JPH06303082A - 表面実装型の圧電振動子及びその製造方法 - Google Patents
表面実装型の圧電振動子及びその製造方法Info
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- JPH06303082A JPH06303082A JP11367193A JP11367193A JPH06303082A JP H06303082 A JPH06303082 A JP H06303082A JP 11367193 A JP11367193 A JP 11367193A JP 11367193 A JP11367193 A JP 11367193A JP H06303082 A JPH06303082 A JP H06303082A
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ 共通の形状の金型を用いて選択的に２端子お
よび４端子の電極配置の台座をモールドすることができ
製造工程の合理化および部材の標準化を図る。 ［構成］ 金属容器に収納した圧電振動子１１の２本の
端子をモールド材製の台座１２に埋め込んだ一対の金属
板１３の各透孔に挿通して保持し該金属板１３を台座１
２の外側に沿って底面へ延在するように成形して表面実
装を行うものにおいて、上記金属板１３は枠部１４ａか
ら幅方向に橋絡する一対の第１の導帯１４ｂおよび各第
１の導帯１４ｂの中央部から直角に外側へ延在して枠部
１４ａに橋絡する第２の導帯１４ｃとを有し、上記第１
の導帯１４ｂまたは第２の導帯１４ｃの一方と上記枠部
１４ａとの間を選択的に切断して台座１２に埋め込むよ
うにモールドし、さらに上記導帯の他方と枠部との間を
切断して該導帯を台座１２の外側に沿って底面に延在す
るように成形すること、及びこの製造方法を特徴として
いる。
よび４端子の電極配置の台座をモールドすることができ
製造工程の合理化および部材の標準化を図る。 ［構成］ 金属容器に収納した圧電振動子１１の２本の
端子をモールド材製の台座１２に埋め込んだ一対の金属
板１３の各透孔に挿通して保持し該金属板１３を台座１
２の外側に沿って底面へ延在するように成形して表面実
装を行うものにおいて、上記金属板１３は枠部１４ａか
ら幅方向に橋絡する一対の第１の導帯１４ｂおよび各第
１の導帯１４ｂの中央部から直角に外側へ延在して枠部
１４ａに橋絡する第２の導帯１４ｃとを有し、上記第１
の導帯１４ｂまたは第２の導帯１４ｃの一方と上記枠部
１４ａとの間を選択的に切断して台座１２に埋め込むよ
うにモールドし、さらに上記導帯の他方と枠部との間を
切断して該導帯を台座１２の外側に沿って底面に延在す
るように成形すること、及びこの製造方法を特徴として
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレームの外周の
枠部との切断部位に応じて共通の形状の金型で成形した
台座によって２端子および４端子の電極配置を選択する
ことができる表面実装型の圧電振動子及びその製造方法
に関する。
枠部との切断部位に応じて共通の形状の金型で成形した
台座によって２端子および４端子の電極配置を選択する
ことができる表面実装型の圧電振動子及びその製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、種々の電子機器では周波数、時間
等の基準として圧電振動子、特に安価で高性能な水晶振
動子が多用されている。このような水晶振動子は、たと
えばベースに一対の端子を植設して端子の先端部に所定
の形状に成形した水晶片を保持するようにしている。そ
してベースに金属カバーをかぶせてベースの外周縁部で
半田付け、抵抗溶接等を行って気密に封止するようにし
ている。
等の基準として圧電振動子、特に安価で高性能な水晶振
動子が多用されている。このような水晶振動子は、たと
えばベースに一対の端子を植設して端子の先端部に所定
の形状に成形した水晶片を保持するようにしている。そ
してベースに金属カバーをかぶせてベースの外周縁部で
半田付け、抵抗溶接等を行って気密に封止するようにし
ている。
【０００３】一方、最近の電子機器では、特に形状が小
型で軽量であることが望まれ、また組立工程を、極力自
動化するための努力がなされている。このためトランジ
スタ、ＩＣ等の能動素子、抵抗、コンデンサ等の受動素
子もリード端子のない表面実装型のものが多用されてい
る。この種の表面実装型の部品は、一般に形状も小型
で、特に組立工程の自動化に適している。このような自
動化による組立工程では、たとえばパーツフィーダ等を
用いて部品をプリント基板の所定位置に自動的に配設す
るようにしている。そしてプリント基板に全ての部品を
配設した後に、リフロー炉等を通過させて各部品の端子
に塗布した半田を溶融することにより短時間で効率よく
実装作業を行うようにしている。
型で軽量であることが望まれ、また組立工程を、極力自
動化するための努力がなされている。このためトランジ
スタ、ＩＣ等の能動素子、抵抗、コンデンサ等の受動素
子もリード端子のない表面実装型のものが多用されてい
る。この種の表面実装型の部品は、一般に形状も小型
で、特に組立工程の自動化に適している。このような自
動化による組立工程では、たとえばパーツフィーダ等を
用いて部品をプリント基板の所定位置に自動的に配設す
るようにしている。そしてプリント基板に全ての部品を
配設した後に、リフロー炉等を通過させて各部品の端子
に塗布した半田を溶融することにより短時間で効率よく
実装作業を行うようにしている。
【０００４】このようにすれば、プリント基板に電子部
品を短時間に効率よく実装することができるので、たと
えば、ほとんど人手を介在させることなく電子機器の組
立を行え著しく生産性を高めることができる。このため
に水晶振動子も従来多用されているような金属容器に収
納してリード端子を導出したものよりも、表面実装を行
なうことができる表面実装型のものが望まれている。
品を短時間に効率よく実装することができるので、たと
えば、ほとんど人手を介在させることなく電子機器の組
立を行え著しく生産性を高めることができる。このため
に水晶振動子も従来多用されているような金属容器に収
納してリード端子を導出したものよりも、表面実装を行
なうことができる表面実装型のものが望まれている。
【０００５】しかしながら、このように金属容器に収納
した水晶振動子の場合、容器は導電性を有するために、
そのまま表面実装を行うことは極めて困難であり、たと
えばベースから導出した端子を、そのままプリント基板
の表面の回路パターンに接続した場合、金属製の容器に
よって回路パターン同志を短絡させる等の事故を発生す
る可能性もある。このために、たとえば水晶振動子のベ
ースを絶縁材製の台座に載置して、この台座の底面をプ
リント基板の回路パターンに半田付けすることにより表
面実装を行うことが考えられている。
した水晶振動子の場合、容器は導電性を有するために、
そのまま表面実装を行うことは極めて困難であり、たと
えばベースから導出した端子を、そのままプリント基板
の表面の回路パターンに接続した場合、金属製の容器に
よって回路パターン同志を短絡させる等の事故を発生す
る可能性もある。このために、たとえば水晶振動子のベ
ースを絶縁材製の台座に載置して、この台座の底面をプ
リント基板の回路パターンに半田付けすることにより表
面実装を行うことが考えられている。
【０００６】すなわち、図３は台座を用いた表面実装型
の圧電振動子の底面図で図３（ａ）は２端子のもの、図
３（ｂ）は４端子のものである。図３において、１はモ
ールド材によって概略矩形に成形した台座、２は台座１
に埋め込んだ金属板である。そして金属板２に穿設した
透孔に圧電振動子の端子３を挿通して半田付け、スポッ
ト溶接等を行って接続するようにしている。そして金属
板２の一部を台座の外側に沿って底面へ延在するように
成形し、この先端部を実装電極４としている。
の圧電振動子の底面図で図３（ａ）は２端子のもの、図
３（ｂ）は４端子のものである。図３において、１はモ
ールド材によって概略矩形に成形した台座、２は台座１
に埋め込んだ金属板である。そして金属板２に穿設した
透孔に圧電振動子の端子３を挿通して半田付け、スポッ
ト溶接等を行って接続するようにしている。そして金属
板２の一部を台座の外側に沿って底面へ延在するように
成形し、この先端部を実装電極４としている。
【０００７】しかして、図３（ａ）に示すように実装電
極を２端子に設けたものでは台座の長手方向の端部から
金属板を延出して台座の外側に沿って底面へ延在するよ
うに成形して、この先端部を実装電極としている。また
図３（ｂ）に示すように実装電極を４端子に設けたもの
では台座の幅方向の端部から金属板を延出して台座の両
外側に沿って底面に延在するように成形して、この先端
部を実装電極としている。しかしてこのように実装電極
の配置が異なる場合は台座をモールドするために使用す
る金型は２種類の形状のものを必要とし、また金属板も
２種類のものを用意する必要があり合理的でない。
極を２端子に設けたものでは台座の長手方向の端部から
金属板を延出して台座の外側に沿って底面へ延在するよ
うに成形して、この先端部を実装電極としている。また
図３（ｂ）に示すように実装電極を４端子に設けたもの
では台座の幅方向の端部から金属板を延出して台座の両
外側に沿って底面に延在するように成形して、この先端
部を実装電極としている。しかしてこのように実装電極
の配置が異なる場合は台座をモールドするために使用す
る金型は２種類の形状のものを必要とし、また金属板も
２種類のものを用意する必要があり合理的でない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の事情に
鑑みてなされたもので、共通の形状の金型を用いて選択
的に２端子および４端子の電極配置の台座をモールドす
ることができ製造工程の合理化および部材の標準化を図
ることができる表面実装型の圧電振動子を提供すること
を目的とするものである。
鑑みてなされたもので、共通の形状の金型を用いて選択
的に２端子および４端子の電極配置の台座をモールドす
ることができ製造工程の合理化および部材の標準化を図
ることができる表面実装型の圧電振動子を提供すること
を目的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、金属容器に収
納した圧電振動子の２本の端子をモールド材製の台座に
埋め込んだ一対の金属板の各透孔に挿通して保持し該金
属板を台座の外側に沿って底面へ延在するように成形し
て表面実装を行うものにおいて、上記金属板は枠部から
幅方向に橋絡する一対の第１の導帯および各第１の導帯
の中央部から直角に外側へ延在して枠部に橋絡する第２
の導帯とを有し、上記第１の導帯または第２の導帯の一
方と上記枠部との間を選択的に切断して台座に埋め込む
ようにモールドし、さらに上記導帯の他方と枠部との間
を切断して該導帯を台座の外側に沿って底面に延在する
ように成形したことを特徴としている。さらに本発明は
圧電振動子は水晶振動子であることを特徴としている。
納した圧電振動子の２本の端子をモールド材製の台座に
埋め込んだ一対の金属板の各透孔に挿通して保持し該金
属板を台座の外側に沿って底面へ延在するように成形し
て表面実装を行うものにおいて、上記金属板は枠部から
幅方向に橋絡する一対の第１の導帯および各第１の導帯
の中央部から直角に外側へ延在して枠部に橋絡する第２
の導帯とを有し、上記第１の導帯または第２の導帯の一
方と上記枠部との間を選択的に切断して台座に埋め込む
ようにモールドし、さらに上記導帯の他方と枠部との間
を切断して該導帯を台座の外側に沿って底面に延在する
ように成形したことを特徴としている。さらに本発明は
圧電振動子は水晶振動子であることを特徴としている。
【００１０】さらにまた本発明は、金属容器に収納した
圧電振動子の２本の端子をモールド材製の台座に埋め込
んだ一対の金属板の各透孔に挿通して保持し該金属板を
台座の外側に沿って底面へ延在するように成形して表面
実装を行う表面実装型の圧電振動子の製造方法におい
て、リードフレームに枠部から幅方向に橋絡する一対の
第１の導帯および各第１の導帯の中央部から長手方向へ
延在して枠部に橋絡する第２の導帯とを形成し、上記リ
ードフレームの第１の導帯または第２の導帯と枠部との
間を選択的に切断し、上記第１、第２の導帯の中央部を
囲むように上記リードフレームを上記切断部位とともに
埋め込んでモールド材でモールドした台座を成形し、上
記第１の導帯の中央部に穿設した透孔に圧電振動子の端
子を挿通して保持し、上記第１、第２の導帯の他方と枠
部との間を所定の長さを残して切断して枠部から切り放
し、切断した導帯を台座の外側に沿って底面へ延在する
ように成形することを特徴としている。
圧電振動子の２本の端子をモールド材製の台座に埋め込
んだ一対の金属板の各透孔に挿通して保持し該金属板を
台座の外側に沿って底面へ延在するように成形して表面
実装を行う表面実装型の圧電振動子の製造方法におい
て、リードフレームに枠部から幅方向に橋絡する一対の
第１の導帯および各第１の導帯の中央部から長手方向へ
延在して枠部に橋絡する第２の導帯とを形成し、上記リ
ードフレームの第１の導帯または第２の導帯と枠部との
間を選択的に切断し、上記第１、第２の導帯の中央部を
囲むように上記リードフレームを上記切断部位とともに
埋め込んでモールド材でモールドした台座を成形し、上
記第１の導帯の中央部に穿設した透孔に圧電振動子の端
子を挿通して保持し、上記第１、第２の導帯の他方と枠
部との間を所定の長さを残して切断して枠部から切り放
し、切断した導帯を台座の外側に沿って底面へ延在する
ように成形することを特徴としている。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１に示す組立斜
視図を参照して詳細に説明する。図中１１は金属製の容
器に収納した圧電振動子である。この圧電振動子はベー
スに植設した一対の端子の先端部に水晶片を保持して金
属製のカバーをかぶせて気密に封止した周知の構成のも
のである。上記水晶片は、たとえば人工水晶の結晶を結
晶軸に対して所定の角度に切断して板状に成形し所望の
共振周波数に対応する厚みに研磨し、両側板面に励振電
極を形成したものである。
視図を参照して詳細に説明する。図中１１は金属製の容
器に収納した圧電振動子である。この圧電振動子はベー
スに植設した一対の端子の先端部に水晶片を保持して金
属製のカバーをかぶせて気密に封止した周知の構成のも
のである。上記水晶片は、たとえば人工水晶の結晶を結
晶軸に対して所定の角度に切断して板状に成形し所望の
共振周波数に対応する厚みに研磨し、両側板面に励振電
極を形成したものである。
【００１２】そして１２はモールド材製の台座でエポキ
シ樹脂等のモールド材を金型に充填して中空の枠型に成
形したものである。この台座は概略直方体で上記圧電振
動子１１のベースから延出した一対の端子１１ａに対応
して金属板１３を埋め込んでいる。この金属板１３は、
たとえば図２に示すリードフレーム１４の平面図のよう
に、リードフレーム１４の外周の枠部１４ａから幅方向
に橋絡する一対の第１の導帯１４ｂと、各第１の導帯１
４ｂの中央部から直角に外側へ延出する第２の導帯１４
ｃとを形成している。そして第１の導帯１４ｂの中央部
に上記圧電振動子１１の端子１１ａを挿通する透孔１４
ｄを穿設している。そして上記第１、第２の導帯１４
ｂ、１４ｃの一方と枠部１４ａとの間を選択的に切断し
てこの切断部位を埋め込むようにモールド材１５でモー
ルドして台座を形成するようにしている。
シ樹脂等のモールド材を金型に充填して中空の枠型に成
形したものである。この台座は概略直方体で上記圧電振
動子１１のベースから延出した一対の端子１１ａに対応
して金属板１３を埋め込んでいる。この金属板１３は、
たとえば図２に示すリードフレーム１４の平面図のよう
に、リードフレーム１４の外周の枠部１４ａから幅方向
に橋絡する一対の第１の導帯１４ｂと、各第１の導帯１
４ｂの中央部から直角に外側へ延出する第２の導帯１４
ｃとを形成している。そして第１の導帯１４ｂの中央部
に上記圧電振動子１１の端子１１ａを挿通する透孔１４
ｄを穿設している。そして上記第１、第２の導帯１４
ｂ、１４ｃの一方と枠部１４ａとの間を選択的に切断し
てこの切断部位を埋め込むようにモールド材１５でモー
ルドして台座を形成するようにしている。
【００１３】このように切断する部位は、たとえば図２
の平面図において先ず図示Ａまたは図示Ｂで示され、か
つモールド材１５に重なる部位を切断し、モールド作業
を終了した後に同じ符号で示された残りの部位を切断し
て、この先端部分を台座の外側に沿って底面へ延在する
ように成形する。なおリードフレームの図示Ａを切断し
た場合は図３（ａ）に示すような２端子の実装電極とな
り、図示Ｂを切断した場合は図３（ｂ）に示すような４
端子の実装電極となる。しかして図２に示すリードフレ
ーム１４の平面図において第１、第２の導帯１４ｂ、１
４ｃの交差部位を囲むように図示斜線で示す部位をモー
ルド材１５でモールドして、リードフレーム１４を埋め
込み中央部に空所を有する台座１２を成形するようにし
ている。そして、金属板１３に設けた透孔１４ｄに圧電
振動子１１の端子１１ａを挿通して半田付けスポット溶
接等で接続する。なお必要に応じて台座１２の中空部に
は絶縁材を充填するようにしてもよいことは勿論であ
る。
の平面図において先ず図示Ａまたは図示Ｂで示され、か
つモールド材１５に重なる部位を切断し、モールド作業
を終了した後に同じ符号で示された残りの部位を切断し
て、この先端部分を台座の外側に沿って底面へ延在する
ように成形する。なおリードフレームの図示Ａを切断し
た場合は図３（ａ）に示すような２端子の実装電極とな
り、図示Ｂを切断した場合は図３（ｂ）に示すような４
端子の実装電極となる。しかして図２に示すリードフレ
ーム１４の平面図において第１、第２の導帯１４ｂ、１
４ｃの交差部位を囲むように図示斜線で示す部位をモー
ルド材１５でモールドして、リードフレーム１４を埋め
込み中央部に空所を有する台座１２を成形するようにし
ている。そして、金属板１３に設けた透孔１４ｄに圧電
振動子１１の端子１１ａを挿通して半田付けスポット溶
接等で接続する。なお必要に応じて台座１２の中空部に
は絶縁材を充填するようにしてもよいことは勿論であ
る。
【００１４】このような構成であれば、リードフレーム
１４の枠部１４ａを幅方向に橋絡する一対の第１の導帯
１４ｂと、各第１の導帯１４ｂの中央部から直角に外側
へ延在して枠部１４ａに橋絡した第２の導帯１４ｃとを
設け、この第１、第２の導帯１４ｂ、１４ｃの一方と枠
部１４ａとの間を選択的に切断してモールド材１５でモ
ールドするようにしている。したがって枠部１４ａと一
方の導帯とを選択的に切断することによって、ひとつの
モールド金型を用いて２端子および４端子の台座１２を
選択的に形成することができる。またこの場合は、リー
ドフレーム１４も２種類の台座１２に対して共通に使用
することができ部材の標準化を図ることができる。
１４の枠部１４ａを幅方向に橋絡する一対の第１の導帯
１４ｂと、各第１の導帯１４ｂの中央部から直角に外側
へ延在して枠部１４ａに橋絡した第２の導帯１４ｃとを
設け、この第１、第２の導帯１４ｂ、１４ｃの一方と枠
部１４ａとの間を選択的に切断してモールド材１５でモ
ールドするようにしている。したがって枠部１４ａと一
方の導帯とを選択的に切断することによって、ひとつの
モールド金型を用いて２端子および４端子の台座１２を
選択的に形成することができる。またこの場合は、リー
ドフレーム１４も２種類の台座１２に対して共通に使用
することができ部材の標準化を図ることができる。
【００１５】そして上記枠部１４ａと一方の導帯の切断
部位を埋め込むようにモールド材１５でモールドしてい
るので、他方の導帯と枠部１４ａとの間を切断しても台
座１２を枠部１４ａに保持しておくことができる。した
がって枠部１４ａと他方の導帯との間を適当な長さを残
して切断して先端部を台座１２の外側に沿って底面へ延
出するように成形する際にも、台座１２はリードフレー
ム１４の枠部１４ａに保持しておくことができるので作
業性も良好で自動ラインに適する利点がある。
部位を埋め込むようにモールド材１５でモールドしてい
るので、他方の導帯と枠部１４ａとの間を切断しても台
座１２を枠部１４ａに保持しておくことができる。した
がって枠部１４ａと他方の導帯との間を適当な長さを残
して切断して先端部を台座１２の外側に沿って底面へ延
出するように成形する際にも、台座１２はリードフレー
ム１４の枠部１４ａに保持しておくことができるので作
業性も良好で自動ラインに適する利点がある。
【００１６】そして導帯の透孔１４ｄに圧電振動子１１
の端子１１ａを挿入して半田付け、抵抗溶接等で両者を
接合した後に、たとえば圧電振動子１１のケースの頂部
を強く押圧すれば、一方の導帯のモールド材１５に埋め
込まれた部位は、モールド材１５から外れるので枠部１
４ａから分離することができる。したがって共通の金型
で成形した台座１２によって２端子および４端子の電極
配置を選択的に実現することができ、金属板１３も共通
の形状のものを用いることができ、製造工程の合理化と
部材の標準化を図ることができ製品のコストを低減する
ことができる。
の端子１１ａを挿入して半田付け、抵抗溶接等で両者を
接合した後に、たとえば圧電振動子１１のケースの頂部
を強く押圧すれば、一方の導帯のモールド材１５に埋め
込まれた部位は、モールド材１５から外れるので枠部１
４ａから分離することができる。したがって共通の金型
で成形した台座１２によって２端子および４端子の電極
配置を選択的に実現することができ、金属板１３も共通
の形状のものを用いることができ、製造工程の合理化と
部材の標準化を図ることができ製品のコストを低減する
ことができる。
【００１７】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、共
通の金型によって２種類の電極配置の台座を選択的にモ
ールドすることができるので、共通の金型および保持板
を用いることができ製造工程を合理化し、部材の標準化
を図ることができ、品質の向上とコストの低減を図るこ
とができる。
通の金型によって２種類の電極配置の台座を選択的にモ
ールドすることができるので、共通の金型および保持板
を用いることができ製造工程を合理化し、部材の標準化
を図ることができ、品質の向上とコストの低減を図るこ
とができる。
【００１８】
【図１】本発明の一実施例を示す組立斜視図である。
【図２】本発明の圧電振動子に用いるリードフレームを
示す平面図である。
示す平面図である。
【図３】従来のモールド材の台座を用いた圧電振動子の
電極配置を示す平面図で、（ａ）は２端子、（ｂ）は４
端子の底面図である。
電極配置を示す平面図で、（ａ）は２端子、（ｂ）は４
端子の底面図である。
１１ 圧電振動子 １２ 台座 １３ 金属板 １４ リードフレーム １４ａ 枠部 １４ｂ 第１の導帯 １４ｃ 第２の導帯 １４ｄ 透孔 １５ モールド材
Claims (3)
- 【請求項１】金属容器に収納した圧電振動子の２本の端
子をモールド材製の台座に埋め込んだ一対の金属板の各
透孔に挿通して保持し該金属板を台座の外側に沿って底
面へ延在するように成形したものにおいて、 上記金属板はリードフレームによって成形し外周を囲む
枠部の対向する部位から幅方向に橋絡する一対の第１の
導帯と、 各第１の導帯の中央部から外側へ延在して枠部に橋絡す
る第２の導帯と、 上記第１の導帯の中央部に端子を挿通する透孔を穿設し
上記枠部と上記第１の導帯または第２の導帯の一方を選
択的に切断して台座に埋め込むようにモールドすること
を特徴とする表面実装型の圧電振動子。 - 【請求項２】請求項１に記載のものにおいて圧電振動子
は水晶振動子であることを特徴とする表面実装型の圧電
振動子。 - 【請求項３】金属容器に収納した圧電振動子の２本の端
子をモールド材製の台座に埋め込んだ一対の金属板の各
透孔に挿通して保持し該金属板を台座の外側に沿って底
面へ延在するように成形して表面実装を行う表面実装型
の圧電振動子の製造方法において、 リードフレームに枠部から幅方向に橋絡する一対の第１
の導帯および各第１の導帯の中央部から長手方向へ延在
して枠部に橋絡する第２の導帯とを形成する工程と、 上記リードフレームの第１の導帯または第２の導帯と枠
部との間を選択的に切断する工程と、 上記第１、第２の導帯の中央部を囲むように上記リード
フレームを上記切断部位とともに埋め込んでモールド材
でモールドした台座を成形する工程と、 上記第１の導帯の中央部に穿設した透孔に圧電振動子の
端子を挿通して保持する工程と、 上記第１、第２の導帯の他方と枠部との間を所定の長さ
を残して切断して枠部から切り放す工程と、 切断した導帯を台座の外側に沿って底面へ延出するよう
に成形する工程と、 を具備することを特徴とする表面実装型の圧電振動子の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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-
1993
- 1993-04-15 JP JP11367193A patent/JP3273995B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| WO2003046479A1 (en) * | 2001-11-29 | 2003-06-05 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
| US6880399B1 (en) | 2001-11-29 | 2005-04-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular velocity sensor |
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