JPH06347501A - 表面弾性波型バンドパスフィルタ検査方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】組立前の段階において短絡不良を確実に検出す
る。 【構成】周波数分析器６０の出力端子６１から電気信号
を、同軸プローブＰ１、グランドプローブＧ１、Ｇ２及
びパッドを介し櫛形入力電極と櫛形グランド電極との間
に印加し、櫛形出力電極と櫛形グランド電極との間に生
じた電気信号を、パッド、同軸プローブＰ２及びグラン
ドプローブＧ３、Ｇ４を介し周波数分析器６０の入力端
子６２に供給して、表面弾性波型バンドパスフィルタの
通過帯域内の中心周波数付近の設定周波数範囲における
通過率を測定し、通過率が設定値以下になったとき不良
と判定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、チップ部品である表面
弾性波（ＳＡＷ）型バンドパスフィルタのパッケージン
グ前において、主に短絡不良を検出する検査方法及び装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】自動車電話や携帯電話等には、図７に示
すような表面弾性波型バンドパスフィルタが用いられて
いる。このフィルタはチップ部品であり、チップ１０
は、圧電性基板１１、例えばＬｉＴａＯ３基板に、アル
ミ等の金属膜がスパッタリング等で被着され、ホトエッ
チングにより電極パターンが形成された構成となってい
る。図７は、電極数を実際よりも少なくしている。

【０００３】櫛型グランド電極２０は、櫛型電極２１〜
２５が交互に反対方向を向いて連なっている。櫛型電極
２３、２２、２４、２１及び２５にはそれぞれ、パッド
ＧＮＤ０〜ＧＮＤ４が配線を介して接続されている。櫛
型入力電極３０は、櫛型電極２３と噛み合うように形成
され、配線を介しパッドＩＮに接続されている。櫛型出
力電極４０は、その櫛型電極４１及び４２がそれぞれ櫛
型電極２２及び２４と噛み合うように形成され、配線を
介してパッドＯＵＴに接続されている。櫛型反射電極５
１及び５２は、それぞれ櫛型電極２１及び２５と噛み合
うように形成され、エネルギー損失を低減していてる。

【０００４】パッドＩＮ、ＯＵＴ及びＧＮＤ０〜ＧＮＤ
４は、ワイヤボンダにより不図示の外部端子に接続され
る。上記構成において、櫛型入力電極３０と櫛型グラン
ド電極２０との間に高周波信号を入力すると、この電気
信号が逆圧電効果により表面弾性波に変換され、次いで
圧電効果により櫛型グランド電極２０と櫛型出力電極４
０との間の電気信号に変換される。

【０００５】図７は電極が１段構成であるが、通過帯域
の両側の抑圧帯域の減衰率を充分大きくするために、図
８に示すような、電極が２段の表面弾性波型バンドパス
フィルタが用いられている。図８において、図７と同一
及び類似の構成要素には、図７と同一及び類似の符号を
付している。図８は、電極数を実際よりも少なくしてい
る。

【０００６】櫛型グランド電極２０Ａは、互いに同一方
向に向いた櫛型電極２１Ａ〜２３Ａが連なっており、パ
ッドＧＮＤ１、ＧＮＤ２及びＧＮＤ０１、ＧＮＤ０２に
接続されている。櫛型入力電極３０は、その櫛型電極３
１、３２及び３３がそれぞれ櫛型電極２１Ａ、２２Ａ及
び２３Ａと噛み合うように形成され、共にパッドＩＮに
接続されている。出力側は、入力側と対称形になってい
る。すなわち、櫛型グランド電極２０Ｂは、互いに同一
方向に向いた櫛型電極２１Ｂ〜２３Ｂが連なっており、
パッドＧＮＤ３、ＧＮＤ４及びＧＮＤ０３、ＧＮＤ０４
に接続されている。櫛型出力電極４０は、その櫛型電極
４１、４２及び４３がそれぞれ櫛型電極２１Ｂ、２２Ｂ
及び２３Ｂと噛み合うように形成され、共にパッドＯＵ
Ｔに接続されている。

【０００７】櫛型グランド電極２０Ａと櫛型グランド電
極２０Ｂとの間には、櫛型電極２１Ｃ〜２４Ｃが連なっ
た櫛型フローティング電極２０Ｃが形成され、パッドＦ
Ｌ１及びＦＬ２に接続されている。櫛型電極２１Ｃ〜２
４Ｃの内側にはそれぞれ、これらに噛み合うように並列
接続電極５１〜５４が形成されている。パッドＩＮ、Ｏ
ＵＴ及びＧＮＤ０〜ＧＮＤ４は、ワイヤボンダにより不
図示の外部端子に接続される。

【０００８】図７及び図８では簡単化のために、パッド
以外の電極を実線で表しているが、実際には、例えば８
００ＭＨＺ帯のもので各電極幅及び電極間幅は共に１μ
ｍ程度であり、パターニング工程において、電極が断線
したり、電極間が短絡したりすることがある。そこで、
従来では、ウェーハダイシング後において導通試験を行
っていた。すなわち、チップ上のパッドＩＮ、ＯＵＴ及
びＧＮＤ１〜４にプローブを当接し、プローブ間の抵抗
値を測定することにより、短絡を検出していた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、図８の櫛型反
射電極５１〜５４の各々にはパットを接続することがで
きず、したがって、これらと櫛型電極２１Ｃ〜２４Ｃと
の間の短絡を検出することができない。電極の断線がフ
ィルタ特性に与える影響は比較的小さく、フィルタとし
ての良否は断線の程度によるが、電極間の短絡はどの部
分であってもフィルタ特性に大きな影響を与え、不良品
となる。このため、組立後の試験において歩留りが低下
し、また、無駄なパッケージやキャップを使用すること
になり、コスト高の原因となっていた。

【００１０】本発明の目的は、このような問題点に鑑
み、組立前の段階において短絡不良を確実に検出するこ
とができる表面弾性波型バンドパスフィルタ検査方法及
び装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段及びその作用】本発明に係
る表面弾性波型バンドパスフィルタ検査方法及び装置
を、実施例図中の対応する構成要素の符号を引用して説
明する。本装置発明は、例えば図１、図５及び図８に示
す如く、圧電性基板１１Ａ上に金属電極膜のパターンが
形成され、該パターンは、櫛形入力電極３０と櫛形グラ
ンド電極２０Ａとが互いに噛み合い、櫛形出力電極４０
と櫛形グランド電極２０Ｂとが互いに噛み合い、櫛形入
力電極３０、櫛形出力電極４０及び櫛形グランド電極２
０Ａ、２０ＢにパッドＩＮ、ＯＵＴ、ＧＮＤ１〜ＧＮＤ
４が接続された形となっている、チップ形でパッケージ
ング前の表面弾性波型バンドパスフィルタに対し、電極
間短絡不良を検出する表面弾性波型バンドパスフィルタ
検査装置において、出力端子６１から出力する電気信号
に対する入力端子６２に入力する電気信号の通過率Ｔ
を、表面弾性波型バンドパスフィルタの通過帯域内の中
心周波数付近の設定周波数範囲ｆ₁ 〜ｆ₂ において実質
的に測定する周波数分析器６０と、検出手段７０と、検
出手段７０をチップに対し相対的に移動させる移動手段
７５、７６と、移動手段７５、７６を駆動して、第１同
軸プローブＰ１、第２同軸プローブＰ２及びグランドプ
ローブＧ１〜Ｇ４の先端をそれぞれ対応するパッドＩ
Ｎ、ＯＵＴ、ＧＮＤ１〜ＧＮＤ４に接触させ、この状態
で周波数分析器６０を作動させ、第１同軸プローブＰ
１、第２同軸プローブＰ２及びグランドプローブＧ１〜
Ｇ４の先端をパッドＩＮ、ＯＵＴ、ＧＮＤ１〜ＧＮＤ４
から離間させる処理を繰り返し実行する制御手段８０
と、通過率Ｔが設定値Ｔ₀ 以下になったとき不良と判定
する良否判定手段８１〜８３とを有する。また、この検
出手段７０は、第１同軸ケーブルＳ１介し出力端子６１
に接続される第１コネクタＣ１と、一端が第１コネクタ
Ｃ１に接続され他端部の内部導線が露出している第１同
軸プローブＰ１と、第２同軸ケーブルＳ２介し入力端子
６２に接続される第２コネクタＣ２と、一端が第２コネ
クタＣ２に接続され他端部の内部導線が露出している第
２同軸プローブＰ２と、第１コネクタＣ１及び第２コネ
クタＣ２を介し第１同軸プローブＰ１及び第２同軸プロ
ーブＰ２の被覆導線に接続されたグランドプローブＧ１
〜Ｇ４とを備え、第１同軸プローブＰ１、第２同軸プロ
ーブＰ２及びグランドプローブＧ１〜Ｇ４の先端位置が
それぞれ櫛形入力電極３０、櫛形出力電極４０及び櫛形
グランド電極２０Ａ、２０Ｂに接続されたパッドＩＮ、
ＯＵＴ、ＧＮＤ１〜ＧＮＤ４に対応している。

【００１２】本方法発明は、周波数分析器６０の出力端
子６１から電気信号を、プローブ及びパッドＩＮ、ＧＮ
Ｄ１、ＧＮＤ２を介し櫛形入力電極３０と櫛形グランド
電極２０Ａとの間に印加し、櫛形出力電極４０と櫛形グ
ランド電極２０Ｂとの間に生じた電気信号を、パッドＯ
ＵＴ、ＧＮＤ３、ＧＮＤ４及びプローブを介し周波数分
析器６０の入力端子６２に供給して、表面弾性波型バン
ドパスフィルタの通過帯域内の中心周波数付近の設定周
波数範囲ｆ₁ 〜ｆ₂ における通過率Ｔを実質的に測定
し、通過率Ｔが設定値Ｔ₀ 以下になったとき不良と判定
する。

【００１３】なお、検査対象としての表面弾性波型バン
ドパスフィルタは、図８に示すような２段構成のものに
限定されず、図７に示すような１段構成又は不図示の３
段以上の構成であってもよい。また、上記の「通過率を
実質的に測定」とは、例えば、減衰率を測定することを
含む意味である。本発明によれば、任意の電極間の短絡
不良、例えば、パッドを接続することができない櫛型反
射電極５１〜５４と櫛型電極２１Ｃ〜２４Ｃとの短絡に
よる不良も、組立前の段階において確実に検出すること
ができる。

【００１４】さらに、表面弾性波型バンドパスフィルタ
の電極の段数によらず同一構成の検査方法及び装置を用
いることができる。また、不良と判定されたチップは、
ダイボンディングの対象外とすることができ、これによ
り、パッケージやキャップの無駄が省かれ、不良チップ
に対する無駄な組立作業を省略でき、組立後の試験の歩
留り向上及びコスト低減を図ることができる。

【００１５】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の一実施例を説
明する。図１は、表面弾性波型バンドパスフィルタ検査
装置の全体構成を示す。周波数分析器６０は、その出力
端子６１及び入力端子６２にそれぞれ同軸ケーブルＳ１
及びＳ２の一端が接続されている。同軸ケーブルＳ１及
びＳ２の他端はそれぞれ、検出部７０のコネクタＣ１及
びＣ２に接続されている。

【００１６】図２にも示す如く、コネクタＣ１及びＣ２
にはそれぞれ同軸プローブＰ１及びＰ２の一端が接続さ
れ、同軸プローブＰ１及びＰ２の先端部において内部導
線が露出している。同軸プローブＰ１及びＰ２の被覆導
線は、コネクタＣ１及びＣ２を介してグランドループＧ
０に接続されている。このグランドループＧ０に、グラ
ンドプローブＧ１〜Ｇ４の一端が接続されている。同軸
プローブＰ１、Ｐ２及びグランドプローブＧ１〜Ｇ４の
先端は、チップ１０Ａ上のパッドＩＮ、ＯＵＴ、ＧＮＤ
１〜ＧＮＤ４に対応している。

【００１７】検出部７０は、実際には図３に示す如く構
成することができる。この検出部７０は、基板７１の中
央部に円孔７２が形成され、円孔７２の周辺の基板７１
上にグランドループＧ０がプリント配線され、グランド
ループＧ０上の対向する位置に穿設された孔にコネクタ
Ｃ１及びＣ２が取着されている。図３において、同軸プ
ローブＰ１、Ｐ２及びグランドプローブＧ１〜Ｇ４は、
その先端部が紙面上方（試料のある方向）へ向いてい
る。

【００１８】グランドプローブＧ１には、エッジセンサ
７３が取り付けられている。このエッジセンサ７３は、
非接触のときオンしており（非接触でオフのときエッジ
センサ故障と判定するため）、接触によりオフするスイ
ッチであり、図中にはエッジセンサ７３に対する、グラ
ンドプローブＧ１に沿った配線を図示省略している。エ
ッジセンサ７３は、グランドプローブＧ１の先端が試料
上のグランドパッドに接触する少し前に、該グランドパ
ッドに接触して作動し、これを検出可能となっている。

【００１９】図１において、検出部７０の側方には、不
良チップにマークを付すためのマーカー７４が配置され
ている。検出部７０及びマーカー７４は、Ｘ−Ｙステー
ジ７５の上方に配置された、紙面垂直方向へ駆動可能な
Ｚステージ７６に固定されている。一方、試料Ｗは、ウ
ェーハをダイシングテープに接着した状態でダイシング
を行って個々のチップに分離したものであり、Ｘ−Ｙス
テージ７５上に載置されている。

【００２０】エッジセンサ７３の検出信号、並びに、Ｘ
−Ｙステージ７５及びＺステージ７６の位置信号は、制
御装置８０に供給され、マーカー７４、Ｘ−Ｙステージ
７５及びＺステージ７６は、制御装置８０により制御さ
れる。制御装置８０は、マイクロコンピュータを用いて
構成されている。ここで、周波数分析器６０のキーボー
ド６３を操作して、通過率測定における周波数範囲及び
測定点数を設定し、検出部７０を図２に示す接触状態に
して周波数分析器６０を作動させると、周波数分析器６
０のモニタ用ディスプレイ６４には、図５に示すような
通過特性のグラフが得られる。この通過特性は、チップ
１０Ａ上の電極間に短絡が存在しない場合には、図５
（Ａ）に示す如くなるが、短絡が存在する場合には、短
絡位置によらず、通過帯域中央付近の周波数ｆ₁ 〜ｆ ₂
の範囲で、減衰が現れることを本発明者等は知見した。

【００２１】そこで、この周波数ｆ₁ 〜ｆ₂ の範囲で例
えば１０点測定するように、キーボード６３を操作して
設定する。なお、図５は、特性インピーダンスが５０Ω
の同軸ケーブルＳ１、Ｓ２及びプローブと、特性インピ
ーダンスが略５０Ωの検査対象との間でインピーダンス
整合をとっていないという条件で実測したものである
が、本検査装置は少なくとも短絡不良を検出することを
目的としおり、この目的のためにはインピーダンス整合
回路をプローブと検査対象との間に接続する必要がない
ことが試験の結果判明した。

【００２２】試料Ｗには、図４に示すような校正・アラ
イメント用チップ１０Ｂが１つ含まれている。この校正
・アライメント用チップ１０Ｂは、圧電性基板１１Ｂ上
に短絡線９０が形成され、その両端にパッドＩＮ及びＯ
ＵＴが形成されており、チップ１０Ａと同一工程で形成
される。試料Ｗ毎に、又は少なくとも試料Ｗのロット毎
に、検出部７０の同軸プローブＰ１及びＰ２の先端をそ
れぞれパッドＩＮ及びＯＵＴに接触させ、この状態で、
周波数ｆ1 〜ｆ₂ の範囲で通過率Ｔが０ｄＢになるよう
に校正する。

【００２３】この圧電性基板１１Ｂ上にはまた、露光装
置に取り付けたマスクをウェーハに対し位置合わせする
ためのアライメントマーク９１が形成されていて、余分
なチップの使用を少なくしている。周波数分析器６０
は、制御装置８０からの測定スタート信号ＳＴに応答し
て上記設定範囲で通過率Ｔを測定し、これを出力イネー
ブル信号と共にコンパレータ８１に供給する。コンパレ
ータ８１は、この通過率Ｔを基準値設定器８２で設定さ
れた基準値Ｔ₀ とを比較し、Ｔ≦Ｔ₀ 且つ出力イネーブ
ル信号がアクティブであれば、出力を高レベルにする。
コンパレータ８１の出力はＲＳフリップフロップ８３に
保持され、制御装置８０に供給される。このＲＳフリッ
プフロップ８３は、測定スタート信号ＳＴによりリセッ
トされる。

【００２４】次に、図７に基づいて制御装置８０による
チップ検査手順を説明する。以下、括弧内の数値は、図
中のステップ識別番号である。 （１００）以下のステップ１０１〜１０４と同一処理を
行って、同軸プローブＰ１及びＰ２の先端をそれぞれ図
４に示すパッドＩＮ及びＯＵＴ上に接触させる。周波数
分析器６０にキャリブレーション信号ＣＲを供給して、
上述のように、設定周波数範囲ｆ₁ 〜ｆ₂ で通過率が０
ｄＢになるよう自動校正させる。

【００２５】（１０１）Ｘ−Ｙステージ７５を駆動し
て、検出部７０のプローブ下方に最初の又は次の検査対
象のチップ１０Ａを位置させる。 （１０２、１０３）エッジセンサ７３が作動するまで、
Ｚステージ７６を下方へ高速駆動させる。 （１０４）Ｚステージ７６をさらに下方へ設定距離だけ
低速移動させ、図２に示す接触状態にする。

【００２６】（１０５）ＲＳフリップフロップ８３のリ
セット入力端Ｒ及び周波数分析器６０に、測定スタート
信号ＳＴを供給する。これにより、設定周波数範囲内の
設定点数の通過率Ｔが周波数分析器６０から出力され
る。 （１０６、１０７）Ｔ≦Ｔ₀ となると、制御装置８０
は、Ｘ−Ｙステージ７５を図１右方へ１チップ分だけ移
動させ、マーカー７４の先端によりチップ１０Ａの中央
部にマークを付け、Ｘ−Ｙステージ７５を図１左右へ１
チップ分だけ移動させて戻る。

【００２７】このマークの付いたチップは、後にダイボ
ンダで検出され、ダイボンディングの対象外とされる。
これにより、パッケージやキャップの無駄が省かれ、不
良チップに対する無駄な組立作業を省略でき、組立後の
試験の歩留り向上及びコスト低減を図ることができる。 （１０８)未検査のチップ１０Ａが有れば、上記ステッ
プ１０１へ戻り、以上の処理を繰り返す。

【００２８】本実施例は、図８に示す２段構成の表面弾
性波型バンドパスフィルタのみならず、図７に示す１段
構成又は不図示の３段以上の構成の表面弾性波型バンド
パスフィルタの検査にも、構成段数によらず同一構成の
検査装置を用いることができる。しかも、パッドを接続
することができない図８の櫛型反射電極５１〜５４と櫛
型電極２１Ｃ〜２４Ｃとの短絡による不良も検出するこ
とができる。

【００２９】

【発明の効果】以上説明した如く、本発明に係る、チッ
プ形でパッケージング前の表面弾性波型バンドパスフィ
ルタに対し電極間短絡不良を検出する表面弾性波型バン
ドパスフィルタ検査方法及び装置では、周波数分析器の
出力端子から電気信号を、プローブ及びパッドを介し櫛
形入力電極と櫛形グランド電極との間に印加し、櫛形出
力電極と櫛形グランド電極との間に生じた電気信号を、
パッド及びプローブを介し周波数分析器の入力端子に供
給して、表面弾性波型バンドパスフィルタの通過帯域内
の中心周波数付近の設定周波数範囲における通過率を実
質的に測定し、通過率が設定値以下になったとき不良と
判定するので、次のような優れた効果を奏する。

【００３０】（１）任意の電極間の短絡不良、例えば、
パッドを接続することができない電極と他の電極との間
の短絡による不良も、組立前の段階において確実に検出
することができる。 （２）表面弾性波型バンドパスフィルタの電極の段数に
よらず同一構成の検査方法及び装置を用いることができ
る。

【００３１】（３）不良と判定されたチップは、ダイボ
ンディングの対象外とすることができ、これにより、パ
ッケージやキャップの無駄が省かれ、不良チップに対す
る無駄な組立作業を省略でき、組立後の試験の歩留り向
上及びコスト低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の表面弾性波型バンドパスフ
ィルタ検査装置の全体構成図である。

【図２】検出部の接続図である。

【図３】検出部の構成を示す平面図である。

【図４】校正・アライメント用チップの平面図である。

【図５】バンドパスフィルタの通過特性図である。

【図６】表面弾性波型バンドパスフィルタのチップ検査
手順を示すフローチャートである。

【図７】電極が１段の表面弾性波型バンドパスフィルタ
の構成図である。

【図８】電極が２段の表面弾性波型バンドパスフィルタ
の構成図である。

【符号の説明】

１０、１０Ａ、１０Ｂ チップ １０Ｂ 校正・アライメント用チップ １１、１１Ａ、１１Ｂ 圧電性基板 ２０ 櫛型グランド電極 ３０ 櫛型入力電極 ４０ 櫛型出力電極 ５１〜５４ 櫛型反射電極 ６０ 周波数分析器 ７０ 検出部 ７１ 基板 ７５ Ｘ−Ｙステージ ７６ Ｚステージ ８０ 制御装置 ８１ コンパレータ ８２ 基準値設定器 ８３ ＲＳフリップフロップ ＩＮ、ＯＵＴ、ＧＮＤ０〜ＧＮＤ４、ＧＮＤ０１〜ＧＮ
Ｄ０４、ＦＬ１、ＦＬ２ パッド Ｃ１、Ｃ２ コネクタ Ｓ１、Ｓ２ 同軸ケーブル Ｐ１、Ｐ２ 同軸プローブ Ｇ０ グランドループ Ｇ１〜Ｇ４ グランドプローブ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電性基板（１１Ａ）上に金属電極膜の
   パターンが形成され、該パターンは、櫛形入力電極（３
   ０）と櫛形グランド電極（２０Ａ）とが互いに噛み合
   い、櫛形出力電極（４０）と櫛形グランド電極（２０
   Ｂ）とが互いに噛み合い、該櫛形入力電極、該櫛形出力
   電極及び該櫛形グランド電極にパッド（ＩＮ、ＯＵＴ、
   ＧＮＤ１〜ＧＮＤ４）が接続された形となっている、チ
   ップ形でパッケージング前の表面弾性波型バンドパスフ
   ィルタに対し、電極間短絡不良を検出する表面弾性波型
   バンドパスフィルタ検査方法において、 周波数分析器（６０）の出力端子（６１）から電気信号
   を、プローブ及び該パッドを介し該櫛形入力電極と櫛形
   グランド電極との間に印加し、該櫛形出力電極と櫛形グ
   ランド電極との間に生じた電気信号を、該パッド及びプ
   ローブを介し該周波数分析器の入力端子（６２）に供給
   して、該表面弾性波型バンドパスフィルタの通過帯域内
   の中心周波数付近の設定周波数範囲（ｆ₁ 〜ｆ₂ ）にお
   ける通過率を実質的に測定し、該通過率が設定値
   （Ｔ₀ ）以下になったとき不良と判定することを特徴と
   する表面弾性波型バンドパスフィルタ検査方法。
2. 【請求項２】 圧電性基板（１１Ａ）上に金属電極膜の
   パターンが形成され、該パターンは、櫛形入力電極（３
   ０）と櫛形グランド電極（２０Ａ）とが互いに噛み合
   い、櫛形出力電極（４０）と櫛形グランド電極（２０
   Ｂ）とが互いに噛み合い、該櫛形入力電極、該櫛形出力
   電極及び該櫛形グランド電極にパッド（ＩＮ、ＯＵＴ、
   ＧＮＤ１〜ＧＮＤ４）が接続された形となっている、チ
   ップ形でパッケージング前の表面弾性波型バンドパスフ
   ィルタに対し、電極間短絡不良を検出する表面弾性波型
   バンドパスフィルタ検査装置において、 出力端子（６１）から出力する電気信号に対する入力端
   子（６２）に入力する電気信号の通過率を、該表面弾性
   波型バンドパスフィルタの通過帯域内の中心周波数付近
   の設定周波数範囲（ｆ₁ 〜ｆ₂ ）において実質的に測定
   する周波数分析器（６０）と、 第１同軸ケーブル（Ｓ１）介し該出力端子に接続される
   第１コネクタ（Ｃ１）と、一端が該第１コネクタに接続
   され他端部の内部導線が露出している第１同軸プローブ
   （Ｐ１）と、第２同軸ケーブル（Ｓ２）介し該入力端子
   に接続される第２コネクタ（Ｃ２）と、一端が該第２コ
   ネクタに接続され他端部の内部導線が露出している第２
   同軸プローブ（Ｐ２）と、該第１コネクタ及び第２コネ
   クタを介し該第１同軸プローブ及び第２同軸プローブの
   被覆導線に接続されたグランドプローブ（Ｇ１〜Ｇ４）
   とを備え、該第１同軸プローブ、第２同軸プローブ及び
   該グランドプローブの先端位置がそれぞれ該櫛形入力電
   極、該櫛形出力電極及び該櫛形グランド電極に接続され
   た該パッドに対応している検出手段（７０）と、 該検出手段を該チップに対し相対的に移動させる移動手
   段（７５、７６）と、 該移動手段を駆動して、該第１同軸プローブ、第２同軸
   プローブ及び該グランドプローブの先端をそれぞれ対応
   する該パッドに接触させ、この状態で該周波数分析器を
   作動させ、該第１同軸プローブ、第２同軸プローブ及び
   該グランドプローブの先端を該パッドから離間させる処
   理を繰り返し実行する制御手段（８０）と、 該通過率が設定値（Ｔ₀ ）以下になったとき不良と判定
   する良否判定手段（８１〜８３）と、 を有することを特徴とする表面弾性波型バンドパスフィ
   ルタ検査装置。