JPH0642810Y2

JPH0642810Y2 - 内周刃切断機の材料固定装置

Info

Publication number: JPH0642810Y2
Application number: JP11362389U
Authority: JP
Inventors: 重徳杉原
Original assignee: 九州電子金属株式会社; 大阪チタニウム製造株式会社
Priority date: 1989-09-28
Filing date: 1989-09-28
Publication date: 1994-11-09
Anticipated expiration: 2004-09-28
Also published as: JPH0352111U

Description

【考案の詳細な説明】利用産業分野この考案は、シリコン、ガリウム、ヒ素などの多結晶、
単結晶材料の切断に用いられる内周刃切断機の材料固定
装置の改良に係り、切断材料に固着された接続金型と延
長治具との間に球面座を使用し、従来不可避であった材
料固定装置から生ずる結晶切断面の傾きを防止した内周
刃切断機の材料固定装置に関する。

背景技術多結晶、単結晶材料の切断に用いられる内周刃切断機の
材料固定装置は、第３図に示す如く、切断材料（１）を
定寸送りするために延長治具（10）と接続する。すなわ
ち、切断材料（１）の終端を接続金型（２）の端面に接
合し、さらに、延長治具（10）を通した固定ボルト（1
4）にて金型ねじ穴部（３）とを締め付ける構成からな
る。

切断材料（１）は延長治具（10）に固定され、定寸送り
装置（22）でテーブル（21）上を摺動送りされ、クラン
パ（20）により押圧される。

テーブル（21）より所要長さが突出した切断材料（１）
は、内周部にダイヤモンド砥粒（24）を有する環状の内
周刃（23）内に進入し、内周刃（23）の回転と上昇によ
り所要厚みに切断される。

従来技術の問題点延長治具（10）と接続金型（２）は製造精度の理由から
数μｍのがたが不可避であり、これに伴い切断時に切断
材料（１）の端面に傾きが生ずると、接続金型（２）と
延長治具（10）間に凹凸形状が生じ切断材料（１）の押
し出し量にばらつきが発生し、また、クランパ位置の違
いによりに接続金型（２）と延長治具（10）間にがたが
発生し、それによる切断材料の厚みにばらつきが生じ
る。

これを解決するために、延長治具（10）と接続金型
（２）間にスペーサーを使用して修正する必要がある
が、かかる修正は非常に困難出あり、極めて手間を要す
る問題があった。

考案の目的この考案は、内周刃切断機の材料固定装置における上述
の問題を解消することを目的とし、切断材料の端面傾き
が生じても金型、材料固定装置間の接合部を中心にした
曲り状態にならず、切断材料の押し出し量の変動による
切断材料の切り出し厚みにばらつきが生じない構成から
なる内周刃切断機の材料固定装置の提供を目的としてい
る。

考案の概要この考案は、被切断材の終端を延長治具と接続してテーブル上を定寸
送りしクランパで保持して、内周部にダイヤモンド砥粒
を有する環状の内周刃を回転させかつ上昇させて切断材
料を定寸切断する内周刃切断機において、切断材料の終端に固着された接続金型と、延長治具端面
との接触面が半球面の凹凸嵌合座面を形成し、延長治具から接続金型に螺合させる固定用ボルトが、延
長治具の固定部との接触面が半球面の凹凸嵌合座面を形
成して締結されていることを特徴とした内周刃切断機の
材料固定装置である。

この考案は、接続金型と延長治具端面との接触面が半球
面の凹凸嵌合座面を形成していることを特徴としている
が、金型と治具にかかる球面座を形成しても、また、後
述の実施例の如く別部材を介在させてもよく、さらに、
固定用ボルトと延長治具の固定部との接触面の場合も同
様である。

考案の図面に基づく開示第１図はこの考案による内周刃切断機の材料固定装置の
概要を示す縦断説明図である。なお、図面では第３図に
示すクランパ（20）、定寸送り装置（22）の図示を省略
し、接続金型（２）部付近を中心に示して他構成部の表
示を簡略化している。

構成この考案による切断材料（１）を定寸送りするために接
続する延長治具（10）と接続金型（２）は、接触面に嵌
合座面を形成してある。

すなわち、切断材料（１）の終端を接続金型（２）の端
面に接合し、延長治具（10）を通した固定ボルト（13）
にて金型ねじ穴部（３）とを締め付ける構成において、
突設した接続金型（２）の金型ねじ穴部（３）には、半
円球の凹状球面座（４）と凸状球面座（５）を挿通配置
し、かつ延長治具（10）端面に穿孔した中心貫通孔（1
1）より大径の収納孔（13）に半円球の凹状球面座
（４）を嵌入可能にし、半球面座の凹凸嵌合が可能に構
成している。

延長治具（10）の中心貫通孔（11）には、所要位置に突
起部（12）が周設され、突起部（12）をスナップリング
（17）（17）で挟み、固定ボルト（14）が延長治具（1
0）が脱落しないようになっている。

また、固定ボルト（14）頭とスナップリング（17）間
に、半球面の凹凸嵌合座面を形成した球面ブッシュ（1
5）（16）を介してある。

作用効果かかる構成により、切断材料（１）は固定ボルト（14）
にて金型ねじ穴部（３）とを締め付けを行い延長治具
（10）に固定され、定寸送り装置でテーブル（21）上を
摺動送りされ、クランパにより押圧される。

テーブル（21）より所要長さを突出した切断材料（１）
は、内周刃（23）内に進入し、内周刃（23）の回転と上
昇により所要厚みに切断される。

従来、切断材料（１）に端面傾きが生じた場合、金型
（２）の接合面も同様な傾きが生ずるため、延長治具
（10）との間の曲りが発生していた。

しかし、この考案では切断材料（１）からくる傾きを、
延長治具（10）との接合時に前記球面座（４）（５）の
球体面の移動により吸収できる。

また、切断材料（１）に端面傾きが生じた場合同様に金
型ねじ穴部（３）も傾くが、これも球面ブッシュ（15）
（16）で固定ボルト（14）の傾きとして吸収でき、切断
材料（１）の端面傾きを修正して延長治具（10）を通し
た固定ボルト（13）にて金型ねじ穴部（３）とを締め付
け接合させることができる。

従って、切断材料（１）終端の接続金型（２）と延長治
具（10）との間の曲りが防止でき、切断機テーブル（2
1）面への直線性が向上し、切断材料の押し出し量の変
動がなく、切断材料の切り出し厚み精度が向上する。

実施例シリコン単結晶材料の切断に内周刃切断機を用い、従来
の材料固定装置（第３図）を使用した場合と、この考案
による材料固定装置（第１図）を使用した場合の切断材
料の厚み精度を測定し、テーパ量の変化として評価し
た。

第２図のクランパ位置の違いとテーパ量との関係を示す
グラフに明らかなように、この考案による材料固定装置
の場合、クランプ位置にかかわらずテーパ量の変動幅が
小さく、またテーパ量が少量で切断材料の切り出し厚み
精度が著しく向上したことが分かる。

【図面の簡単な説明】

第１図ははこの考案による内周刃切断機の材料固定装置
の概要を示す縦断説明図である。第２図は材料固定装置のクランプ位置の違いとテーパ量
との関係を示すグラフである。第３図と第４図は従来の内周刃切断機の材料固定装置の
概要を示す縦断説明図と側面説明図である。１…切断材料、２…接続金型、３…金型ねじ穴部、４…凹状球面座、５…凸状球面座、10…延長治具、 11…中心貫通孔、12…突起部、13…収納孔、 14…固定ボルト、15,16…球面ブッシュ、 17…スナップリング、20…クランパ、 21…テーブル、22…定寸送り装置、23…内周刃、 24…ダイヤモンド砥粒。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】被切断材の終端を延長治具と接続してテー
ブル上を定寸送りしクランパで保持して、内周部にダイ
ヤモンド砥粒を有する環状の内周刃を回転させかつ上昇
させて切断材料を定寸切断する内周刃切断機において、切断材料の終端に固着された接続金型と、延長治具端面
との接触面が半球面の凹凸嵌合座面を形成し、延長治具から接続金型に螺合させる固定用ボルトが、延
長治具の固定部との接触面が半球面の凹凸嵌合座面を形
成して締結されていることを特徴とした内周刃切断機の
材料固定装置。