JPH0633171B2 - 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 - Google Patents
窒化珪素質焼結体及びその製造方法Info
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- JPH0633171B2 JPH0633171B2 JP63309824A JP30982488A JPH0633171B2 JP H0633171 B2 JPH0633171 B2 JP H0633171B2 JP 63309824 A JP63309824 A JP 63309824A JP 30982488 A JP30982488 A JP 30982488A JP H0633171 B2 JPH0633171 B2 JP H0633171B2
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- silicon nitride
- sintered body
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- silicide
- sintering
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、機械的強度および靭性の優れた高密度窒化珪
素質焼結体およびその製造方法に関するものである。
素質焼結体およびその製造方法に関するものである。
従来の技術 窒化珪素は共有結合性の強い物質であり単味では焼結が
困難であるため、種々の添加物を加えて焼結することが
行われている。例えば酸化イットリウムと酸化アルミニ
ウムを添加した系では、耐熱衝撃性においては優れたも
のが得られているが、耐熱性、機械的強度、靭性に劣っ
ている場合があった。
困難であるため、種々の添加物を加えて焼結することが
行われている。例えば酸化イットリウムと酸化アルミニ
ウムを添加した系では、耐熱衝撃性においては優れたも
のが得られているが、耐熱性、機械的強度、靭性に劣っ
ている場合があった。
耐熱性を向上させることを目的として、特開昭62−2077
66公報に開示されている酸化イットリウム＋酸化アルミ
ニウム＋窒化アルミニウムを添加した系、特開昭62−20
7765公報に開示されている酸化イットリウム＋酸化セリ
ウム＋酸化マグネシウムを添加した系などが試みられて
おり、耐熱性の向上等に効果が認められることが知られ
ている。
66公報に開示されている酸化イットリウム＋酸化アルミ
ニウム＋窒化アルミニウムを添加した系、特開昭62−20
7765公報に開示されている酸化イットリウム＋酸化セリ
ウム＋酸化マグネシウムを添加した系などが試みられて
おり、耐熱性の向上等に効果が認められることが知られ
ている。
また、特開昭58-41770公報では酸化イットリウム＋酸化
アルミニウム＋窒化アルミニウム＋各種珪化物を添加し
た系で高温酸化性雰囲気下にあっても機械的強度の低下
が小さい窒化珪素焼結体の作製を試みている。
アルミニウム＋窒化アルミニウム＋各種珪化物を添加し
た系で高温酸化性雰囲気下にあっても機械的強度の低下
が小さい窒化珪素焼結体の作製を試みている。
発明が解決しようとする課題 ところが、上記材料では、耐熱衝撃性、耐熱性は優れる
ものの、機械的強度及び靭性を飛躍的に改善するには至
っていないため、より厳しい使用環境下、特に高応力の
生じる構造部材へ適用するに当たっては信頼性に欠ける
等の問題点があった。従って、耐熱性の向上に加えて、
機械的強度および靭性の向上したものが望まれる。
ものの、機械的強度及び靭性を飛躍的に改善するには至
っていないため、より厳しい使用環境下、特に高応力の
生じる構造部材へ適用するに当たっては信頼性に欠ける
等の問題点があった。従って、耐熱性の向上に加えて、
機械的強度および靭性の向上したものが望まれる。
本発明は上記の如き課題を解決するために行われたもの
である。本発明の目的は、高密度で、高い機械的強度お
よび高い靭性を示し、しかも高温酸化性雰囲気下であっ
ても機械的強度の低下が小さい等の耐熱性を有する窒化
珪素質焼結体及びその製造方法を提供することにある。
である。本発明の目的は、高密度で、高い機械的強度お
よび高い靭性を示し、しかも高温酸化性雰囲気下であっ
ても機械的強度の低下が小さい等の耐熱性を有する窒化
珪素質焼結体及びその製造方法を提供することにある。
課題を解決するための手段 本発明の窒化珪素質焼結体は、１種類以上の希土類酸化
物１〜15重量％、酸化マグネシウム１〜８重量％、珪化
チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた少なくとも
１種の珪化物 0.1〜 3重量％及び残部が窒化珪素からな
ることを特徴とするものである。
物１〜15重量％、酸化マグネシウム１〜８重量％、珪化
チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた少なくとも
１種の珪化物 0.1〜 3重量％及び残部が窒化珪素からな
ることを特徴とするものである。
本発明の焼結体は、希土類酸化物が少なくとも一種類以
上含まれるが、本発明の希土類酸化物としては、例え
ば、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化ランタン等
が挙げられる。
上含まれるが、本発明の希土類酸化物としては、例え
ば、酸化イットリウム、酸化セリウム、酸化ランタン等
が挙げられる。
希土類元素の酸化物は窒化珪素の焼結時にα相からβ相
への結晶相転移をその融液中に促進させる機能を持ち、
更に窒化珪素の柱状結晶粒を生成することにより高温強
度を向上させる。
への結晶相転移をその融液中に促進させる機能を持ち、
更に窒化珪素の柱状結晶粒を生成することにより高温強
度を向上させる。
これらの成分の合計が、15重量％を超えると得られた焼
結体の高温での機械的強度が低下するので、15重量％以
下であることが好ましい。また１重量％より少ないと融
液が不十分で十分な緻密化がなされないため好ましくな
い。従ってその添加量としては１〜15重量％の範囲であ
ることが望ましいが、特に十分に高い機械的強度、靭性
を得るためには３〜10重量％の範囲であることがより好
ましい。
結体の高温での機械的強度が低下するので、15重量％以
下であることが好ましい。また１重量％より少ないと融
液が不十分で十分な緻密化がなされないため好ましくな
い。従ってその添加量としては１〜15重量％の範囲であ
ることが望ましいが、特に十分に高い機械的強度、靭性
を得るためには３〜10重量％の範囲であることがより好
ましい。
酸化マグネシウムは上記希土類酸化物と共に焼結時に液
相を形成するが、その融点を希土類酸化物単味の場合に
比べて低下させる効果を持ち、より結晶相転移を促進
し、ひいては緻密化を助長する作用を持つ。また、酸化
マグネシウムが含まれると焼結過程で生成する柱状粒の
アスペクト比（長軸と短軸の比）が大きくなり、かつ短
軸の径が大きくなる性質を有するため靭性の向上が図ら
れる。本発明の焼結体は、１〜８重量％の酸化マグネシ
ウムからなるが、８重量％より多いと組織の均質性が損
なわれ、また１重量％より少ないと十分なアスペクト比
が得られない。特に高い靭性の焼結体を得るためには１
〜６重量％の範囲であることがより望ましい。
相を形成するが、その融点を希土類酸化物単味の場合に
比べて低下させる効果を持ち、より結晶相転移を促進
し、ひいては緻密化を助長する作用を持つ。また、酸化
マグネシウムが含まれると焼結過程で生成する柱状粒の
アスペクト比（長軸と短軸の比）が大きくなり、かつ短
軸の径が大きくなる性質を有するため靭性の向上が図ら
れる。本発明の焼結体は、１〜８重量％の酸化マグネシ
ウムからなるが、８重量％より多いと組織の均質性が損
なわれ、また１重量％より少ないと十分なアスペクト比
が得られない。特に高い靭性の焼結体を得るためには１
〜６重量％の範囲であることがより望ましい。
珪化チタン及び珪化ジルコニウムは、いずれも焼結時に
上記希土類酸化物と酸化マグネシウムとで形成する融液
中で窒化珪素がα相からβ相へ転移する際の核として作
用すると考えられ、相転移を促進すると共に組織の均質
化にも寄与し、特に大型の焼結体を焼成する場合に安定
して均質な焼結体が得られる。本発明の焼結体では珪化
チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた少なくとも
１種の珪化物が0.1〜３重量％含まれるが、３重量％よ
り多く添加すると高温での機械的強度が低下し、また
0.1重量％より少ないと組織の均質化に充分寄与が認め
られない。
上記希土類酸化物と酸化マグネシウムとで形成する融液
中で窒化珪素がα相からβ相へ転移する際の核として作
用すると考えられ、相転移を促進すると共に組織の均質
化にも寄与し、特に大型の焼結体を焼成する場合に安定
して均質な焼結体が得られる。本発明の焼結体では珪化
チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた少なくとも
１種の珪化物が0.1〜３重量％含まれるが、３重量％よ
り多く添加すると高温での機械的強度が低下し、また
0.1重量％より少ないと組織の均質化に充分寄与が認め
られない。
本発明の窒化珪素質焼結体には、１種類以上の希土類酸
化物１〜15重量％、酸化マグネシウム１〜８重量％、珪
化チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた少なくと
も１種の珪化物 0.1〜 3重量％が含まれるが、これら組
成の組み合わせにより初めて本課題が達成された。
化物１〜15重量％、酸化マグネシウム１〜８重量％、珪
化チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた少なくと
も１種の珪化物 0.1〜 3重量％が含まれるが、これら組
成の組み合わせにより初めて本課題が達成された。
本発明の窒化珪素質焼結体の製造方法は、１種類以上の
希土類酸化物１〜15重量％、酸化マグネシウム１〜８重
量％、珪化チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた
少なくとも１種の珪化物 0.1〜 3重量％及び残部が窒化
珪素からなる混合粉末を成形し、該成形体を窒素ガスを
含む雰囲気中で焼結するものである。
希土類酸化物１〜15重量％、酸化マグネシウム１〜８重
量％、珪化チタンおよび珪化ジルコニウムより選ばれた
少なくとも１種の珪化物 0.1〜 3重量％及び残部が窒化
珪素からなる混合粉末を成形し、該成形体を窒素ガスを
含む雰囲気中で焼結するものである。
本発明において使用される窒化珪素粉末は、α型の結晶
構造をもつ窒化珪素粉末が焼結性の点から好ましいが、
β型あるいは非晶質窒化珪素粉末が含まれていてもかま
わない。焼結時に十分に高い嵩密度とするためには、平
均粒径５μｍ以下の微粒子である。焼結助剤として添加
する希土類酸化物、酸化マグネシウム、各種珪化物も均
質かつ高密度の焼結体を得るためには平均粒径が10μｍ
以下の微粒子であることが好ましい。
構造をもつ窒化珪素粉末が焼結性の点から好ましいが、
β型あるいは非晶質窒化珪素粉末が含まれていてもかま
わない。焼結時に十分に高い嵩密度とするためには、平
均粒径５μｍ以下の微粒子である。焼結助剤として添加
する希土類酸化物、酸化マグネシウム、各種珪化物も均
質かつ高密度の焼結体を得るためには平均粒径が10μｍ
以下の微粒子であることが好ましい。
本発明方法においては、これらの各成分の混合はアセト
ンもしくはn-ヘキサン等の溶媒を用い、窒化珪素もしく
は炭化珪素のポット及びボールを用いて遊星型混合機で
行なう。このように調整された混合粉末を加圧成形し所
定の形状の成形体とする。成形法としては、公知の成形
法により行なう。例えば、板状体では１軸成形圧10〜10
0MPa、２次静水圧成形圧 150〜700MPaで成形する。
ンもしくはn-ヘキサン等の溶媒を用い、窒化珪素もしく
は炭化珪素のポット及びボールを用いて遊星型混合機で
行なう。このように調整された混合粉末を加圧成形し所
定の形状の成形体とする。成形法としては、公知の成形
法により行なう。例えば、板状体では１軸成形圧10〜10
0MPa、２次静水圧成形圧 150〜700MPaで成形する。
この成形体を1600〜2000℃で加熱焼結し、焼結体を得
る。焼結方法としては、常圧焼結法、ホットプレス焼結
法、ガス圧焼結法、熱間静水圧プレス焼結法の何れの方
法も用いることが可能であり、更に一種もしくは複数の
焼結法を組み合わせることも可能である。
る。焼結方法としては、常圧焼結法、ホットプレス焼結
法、ガス圧焼結法、熱間静水圧プレス焼結法の何れの方
法も用いることが可能であり、更に一種もしくは複数の
焼結法を組み合わせることも可能である。
焼結時の雰囲気は窒化珪素の高温での分解を抑制するた
めの窒化ガスを含む雰囲気であることが好ましい。窒化
珪素は窒素ガス１気圧下では約1800℃以上で分解が生じ
るため、1800℃以上で焼結する際は、その焼結温度の窒
素ガス圧をその温度における窒化珪素の分解臨界圧力以
上に設定する必要がある。
めの窒化ガスを含む雰囲気であることが好ましい。窒化
珪素は窒素ガス１気圧下では約1800℃以上で分解が生じ
るため、1800℃以上で焼結する際は、その焼結温度の窒
素ガス圧をその温度における窒化珪素の分解臨界圧力以
上に設定する必要がある。
焼結の際には、1500〜1600℃で希土類酸化物、酸化マグ
ネシウム及び珪化チタン、珪化ジルコニウムなどの液相
を均一に分布させるために30分以上保持し、充分に窒化
珪素を濡らさせる。さらに、1600〜2000℃で上記液相中
に窒化珪素が溶解し再析出することで結晶相転移が生じ
ると伴に、緻密化し焼結する。この溶解・再析出過程
で、融液中の固溶限界があるため、30分以上の保持が必
要である。
ネシウム及び珪化チタン、珪化ジルコニウムなどの液相
を均一に分布させるために30分以上保持し、充分に窒化
珪素を濡らさせる。さらに、1600〜2000℃で上記液相中
に窒化珪素が溶解し再析出することで結晶相転移が生じ
ると伴に、緻密化し焼結する。この溶解・再析出過程
で、融液中の固溶限界があるため、30分以上の保持が必
要である。
作用 本発明の窒化珪素質焼結体には、１種類以上の希土類酸
化物、酸化マグネシウム、珪化チタンおよび珪化ジルコ
ニウムより選ばれた少なくとも１種の珪化物が含まれる
が、これら組成の組み合わせにより、得られた焼結体は
柱状結晶粒が絡み合いかつ均質な組織を呈し、抗折強さ
が室温で1000 MPa以上の高強度、靭性が 6.5MPam1/2以
上の高靭性を有する。また、高温酸化性雰囲気下であっ
ても機械的強度の低下が小さい等の耐熱性を有するため
構造材料としての信頼性が高い。
化物、酸化マグネシウム、珪化チタンおよび珪化ジルコ
ニウムより選ばれた少なくとも１種の珪化物が含まれる
が、これら組成の組み合わせにより、得られた焼結体は
柱状結晶粒が絡み合いかつ均質な組織を呈し、抗折強さ
が室温で1000 MPa以上の高強度、靭性が 6.5MPam1/2以
上の高靭性を有する。また、高温酸化性雰囲気下であっ
ても機械的強度の低下が小さい等の耐熱性を有するため
構造材料としての信頼性が高い。
特に高い機械的強度を有する焼結体を得るためには、ホ
ットプレス法を用いると室温における抗折強さが1500 M
Pa程度と極めて高い焼結体が得られている。また複雑形
状の焼結体を得るためには、常圧焼結法、ガス圧焼結
法、熱間静水圧プレス焼結法を用いることが好ましい
が、特に高い靭性を有する焼結体を得るためにはガス圧
焼結法を用いることが望ましい。常圧焼結後ガス圧焼結
を施したものでは、柱状粒がよく発達するため、靭性値
ＫICが 8.6MPam1/2と極めて高い焼結体が得られてい
る。
ットプレス法を用いると室温における抗折強さが1500 M
Pa程度と極めて高い焼結体が得られている。また複雑形
状の焼結体を得るためには、常圧焼結法、ガス圧焼結
法、熱間静水圧プレス焼結法を用いることが好ましい
が、特に高い靭性を有する焼結体を得るためにはガス圧
焼結法を用いることが望ましい。常圧焼結後ガス圧焼結
を施したものでは、柱状粒がよく発達するため、靭性値
ＫICが 8.6MPam1/2と極めて高い焼結体が得られてい
る。
実施例 次に本発明の実施例を比較例と共に説明する。
実施例１ 窒化珪素粉末（平均粒径 0.5μｍ、α化率97％以上）に
希土類酸化物粉末、酸化マグネシウム粉末、及び各種珪
化物粉末を第１表に示す所定量（重量％）添加し、溶媒
としてアセトンを用いて窒化珪素製ボールミルで24時間
混練した。
希土類酸化物粉末、酸化マグネシウム粉末、及び各種珪
化物粉末を第１表に示す所定量（重量％）添加し、溶媒
としてアセトンを用いて窒化珪素製ボールミルで24時間
混練した。
なお、用いた希土類酸化物粉末は、酸化イットリウム粉
末としてY2O3粉末（平均粒径 0.3μｍ）、酸化セリウム
粉末としてCeO2粉末（平均粒径1.0 μｍ）、酸化ランタ
ン粉末としてLa2O3粉末（平均粒径1.0 μｍ）である。
酸化マグネシウム粉末はMgO 粉末（平均粒径 0.2μｍ）
である。各種珪化物は、珪化チタンとしてTiSi2粉末
（平均粒径 2μｍ）、珪化ジルコニウムとしてZrSi2 粉
末（平均径 2μｍ）である。
末としてY2O3粉末（平均粒径 0.3μｍ）、酸化セリウム
粉末としてCeO2粉末（平均粒径1.0 μｍ）、酸化ランタ
ン粉末としてLa2O3粉末（平均粒径1.0 μｍ）である。
酸化マグネシウム粉末はMgO 粉末（平均粒径 0.2μｍ）
である。各種珪化物は、珪化チタンとしてTiSi2粉末
（平均粒径 2μｍ）、珪化ジルコニウムとしてZrSi2 粉
末（平均径 2μｍ）である。
次いで得られた混合粉末を乾燥、成形後焼結した。成形
条件としては金型１軸成形圧100MPa、冷間静水圧による
加圧700MPaとし、50mm×50mm×10mmの板状体を得た。常
圧焼結条件としては窒素ガス雰囲気大気圧中、1600℃の
温度にて２時間保持後、1750℃の温度にて５時間保持で
ある。
条件としては金型１軸成形圧100MPa、冷間静水圧による
加圧700MPaとし、50mm×50mm×10mmの板状体を得た。常
圧焼結条件としては窒素ガス雰囲気大気圧中、1600℃の
温度にて２時間保持後、1750℃の温度にて５時間保持で
ある。
ガス圧焼結の場合は、予め上記常圧焼結を施した後、窒
素ガス雰囲気中４MPa の気圧下で、温度2000℃、保持時
間１時間の条件で行った。
素ガス雰囲気中４MPa の気圧下で、温度2000℃、保持時
間１時間の条件で行った。
また、熱間静水圧プレス焼結の場合は、ガス圧焼結と同
様の予め上記常圧焼結を施した後、窒素ガス雰囲気中10
0 MPa の気圧下で、温度1800℃、保持時間１時間の条件
で行った。
様の予め上記常圧焼結を施した後、窒素ガス雰囲気中10
0 MPa の気圧下で、温度1800℃、保持時間１時間の条件
で行った。
本発明により得られた各焼結体の特性を焼結助剤の添加
量、焼結条件と共に第１表に示す。機械的強度について
は、JIS R1601 に準拠し室温及び窒素雰囲気中1200℃に
て３点曲げ試験を行い抗折強さとして測定した。靭性に
ついてはSEPB（Single Edge Pre-cracked Beam）法によ
り破壊靭性値ＫICを測定した。
量、焼結条件と共に第１表に示す。機械的強度について
は、JIS R1601 に準拠し室温及び窒素雰囲気中1200℃に
て３点曲げ試験を行い抗折強さとして測定した。靭性に
ついてはSEPB（Single Edge Pre-cracked Beam）法によ
り破壊靭性値ＫICを測定した。
第１表に示すように、本発明の実施例によるものは抗折
強さ、靭性共に優れるが、比較例に該当する試料では本
発明の実施例と比べて特に室温抗折強さ及び靭性が劣る
ことが確認された。
強さ、靭性共に優れるが、比較例に該当する試料では本
発明の実施例と比べて特に室温抗折強さ及び靭性が劣る
ことが確認された。
実施例２ 前記実施例１と同様に混合粉末を作製し、ホットプレス
焼結により焼結体を作製した。ホットプレス条件は黒鉛
ダイス中にて窒素ガス雰囲気中、40 MPaの圧力下で温度
1700〜1750℃の範囲、保持時間１時間とした。実施例１
と同様に焼結体の特性を焼結助剤の添加量、ホットプレ
ス条件と共に第２表に示す。
焼結により焼結体を作製した。ホットプレス条件は黒鉛
ダイス中にて窒素ガス雰囲気中、40 MPaの圧力下で温度
1700〜1750℃の範囲、保持時間１時間とした。実施例１
と同様に焼結体の特性を焼結助剤の添加量、ホットプレ
ス条件と共に第２表に示す。
実施例１同様、本発明による焼結体の特性は抗折強さ、
靭性共に優れるが、比較例に該当する試料では本発明の
実施例と比べて特に室温抗折強さ及び靭性が劣ることが
確認された。
靭性共に優れるが、比較例に該当する試料では本発明の
実施例と比べて特に室温抗折強さ及び靭性が劣ることが
確認された。
発明の効果 本発明によれば、上記の如く耐熱性を十分に備えた窒化
珪素質焼結体において、機械的強度、靭性をより優れた
ものとすることが可能となった。このことにより信頼性
の非常に優れた窒化珪素質焼結体の作製が可能となり、
その工業的有用性は非常に大きい。
珪素質焼結体において、機械的強度、靭性をより優れた
ものとすることが可能となった。このことにより信頼性
の非常に優れた窒化珪素質焼結体の作製が可能となり、
その工業的有用性は非常に大きい。
Claims (2)
- 【請求項１】１種類以上の希土類酸化物１〜15重量％、
酸化マグネシウム１〜８重量％、珪化チタンおよび珪化
ジルコニウムより選ばれた少なくとも１種の珪化物 0.1
〜 3重量％及び残部が窒化珪素からなることを特徴とす
る窒化珪素質焼結体。 - 【請求項２】１種類以上の希土類酸化物１〜15重量％、
酸化マグネシウム１〜８重量％、珪化チタンおよび珪化
ジルコニウムより選ばれた少なくとも１種の珪化物 0.1
〜 3重量％及び残部が窒化珪素からなる混合粉末を成形
し、該成形体を窒素ガスを含む雰囲気中で焼結すること
を特徴とする窒化珪素質焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63309824A JPH0633171B2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63309824A JPH0633171B2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02157162A JPH02157162A (ja) | 1990-06-15 |
| JPH0633171B2 true JPH0633171B2 (ja) | 1994-05-02 |
Family
ID=17997702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63309824A Expired - Lifetime JPH0633171B2 (ja) | 1988-12-09 | 1988-12-09 | 窒化珪素質焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0633171B2 (ja) |
-
1988
- 1988-12-09 JP JP63309824A patent/JPH0633171B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02157162A (ja) | 1990-06-15 |
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