JPH06335663A - オーバーフロー型洗浄装置 - Google Patents

オーバーフロー型洗浄装置

Info

Publication number
JPH06335663A
JPH06335663A JP15104093A JP15104093A JPH06335663A JP H06335663 A JPH06335663 A JP H06335663A JP 15104093 A JP15104093 A JP 15104093A JP 15104093 A JP15104093 A JP 15104093A JP H06335663 A JPH06335663 A JP H06335663A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cleaning
fluid
cleaning liquid
tank
overflow
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15104093A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoko Kubota
葉子 窪田
Nobuyuki Kudo
信之 工藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Priority to JP15104093A priority Critical patent/JPH06335663A/ja
Publication of JPH06335663A publication Critical patent/JPH06335663A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被洗浄物の全面に有効に洗浄液を供給でき、
洗浄液の効率的な利用ができるオーバーフロー型洗浄装
置を提供すること。 【構成】 洗浄槽14の底部に、上方が広く下方が狭い
ラッパ型のスリット状でその上端が流体吐出口11a、
下端が流体流入口11bとなっており、該流体吐出口1
1bが洗浄槽14の底部に開口し、下端の流体流入口1
1aの近傍にループ管路11cを有する流体吐き出し口
11を設け、洗浄槽14内に流入する洗浄液の流れ方向
を動力を用いることなく周期的に変えるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は洗浄槽に被洗浄物を収容
し、該洗浄槽底部から洗浄液を連続的又は断続的に供給
し洗浄液を洗浄槽上部からオーバーフローさせながら、
該被洗浄物を洗浄するオーバーフロー型洗浄装置に関す
るものである。
【0002】
【従来技術】従来、この種のオーバーフロー型洗浄装置
は、洗浄槽の底面に設けられた多数の孔から略均一に洗
浄液を供給し、洗浄槽上端のオーバーフロー機構から該
洗浄液をオーバーフローさせ、洗浄槽内に収容した被洗
浄物を洗浄するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のオーバーフロー型洗浄装置では、洗浄液の洗浄槽内
での流れの状態が一定であるため、常時影又は淀みとな
る部分が生じ、被洗浄物の全体にわたって、良好に洗浄
液を供給することができないという問題があった。ま
た、多くの場合、より洗浄が必要な流れ抵抗が大きい部
分への流量が相対的に非常に小さくなり、その部分に洗
浄液の一定流量を確保しようとした場合、全体として多
大な洗浄液が必要とされるという問題もあった。
【0004】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
上記問題点を除去し、被洗浄物の全面に有効に洗浄液を
供給でき、洗浄液の効率的に利用できるオーバーフロー
型洗浄装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は、洗浄槽14を具備し、該洗浄槽14の底部に
洗浄液を供給する一個以上の洗浄液供給部を設け、該洗
浄液供給部から該洗浄槽14内に洗浄液を供給し、該洗
浄液を該洗浄槽14の上部からオーバーフローさせ、該
洗浄槽内に収容された被洗浄物12を洗浄するオーバー
フロー型洗浄装置において、洗浄液供給部は図1及び図
2に示すように、洗浄槽14内に流入する洗浄液の流れ
方向を、動力を用いることなく周期的に変える流体吐き
出し口11であることを特徴とする。
【0006】また、流体吐き出し口11は上方が広く下
方が狭いラッパ型のスリット状でその上端が流体吐出口
11a、下端が流体流入口11bとなっており、該流体
吐出口11aが洗浄槽14の底部に開口し、下端の流体
流入口11bの近傍にループ管路11cを設けたことを
特徴とする。
【0007】また、ループ管路11cは、図6又は図7
に示すように、該ループ管路11cを流れる流体の流量
又は伝達速度を調節できるオリフィス18又はバルブ1
9を設けた構造であることを特徴とする。
【0008】また、流体吐き出し口は2個以上であり、
そのループ管路11cを図4に示すように連結管で互い
に連通したことを特徴とする。
【0009】
【作用】本発明は上記構成を採用することにより、洗浄
槽14内の洗浄液の流れ方向が変化することによって、
該洗浄槽14内の洗浄液の流速分布が変動し、流れの影
又は淀みとなっている場所も流れ方向の変化に伴って移
動する。従って、洗浄槽14に収容された被洗浄物12
を動かすことなく、被洗浄物12の表面に洗浄液の供給
が極端に少ない場所ができなくなる。
【0010】周期的に流体の流れ方向を変える吐き出し
口として、ラッパ型のスリット状で、下端の流体流入口
11bの近傍にループ管路11cを設けているので、図
5(a)に示すようにコアンダ効果によって主噴出流が
流体吐き出し口11の右側に偏っている場合、ループ管
路11cの右側口11c−2の圧力はループ管路11c
の左側口11c−1の圧力より低いので、流体吐き出し
口11の流体の一部は吐き出し口11の左側の壁に沿っ
てループ管路11cの左側口11c−1へ流入し、ルー
プ管路11cを経て右側口11c−2から流出し、主噴
出流を左へ押す。主噴出流が左側に押されると今度は左
側の壁との間にコアンダ効果が生じて図5(b)のよう
に左側へ偏る。これにより左側でも上記と同様な現象が
生じ、主噴出流は再度右側へ偏る。以上のような現象が
繰り返されて、流体吐き出し口11から流出する流体の
流れ方向は左右に発振する。
【0011】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1乃至図3は本発明のオーバーフロー型洗浄装
置の概略構成を示す図で、図1は正断面図、図2は側断
面図、図3はループ状の管路部分の拡大図である。図に
おいて、14は洗浄槽であり、該洗浄槽14の底部には
複数の流体吐き出し口11が設けられている。該流体吐
き出し口11は上方が広く下方が狭いラッパ型のスリッ
ト状で、上端が流体吐出口11a、下端が流体流入口1
1bとなっている。そして該流体吐出口11aが洗浄槽
14の底部に開口し、下端の流体流入口11bの近傍に
ループ状の管路11cを設けた構造である。また、流体
流入口11bは洗浄液を供給する洗浄液供給管17に接
続されている。
【0012】上記構成のオーバーフロー型洗浄装置にお
いて、洗浄槽14内に被洗浄物12が収納された被洗浄
物キャリア13を入れ、洗浄槽14内に洗浄液供給管1
7から流体吐き出し口11を経由して流体洗浄液を供給
することにより、洗浄液は洗浄槽14を満たし、その上
端のオーバーフロー機構15からオーバーフローする。
この洗浄液が流体吐き出し口11から洗浄槽14に流入
するとき、その流れはラッパ型の流体吐き出し口11内
を左右に発振する流れとなる。
【0013】流体吐き出し口11はその上端の流体吐出
口11aが、被洗浄物キャリア13の被洗浄物12の真
下に位置するように、被洗浄物12の数及び間隔に合わ
せて設けられ、キャリア位置ガイド16で洗浄槽14内
での被洗浄物キャリア13の位置を指定保持し、洗浄液
の供給口と被洗浄物との位置関係を規定している。ま
た、洗浄槽14の底部は、被洗浄物キャリア13の形状
に合わせて形成され、該被洗浄物キャリア13の形状に
合わせて形成され、キャリアの保持機構を兼ねると共
に、洗浄液が周囲に流れることなく有効に利用できるよ
うにしている。
【0014】図5(a)及び(b)は上述のように流体
吐き出し口11内の流体の流れを説明するための図であ
る。図5(a)に示すようにコアンダ効果によって主噴
出流Mが流体吐き出し口11の右側に偏っている場合、
ループ管路11cの右側口11c−2の圧力はループ管
路11cの左側口11c−1の圧力より低いので、流体
吐き出し口11の流体の一部は流体吐き出し口11の左
側の壁に沿ってループ管路11cの左側口11c−1へ
流入する。そして、ループ管路11cを経て右側口11
c−2から流出し、主噴出流Mを左へ押す。
【0015】主噴出流Mが左側に押されると今度は左側
の壁との間にコアンダ効果が生じて図5(b)のように
左側へ偏る。これにより左側でも上記と同様な現象が生
じ、即ち、ループ管路11cの左側口11c−1の圧力
はループ管路11cの右側口11c−2の圧力より低い
ので、流体吐き出し口11の流体の一部は流体吐き出し
口11の右側の壁に沿ってループ管路11cの右側口1
1c−2へ流入する。そして、ループ管路11cを経て
左側口11c−1から流出し、主噴出流Mを右へ押し、
主噴出流は再度左側へ偏る。以上のような現象が繰り返
されて、流体吐き出し口11から流出する流体の流れ方
向は左右に発振する。
【0016】ここでループ管路11cの途中に、図6及
び図7に示すようにオリフィス18又はバルブ19等を
設け、該ループ管路11cを通る洗浄液の流量を制御す
ると、コアンダ効果が制御されることにより、流れ方向
の発振周期を制御することができる。また、ループ管路
11cの長さを調節することにより、圧力伝達速度を制
御して流れ方向の発振周期を制御することが可能であ
る。
【0017】オーバーフロー型洗浄装置が図1及び図2
に示すような構造ではなく、被洗浄物キャリア13の底
部開口部から洗浄液が定常的に流入する構造である場合
は、被洗浄物12の開口部上部の流速は大きいが、周辺
部の流速は被洗浄物キャリア13の影になるため常時小
さくなり、被洗浄物12上では場所によって洗浄液の供
給量が大きくなることになる。また、オーバーフロー型
であるから、洗浄槽14の洗浄液表面付近では中心部の
流速が常時小さく、表面中心付近は洗浄液が滞留し易い
ため、被洗浄物から脱離していた汚染物も滞留し、それ
が被洗浄物の引上げ時に再付着する可能性がある。
【0018】本実施のオーバーフロー型洗浄装置では図
1及び図2に示す構成としているから、洗浄槽14内で
の洗浄液の流れは周期的にその流れ方向が変化するた
め、被洗浄物キャリア13の影になりがちな被洗浄物1
2の周辺部にも洗浄液が供給され、被洗浄物12の表面
の場所毎の洗浄液の供給量が平均される。また、洗浄液
の流速分布が変化するため、洗浄液の滞留部も移動し、
洗浄中特定の箇所に滞留部ができることがない。従っ
て、洗浄液の供給が特異的に少なくなる場所ができるこ
と無く、被洗浄物12を洗浄槽14から引き上げる時の
汚染物の再付着の可能性も小さくなる。
【0019】また、ループ管路11cを図3に示すよう
に各流体吐き出し口11毎に独立させて設けている場
合、各流体吐き出し口11のループ管路11cの圧力分
布が一定でないことから、各流体吐き出し口11の洗浄
液の流れ方向が変化する周期はまちまちとなるが、図4
に示すようにループ管路11cを連結管20で互いに連
通させることにより、各流体吐き出し口11のループ管
路11cの圧力分布が同調するから、各流体吐き出し口
11からの洗浄液の流れ方向の変化が同調し、洗浄時の
各瞬間における特定部分での流速を大きくすることがで
きる。
【0020】また、洗浄槽14の底部に取り付ける流体
吐き出し口11は図8に示すように、流体吐き出し口1
1と流体吐き出し口11の間に所定の間隔pを設けたセ
パレート型としても良いし、図9に示すように、流体吐
き出し口11と流体吐き出し口11との間に間隔を設け
ない連続型としてもよい。また、この場合も図示は省略
するがループ管路11cとループ管路11cとを連結管
で互いに連通することにより、各流体吐き出し口11か
らの洗浄液の流れ方向の変化を同調させることができ
る。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、洗
浄槽内に流入する洗浄液の流れが周期的にその流れの方
向を変えるので、下記のような優れた効果が得られる。 (1)被洗浄物の全表面に洗浄液が有効に供給されて洗
浄効果が向上する。 (2)洗浄液が被洗浄物と無関係に消費される量が少な
くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のオーバーフロー型洗浄装置の概略構成
を示す正断面図である。
【図2】本発明のオーバーフロー型洗浄装置の概略構成
を示す側断面図である。
【図3】本発明のオーバーフロー型洗浄装置のループ状
の管路部分の拡大図である。
【図4】本発明のオーバーフロー型洗浄装置の他のルー
プ状の管路部分の拡大図である。
【図5】流体吐き出し口の流体の流れを説明するための
図である。
【図6】流体吐き出し口の他の構成例を示す図である。
【図7】流体吐き出し口の他の構成例を示す図である。
【図8】本発明のオーバーフロー型洗浄装置の流体吐き
出し口の配置例を示す図である。
【図9】本発明のオーバーフロー型洗浄装置の流体吐き
出し口の配置例を示す図である。
【符号の説明】
11 流体吐き出し口 12 被洗浄物 13 被洗浄物キャリア 14 洗浄槽 15 オーバーフロー機構 16 キャリア位置ガイド 17 洗浄液供給管 18 オリフィス 19 バルブ 20 連結管

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄槽を具備し、該洗浄槽の底部に洗浄
    液を供給する一個以上の洗浄液供給部を設け、該洗浄液
    供給部から該洗浄槽内に洗浄液を供給し、該洗浄液を該
    洗浄槽の上部からオーバーフローさせ、該洗浄槽内に収
    容された被洗浄物を洗浄するオーバーフロー型洗浄装置
    において、 前記洗浄液供給部は前記洗浄槽内に流入する洗浄液の流
    れ方向を、動力を用いることなく周期的に変える流体吐
    き出し口であることを特徴とするオーバーフロー型洗浄
    装置。
  2. 【請求項2】 前記流体吐き出し口は上方が広く下方が
    狭いラッパ型のスリット状で、その上端が流体吐出口、
    下端が流体流入口となっており、該流体吐出口が前記洗
    浄槽底部に開口し、下端の流体流入口近傍にループ状の
    管路を設けたことを特徴とする請求項1に記載のオーバ
    ーフロー型洗浄装置。
  3. 【請求項3】 前記ループ状の管路は、該管路を流れる
    流体の流量又は伝達速度を調節できる構造であることを
    特徴とする請求項2に記載のオーバーフロー型洗浄装
    置。
  4. 【請求項4】 前記流体吐き出し口は2個以上であり、
    そのループ状の管路を互いに連通させたことを特徴とす
    る請求項2又は3に記載のオーバーフロー型洗浄装置。
JP15104093A 1993-05-28 1993-05-28 オーバーフロー型洗浄装置 Pending JPH06335663A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15104093A JPH06335663A (ja) 1993-05-28 1993-05-28 オーバーフロー型洗浄装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15104093A JPH06335663A (ja) 1993-05-28 1993-05-28 オーバーフロー型洗浄装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06335663A true JPH06335663A (ja) 1994-12-06

Family

ID=15509990

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15104093A Pending JPH06335663A (ja) 1993-05-28 1993-05-28 オーバーフロー型洗浄装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06335663A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100465520B1 (ko) * 2002-02-05 2005-01-13 (주) 대흥 팽창 버미큘라이트를 이용한 단열성 도료 조성물
JP2012020268A (ja) * 2010-07-16 2012-02-02 Panasonic Electric Works Co Ltd 洗浄機構

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100465520B1 (ko) * 2002-02-05 2005-01-13 (주) 대흥 팽창 버미큘라이트를 이용한 단열성 도료 조성물
JP2012020268A (ja) * 2010-07-16 2012-02-02 Panasonic Electric Works Co Ltd 洗浄機構

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR0143751B1 (ko) 침지형 기판처리장치
JP2005324016A (ja) 一体化された構成の配水器を有する衣類洗濯機
CN101877989A (zh) 具有水分配机构的带水运行的家用器具
US3797509A (en) Table ware washer
TW434668B (en) Wafer rinse apparatus and rinse method of the same
CN103917711A (zh) 用于洗衣机的供水装置
JP2000042283A (ja) ドラム式気泡洗濯機の気泡発生装置
JPH06335663A (ja) オーバーフロー型洗浄装置
WO2018061735A1 (ja) 散水部材及び吐水装置
CN110833366B (zh) 喷洗装置和家用清洗设备
KR20010050040A (ko) 초청정액체를 갖는 수세조
JP3327981B2 (ja) 洗浄液槽及び洗浄装置
ITPN980001A1 (it) Lavastoviglie con dispositivi di spruzzatura azionabili selettivamente
JPH06156678A (ja) 基板搬送装置の発塵防止装置
KR0134839Y1 (ko) 전자동 세탁기의 샤워 급수 구조
JPS6142917A (ja) 洗浄装置
JP2539732Y2 (ja) ウェーハ洗浄装置
JPH06165749A (ja) 浴槽洗浄装置
KR102336793B1 (ko) 기화기
CN2447349Y (zh) 洗衣机喷流条装置
CN221383440U (zh) 喷液装置及清洁设备
KR200158954Y1 (ko) 드럼세탁기 냉,온수분배기의 역류방지구조
JPH04247621A (ja) 洗浄槽
JPS62250190A (ja) 帯状走行体の洗滌装置
KR100302391B1 (ko) 축소-확대노즐형상의분출공들을가지는공기방울발생장치