JPH0634705A - バーンインにおけるラッチアップ検知方法 - Google Patents

バーンインにおけるラッチアップ検知方法

Info

Publication number
JPH0634705A
JPH0634705A JP4195039A JP19503992A JPH0634705A JP H0634705 A JPH0634705 A JP H0634705A JP 4195039 A JP4195039 A JP 4195039A JP 19503992 A JP19503992 A JP 19503992A JP H0634705 A JPH0634705 A JP H0634705A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burn
latch
heat sensitive
sensitive paper
temperature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP4195039A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoji Kakiuchi
洋治 垣内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP4195039A priority Critical patent/JPH0634705A/ja
Publication of JPH0634705A publication Critical patent/JPH0634705A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 バーンインにより発生したラッチアップを目
視で簡単に検知できるようにする。 【構成】 バーンインボード２のソケット３に集積回路
デバイス１をセットした後、集積回路デバイス１の上面
に感熱紙４をのせ、この状態でバーンインを行い、感熱
紙４が変色することによってラッチアップが発生したこ
とを知る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ、ＬＳＩなどの
集積回路デバイスのバーンインにおけるラッチアップ検
知方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、集積回路デバイスをバーンインに
より試験・評価する際、バーンイン後にラッチアップが
内部回路で発生していたとしても、これを目視だけで検
知することができなかった。また、ラッチアップが発生
していても、破壊に至っていないデバイスについては、
デバイステストで不良を検知して排除することができな
い場合がある。そうなると、バーンインにより発生した
ラッチアップは、個々のデバイスひとつひとつをテスト
しなければ検知できず、従来は、バーンイン終了後にデ
バイステストを行い、バーンイン不良を分析していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
バーンイン終了後に個々にデバイステストを行っていた
ため、これに大変な手間と時間がかかるという問題があ
った。
【０００４】この発明の目的は、上記の問題を解決し、
バーンインにより発生したラッチアップを目視で簡単に
検知できる方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明によるバーンイ
ンにおけるラッチアップ検知方法は、集積回路デバイス
の上面に感熱材料をのせた状態でバーンインを行うこと
を特徴とするものである。
【０００６】感熱材料は、好ましくは、感熱紙である。
【０００７】
【作用】高温度（バーンイン装置内温度＋ラッチアップ
の起こったデバイスの自己発熱温度）で変色する感熱材
料を使用することにより、ラッチアップが起こった集積
回路デバイスを目視で簡単に検知することができる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例に
ついて説明する。
【０００９】図面は、集積回路デバイス(1) のバーンイ
ン装置の一部を示している。
【００１０】バーンイン装置は、バーンインボード(2)
、これに取り付けられた複数の集積回路デバイス搭載
用ソケット(3) 、感熱材料としての感熱紙(4) および感
熱紙(4) の押え板(5) を備えている。感熱紙(4) には、
バーンイン時にバーンイン装置内温度だけでは変色せ
ず、これにラッチアップの起こったデバイス(1) の自己
発熱温度が加わったときに変色するようなものが使用さ
れる。たとえば、バーンイン装置内の温度は１２０〜１
３０℃位であり、感熱紙(4) としては、これよりさらに
１５〜３０℃位高い温度で変色するものを用いる。
【００１１】上記の装置を使用してデバイス(1) のバー
ンインを行う場合、まず、デバイス(1) をソケット(3)
にセットし、これらのデバイス(1) の上面に感熱紙(4)
をのせ、感熱紙(4) を押え板(5) で押えてずれないよう
にし、このような状態でバーンインを行う。ラッチアッ
プが起こらないデバイス(1) については、温度があまり
上昇しないので、その部分の感熱紙(4) は変色しない。
ラッチアップが起こったデバイス(1) については、温度
が上昇するので、その部分の感熱紙(4) が変色する。し
たがって、感熱紙(4) が変色することによってその部分
のデバイス(1)にラッチアップが起こったことがわか
る。
【００１２】感熱紙(4) をシール状のものにして、これ
をデバイス(1) の上面に貼り付けるようにすることもで
きる。また、感熱材料を液化し、これをデバイス(1) の
上面に塗るようにしてもよい。
【００１３】
【発明の効果】この発明の方法によれば、上述のよう
に、バーンインにおける集積回路デバイスのラッチアッ
プを目視によって簡単に検知することができ、したがっ
て、従来のようにバーンイン後に個々にデバイステスト
を行う必要がないため、テスト時間の大幅な短縮が可能
となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施例を示す集積回路デバイスのバ
ーンイン装置の主要部縦断面図である。
【符号の説明】
(1) 集積回路デバイス (4) 感熱紙（感熱材料）

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】集積回路デバイスの上面に感熱材料をのせ
    た状態でバーンインを行うことを特徴とするバーンイン
    におけるラッチアップ検知方法。
  2. 【請求項２】感熱材料が感熱紙であることを特徴とする
    請求項１のバーンインにおけるラッチアップ検知方法。
JP4195039A 1992-07-22 1992-07-22 バーンインにおけるラッチアップ検知方法 Withdrawn JPH0634705A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4195039A JPH0634705A (ja) 1992-07-22 1992-07-22 バーンインにおけるラッチアップ検知方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4195039A JPH0634705A (ja) 1992-07-22 1992-07-22 バーンインにおけるラッチアップ検知方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0634705A true JPH0634705A (ja) 1994-02-10

Family

ID=16334528

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4195039A Withdrawn JPH0634705A (ja) 1992-07-22 1992-07-22 バーンインにおけるラッチアップ検知方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0634705A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS6469974A (en) Method and apparatus for diagnosing fault on circuit board
KR870007561A (ko) 피검사물의 표면 검사 장치
US6549025B1 (en) System and method for thermal testing of circuit boards using thermal films
JPH0634705A (ja) バーンインにおけるラッチアップ検知方法
JP2011215007A (ja) 試験装置及び試験方法
JP3818299B2 (ja) 電子回路検査装置
JPH05190637A (ja) 半導体集積回路の試験方法
JPH01182745A (ja) スルーホール欠陥検出装置
JPH05157820A (ja) 半導体装置故障診断方式
JPH01124737A (ja) フロリナートバブル試験方法
KR200194289Y1 (ko) 반도체 칩 검사 장비에서의 번-인 시스템
JP4062424B2 (ja) メモリテストシステム及びメモリテスト方法
JPS54162475A (en) Inspection unit for semiconductor device
JPH05142293A (ja) Ｉｃテスト方法、及びそのテスタ
KR19990065680A (ko) 나사체결이 가능한 반도체소자 제조장치
JPH06101496B2 (ja) 半導体デバイスの試験測定装置
Sun et al. A study on accelerated preconditioning test
JPH04177740A (ja) ウェハバーンイン装置
JPS60122378A (ja) 半導体装置の温度サイクル試験装置
JPH04299549A (ja) ウエハプローバ装置
Farnholtz Operational life testing of electronic components
JPH01171236A (ja) プローバ装置
JPH06112285A (ja) プローバ装置
JPS59225370A (ja) 実装されたプリント配線板の検査方法およびその装置
JP2003279617A (ja) Ｉｃチップのテスト方法及びそのテスト装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19991005