JPH0638441B2 - 半導体ペレット移送装置 - Google Patents
半導体ペレット移送装置Info
- Publication number
- JPH0638441B2 JPH0638441B2 JP59014427A JP1442784A JPH0638441B2 JP H0638441 B2 JPH0638441 B2 JP H0638441B2 JP 59014427 A JP59014427 A JP 59014427A JP 1442784 A JP1442784 A JP 1442784A JP H0638441 B2 JPH0638441 B2 JP H0638441B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor pellet
- pulley
- pellet
- transfer
- semiconductor
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- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
- H10P72/0446—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/50—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for positioning, orientation or alignment
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- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の利用分野］ 本発明はペレツトボンデイング装置やペレツト治具詰め
装置などに用いられる半導体ペレツト移送装置に関す
る。
装置などに用いられる半導体ペレツト移送装置に関す
る。
［発明の背景］ 従来の半導体ペレツトの移送装置は、先端に吸着コレツ
トを設けたペレツト移送アームによつて、縦横に半導体
ペレツトを整列収納した整列治具又はウエハリングに固
定されたウエハシート上より半導体ペレツトを１個づつ
吸着し、ペレツト移送アームの旋回もしくは直線移動に
より所定位置へ移送するようになつている。
トを設けたペレツト移送アームによつて、縦横に半導体
ペレツトを整列収納した整列治具又はウエハリングに固
定されたウエハシート上より半導体ペレツトを１個づつ
吸着し、ペレツト移送アームの旋回もしくは直線移動に
より所定位置へ移送するようになつている。
第１図、第２図は従来のペレツト移送アーム旋回型の半
導体ペレツト移送装置を示す。ブラケツト１に軸受２に
より回転可能に支持された回転中心軸３にはペレツト移
送アーム４が固定されており、このペレツト移送アーム
４の先端に固定された吸着コレツト５によつて、整列治
具６に縦横に整列収納した半導体ペレツト７を吸着し、
ペレツト移送アーム４が回転中心軸３を支点として昇降
旋回によりリードフレーム８の所定位置に移送し、半導
体ペレツト７をリードフレーム８にペレツトボンデイン
グするようになつている。
導体ペレツト移送装置を示す。ブラケツト１に軸受２に
より回転可能に支持された回転中心軸３にはペレツト移
送アーム４が固定されており、このペレツト移送アーム
４の先端に固定された吸着コレツト５によつて、整列治
具６に縦横に整列収納した半導体ペレツト７を吸着し、
ペレツト移送アーム４が回転中心軸３を支点として昇降
旋回によりリードフレーム８の所定位置に移送し、半導
体ペレツト７をリードフレーム８にペレツトボンデイン
グするようになつている。
しかしながら、かかる移送装置では、半導体ペレツト７
の移送後の姿勢は、移送前に対してペレツト移送アーム
４の旋回角度だけ回転して移動するので、整列治具６へ
の半導体ペレット７の装填姿勢を一定に保たねばならず
面倒であつた。また整列治具の取付けをある角度だけ回
転した状態にしておかなければならなく、半導体ペレツ
ト７を検出した読取りを半導体ペレツト７の縦横のＸＹ
方向に変換しなければならないという欠点があつた（例
えば特公昭５７−４６６５１号公報参照）。
の移送後の姿勢は、移送前に対してペレツト移送アーム
４の旋回角度だけ回転して移動するので、整列治具６へ
の半導体ペレット７の装填姿勢を一定に保たねばならず
面倒であつた。また整列治具の取付けをある角度だけ回
転した状態にしておかなければならなく、半導体ペレツ
ト７を検出した読取りを半導体ペレツト７の縦横のＸＹ
方向に変換しなければならないという欠点があつた（例
えば特公昭５７−４６６５１号公報参照）。
また直線移動型のペレツト移送アームを持つ半導体ペレ
ツトの移送装置でも、移送後の姿勢が固定されるため、
同様に融通性に欠けるものであつた。
ツトの移送装置でも、移送後の姿勢が固定されるため、
同様に融通性に欠けるものであつた。
特に、かかる従来の移送装置では、移送後の半導体ペレ
ツトの姿勢が指示された角度だけ傾くように移送するこ
とが極めて困難で、整列治具に半導体ペレツトを移送後
の指定角度に対応した姿勢で装填せねばならぬのみなら
ず、半導体ペレツトの位置検出手段も斜めの読みとりが
非常に難しいため、複雑な構成となるなどの欠点があつ
た。
ツトの姿勢が指示された角度だけ傾くように移送するこ
とが極めて困難で、整列治具に半導体ペレツトを移送後
の指定角度に対応した姿勢で装填せねばならぬのみなら
ず、半導体ペレツトの位置検出手段も斜めの読みとりが
非常に難しいため、複雑な構成となるなどの欠点があつ
た。
［発明の目的］ 本発明の目的は、移送後の半導体ペレツトの姿勢を自由
に制御可能にした半導体ペレツト移送装置を提供するこ
とにある。
に制御可能にした半導体ペレツト移送装置を提供するこ
とにある。
［発明の実施例］ 以下、本発明の一実施例を第３図、第４図により説明す
る。６は半導体ペレツト７は縦横に整列収納する整列治
具又はウエハシートが取付けられたウエハリングで、図
示しないＸ−Ｙテーブルに載置され、半導体ペレツト７
を順に供給位置に位置決めすることができる。１０は支
持台、１１は支持台１０に固定された昇降案内部材、１
２は昇降案内部材１１に案内されて摺動可能な昇降台、
１３は図示しない駆動装置によつて回転させられる昇降
用カム、１４は昇降用カム１３に当接するように昇降台
１２に取付けられたカムフオロア、１５はカムフオロア
１４を昇降用カム１３に圧接するように常時下方へ付勢
するコイルバネで、支持台１０と昇降台１２にかけ合わ
されている。１６は昇降台１２に保持された中空円筒部
１６ａを備えたブラケツト、１７はブラケツト１６の中
空円筒部１６ａに軸受１８を介して回転可能に支持され
た旋回中心軸である。
る。６は半導体ペレツト７は縦横に整列収納する整列治
具又はウエハシートが取付けられたウエハリングで、図
示しないＸ−Ｙテーブルに載置され、半導体ペレツト７
を順に供給位置に位置決めすることができる。１０は支
持台、１１は支持台１０に固定された昇降案内部材、１
２は昇降案内部材１１に案内されて摺動可能な昇降台、
１３は図示しない駆動装置によつて回転させられる昇降
用カム、１４は昇降用カム１３に当接するように昇降台
１２に取付けられたカムフオロア、１５はカムフオロア
１４を昇降用カム１３に圧接するように常時下方へ付勢
するコイルバネで、支持台１０と昇降台１２にかけ合わ
されている。１６は昇降台１２に保持された中空円筒部
１６ａを備えたブラケツト、１７はブラケツト１６の中
空円筒部１６ａに軸受１８を介して回転可能に支持され
た旋回中心軸である。
２０は旋回中心軸１７に固定されたペレツト移送アーム
で、一端には図示しない駆動手段によつて駆動されるレ
バー２１が連結されており、他端には軸受２２を介して
吸着コレツト２３が回転自在に支持されている。２４は
吸着コレツト２３に接続されてこの吸着コレツト２３を
真空にひくためのパイプである。
で、一端には図示しない駆動手段によつて駆動されるレ
バー２１が連結されており、他端には軸受２２を介して
吸着コレツト２３が回転自在に支持されている。２４は
吸着コレツト２３に接続されてこの吸着コレツト２３を
真空にひくためのパイプである。
前記吸着コレツト２３の外筒部にはタイミングプーリ２
５が固定され、ブラケツト１６の中空円筒部１６ａの外
筒部にもタイミングプーリ２５と同じ直径を有するタイ
ミングプーリ２６が回転可能に設けられており、このタ
イミングプーリ２６には２つのプーリ溝２６ａ、２６ｂ
が形成され、タイミングプーリ２５と第１のプーリ溝２
６ａの間にはタイミングベルト２７がかけ合わされてい
る。またタイミングプーリ２６の上下端にはタイミング
プーリ２６の抜け止め用ストッパ２８ａ、２８ｂが配設
され、これらストツパ２８ａ、２８ｂは中空円筒部１６
ａに固定されている。タイミングプーリ２６の第２のプ
ーリ溝２６ｂとブラケツト１６に支持されたパルスモー
タ又は直流モータ２９の出力軸に固定されたタイミング
プーリ３０との間にタイミングベルト３１がかけ合わさ
れている。
５が固定され、ブラケツト１６の中空円筒部１６ａの外
筒部にもタイミングプーリ２５と同じ直径を有するタイ
ミングプーリ２６が回転可能に設けられており、このタ
イミングプーリ２６には２つのプーリ溝２６ａ、２６ｂ
が形成され、タイミングプーリ２５と第１のプーリ溝２
６ａの間にはタイミングベルト２７がかけ合わされてい
る。またタイミングプーリ２６の上下端にはタイミング
プーリ２６の抜け止め用ストッパ２８ａ、２８ｂが配設
され、これらストツパ２８ａ、２８ｂは中空円筒部１６
ａに固定されている。タイミングプーリ２６の第２のプ
ーリ溝２６ｂとブラケツト１６に支持されたパルスモー
タ又は直流モータ２９の出力軸に固定されたタイミング
プーリ３０との間にタイミングベルト３１がかけ合わさ
れている。
次に、かかる構成よりなる半導体ペレツト移送装置の作
用について説明する。半導体ペレツト７が所定の位置に
位置決めされると、昇降用カム１３が回転し、この昇降
用カム１３にカムフオロア１４が従動して昇降台１２が
下降し、この動作により吸着コレツト２３が下降して半
導体ペレツト７を吸着する。そして、昇降用カム１３が
さらに回転すると、昇降台１２は上昇し、吸着コレツト
２３も半導体ペレツト７を吸着保持したまま上昇する。
その後、図示しない駆動手段によつてレバー２１が動作
し、ペレツト移送アーム２０がリードフレーム８の所定
の半導体ペレツト７の移送位置まで旋回する。
用について説明する。半導体ペレツト７が所定の位置に
位置決めされると、昇降用カム１３が回転し、この昇降
用カム１３にカムフオロア１４が従動して昇降台１２が
下降し、この動作により吸着コレツト２３が下降して半
導体ペレツト７を吸着する。そして、昇降用カム１３が
さらに回転すると、昇降台１２は上昇し、吸着コレツト
２３も半導体ペレツト７を吸着保持したまま上昇する。
その後、図示しない駆動手段によつてレバー２１が動作
し、ペレツト移送アーム２０がリードフレーム８の所定
の半導体ペレツト７の移送位置まで旋回する。
この旋回の間に半導体ペレツト７の移送後の姿勢が決定
される。即ち、今パルスモータ等２９が回転せず、従つ
てタイミングプーリ２６が回転せずにペレツト移送アー
ム２０が旋回すると、タイミングプーリ２５はこれに速
比１：１で連動するため、丁度ペレツト移送アーム２０
の旋回角だけペレツト移送アーム２０に対し相対的に回
転する。このため、ペレツト移送アーム２０の旋回にも
かかわらず、半導体ペレツト７の姿勢は移送の前後で変
ることがない。
される。即ち、今パルスモータ等２９が回転せず、従つ
てタイミングプーリ２６が回転せずにペレツト移送アー
ム２０が旋回すると、タイミングプーリ２５はこれに速
比１：１で連動するため、丁度ペレツト移送アーム２０
の旋回角だけペレツト移送アーム２０に対し相対的に回
転する。このため、ペレツト移送アーム２０の旋回にも
かかわらず、半導体ペレツト７の姿勢は移送の前後で変
ることがない。
また図に示すように、半導体ペレツト７の移送後の姿勢
を移送前の姿勢にしてθ度傾けたいとすれば、移送中に
パルスモータ等２９を起動せしめ、タイミングプーリ２
６にθ度の回転を与えるだけの回転動作を行わせると、
これによつてタイミングプーリ２５、即ち、吸着コレツ
ト２３がθ度回転して半導体ペレツト７の姿勢を決定す
ることができる。パルスモータ等２９の回転角の決定は
パルスモータ等２９に設けたエンコーダにより任意にし
かも自在に行うことができるので、半導体ペレツト７の
移送後の姿勢は全く自由に決定できる。
を移送前の姿勢にしてθ度傾けたいとすれば、移送中に
パルスモータ等２９を起動せしめ、タイミングプーリ２
６にθ度の回転を与えるだけの回転動作を行わせると、
これによつてタイミングプーリ２５、即ち、吸着コレツ
ト２３がθ度回転して半導体ペレツト７の姿勢を決定す
ることができる。パルスモータ等２９の回転角の決定は
パルスモータ等２９に設けたエンコーダにより任意にし
かも自在に行うことができるので、半導体ペレツト７の
移送後の姿勢は全く自由に決定できる。
このようにして姿勢が決定された半導体ペレツト７は昇
降用カム１３の回転によつて下降する吸着コレツト２３
から離れてリードフレーム８の所定位置に置かれる。そ
の後、吸着コレツト２３は再び上昇し、ペレツト移送ア
ーム２０は反転し、吸着コレツト２３を元の姿勢にする
時は、同時にパルスモータ等２９もタイミングプーリ２
６にθ度の反転を与えるだけ回転し、吸着コレツト２３
を原位置に復帰させる。その後はこの一連の動作が繰返
し行われる。勿論、吸着コレツト２３を元の姿勢にする
必要がない時は、タイミングプーリ２６にθ度の反転を
与えるための駆動を行う必要はない。
降用カム１３の回転によつて下降する吸着コレツト２３
から離れてリードフレーム８の所定位置に置かれる。そ
の後、吸着コレツト２３は再び上昇し、ペレツト移送ア
ーム２０は反転し、吸着コレツト２３を元の姿勢にする
時は、同時にパルスモータ等２９もタイミングプーリ２
６にθ度の反転を与えるだけ回転し、吸着コレツト２３
を原位置に復帰させる。その後はこの一連の動作が繰返
し行われる。勿論、吸着コレツト２３を元の姿勢にする
必要がない時は、タイミングプーリ２６にθ度の反転を
与えるための駆動を行う必要はない。
［発明の効果］ 本発明による半導体ペレツト移送装置によれば、旋回す
る旋回アームと、この旋回アームを旋回させる手段と、
前記旋回アームの１端に設けられた半導体ペレツトの保
持手段とを備えた半導体ペレツト移送装置において、前
記保持手段を前記旋回アームに回転可能に支持させ、か
つ該保持手段を所定の回転角だけ回転させるための駆動
手段を設けてなるので、次のような効果が得られる。
る旋回アームと、この旋回アームを旋回させる手段と、
前記旋回アームの１端に設けられた半導体ペレツトの保
持手段とを備えた半導体ペレツト移送装置において、前
記保持手段を前記旋回アームに回転可能に支持させ、か
つ該保持手段を所定の回転角だけ回転させるための駆動
手段を設けてなるので、次のような効果が得られる。
保持手段が半導体ペレツトを吸着して移動してボンデイ
ング位置に載置する時、駆動手段の作用によつて半導体
ペレツトの姿勢を所望の姿勢に維持できる。また半導体
ペレツトの姿勢を補正したい時は、駆動手段によつて自
由に制御できる。
ング位置に載置する時、駆動手段の作用によつて半導体
ペレツトの姿勢を所望の姿勢に維持できる。また半導体
ペレツトの姿勢を補正したい時は、駆動手段によつて自
由に制御できる。
また駆動手段を、旋回アームの旋回中心軸に対して同心
にかつ回転自在に設けられた第１のプーリと、保持手段
に固定された第２のプーリと、前記第１のプーリと前記
第２のプーリとにかけ合わされたベルトと、前記第１の
プーリを所定の回転角だけ回転させるためのモータとを
有するように構成することにより、モータを旋回アーム
以外の部材に取付けることができ、ボンデイング時に旋
回アームに余分な荷重が加わらず、また軽量で回転可能
な構造となる。
にかつ回転自在に設けられた第１のプーリと、保持手段
に固定された第２のプーリと、前記第１のプーリと前記
第２のプーリとにかけ合わされたベルトと、前記第１の
プーリを所定の回転角だけ回転させるためのモータとを
有するように構成することにより、モータを旋回アーム
以外の部材に取付けることができ、ボンデイング時に旋
回アームに余分な荷重が加わらず、また軽量で回転可能
な構造となる。
第１図は従来の半導体ペレツト移送装置の正面図、第２
図は第１図の平面図、第３図は本発明になる半導体ペレ
ツト移送装置の一実施例を示す正面断面図、第４図は第
３図の平面図である。 ７……半導体ペレツト、 １７……旋回中心軸、 ２０……ペレツト移送アーム、 ２３……吸着コレツト、 ２５、２６……タイミングプーリ、 ２７……タイミングベルト、 ２８……タイミングプーリ、 ２９……パルスモータ、 ３１……タイミングベルト。
図は第１図の平面図、第３図は本発明になる半導体ペレ
ツト移送装置の一実施例を示す正面断面図、第４図は第
３図の平面図である。 ７……半導体ペレツト、 １７……旋回中心軸、 ２０……ペレツト移送アーム、 ２３……吸着コレツト、 ２５、２６……タイミングプーリ、 ２７……タイミングベルト、 ２８……タイミングプーリ、 ２９……パルスモータ、 ３１……タイミングベルト。
Claims (1)
- 【請求項１】旋回する旋回アームと、この旋回アームを
旋回させる手段と、前記旋回アームの１端に設けられた
半導体ペレツトの保持手段とを備えた半導体ペレツト移
送装置において、前記保持手段を前記旋回アームに回転
可能に支持させ、かつ該保持手段を所定の回転角だけ回
転させるための駆動手段を設け、前記駆動手段は、前記
旋回アームの旋回中心軸に対して同心にかつ回転自在に
設けられた第１のプーリと、前記保持手段に固定された
第２のプーリと、前記第１のプーリと前記第２のプーリ
とにかけ合わされたベルトと、前記第１のプーリを所定
の回転角だけ回転させるためのモータとを有することを
特徴とする半導体ペレツト移送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014427A JPH0638441B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 半導体ペレット移送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59014427A JPH0638441B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 半導体ペレット移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160138A JPS60160138A (ja) | 1985-08-21 |
| JPH0638441B2 true JPH0638441B2 (ja) | 1994-05-18 |
Family
ID=11860720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59014427A Expired - Lifetime JPH0638441B2 (ja) | 1984-01-31 | 1984-01-31 | 半導体ペレット移送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0638441B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007159482A (ja) * | 2005-12-14 | 2007-06-28 | Kunihiro Ogiwara | 緑化システム |
| CN105217358A (zh) * | 2015-10-13 | 2016-01-06 | 盐城市华森机械有限公司 | 一种自动吸盘式收放料装置 |
| CN112707163A (zh) * | 2020-12-20 | 2021-04-27 | 刘琴 | 一种智能制造冲片机用料片转运机构及其使用方法 |
-
1984
- 1984-01-31 JP JP59014427A patent/JPH0638441B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60160138A (ja) | 1985-08-21 |
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