JPH0630323B2 - コンデンサアレイ - Google Patents

コンデンサアレイ

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JPH0630323B2
JPH0630323B2 JP63011578A JP1157888A JPH0630323B2 JP H0630323 B2 JPH0630323 B2 JP H0630323B2 JP 63011578 A JP63011578 A JP 63011578A JP 1157888 A JP1157888 A JP 1157888A JP H0630323 B2 JPH0630323 B2 JP H0630323B2
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capacitor
dielectric substrate
dielectric constant
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capacitor electrodes
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克己 西山
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Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、1つの誘電体基板の複数のコンデンサを構成
してなるコンデンサアレイに関し、特に隣接するコンデ
ンサ電極の間隔を浮遊容量を増大させることなく狭める
ことにより、部品の小型化,コスト低減を実現できるよ
うにしたコンデンサアレイの構造に関する。
〔従来の技術〕
従来から、コンデンサは、抵抗やコイル等と組み合わせ
て、電子回路のなかで基本的な機能を果たす部品として
多用されている。このようなコンデンサの一例として、
従来、第4図に示すコンデンサアレイがある。このコン
デンサアレイ1は、セラミックス製誘電体基板2の上面
に所定間隔をあけて3個の第1コンデンサ電極3を形成
し、上記誘電体基板2の下面の略全面に上記第1コンデ
ンサ電極3と該基板2を挟んで対向する共通電極として
の第2コンデンサ電極4を形成するとともに、上記それ
ぞれの第1,第2コンデンサ電極3,4にリード端子5
を半田付け接続して構成されている。これにより1つの
部品素子内に3個のコンデンサが構成されている。
また、上記コンデンサアレイ1は、誘電体基板2上に複
数のコンデンサ電極3を並列させることから、できるだ
け該電極膜3間の距離lを接近させることにより誘電体
基板2の面積を小さくして、部品の小型化の要請に応え
るようにしている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記従来のコンデンサアレイ1において
は、一般的に静電容量を大きくするために上記誘電体基
板2に誘電率の高いBaTiO系セラミックスを採用
しており、上記隣合うコンデンサ電極3間が高誘電率の
物質で充填された構造となることから、上記コンデンサ
電極3間の距離lが近づくほど該電極膜3間の浮遊容量
Cが増大し、その結果コンデンサ同士を交流的に分離で
きなくなるという問題点がある。即ち、上記コンデンサ
アレイ1の理想の等価回路(第5図(a)参照)に対し
て、実際の等価回路(第5図(b)参照)には余分の浮遊
容量Cが存在していることになり、特性に悪影響を与え
る場合がある。従って、上記コンデンサ同士の分離をは
かるために浮遊容量Cの発生を抑えられる距離lを確保
する必要があることから、それだけ上記誘電体基板2の
面積が大きくなり、結局、部品の小型化の要請に十分応
えられていない。また、上記誘電体基板は面積が増大し
た分割れ易くなるとともに、部品コストが上昇するとい
う問題点もある。
本発明の目的は、上記浮遊容量を増大させることなくコ
ンデンサ電極を近接して配置でき、ひいては部品の小型
化を実現できるとともに、部品コストを低減できるコン
デンサアレイを提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
そこで本発明は、誘電体基板の表面に所定の間隔をあけ
て複数の第1コンデンサ電極が、裏面に上記第1コンデ
ンサ電極と上記基板を挟んで対向する第2コンデンサ電
極がそれぞれ形成されたコンデンサアレイにおいて、上
記誘電体基板の上記隣合う第1コンデンサ電極の間の部
分に、酸化性雰囲気中でレーザー照射することにより、
誘電体基板を溶融させてなる空隙部と、誘電体基板から
低誘電体を溶融析出させてなり上記空隙部を充填する該
誘電体基板より誘電率の低い低誘電率部とを同時形成し
たことを特徴としている。ここで、レーザー照射によ
り、例えば基板を構成するBaTiOがTiOとな
り、この部分の誘電率が大幅に低下することから低誘電
率部を実現できるものである。
〔作用〕
本発明に係るコンデンサアレイによれば、誘電体基板の
隣合う第1コンデンサ電極間に、誘電体基板より誘電率
の低い低誘電率部を形成したので、誘電体基板の上記隣
合うコンデンサ電極の間の部分が低誘電率となり、その
結果上記コンデンサ電極同士を近接させても浮遊容量の
増大を回避でき、コンデンサ同士の分離ができる。従っ
て、従来のものよりコンデンサ電極間の距離を狭めるこ
とができ、それだけ誘電体基板の面積を小さくでき、ひ
いては部品の小型化を実現できるとともに、割れの発生
を回避でき、しかも部品コストを低減できる。
また、誘電体基板の第1コンデンサ電極間部分に、酸化
性雰囲気中でレーザーを照射して空隙部とこれを充填す
る低誘電率部とを同時に形成したので誘電体基板の第1
コンデンサ電極間部分に浮遊容量の増大を回避できるシ
ールドを容易確実に形成できる。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例について説明する。
第1図は本発明の第1実施例によるコンデンサアレイを
説明するための図であり、図中、第4図と同一符号は同
一又は相当部分を示す。
本実施例のコンデンサアレイ1は、例えばBaTiO
系セラミックスを主成分とする誘電体基板2の上面,下
面に、それぞれAg厚膜ペースト等をスクリーン印刷し
て複数の第1コンデンサ電極3,共通電極としての第2
コンデンサ電極4を形成するとともに、これらの第1,
第2コンデンサ電極3,4にリード端子(図示せず)を
半田付け接続して構成されており、基本的構造は従来と
同様である。なお、必要により、上記誘電体基板2の外
表面を絶縁性樹脂等により被覆してもよい。
そして、本実施例の上記隣合う第1コンデンサ電極3の
間には低誘電率部6が形成されている。この低誘電率部
6は、上記誘電体基板2に、幅方向に延びる第1コンデ
ンサ電極3の縁部3aに沿って等間隔ごとに形成された
ミシン目状の孔部7により構成されており、該孔部7は
上記基板2を貫通して形成されている。ここで、上記孔
部7は、酸化性雰囲気中でレーザー照射することによっ
て形成されたものであり、該孔部7の周縁部分は上記レ
ーザー照射によって他の部分より誘電率が低くなってい
る。また、この孔部7の深さは貫通させないで途中まで
形成した場合も、その深さに応じた効果が得られる。
次に本実施例の作用効果について説明する。
本実施例のコンデンサアレイ1によれば、隣接する第1
コンデンサ電極3間に、レーザー照射によって低誘電率
部6を形成したので、上記各孔部7内には誘電率が1の
空気が存在し、また孔部7の周囲の誘電体の誘電率が低
下していることから、誘電体基板2の上記隣合うコンデ
ンサ電極3の間の部分だけは、低誘電率となり、これに
より浮遊容量を減少できる。従って、上記コンデンサ電
極3同士を近接させてもコンデンサ同士の分離ができ、
チャンネルセパレーションを良好にできる。その結果、
従来のものよりコンデンサ電極間の距離を狭めることが
できる分、誘電体基板2の面積を小さくできるから、ひ
いては部品の小型化の要請に応じられるとともに、割れ
にくく、しかも部品コストを低減できる。しかもこの場
合、上記第1,第2コンデンサ電極3,4間は、高誘電
率の誘電体基板2により大きな静電容量が確保されてお
り、コンデンサ機能を損なうことはない。
第2図は上記第1実施例の変形例を示し、これは上記誘
電体基板2に幅方向に延びる溝部8を、酸化性雰囲気中
でのレーザー照射により形成して、上記低誘電率部6を
構成した例である。この溝部8を形成した場合において
も、隣合うコンデンサ電極3間の誘電率を下げることが
できるので、上記実施例と同様の効果が得られる。
次に第2実施例について説明する。
本実施例は、酸化雰囲気中、例えば大気中、あるいは大
気中にさらに酸素を加えて誘電体基板の焼成時より酸素
分圧を高く設定した酸化雰囲気中において、レーザー1
0を照射することにより、誘電体基板2に幅方向に延び
る溝部9を溶融形成する(第3図(a)参照)と同時に、
上記誘電体基板2のBaTiOよりはるかに誘電率の
低いTiO等の低誘電体11を析出させて低誘電率部
6を構成した例である。
本実施例によれば、レーザー10の照射により形成され
た溝部9内に、誘電体基板2よりはるかに低い誘電率の
低誘電体11を析出させたので、隣合うコンデンサ電極
3の間の部分が低誘電率の物質で充填されることとな
り、その結果上記コンデンサ電極3同士を近接させても
浮遊容量の増大を回避でき、上述した第1実施例と同様
の効果が得られる。
また、上記低誘電率部6は、レーザー照射により誘電体
基板2の幅方向にミシン目状に形成して構成してもよ
い。
さらに、上記レーザー10の照射時間は、誘電体基板2
上に第1コンデンサ電極3を形成した後、又は該電極膜
3を形成する前のどちらでもよい。
さらにまた、上記コンデンサ電極3を蒸発し易い、例え
ばAlで形成する場合は、上記基板2の上面に連続して
コンデンサ電極3を形成し、しかる後、レーザー照射に
より電極膜3の分離と溝部9の形成とを同時に行なうこ
とができる。また、低誘電率物質を形成し易いように、
上記照射する部分に予め所定の添加物を塗布しておいて
もよい また、上記第1,第2実施例では、BaTiOからな
る誘電体基板を例にとって説明したが、本発明は勿論、
SrTiOを主成分とするもの等他のセラミックス製
基板にも採用できる。
〔発明の効果〕
以上のように本発明に係るコンデンサアレイによれば、
隣合う第1コンデンサ電極間に、誘電体基板より誘電率
の低い低誘電率部を形成したので、隣接するコンデンサ
電極間の浮遊容量を増大させることなく該電極膜間を狭
めることができ、ひいては部品の小型化を実現できると
ともに、部品コストを低減できる効果がある。また上記
低誘電率部のレーザー照射によって形成したので、この
低誘電率部の形状が容易である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例によるコンデンサアレイを
説明するための図であり、第1図(a)はその平面図、第
1図(b)はその断面図、第2図は上記実施例の変形例を
示す断面図、第3図(a),(b)は本発明の第2実施例によ
るコンデンサアレイを示す断面図、第4図(a),(b)はそ
れぞれ従来のコンデンサアレイを示す平面図,正面図、
第5図(a),(b)はそれぞれ上記コンデンサアレイの等価
回路図である。 図において、1はコンデンサアレイ、2は誘電体基板、
3は第1コンデンサ電極、4は第2コンデンサ電極、6
は低誘電率部、7は孔部、8,9は溝部、11は低誘電
体である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】セラミクス製誘電体基板の一主面に所定の
    間隔をあけて複数の第1コンデンサ電極を形成し、他主
    面に上記第1コンデンサ電極と上記基板を挟んで対向す
    る第2コンデンサ電極を形成してなるコンデンサアレイ
    において、上記誘電体基板の上記隣合う第1コンデンサ
    電極の間の部分に、酸化性雰囲気中でレーザー照射する
    ことにより、誘電体基板を溶融させてなる空隙部と、誘
    電体基板から低誘電体を溶融析出させてなり上記空隙部
    を充填する該誘電体基板より誘電率の低い低誘電率部と
    を同時形成したことを特徴とするコンデンサアレイ。
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