JPH0636762U - 研磨廃液処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨廃液から不純物を分離した二次処理液の
流量及び濃度に対応させて所定量のクーラントを高精度
に補給し得て再使用に好適な再生液（研磨液）を迅速に
調整する。 【構成】 研磨廃液を遠心分離機で固液分離した後、静
電フイルタで濾過し、かかる濾過液の流量及び濃度に基
いて所定量のクーラントを濾過液に補給混合させて調整
し得るように構成。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、研磨廃液処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、研磨廃液の再生利用は広く実施されており、例えば、特公昭５８−３０ １１２号公報等において開示されているように、一般に、研磨廃液を固液分離処 理した後、その処理液に必要量のクーラントを補給混合して再生している。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、かかる再生処理は、スクリーンや遠心分離機等により固液分離した処 理液に直接、必要量のクーラントを補給して再生している関係上、固液分離能に 影響されて再生液の組成が一定しないと共に固液分離した処理液にクーラントを 補給混合しながら、その混合液のＰＨを測定してクーラントの補給量を所定に制 御している関係上、迅速な調整が困難であるといった諸々の欠点を有していた。

【０００４】 本考案は、このようなことに着目し、これを解決すべく各方面から鋭意検討の 結果、研磨廃液を遠心分離機で固液分離して得られる一次処理液を更に静電フイ ルタで濾過して二次処理液を得ると共に、かかる二次処理液の流量及び濃度に基 いてクーラントの補給量を制御するようにすれば、上述した欠点を一挙に解消し 得ることを見出したのである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

すなわち、本考案に係る研磨廃液処理装置は、研磨廃液を固液分離処理する遠 心分離機と、前記遠心分離機から直接若しくは中間貯留タンクを経て供給される 一次処理液を濾過する静電フイルタと、前記静電フイルタから供給される二次処 理液とクーラント補給装置から供給されるクーラントとを混合した再生液を貯留 する再生液貯留タンクと、前記二次処理液の流量及び濃度に基いて前記クーラン トの補給量を制御するクーラント補給量制御装置とを備えていることを特徴とす るものである。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案に係る一実施例について図面に基いて述べると、図１において、 この研磨廃液処理装置は、遠心分離機１と、静電フイルタ２と、クーラント補給 装置３と、クーラント補給量制御装置４と、原液貯留タンク５と、中間貯留タン ク６と、再生液貯留タンク７等を備えている。

【０００７】 かかる分離機１は、原液貯留タンク５から管路８を経て供給される研磨廃液を 固液分離する。これにより、研磨廃液中の固体粒子の大部分が除去され、その一 次処理液が管路９を経て中間貯留タンク６に送られる。続いて、ここから管路１ ０を経て静電フイルタ２に供給されて濾過されるが、この濾過により一次処理液 中の残留固体粒子（遠心分離機１による固液分離に際してリークした固体粒子） が除去される。その際、遠心分離機１で前処理の固液分離をしているので、静電 フイルタ２の目詰りを長期間にわたって防止することができる。

【０００８】 なお、遠心分離機１を用いているのは、エマルジョン状態に懸濁している、有 価物たるクーラント成分の除去阻止の為であって、他の固液分離手段では、溶解 しているクーラント成分の除去を阻止し得ても、エマルジョン状態に懸濁してい るクーラント成分についてはそれが困難であるからである。

【０００９】 すなわち、比重が約１のクーラントと、例えば、比重が約２の固体微粒子との 比重差を利用して遠心力により固体粒子の大部分を除去し、そして、これにおい てリークした固体粒子を、クーラントよりも目開きの大きい静電フイルタ２で除 去している。

【００１０】 以下、静電フイルタ２から排出される二次処理液は、管路１１を経て再生液貯 留タンク７に送られると共に、これと並行してクーラント補給装置３によりクー ラントが前記二次処理液に補給される。この補給装置３は、弁１３を閉じ、かつ 弁１４を開いた状態で、タンク１５に貯留されているクーラントをポンプ１６で 循環、すなわち、クーラントを管路１７，１８を経て循環させることができ、ま た、弁１３，１４を所定に開き、タンク１５から抜き出したクーラントの一部を 循環させると共に残部を、前記二次処理液に補給することができる。

【００１１】 なお、前記二次処理液に補給されたクーラントは、管路１１に装着されている 静止型混合器１９により、前記二次処理液と混合され、その混合液（以下、これ を再生液という。）が再生液貯留タンク７に送られる。かかるクーラントの補給 において、クーラント補給量制御装置４でその補給量が所定に制御される。

【００１２】 この補給量制御装置４は、管路１１に装着されている測定装置２０により、静 電フイルタ２から排出される前記二次処理液の流量及び濃度を測定し、それらの 測定信号に基いてポンプ１６を駆動するモータ２１を所定に回転制御してクーラ ントの補給量を制御する。

【００１３】 測定装置２０は、濃度測定手段として紫外線吸光度計を用いているので、流下 中の前記二次処理液であっても迅速かつ正確に測定することができ、従って、モ ータ２１を高精度に制御することができて、常に一定組成の再生液に保つことが でき、再使用に好適な研磨液を得ることができる。

【００１４】 なお、再生液貯留タンク７に、再生液を循環させる循環管路２２が装着されて いると共に、かかる再生液（研磨液）は、管路２３を経て研磨作業箇所へポンプ 送りされる。図中、２４〜２６は各管路に装着されているポンプを、また、２７ 〜２９は循環管路を夫々示している。

【００１５】 以上、本考案に係る一実施例について述べたが、本考案においては、中間貯留 タンク６を設置しないで、遠心分離機１から一次処理液を直接、静電フイルタ２ に供給してもよい。また、クーラントは、界面活性剤等の研磨粉分散剤や凝集防 止剤あるいは防錆剤、その他の研磨液用液体添加剤等が含有されたものなど、い かなる組成のものであってもよい。

【００１６】

【考案の効果】

上述したように、本考案によると、遠心分離機及び静電フイルタを用いている ので、研磨廃液中の有価物たるクーラント成分の除去を阻止しながら固体粒子を 良好に除去することができ、かつ、静電フイルタからの二次処理液の流量及び濃 度に基いて所定量のクーラントを補給するクーラント補給量制御装置を装着して いるので、常に一定組成の再使用に好適な研磨液を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】研磨廃液処理装置のフローシート図である。

【符号の説明】

１ 遠心分離機 ２ 静電フイルタ ３ クーラント補給装置 ４ クーラント補給量制御装置 ５ 原液貯留タンク ６ 中間貯留タンク ７ 再生液貯留タンク

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨廃液を固液分離処理する遠心分離機
   と、前記遠心分離機から直接若しくは中間貯留タンクを
   経て供給される一次処理液を濾過する静電フイルタと、
   前記静電フイルタから供給される二次処理液とクーラン
   ト補給装置から供給されるクーラントとを混合した再生
   液を貯留する再生液貯留タンクと、前記二次処理液の流
   量及び濃度に基いて前記クーラントの補給量を制御する
   クーラント補給量制御装置とを備えていることを特徴と
   する研磨廃液処理装置。