに多機能が要求されるときは内部セル部の基本セル
Aを使用することもできるし、少機能で良い場合には、
使われない基本セルDを内部セル部として使用して内部
セル部のセル数を増加させることもできる。また、この
相互利用は基本セル単位だけでなく、基本セル内の2列
のトランジスタを分け合って利用することもできる。例
えば、入出力バッファ制御回路がP型トランジスタを使
用し、内部セル部がN型トランジスタを使用することも
できる。このような利用でも可能であるのでp,q,
r,sは整数でなくても良いことになる。つまり、2.
5,3.5といったような数になっても良い。ここで
0.5は基本のセルの2列のトランジスタのうちいずれ
か片方だけの直列トランジスタの列を作る、あるいは使
用するということを意味する。
以上詳細に説明したように、本発明は、入出力バッファ
制御回路と内部セル部との間の基本セル間に融通性をも
たせたマスタースライス方式の半導体集積回路装置とし
たので、機能の増減に融通性をもたせられるのみなら
ず、セル利用率を向上させ、コストダウンも図れるとい
う効果を有する。
制御回路と内部セル部との間の基本セル間に融通性をも
たせたマスタースライス方式の半導体集積回路装置とし
たので、機能の増減に融通性をもたせられるのみなら
ず、セル利用率を向上させ、コストダウンも図れるとい
う効果を有する。
第1図は従来のマスタースライス方式により製造される
半導体チップの構成を説明するための配置図、第2図は
第1図に示す基本セルAの一例の回路図、第3図は第1
図に示す入出力バッファ回路部の構成を説明するための
配置図、第4図(a),(b)は入出力バッファ制御回
路に使用される基本回路図、第5図(a),(b)は本
発明の一実施例に用いる入出力バッファ制御回路の構成
を説明するための配置図、第6図は第5図(a),
(b)に示す基本セルDの一例の回路図、第7図は本発
明の一実施例の各回路図の配置図である。 10……半導体チップ、11……入出力バッファ回路
部、12……周辺配線部、13……内部セル部、14…
…内部配線領域、A……内部セル部の基本セル、B……
入出力バッファ領域、C……入出力バッファ制御回路、
D……入出力バッファ制御回路の基本セル。
半導体チップの構成を説明するための配置図、第2図は
第1図に示す基本セルAの一例の回路図、第3図は第1
図に示す入出力バッファ回路部の構成を説明するための
配置図、第4図(a),(b)は入出力バッファ制御回
路に使用される基本回路図、第5図(a),(b)は本
発明の一実施例に用いる入出力バッファ制御回路の構成
を説明するための配置図、第6図は第5図(a),
(b)に示す基本セルDの一例の回路図、第7図は本発
明の一実施例の各回路図の配置図である。 10……半導体チップ、11……入出力バッファ回路
部、12……周辺配線部、13……内部セル部、14…
…内部配線領域、A……内部セル部の基本セル、B……
入出力バッファ領域、C……入出力バッファ制御回路、
D……入出力バッファ制御回路の基本セル。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/118
Claims (1)
- 【請求項1】入力保護抵抗及び出力バッファトランジス
タを含んで構成され、半導体チップの最外周領域に設け
られる入出力バッファ領域と、該入出力バッファ領域の
内側に設けられ入出力バッファ制御回路として用いると
きは該入出力バッファ領域に縦属接続される入出力バッ
ファ制御回路領域と、該入出力バッファ制御回路領域の
内側に設けられた内部セル領域とを有し、前記入出力バ
ッファ制御回路領域と前記内部セル領域とは共に複数の
異種のトランジスタを直列に接続して形成された基本セ
ルをマトリクス状に配置して構成されるとともに該入出
力バッファ制御回路領域内の前記基本セルと前記内部セ
ル領域内の前記基本セルとは共に同じ数のトランジスタ
を直列接続して形成された同じ基本セルで構成され、前
記入出力バッファ制御回路領域は入出力バッファ制御回
路として用いないときはその基本セルを前記内部セルの
基本セルとして用い得るようにしたことを特徴とする半
導体集積回路装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58138046A JPH0624227B2 (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58138046A JPH0624227B2 (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 半導体集積回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6030164A JPS6030164A (ja) | 1985-02-15 |
| JPH0624227B2 true JPH0624227B2 (ja) | 1994-03-30 |
Family
ID=15212735
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58138046A Expired - Lifetime JPH0624227B2 (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624227B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09280734A (ja) * | 1996-04-12 | 1997-10-31 | Nippon Metarupurinto Kk | 乾燥炉内搬送装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014033109A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Renesas Electronics Corp | 半導体チップ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58190036A (ja) * | 1982-04-23 | 1983-11-05 | Fujitsu Ltd | ゲ−ト・アレイ大規模集積回路装置 |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP58138046A patent/JPH0624227B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09280734A (ja) * | 1996-04-12 | 1997-10-31 | Nippon Metarupurinto Kk | 乾燥炉内搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6030164A (ja) | 1985-02-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4660174A (en) | Semiconductor memory device having divided regular circuits | |
| EP0133958A2 (en) | A masterslice semiconductor device | |
| US5300796A (en) | Semiconductor device having an internal cell array region and a peripheral region surrounding the internal cell array for providing input/output basic cells | |
| EP0150423B1 (en) | C-mos basic cells arrangement | |
| JPH0818020A (ja) | 半導体集積回路 | |
| JP3115787B2 (ja) | ポリセル集積回路 | |
| JPH0624227B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPH0831581B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPH0252428B2 (ja) | ||
| JPS62238645A (ja) | 集積回路装置の設計方法 | |
| JP2940036B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPS6290948A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPH01152642A (ja) | 半導体集積回路 | |
| JP2578164B2 (ja) | ゲートアレイ装置 | |
| JPS6223618A (ja) | 論理集積回路 | |
| JPH09246503A (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPH0210870A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JP2652948B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPH09153286A (ja) | 半導体記憶装置 | |
| JPH0287666A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPH01125952A (ja) | マスタスライス集積回路 | |
| JP2671537B2 (ja) | 半導体集積回路 | |
| JPS6182455A (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPH02201957A (ja) | マスタースライス方式の半導体集積回路 | |
| JPH07169838A (ja) | 半導体集積回路装置 |