JPH06314632A - セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 セラミックスラリーの組成及びセラミックグ
リーンシートの厚みの如何に関わらず、セラミックグリ
ーンシートを剥離フィルムから円滑に剥離することがで
き、寸法安定性に優れたセラミックグリーンシートを得
る工程を備えたセラミック電子部品の製造方法を提供す
る。 【構成】 キャリアフィルム１２の一方面１２ａ上にセ
ラミックグリーンシート１３を積層してなる積層シート
１１を用意し、キャリアフィルム１２の他方面１２ｂ側
から押圧部材１５を押圧させ、積層シート１１に屈曲さ
れた部分１１ａを形成し、それによってキャリアフィル
ム１２とセラミックグリーンシート１３との間の密着性
を低下させ、かつ剥離しようとする領域のほぼ全長に渡
り、上記屈曲部分１１ａを移動させるように、積層シー
ト１１を移動させる、セラミック電子部品の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、セラミックグリーンシ
ートを用いて得られるセラミック電子部品の製造方法に
関し、特に、キャリアフィルム上で成形されたセラミッ
クグリーンシートを該キャリアフィルムから剥離する工
程が改良されたセラミック電子部品の製造方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】積層コンデンサやセラミック多層基板の
ようにセラミック積層・一体焼成技術を用いて構成され
たセラミック電子部品の製造にあたっては、まず最初に
セラミックスラリーからセラミックグリーンシートを成
形する。

【０００３】セラミックグリーンシートの成形は、セラ
ミックグリーンシートの厚みによっても異なるが、通
常、合成樹脂フィルムからなるキャリアフィルム上で行
われる。成形されたセラミックグリーンシートは乾燥さ
れた後、キャリアフィルム上から剥離される。この工程
を図７を参照して説明する。

【０００４】キャリアフィルム１上に積層されたセラミ
ックグリーンシート２が図示の矢印で示すよう搬送さ
れ、剥離ロール３，４間を通過した直後に、セラミック
グリーンシート２が剥離ロール３側に、キャリアフィル
ム１が剥離ロール４側に巻き付けられることにより両者
が分離される。

【０００５】セラミック電子部品の製造に際しては、上
記のようにして得たセラミックグリーンシートを所定の
形状に打ち抜き、電極材料と共に積層し、一体焼成する
ことによりセラミック電子部品を構成するための焼結体
が得られる。

【０００６】ところで、上記キャリアフィルム１として
は、ポリプロピレンあるいはポリエチレンテレフタレー
ト（以下、ＰＥＴ）等の合成樹脂からなるフィルムが用
いられている。しかしながら、ポリプロピレンフィルム
は変形しやすいので、セラミックグリーンシートを剥離
する工程において加えられる力によりキャリアフィルム
が変形しがちである。その結果、得られたセラミックグ
リーンシートの寸法安定性が損なわれやすい。そこで、
近年、ポリプロピレンフィルムに比べて変形し難いＰＥ
Ｔフィルムが上記キャリアフィルムとして多用されてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ＰＥＴフィルムよりな
るキャリアフィルムは、上記のように変形し難いため、
ＰＥＴフィルムを用いることにより、寸法安定性に優れ
たセラミックグリーンシートを得ることができる。しか
しながら、ＰＥＴフィルムには離型剤が付着し難いた
め、ＰＥＴフィルムよりなるキャリアフィルムではセラ
ミックグリーンシートとの間の密着性が必要以上に高く
なりがちであり、キャリアフィルムからセラミックグリ
ーンシートを剥離するに際し、セラミックグリーンシー
トが円滑に剥離され難いことがあった。その結果、セラ
ミックグリーンシートの厚みが薄い場合や、セラミック
グリーンシートの組成によっては、キャリアフィルムか
らの剥離に際し、セラミックグリーンシートが伸びた
り、はなはだしき場合にはセラミックグリーンシートに
破れが生じたりするという問題があった。

【０００８】本発明の目的は、セラミックスラリーの組
成やセラミックグリーンシートの厚みの如何に係わら
ず、キャリアフィルム上からセラミックグリーンシート
を安定に剥離することができ、寸法安定性に優れたセラ
ミックグリーンシートを確実に得ることを可能とする工
程を備えたセラミック電子部品の製造方法を提供するこ
とにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、長尺状のキャ
リアフィルムの一方面に積層されて該キャリアフィルム
上にセラミックグリーンシートが支持されている積層シ
ートを用意する工程と、前記キャリアフィルムからセラ
ミックグリーンシートを現に剥離しようとする領域にお
いて、前記キャリアフィルムの他方面側から前記剥離し
ようとする領域の長さに比べて小径の押圧部材を押圧し
て、押圧されている部分においてセラミックグリーンシ
ートおよびキャリアフィルムをセラミックグリーンシー
ト側に屈曲させ、前記押圧されている部分が前記剥離し
ようとする領域の長さ方向に沿って移動するように、前
記押圧部材及び積層シートの少なくとも一方を移動させ
る工程と、前記剥離しようとする領域において、セラミ
ックグリーンシートをキャリアフィルム上から剥離する
工程とを備えることを特徴とする、セラミック電子部品
の製造方法である。

【００１０】

【作用】本発明のセラミック電子部品の製造方法では、
剥離に先立ち、現に剥離しようとする領域において、上
記押圧部材がキャリアフィルムの他方面側からセラミッ
クグリーンシート側に押圧されて、上記積層シートが屈
曲される。その結果、屈曲されている部分において、強
固に密着していたセラミックグリーンシートとキャリア
フィルムとの間に浮きが生じ易くなる。

【００１１】さらに、上記のように押圧部材で押圧され
ている部分が剥離しようとする領域の長さ方向に沿って
移動するように、押圧部材及び上記積層シートの少なく
とも一方が移動されるため、上記のようにキャリアフィ
ルムとセラミックグリーンシートとの間に浮きが生じ易
くなる部分が剥離しようとする領域の長さ方向に渡って
形成されることになる。よって、剥離しようとする領域
において、セラミックグリーンシートとキャリアフィル
ムとの間の密着性が効果的に低められる。

【００１２】

【発明の効果】本発明のセラミック電子部品の製造方法
によれば、上記押圧部材により押圧されて屈曲されてい
る部分が積層シートの現に剥離しようとする領域の長さ
方向に沿って移動されることになるため、現に剥離しよ
うとする領域におけるセラミックグリーンシートとキャ
リアフィルムとの間の密着性が効果的に低められる。従
って、次の工程においてセラミックグリーンシートをキ
ャリアフィルム上から容易にかつ安定に剥離することが
できる。

【００１３】よって、セラミックスラリーの組成やセラ
ミックグリーンシートの厚みの如何に関わらず、すなわ
ちキャリアフィルムとの密着性の高い組成や厚みの薄い
セラミックグリーンシートの場合であっても、セラミッ
クグリーンシートを安定にキャリアフィルムから剥離す
ることができ、寸法を安定性に優れたセラミックグリー
ンシートを確実に得ることができる。

【００１４】近年、積層セラミック部品の小型化及び大
容量化等を果たすため、ならびに高圧用積層セラミック
電子部品を得るために、より厚みの薄いセラミックグリ
ーンシートが求められているが、本発明は、このような
用途に最適なセラミックグリーンシートを安定に供給す
ることを可能とする。従って、本発明によれば、積層セ
ラミック電子部品の小型化、大容量化、高圧化等に対応
することができる。

【００１５】

【実施例】以下、図面を参照しつつ本発明の実施例を説
明することにより、本発明を明らかにする。

【００１６】第１の実施例 図１を参照し、例えば、ＰＥＴフィルムもしくはポリプ
ロピレンフィルム等の合成樹脂フィルムよりなるキャリ
アフィルムの一方面１２ａ上にセラミックグリーンシー
ト１３が積層された積層シート１１が用意される。積層
シート１１を用意する工程は、キャリアフィルム１２上
においてセラミックスラリーを例えばドクターブレード
法あるいは押出し成形法等により成形することにより行
うことができる。

【００１７】積層シート１１は、図示の矢印Ａ方向に沿
って送られ、反時計方向に矢印で示すように回転されて
いるローラー１４に至る。他方、ローラー１４の前方に
は、比較的小さな径の押圧部材１５が配置されている。
押圧部材１５は、ローラー、丸棒、角棒、筒状部材等の
適宜のもので構成されるが、積層シート１１の幅方向全
長に至る長さに構成されている。

【００１８】また、押圧部材１５のさらに前方には、比
較的大きな径の一対の剥離用ローラー１６，１７が配置
されている。剥離用ローラー１６，１７は、図示のよう
に搬送されてきた積層シート１１において、キャリアフ
ィルム１２からセラミックグリーンシート１３を剥離し
て搬送するために設けられている。

【００１９】ところで、ローラー１４と、剥離ローラー
１６，１７との間に配置された押圧部材１５は、ローラ
ー１４の下端１４ａと剥離ローラー１６，１７間の最近
接部分Ｂとを結ぶ仮想直線よりも上方に配置されてい
る。従って、積層シート１１が、押圧部材１５の設けら
れている部分では、該抑圧部材１５がキャリアフィルム
１２の他方面１２ｂ側から積層シート１１をセラミック
グリーンシート１３側に押圧することになる。その結
果、積層シート１１が図示のようにセラミックグリーン
シート１３側に屈曲される。この屈曲部分１１ａにおい
ては、セラミックグリーンシート１３とキャリアフィル
ム１２との間に浮きが生じ易くなり、両者の間の密着性
が効果的に低下される。従って、積層シート１１が、押
圧部材１５の設けられている部分を通過することによ
り、キャリアフィルム１２とセラミックグリーンシート
１３との間の密着性が低下されることになるため、剥離
ローラー１６，１７においてセラミックグリーンシート
１３をキャリアフィルム１２から容易に剥離することが
できる。

【００２０】上記のように押圧部材１５は、屈曲部分１
１ａを形成することによりキャリアフィルム１２とセラ
ミックグリーンシート１３との間の密着性を低減させる
ために設けられているものである。従って、本発明で
は、前述した仮想直線よりも上方に押圧部材１５が配置
されている。しかしながら、押圧部材１５は、位置が固
定されていなくともよく、上下方向に移動し得るように
構成し、キャリアフィルム１２の他方面１２ｂ側から押
圧する力を調節し得るように構成されていてもよい。そ
の場合には、押圧部材１５の位置を調整することにより
上記屈曲部分１１ａにおける屈曲角度を調整することが
でき、それによってセラミックグリーンシート１３とキ
ャリアフィルム１２との間の密着性を充分に軽減させる
ことができる。

【００２１】また、本実施例では積層シート１１が矢印
Ａ方向に送られているため、積層シート１１の全長が本
発明における剥離しようとする領域に相当する。すなわ
ち、押圧部材１５によって剥離しようとする領域が順に
上記のように屈曲されていく。

【００２２】なお、上記押圧部材１５による密着性低減
作用は、積層シート１１の屈曲角度の大きさによって異
なる。従って、密着性をより大きく低減させるには、押
圧ローラー１５はより小さな径に構成されることが好ま
しい。もっとも、セラミックグリーンシート１３の組成
や厚みによっては、より温和な密着性低減作用が求めら
れるため、その場合には、押圧部材１５の位置を上記実
施例よりも下方にしたり、あるいは押圧部材１５の径を
若干増大させたりしてもよい。

【００２３】第２の実施例 図２を参照して、第２の実施例では剥離ステージ２０上
に積層シート１１が配置され、該剥離ステージ２０上に
おいてセラミックグリーンシート１３のキャリアフィル
ム１２からの剥離が行われる。

【００２４】剥離ステージ２０は、上方に開いた平面形
状が矩形の凹部２０ａを有する。凹部２０ａの周囲に
は、積層シート１１を載置するための載置部２０ｂが矩
形枠状に形成されている。載置部２０ｂには、図示の破
線で示すように、吸引孔２１が複数形成されている。吸
引孔２１は、図示しない吸引手段に接続されており、載
置されている積層シート１１を吸引固定するように構成
されている。但し、積層シート１１の固定手段は吸引に
限らない。

【００２５】なお、積層シート１１は、キャリアフィル
ム１２側を上記シート載置部２０ｂ上に載置することに
より剥離ステージ２０上に固定されている。他方、凹部
２０ａ内には、押圧部材２２が配置されている。押圧部
材２２は、第１の実施例で用いた押圧部材１５と同様
に、比較的小さな径のローラー、棒状部材もしくは筒状
部材により構成されている。押圧部材２２は、図示しな
い駆動手段により、図示の矢印Ｃ方向および矢印Ｄ方向
に移動し得るように構成されている。

【００２６】本実施例では、まず、最初の状態におい
て、押圧部材２２が図２に示す状態から、図３に示すよ
うに上方に移動される。その結果、押圧部材２２がキャ
リアフィルム１２の他方面１２ｂ側から積層シート１１
を持ち上げ、積層シート１１が屈曲される。この屈曲部
分１１ａにおいては、第１の実施例の屈曲部分１１ａの
場合と同様に、キャリアフィルム１２とセラミックグリ
ーンシート１３との間に浮きが生じやすくなり、両者の
間の密着性が低下される。

【００２７】次に、図３に示した状態のまま、押圧部材
２２が矢印Ｅ方向に移動され、それに伴って屈曲部分１
１ａが移動されていく。しかる後、押圧部材２２を下方
に移動させることにより、図４に示す状態とされる。こ
のように、屈曲部分１１ａが積層シート１１の長さ方向
に沿って移動されることにより、セラミックグリーンシ
ート１３とキャリアフィルム１２との間の密着性の低減
される領域が積層シート１１の長さ方向に沿って拡大さ
れる。

【００２８】次に、図５に示すように、上方からカッタ
ー２３及び吸引装置２４を低下させる。カッター２３
は、下端に切断刃２３ａを有し、該切断刃２３ａは平面
視した場合に矩形枠状の形状を有するように構成されて
いる。まず、カッター２３が降下され、載置部２０ｂ上
において、セラミックグリーンシート１３が矩形枠状に
切断される。なお、カッター２３の降下量は、キャリア
フィルム１２の下面には至らないように選択されてい
る。すなわち、セラミックグリーンシート１３のみを矩
形形状に切断するように上記降下量が定められている。

【００２９】吸引装置２４は、図示の破線で示すよう
に、複数の吸引孔２４ａを有し、該吸引孔２４ａは図示
しない吸引装置に接続されている。上記切断終了後に、
吸引装置２４が降下され、該吸引装置２４の下面２４ｂ
に、切断されたセラミックグリーンシート部分１３ａが
吸引固定される。

【００３０】しかる後、図６に示すように、吸引装置２
４ａ及びカッター２３を上方に移動させることにより、
吸引装置２４の下面２４ｂに切断されたセラミックグリ
ーンシート部分１３ａが剥離される。すなわち、キャリ
アフィルム１２上から上記矩形のセラミックグリーンシ
ート部分１３ａが剥離される。

【００３１】なお、本発明はセラミック電子部品の製造
方法であるが、第１，第２の実施例のようにセラミック
グリーンシートを剥離した後の工程は、従来より公知の
セラミック積層電子部品の製造方法に従って行い得る。
すなわち、剥離されたセラミックグリーンシートをさら
に必要に応じて所望の形状に打ち抜き、内部電極等を間
に介在させて積層し、厚み方向に圧着した後焼成するこ
とにより焼結体を得ることができる。しかる後、焼結体
の該表面に、内部電極に電気的に接続される適宜の外部
電極を公知慣用の方法により形成することにより、セラ
ミック電子部品を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１の実施例においてキャリアフィルムからセ
ラミックグリーンシートを剥離する工程を説明するため
の側面図。

【図２】第２の実施例において剥離ステージ上に積層シ
ートを載置した状態を示す断面図。

【図３】第２の実施例において押圧部材を積層シートに
押圧させて屈曲部分を形成した状態を示す部分切欠断面
図。

【図４】押圧部材を移動させた後の状態を示す部分切欠
断面図。

【図５】第２の実施例においてセラミックグリーンシー
トを切断する工程を説明するための部分切欠断面図。

【図６】第２の実施例において切断されたセラミックグ
リーンシートをキャリアフィルムから剥離した状態を示
す断面図。

【図７】従来の製造方法においてキャリアフィルムから
セラミックグリーンシートを剥離する工程を説明するた
めの側面図。

【符号の説明】 １１…積層シート １２…キャリアフィルム １３…セラミックグリーンシート １２ａ…一方面 １２ｂ…他方面 １５…押圧部材 １６，１７…剥離ローラー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 長尺状のキャリアフィルムの一方面に積
   層されて該キャリアフィルム上にセラミックグリーンシ
   ートが支持されている積層シートを用意する工程と、 前記キャリアフィルムからセラミックグリーンシートを
   現に剥離しようとする領域において、前記キャリアフィ
   ルムの他方面側から前記剥離しようとする領域の長さに
   比べて小径の押圧部材を押圧して、押圧されている部分
   においてセラミックグリーンシートおよびキャリアフィ
   ルムをセラミックグリーンシート側に屈曲させ、さら
   に、前記押圧されている部分が前記剥離しようとする領
   域の長さ方向に沿って移動するように、前記押圧部材及
   び積層シートの少なくとも一方を移動させる工程と、 前記剥離しようとする領域において、セラミックグリー
   ンシートをキャリアフィルム上から剥離する工程とを備
   えることを特徴とする、セラミック電子部品の製造方
   法。