JPH0633646U - 防水プレート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイシング装置等の精密切削装置における防
水プレートであって、可動プレートの穴を大きくするこ
となく、その穴に挿通したスピンドルハウジングとの接
触を未然に防止できるようにする。 【構成】 ダイシング装置等の精密切削装置における切
削領域と、機械領域とを仕切る防水プレートにおいて、
防水プレートは可動プレートと、この可動プレートを摺
動自在に保持する固定枠とから構成され、可動プレート
の中央部にはスピンドルハウジングを挿通する穴が穿設
され、この穴の周囲の２箇所以上にスピンドルハウジン
グと穴との接触を避けるためのベアリングを配設する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ダイシング装置等の精密切削装置で半導体ウェーハをダイシングす る際に、切削水や切削屑等が機械本体側に飛ばないようにするための防水プレー トに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来の防水プレートは、例えば図５に示すように固定枠１と、この固定枠１に 上下方向又は所定の曲率半径で円周方向に移動可能に保持された可動プレート２ とから構成され、可動プレート２にはスピンドルハウジング３を挿通する穴２ａ が設けられている。 前記スピンドルハウジング３にはスピンドル４が保持され、その先端部に回転 ブレード５が取り付けられており、テーブル６上に載置された半導体ウェーハ７ をノズル８から切削水８ａを掛けながら回転ブレード５でダイシングし、その際 切削領域Ａで飛散する切削水や切削屑等が機械領域Ｂ側に侵入しないように防水 プレートＣで防いでいる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

前記従来の防水プレートＣによると、スピンドルハウジング３の前後移動の際 に可動プレート２の穴２ａに擦れたり引っ掛かったりして可動プレート２を破損 することがあり、スピンドルハウジング３の適正な動きが阻害されてダイシング の加工不良を来すこともある。このような不具合を防止するには、スピンドルハ ウジング３が接触しないように可動プレート２の穴２ａを大きくすれば良いが、 スピンドルハウジング３との隙間が大きくなるため切削水や切削屑等が機械領域 Ｂ側に侵入し易い事態が生じる。

【０００４】 本考案は、前記従来の事態に鑑みなされたもので、可動プレートの穴を大きく することなくスピンドルハウジングとの接触を未然に防止できるようにした、防 水プレートを提供することを課題としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、半導体ウェーハを ダイシングするダイシング装置等の精密切削装置における切削領域と、機械領域 とを仕切る防水プレートにおいて、防水プレートは可動プレートと、この可動プ レートを摺動自在に保持する固定枠とから構成され、可動プレートの中央部には スピンドルハウジングを挿通する穴が穿設され、この穴の周囲の２箇所以上にス ピンドルハウジングと穴との接触を避けるためのベアリングが配設されているこ とを要旨とするものである。 更に、可動プレート又は固定枠のいずれかに摺動を円滑にするための凹凸が形 成されていることを要旨とするものである。

【０００６】

【作 用】

スピンドルハウジングは、ベアリングによってガイドされて前後移動が安定良 く行われるため可動プレートの穴に接触することはなく、しかも可動プレートの 穴を大きくする必要がないので切削水や切削屑等が機械領域側に侵入するのを確 実に防止することができる。更に、可動プレート又は固定枠に凹凸を形成するこ とにより、可動プレートを円滑に摺動することができる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する（但し、従来例と同じ部 材は前記と同一の符号を付す）。 図１において、１は固定枠であり、切削領域Ａと機械領域Ｂとを仕切っており、 その内部には可動プレート２が上下方向に直線的に又は所定の曲率半径で移動可 能に保持されている。

【０００８】 前記可動プレート２は、中央部にスピンドルハウジング３を挿通するための穴 ２ａが形成され、図２のように一方の面には固定枠１に対する摺動を円滑にする ために上下方向をなす突条２ｂが一定の間隔をあけて並設されている。この突条 ２ｂは可動プレート２の両面に形成しても良く、或は可動プレート２には形成せ ずに前記固定枠１の内面側に形成しても良い。

【０００９】 ９はベアリングであり、図３、図４のようにステー１０を介して前記可動プレ ート２の穴２ａの周囲に３箇所取り付けられ、前記スピンドルハウジング３の前 後移動をガイドする。つまり、ベアリング９の外輪がスピンドルハウジング３の 外周面に接触して回転し、スピンドルハウジング３の前後の動きを円滑に行える ようにしてある。 又、スピンドルハウジング３は外周の上部と側部の両側とでベアリング９によ り三点支持されていることから、スピンドルハウジング３の外周面と前記可動プ レート２の穴２ａとの間は常に一定の間隔が保持され、しかもこの間隔は必要最 小限の極小で良いことになる。従って、可動プレート２の穴２ａは従来よりも小 さくて済む。

【００１０】 更に、スピンドルハウジング３が上下動する際もベアリングによりスピンドル ハウジング３の外周面と前記可動プレート２の穴２ａとの間に一定の間隔が保持 されて可動プレート２がスピンドルハウジング３と共に動くため、スピンドルハ ウジング３が可動プレート２の穴２ａに接触することはない。 従って、可動プレート２を損傷したり、スピンドルハウジング３の適正な動き を阻害してダイシングの加工不良を来すようなことはなくなる。

【００１１】 ４はスピンドルハウジング３に回転可能に保持されたスピンドルであり、図１ のようにその先端部には回転ブレード５が取り付けられ、テーブル６上に載置さ れた半導体ウェーハ７をノズル８から切削水８ａを噴射しながら回転ブレード５ でダイシングする。この際、切削領域Ａで飛散する切削水や切削屑等が機械領域 Ｂ側に侵入しないように前記固定枠１と可動プレート２からなる防水プレートＣ で防ぐことができる。

【００１２】 尚、前記実施例ではベアリングを３箇所に配設したが、これに限定されずに少 なくとも２箇所に配設して実施することが可能であり、可動プレート又は固定枠 に設ける突条は前記のものに限定されず適宜の突起でも良く、要するに可動プレ ートと固定枠との接触面積を減少させるための凹凸が形成できれば良い。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、ダイシング装置等の固定枠と可動プレ ートとからなる防水プレートにおいて、可動プレートの穴の周囲にベアリングを ２箇所以上配設し、このベアリングで穴に挿通したスピンドルハウジングを保持 すると共にスピンドルハウジングの前後の動きをガイドするようにしたので、ベ アリングによってスピンドルハウジングの動きが安定良く行われて可動プレート の穴に接触することはなく、しかも可動プレートの穴を大きくする必要がないの で切削水や切削屑等が機械領域側に侵入するのを確実に防止できる等の優れた効 果を奏する。更に、可動プレート又は固定枠に凹凸を形成することにより、可動 プレートを円滑に摺動することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の実施例を示す要部の斜視図である。

【図２】 図１におけるＸ−Ｘ線断面図である。

【図３】 図１におけるＹ−Ｙ線断面図である。

【図４】 ベアリング部分の平面図である。

【図５】 従来例を示す要部の斜視図である。

【図６】 図５におけるＹ−Ｙ線断面図である。

【符号の説明】

１…固定枠 ２…可動プレート ２ａ…穴 ２ｂ
…突条 ３…スピンドルハウジング ４…スピンド
ル ５…回転ブレード ６…テーブル ７…半導体ウェーハ ８…ノズル ８ａ…切削水
９…ベアリング １０…ステー Ａ…切削領域
Ｂ…機械領域 Ｃ…防水プレート

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体ウェーハをダイシングするダイシ
   ング装置等の精密切削装置における切削領域と、機械領
   域とを仕切る防水プレートにおいて、防水プレートは可
   動プレートと、この可動プレートを摺動自在に保持する
   固定枠とから構成され、可動プレートの中央部にはスピ
   ンドルハウジングを挿通する穴が穿設され、この穴の周
   囲の２箇所以上にスピンドルハウジングと穴との接触を
   避けるためのベアリングが配設されている防水プレー
   ト。
2. 【請求項２】 可動プレート又は固定枠のいずれかに摺
   動を円滑にするための凹凸が形成されている、請求項１
   記載の防水プレート。