JPH06304859A - 平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法 - Google Patents
平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法Info
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- JPH06304859A JPH06304859A JP11911693A JP11911693A JPH06304859A JP H06304859 A JPH06304859 A JP H06304859A JP 11911693 A JP11911693 A JP 11911693A JP 11911693 A JP11911693 A JP 11911693A JP H06304859 A JPH06304859 A JP H06304859A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワーク外周面に強化用繊維による掻き傷が付
かない繊維強化プラスチック製のキャリヤを得ること。 【構成】 繊維強化プラスチック製キャリヤ１０のワー
ク１２と当接する中層部１４に、強化用繊維としてポリ
エステル繊維等の柔軟性ある繊維を配設し、外層部１３
にガラス繊維等の剛性繊維を配設した。
かない繊維強化プラスチック製のキャリヤを得ること。 【構成】 繊維強化プラスチック製キャリヤ１０のワー
ク１２と当接する中層部１４に、強化用繊維としてポリ
エステル繊維等の柔軟性ある繊維を配設し、外層部１３
にガラス繊維等の剛性繊維を配設した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アルミニウム、ガラ
ス、セラミック等からなるディスク状ワークを平面研磨
装置で研磨加工する際に該ワークの保持に用いられるキ
ャリヤとその製造方法に関するものである。
ス、セラミック等からなるディスク状ワークを平面研磨
装置で研磨加工する際に該ワークの保持に用いられるキ
ャリヤとその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、ラップ盤等の平面研磨装置を使
用してアルミニウムやガラス、セラミック等からなるデ
ィスク状ワークを研磨加工する際には、該ワークの保持
に図５及び図６に示すようなキャリヤが使用されてい
る。このキャリヤ１は、ワーク２を保持するための複数
のワーク保持穴３を有すると共に、平面研磨装置の太陽
歯車及び内歯歯車と噛合するギア４を外周に備えたもの
で、一般に、ガラス繊維をエポキシ樹脂で固めた繊維強
化プラスチックにより形成され、各保持穴３内にキャリ
ヤの肉厚よりもやや厚めのワーク２を保持するようにな
っている。
用してアルミニウムやガラス、セラミック等からなるデ
ィスク状ワークを研磨加工する際には、該ワークの保持
に図５及び図６に示すようなキャリヤが使用されてい
る。このキャリヤ１は、ワーク２を保持するための複数
のワーク保持穴３を有すると共に、平面研磨装置の太陽
歯車及び内歯歯車と噛合するギア４を外周に備えたもの
で、一般に、ガラス繊維をエポキシ樹脂で固めた繊維強
化プラスチックにより形成され、各保持穴３内にキャリ
ヤの肉厚よりもやや厚めのワーク２を保持するようにな
っている。
【０００３】しかしながら従来のキャリヤ１は、強化用
繊維として硬くて折れ易いガラス繊維を使用していたた
め、該ガラス繊維が毛羽立った状態で保持穴３の側壁か
ら穴内に突出し、ワーク２の外周面２ａに掻き傷を付け
易いという欠点があった。
繊維として硬くて折れ易いガラス繊維を使用していたた
め、該ガラス繊維が毛羽立った状態で保持穴３の側壁か
ら穴内に突出し、ワーク２の外周面２ａに掻き傷を付け
易いという欠点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、強化
用繊維でワーク外周面に掻き傷を付けることのない繊維
強化プラスチック製の平面研磨装置用キャリヤを提供す
ることにある。
用繊維でワーク外周面に掻き傷を付けることのない繊維
強化プラスチック製の平面研磨装置用キャリヤを提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段及び作用】上記課題を解決
するため、本発明のキャリヤは、強化用繊維をプラスチ
ックで固めた繊維強化プラスチックにより形成され、少
なくとも中層部に、強化用繊維としてポリエステル繊維
等の柔軟性ある繊維が配設されている。
するため、本発明のキャリヤは、強化用繊維をプラスチ
ックで固めた繊維強化プラスチックにより形成され、少
なくとも中層部に、強化用繊維としてポリエステル繊維
等の柔軟性ある繊維が配設されている。
【０００６】上記キャリヤにワークを保持させた場合、
上下両面のエッジが面取りされた該ワークの外周は保持
穴内において主としてキャリヤの中層部に当接するが、
該中層部には柔軟な補強用繊維が配設されているため、
該繊維によってワークが傷付けられることがない。
上下両面のエッジが面取りされた該ワークの外周は保持
穴内において主としてキャリヤの中層部に当接するが、
該中層部には柔軟な補強用繊維が配設されているため、
該繊維によってワークが傷付けられることがない。
【０００７】また、本発明の他の例によれば、強化用繊
維をプラスチックで固めた繊維強化プラスチックからな
る外層部と、該繊維強化プラスチックより軟質の素材か
らなる中層部とで構成されたキャリヤが提供される。
維をプラスチックで固めた繊維強化プラスチックからな
る外層部と、該繊維強化プラスチックより軟質の素材か
らなる中層部とで構成されたキャリヤが提供される。
【０００８】このように中層部を軟質の素材で形成する
場合、ワーク保持穴内において該中層部を外層部より内
側に突出させることもできる。
場合、ワーク保持穴内において該中層部を外層部より内
側に突出させることもできる。
【０００９】また、本発明のキャリヤの製造方法は、強
化用繊維に熱硬化性樹脂を含浸させてなる複数の含浸シ
ートを、強化用繊維としてポリエステル繊維等の柔軟性
ある繊維を用いたものを中間に配した状態で互いに重合
し、これらの含浸シートを熱プレスにより一体成形した
あと、所要の形状に仕上げることを特徴とするものであ
る。
化用繊維に熱硬化性樹脂を含浸させてなる複数の含浸シ
ートを、強化用繊維としてポリエステル繊維等の柔軟性
ある繊維を用いたものを中間に配した状態で互いに重合
し、これらの含浸シートを熱プレスにより一体成形した
あと、所要の形状に仕上げることを特徴とするものであ
る。
【００１０】この方法によれば、中層部に柔軟性ある強
化用繊維を含んだ繊維強化プラスチック製キャリヤを簡
単に得ることができる。
化用繊維を含んだ繊維強化プラスチック製キャリヤを簡
単に得ることができる。
【００１１】更に、本発明の別の製造方法は、強化用繊
維に熱硬化性樹脂を含浸させてなる複数の含浸シートの
間に、ポリウレタン樹脂等の軟質材からなるシートを両
面接着テープを介して重合し、これらのシートを熱プレ
スにより一体成形したあと、所要の形状に仕上げること
を特徴とするものである。
維に熱硬化性樹脂を含浸させてなる複数の含浸シートの
間に、ポリウレタン樹脂等の軟質材からなるシートを両
面接着テープを介して重合し、これらのシートを熱プレ
スにより一体成形したあと、所要の形状に仕上げること
を特徴とするものである。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しながら
詳細に説明するに、図１及び図２は、キャリヤ１０と、
該キャリヤ１０のワーク保持穴１１内に嵌合、保持され
たワーク１２とを示しており、該キャリヤ１０は、図５
に示す公知のキャリヤ１と同様に、複数のワーク保持穴
１１と、平面研磨装置の太陽歯車及び内歯歯車と噛合す
る外周ギア（図示せず）とを備えたもので、図面は一つ
の保持穴１１の位置で該キャリヤ１０を断面にして示し
ている。
詳細に説明するに、図１及び図２は、キャリヤ１０と、
該キャリヤ１０のワーク保持穴１１内に嵌合、保持され
たワーク１２とを示しており、該キャリヤ１０は、図５
に示す公知のキャリヤ１と同様に、複数のワーク保持穴
１１と、平面研磨装置の太陽歯車及び内歯歯車と噛合す
る外周ギア（図示せず）とを備えたもので、図面は一つ
の保持穴１１の位置で該キャリヤ１０を断面にして示し
ている。
【００１３】上記キャリヤ１０は、強化用の繊維をプラ
スチックで固めた繊維強化プラスチックにより形成され
たもので、種類の異なる強化用繊維を用いた外層部１
３，１３及び中層部１４からなっており、主として中層
部１４においてワーク１２の外周を保持するものであ
る。
スチックで固めた繊維強化プラスチックにより形成され
たもので、種類の異なる強化用繊維を用いた外層部１
３，１３及び中層部１４からなっており、主として中層
部１４においてワーク１２の外周を保持するものであ
る。
【００１４】上記外層部１３，１３は、面取りされたワ
ーク１２の外周に当接する機会が少ないため、強化用繊
維として強化機能を備えた任意の素材のものを使用する
ことができ、例えばガラス繊維のように硬くて折れ易い
ものであっても良い。これに対して中層部１４は、ワー
ク１２の外周に当接するため、該ワーク１２に掻き傷が
付きにくい柔軟性のある強化用繊維を使用する必要があ
り、このような繊維としてはポリエステル繊維があげら
れ、アルミニウム製のディスクの保持に好適に使用され
る。
ーク１２の外周に当接する機会が少ないため、強化用繊
維として強化機能を備えた任意の素材のものを使用する
ことができ、例えばガラス繊維のように硬くて折れ易い
ものであっても良い。これに対して中層部１４は、ワー
ク１２の外周に当接するため、該ワーク１２に掻き傷が
付きにくい柔軟性のある強化用繊維を使用する必要があ
り、このような繊維としてはポリエステル繊維があげら
れ、アルミニウム製のディスクの保持に好適に使用され
る。
【００１５】上記キャリヤ１０におけるワーク保持穴１
１内にワーク１２を嵌合、保持させた場合、上下両面の
エッジが面取りされた該ワーク１２の外周１２ａは、保
持穴１１内において主としてキャリヤ１０の中層部１４
に当接するが、該中層部１４には柔軟な強化用繊維が配
設されているため、該繊維によりワーク１２に掻き傷が
付けられることはない。
１内にワーク１２を嵌合、保持させた場合、上下両面の
エッジが面取りされた該ワーク１２の外周１２ａは、保
持穴１１内において主としてキャリヤ１０の中層部１４
に当接するが、該中層部１４には柔軟な強化用繊維が配
設されているため、該繊維によりワーク１２に掻き傷が
付けられることはない。
【００１６】上記キャリヤ１０は次のような方法により
製造することができる。即ち、図２に示すように、中層
部１４に使用するのに適した強化用繊維（例えばポリエ
ステル繊維）からなるシートに液状エポキシ樹脂等の熱
硬化性樹脂を含浸させた複数の中層用含浸シート１４ａ
の上下両面に、外層部１３に使用するのに適した強化用
繊維（例えばガラス繊維）からなるシートに同様に熱硬
化性樹脂を含浸させてなる複数の外層用含浸シート１３
ａを重合し、これらの重合体を、剥離フィルム１６、変
形防止用の金属板１７、緩衝用のクッション１８を介し
て両側から熱板１９，１９による熱プレスを施すことに
より一体成形したあと、所要の形状に裁断してキャリヤ
１０に仕上げるものである。
製造することができる。即ち、図２に示すように、中層
部１４に使用するのに適した強化用繊維（例えばポリエ
ステル繊維）からなるシートに液状エポキシ樹脂等の熱
硬化性樹脂を含浸させた複数の中層用含浸シート１４ａ
の上下両面に、外層部１３に使用するのに適した強化用
繊維（例えばガラス繊維）からなるシートに同様に熱硬
化性樹脂を含浸させてなる複数の外層用含浸シート１３
ａを重合し、これらの重合体を、剥離フィルム１６、変
形防止用の金属板１７、緩衝用のクッション１８を介し
て両側から熱板１９，１９による熱プレスを施すことに
より一体成形したあと、所要の形状に裁断してキャリヤ
１０に仕上げるものである。
【００１７】出来上がったキャリヤ１０の厚さや外層部
１３及び中層部１４の厚さは、各強化用繊維シートの厚
さやその重合枚数等を変えることによって調節すること
ができ、また、中層用含浸シート１４ａの両側における
外層用含浸シート１３ａの重合枚数を互いに違えること
によって、両外層部１３，１３を異なる厚さに形成する
こともできる。なお、上記強化用繊維シートは、織布で
あっても不織布であっても良い。
１３及び中層部１４の厚さは、各強化用繊維シートの厚
さやその重合枚数等を変えることによって調節すること
ができ、また、中層用含浸シート１４ａの両側における
外層用含浸シート１３ａの重合枚数を互いに違えること
によって、両外層部１３，１３を異なる厚さに形成する
こともできる。なお、上記強化用繊維シートは、織布で
あっても不織布であっても良い。
【００１８】上記第１実施例のキャリヤ１０は、中層部
１４に柔軟性のある強化用繊維を使用し、外層部１３，
１３に強度の大きい剛性繊維を使用しているが、このよ
うに種類の異なる強化用繊維を使用することなく、全体
をポリエステル繊維等の柔軟性のある繊維のみによって
形成することもできる。
１４に柔軟性のある強化用繊維を使用し、外層部１３，
１３に強度の大きい剛性繊維を使用しているが、このよ
うに種類の異なる強化用繊維を使用することなく、全体
をポリエステル繊維等の柔軟性のある繊維のみによって
形成することもできる。
【００１９】図３は本発明に係るキャリヤの第２実施例
を示すもので、該キャリヤ２０は、繊維強化プラスチッ
クからなる外層部２３，２３と、該繊維強化プラスチッ
クより軟質の素材からなる中層部２４とで構成されてい
る。
を示すもので、該キャリヤ２０は、繊維強化プラスチッ
クからなる外層部２３，２３と、該繊維強化プラスチッ
クより軟質の素材からなる中層部２４とで構成されてい
る。
【００２０】上記外層部２３，２３は、上記第１実施例
のキャリヤ１０の外層部１３，１３と同様に、キャリヤ
として必要な強度を保ち得るだけの強化機能を備えた任
意の強化用繊維、例えばガラス繊維を使用して形成され
ており、これに対して中層部２４は、ポリウレタン樹脂
のような軟質材により形成されるが、好ましくは、ポリ
ウレタン樹脂にセリウムを含有させたセリウムパッドが
使用され、ガラスディスクの保持に好適に用いられる。
この場合、図示したように、ワーク保持穴２１内におい
て中層部２４を外層部２３，２３より内側に若干突出さ
せておくことが望ましく、これにより、中層部２４が圧
縮された場合の外層部２３へのワーク２２の当接を有効
に防ぐことができる。
のキャリヤ１０の外層部１３，１３と同様に、キャリヤ
として必要な強度を保ち得るだけの強化機能を備えた任
意の強化用繊維、例えばガラス繊維を使用して形成され
ており、これに対して中層部２４は、ポリウレタン樹脂
のような軟質材により形成されるが、好ましくは、ポリ
ウレタン樹脂にセリウムを含有させたセリウムパッドが
使用され、ガラスディスクの保持に好適に用いられる。
この場合、図示したように、ワーク保持穴２１内におい
て中層部２４を外層部２３，２３より内側に若干突出さ
せておくことが望ましく、これにより、中層部２４が圧
縮された場合の外層部２３へのワーク２２の当接を有効
に防ぐことができる。
【００２１】上記第２実施例のキャリヤ２０は、次のよ
うな方法により製造することができる。即ち、図４に示
すように、中層部２４を形成するセリウムパッド等の軟
質材シート２４ａの上下両面に、ガラス繊維等の強化用
繊維からなるシートに液状エポキシ樹脂等の熱硬化性樹
脂を含浸させた複数の外層用含浸シート２３ａを、両面
接着テープ２５を介して重合し、これらの重合体を、剥
離フィルム２６、変形防止用の金属板２７、緩衝用のク
ッション２８を介して両側から熱板２９，２９による熱
プレスを施すことにより一体成形したあと、所要の形状
に裁断してキャリヤ１０に仕上げるものである。
うな方法により製造することができる。即ち、図４に示
すように、中層部２４を形成するセリウムパッド等の軟
質材シート２４ａの上下両面に、ガラス繊維等の強化用
繊維からなるシートに液状エポキシ樹脂等の熱硬化性樹
脂を含浸させた複数の外層用含浸シート２３ａを、両面
接着テープ２５を介して重合し、これらの重合体を、剥
離フィルム２６、変形防止用の金属板２７、緩衝用のク
ッション２８を介して両側から熱板２９，２９による熱
プレスを施すことにより一体成形したあと、所要の形状
に裁断してキャリヤ１０に仕上げるものである。
【００２２】
【発明の効果】このように本発明によれば、中層部が柔
軟構造となった繊維強化プラスチック製のキャリヤを簡
単に得ることができると共に、該キャリヤの使用により
ワークを外周面に掻き傷を付けることなく確実に保持す
ることができる。
軟構造となった繊維強化プラスチック製のキャリヤを簡
単に得ることができると共に、該キャリヤの使用により
ワークを外周面に掻き傷を付けることなく確実に保持す
ることができる。
【図１】本発明に係るキャリヤの一実施例を示す要部断
面図である。
面図である。
【図２】図１のキャリヤの製造方法を示す分解図であ
る。
る。
【図３】本発明に係るキャリヤの別実施例を示す要部断
面図である。
面図である。
【図４】図３のキャリヤの製造方法を示す分解図であ
る。
る。
【図５】従来のキャリヤの平面図である。
【図６】図５におけるＡ−Ａ線での断面図である。
１０，２０ キャリヤ １１，２１ 保持穴 １２，２２ ワーク １２ａ 外周 １３，２３ 外層部 １３ａ，２３ａ 外
層用含浸シート １４，２４ 中層部 １４ａ，２４ａ 中
層用含浸シート ２５ 両面接着テープ
層用含浸シート １４，２４ 中層部 １４ａ，２４ａ 中
層用含浸シート ２５ 両面接着テープ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ２９Ｌ 31:00 4Ｆ
Claims (5)
- 【請求項１】 ワークを研磨加工する平面研磨装置にお
いてワークの保持に使用されるキャリヤであって、強化
用繊維をプラスチックで固めた繊維強化プラスチックに
より形成され、少なくとも中層部に、強化用繊維として
ポリエステル繊維等の柔軟性ある繊維が配設されている
ことを特徴とする平面研磨装置用キャリヤ。 - 【請求項２】 ワークを研磨加工する平面研磨装置にお
いてワークの保持に使用されるキャリヤであって、強化
用繊維をプラスチックで固めた繊維強化プラスチックか
らなる外層部と、該繊維強化プラスチックより軟質の素
材からなる中層部とで構成されていることを特徴とする
平面研磨装置用キャリヤ。 - 【請求項３】 ワーク保持穴内において中層部が外層部
より内側に突出していることを特徴とする請求項２に記
載の平面研磨装置用キャリヤ。 - 【請求項４】 強化用繊維に熱硬化性樹脂を含浸させて
なる複数の含浸シートを、強化用繊維としてポリエステ
ル繊維等の柔軟性ある繊維を用いたものを中間に配した
状態で互いに重合し、これらの含浸シートを熱プレスに
より一体成形したあと、所要の形状に仕上げることを特
徴とする平面研磨装置用キャリヤの製造方法。 - 【請求項５】 強化用繊維に熱硬化性樹脂を含浸させて
なる複数の含浸シートの間に、ポリウレタン樹脂等の軟
質材からなるシートを両面接着テープを介して重合し、
これらのシートを熱プレスにより一体成形したあと、所
要の形状に仕上げることを特徴とする平面研磨装置用キ
ャリヤの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11911693A JPH06304859A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11911693A JPH06304859A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06304859A true JPH06304859A (ja) | 1994-11-01 |
Family
ID=14753332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11911693A Pending JPH06304859A (ja) | 1993-04-22 | 1993-04-22 | 平面研磨装置用キャリヤ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06304859A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| WO1999004931A1 (en) * | 1997-07-23 | 1999-02-04 | Speedfam-Ipec Corporation | Apparatus for holding workpieces during lapping, honing, and polishing |
| US6291373B1 (en) | 1997-10-20 | 2001-09-18 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
| KR100396435B1 (ko) * | 2001-03-06 | 2003-09-03 | 주식회사 유아이디 | 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더 |
| JP2014069570A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Samsung Electronics Co Ltd | 電子装置のハウジング及びその加工方法 |
-
1993
- 1993-04-22 JP JP11911693A patent/JPH06304859A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10249719A (ja) * | 1997-03-05 | 1998-09-22 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 繊維強化プラスチック製キャリアプレート |
| WO1999004931A1 (en) * | 1997-07-23 | 1999-02-04 | Speedfam-Ipec Corporation | Apparatus for holding workpieces during lapping, honing, and polishing |
| US6030280A (en) * | 1997-07-23 | 2000-02-29 | Speedfam Corporation | Apparatus for holding workpieces during lapping, honing, and polishing |
| US6291373B1 (en) | 1997-10-20 | 2001-09-18 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
| US6566286B1 (en) | 1997-10-20 | 2003-05-20 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
| KR100396435B1 (ko) * | 2001-03-06 | 2003-09-03 | 주식회사 유아이디 | 엘씨디 글래스용 연마장치의 글래스홀더 |
| JP2014069570A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Samsung Electronics Co Ltd | 電子装置のハウジング及びその加工方法 |
| US9820396B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-11-14 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Housing for electronic device and manufacturing method thereof |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20011030 |