JPH06271069A - エレベータ機構の停止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 搬送機構の下側方向に意図せぬ物があった
ら、それと接触した時点で確実に停止することのできる
エレベータ機構の停止装置を提供する。 【構成】 エレベータ１と、それに設けた物を上下に搬
送するエレベータアーム２と、そのエレベータ１に取り
付けた下限を検知する下限リミットセンサ６とよりな
り、上下方向に動作するエレベータ１につながっている
搬送機構部に第２の停止用スイッチ１０を設ける。下方
に意図せぬ物があると、エレベータ１が下降し、アーム
２がリミットセンサ６を過ぎてエレベータ台座にぶつか
る前にエレベータ１を停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造装置
におけるウェーハを載せたボートを上下に送るボートエ
レベータ、ウェーハ搬送機エレベータ、カセットローダ
エレベータ或いはその他の搬送機構のエレベータ機構の
停止装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５，６は従来のボートのエレベータの
一例である。図５示のように、エレベータ１はそのエレ
ベータアーム２及びフランジ５の上に載せているボート
３及びキャップ４を上下に搬送するものである。図６は
そのエレベータを用いた半導体製造装置を示すもので、
３つのエレベータ１ａ，１ｂ，１ｃがあり、何れも親ね
じの回転によりそれに螺合したナットを有するエレベー
タアーム２ａ，２ｂ，２ｃが摺動棒を上下に摺動するも
のである。この機構ではそのエレベータ１に取り付けた
下限リミットセンサ６（マイクロスイッチ）で下限を検
知し、エレベータ１を強制的に停止させている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この下限リミ
ットセンサ６が動作しない場合、エレベータアーム２が
エレベータ台座とぶつかり破損する虞があった。また、
作業者の不注意等により、エレベータの下側に物を置き
忘れたり、物が落ちてきたりすると、物を破損したり、
エレベータ自身を歪めることがあった。本発明は、かか
る従来の問題点を解決するもので、リミットセンサを二
重にし、搬送機構部の下側方向に意図せぬ物があった
ら、それと接触した時点で確実に停止し、その破損を防
ぐことのできるエレベータ機構の停止装置を提供するも
のである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明は、エレベータ１
と、それに設けた物を上下に搬送するエレベータアーム
２と、そのエレベータ１に取り付けた下限を検知する下
限リミットセンサ６とよりなり、上下方向に動作するエ
レベータ１につながっている搬送機構部に第２の停止用
スイッチ１０を設けたことを特徴とするエレベータ機構
の停止装置である。

【０００５】

【作用】下方に意図せぬ物があると、エレベータ１が下
降し、アーム２が下限リミットセンサ６を過ぎ、アーム
２がエレベータ台座にぶつかる前にエレベータ１を停止
させる。

【０００６】

【実施例】以下、図１乃至図４につき本発明の一実施例
を従来と同じ部分は同じ符号を用いて説明する。エレベ
ータアーム２の下部２ｄには、その下面を覆う大きさの
パネル１１の両側折上部を支点７により上下に回動すべ
く取付ける。このパネル１１の両側折上部と先端折上部
には上記下部２ｄに枢設した動作時調整用のピン８と非
動作時調整用のピン９を遊嵌する長孔１１ａ，１１ｂを
穿設する。

【０００７】上記パネル１１の上面に下部２ｄに固定し
た第２の停止用スイッチ１０の作動部を対向せしめる。
ピン８の長孔１１ａは機械的リミットを定めるもので、
動作時に停止用スイッチが破損しないようにピン８を調
整し、スイッチ１０の破損を防ぐ。ピン９の長孔１１ｂ
は非動作点を調整するもので、動作時に余裕をもたせた
大きさである。

【０００８】次にこの装置の動作を説明する。パネル１
１の下方に意図せぬ物があると、エレベータ１が下降
し、アーム２が下限リミットセンサ６を過ぎてエレベー
タ台座にぶつかる前に、このパネル１１は支点７を中心
に上に押し上げ、停止用スイッチ１０を作動させ、エレ
ベータ１を停止させる。

【０００９】以上のように、アーム２がエレベータ台座
にぶつかる前に停止スイッチ１０が働くため、アーム２
及びエレベータ１の破損を防ぐことができる。したがっ
て、作業者の不注意により、エレベータの下に物を置き
忘れたままエレベータが動いた場合等は、物の破損を防
ぐことができるし、またエレベータ自身が歪むというこ
とがなくなる。

【００１０】

【発明の効果】本発明によれば、二重にエレベータの停
止機構を取り付けることで、そのエレベータ機構部の破
損を防ぐことができるばかりでなく、メンテナンス時の
作業者の不注意による事故を防ぎ、高価な石英ボート，
ウェーハ及びその移動積載機構等の破損を防止し、経済
的に大きな効果があるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の正面図である。

【図２】エレベータアームの下部の正面図である。

【図３】その平面図である。

【図４】その側面図である。

【図５】従来装置の正面図である。

【図６】従来装置の斜視図である。

【符号の説明】

１ エレベータ ２ エレベータアーム ６ 下限リミットセンサ １０ 停止用スイッチ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エレベータと、それに設けた物を上下に
   搬送するエレベータアームと、そのエレベータに取り付
   けた下限を検知する下限リミットセンサとよりなり、上
   下方向に動作するエレベータにつながっている搬送機構
   部に第２の停止用スイッチを設け、その下方に意図せぬ
   物があると、エレベータが下降し、アームが下限リミッ
   トセンサを過ぎてエレベータ台座にぶつかる前にエレベ
   ータを停止させるようにしたことを特徴とするエレベー
   タ機構の停止装置。