JPH0643032B2 - ダイレクトドライブ多関節ロボット - Google Patents
ダイレクトドライブ多関節ロボットInfo
- Publication number
- JPH0643032B2 JPH0643032B2 JP63207239A JP20723988A JPH0643032B2 JP H0643032 B2 JPH0643032 B2 JP H0643032B2 JP 63207239 A JP63207239 A JP 63207239A JP 20723988 A JP20723988 A JP 20723988A JP H0643032 B2 JPH0643032 B2 JP H0643032B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- direct drive
- fixed
- coil
- stator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、ダイレクトドライブ（直接駆動）式の多関節
ロボットに関する。
ロボットに関する。
従来技術 特開昭６１−１７３８７５号の発明は、ダイレクトドラ
イブ式の多関節ロボットを開示している。そのロボット
に於いて、２つのダイレクトモータは、ロボットの本体
部分内で上下に配置されており、その回転力は、２つの
同心的な支柱によって第１アームまたは第２アームに伝
達される。このような構造の場合に、支柱部分が二重と
なっているため、モータ部分が構造的に複雑となる。
イブ式の多関節ロボットを開示している。そのロボット
に於いて、２つのダイレクトモータは、ロボットの本体
部分内で上下に配置されており、その回転力は、２つの
同心的な支柱によって第１アームまたは第２アームに伝
達される。このような構造の場合に、支柱部分が二重と
なっているため、モータ部分が構造的に複雑となる。
発明の目的 したがって、本発明の目的は、第１アーム、第２アーム
駆動用のダイレクトドライブモータを上下に配置するに
当たり、回転力伝達部分の構造を簡略化することであ
る。
駆動用のダイレクトドライブモータを上下に配置するに
当たり、回転力伝達部分の構造を簡略化することであ
る。
発明の解決手段 上記目的の下に、本発明は、第１アーム駆動用のダイレ
クトドライブモータと第２アーム駆動用のダイレクトド
ライブモータとを基台上で上下に配置するに当たり、第
１アーム駆動用のダイレクトドライブモータをアウター
ロータ型とし、また第２アーム駆動用のダイレクトドラ
イブモータをインナーロータ型として構成している。こ
れによって、上下のダイレクトドライブモータの構成が
簡略化でき、それらの回転力が効率よくアームに伝達で
きる。
クトドライブモータと第２アーム駆動用のダイレクトド
ライブモータとを基台上で上下に配置するに当たり、第
１アーム駆動用のダイレクトドライブモータをアウター
ロータ型とし、また第２アーム駆動用のダイレクトドラ
イブモータをインナーロータ型として構成している。こ
れによって、上下のダイレクトドライブモータの構成が
簡略化でき、それらの回転力が効率よくアームに伝達で
きる。
発明の構成 図は本発明のダイレクトドライブ多関節ロボット１を示
している。
している。
このダイレクトドライブ多関節ロボット１は、水平２関
節型であり、第１アーム１０を駆動するためのダイレク
トドライブモータ１１、および第２アーム２０を駆動す
るためのダイレクトドライブモータ２１を備えている。
これらのダイレクトドライブ１１、２１は、上下に積み
重ねられた状態で、ロボット本体部分を構成している。
節型であり、第１アーム１０を駆動するためのダイレク
トドライブモータ１１、および第２アーム２０を駆動す
るためのダイレクトドライブモータ２１を備えている。
これらのダイレクトドライブ１１、２１は、上下に積み
重ねられた状態で、ロボット本体部分を構成している。
まず、ダイレクトドライブモータ２１は、インナーロー
タ型であり、基台２を兼用する固定側の筒状ステータ２
２と、この筒状ステータ２２の内部に固定された環状の
磁石２３と、この磁石２３内でその内周面と離間対向す
る第２のコイル２４と、この第２のコイル２４を固定
し、上記筒状ステータ２２に対し軸受け２６によって回
転自在に支持された第２の中空ロータ２５によって構成
されている。なお、第２の中空ロータ２５は、上方に延
び、第１アーム１０の内部に達している。
タ型であり、基台２を兼用する固定側の筒状ステータ２
２と、この筒状ステータ２２の内部に固定された環状の
磁石２３と、この磁石２３内でその内周面と離間対向す
る第２のコイル２４と、この第２のコイル２４を固定
し、上記筒状ステータ２２に対し軸受け２６によって回
転自在に支持された第２の中空ロータ２５によって構成
されている。なお、第２の中空ロータ２５は、上方に延
び、第１アーム１０の内部に達している。
また、第１アーム１０駆動用のダイレクトドライブモー
タ１１は、アウターロータ型であり、筒状ステータ２２
の上部に固定された筒状の第１のステータ１２と、この
第１のステータ１２の外側に固定された第１のコイル１
３と、この第１のコイル１３の外側でその外周面と離間
対向する環状の磁石１４と、第１のステータ１２に対し
軸受け１５によって回転自在に支持され、磁石１４を固
定する第１のロータ１６とによって構成されている。
タ１１は、アウターロータ型であり、筒状ステータ２２
の上部に固定された筒状の第１のステータ１２と、この
第１のステータ１２の外側に固定された第１のコイル１
３と、この第１のコイル１３の外側でその外周面と離間
対向する環状の磁石１４と、第１のステータ１２に対し
軸受け１５によって回転自在に支持され、磁石１４を固
定する第１のロータ１６とによって構成されている。
上記第１のアーム１０は、その基端部分で、第１のロー
タ１６の上部に直接固定されている。また、第２のアー
ム２０は、基端部分で、垂直方向の軸２７によって、第
１アーム１０の先端部分に回転自在に固定されている。
なお、この第２アーム２０は、先端部分で上下動自在
で、かつ回転自在の作業軸２８を備え、その下端部分で
作業内容に適切なチヤック２９を備えている。
タ１６の上部に直接固定されている。また、第２のアー
ム２０は、基端部分で、垂直方向の軸２７によって、第
１アーム１０の先端部分に回転自在に固定されている。
なお、この第２アーム２０は、先端部分で上下動自在
で、かつ回転自在の作業軸２８を備え、その下端部分で
作業内容に適切なチヤック２９を備えている。
そして、上記中空ロータ２５の回転力は、第１アーム１
０の内部の駆動伝達手段３０によって、第２アーム２０
に伝達される。この実施例の場合、駆動伝達手段３０
は、第２の中空ロータ２５の上部に固定したプーリ３
１、軸２７の上端に固定したプーリ３２、これらのプー
リ３１、３２の外周に平行掛けまたは十字掛けの状態で
巻き付けて各端部で固定された２本のベルト３３、３４
によって構成されている。
０の内部の駆動伝達手段３０によって、第２アーム２０
に伝達される。この実施例の場合、駆動伝達手段３０
は、第２の中空ロータ２５の上部に固定したプーリ３
１、軸２７の上端に固定したプーリ３２、これらのプー
リ３１、３２の外周に平行掛けまたは十字掛けの状態で
巻き付けて各端部で固定された２本のベルト３３、３４
によって構成されている。
発明の作用 第１アーム１０は、ダイレクトドライブモータ１１によ
って駆動され、第２の中空ロータ２５を回転中心として
回動する。また、第２アーム２０は、ダイレクトドライ
ブモータ２１によって、駆動伝達手段３０を介して駆動
され、軸２７を中心として回動する。
って駆動され、第２の中空ロータ２５を回転中心として
回動する。また、第２アーム２０は、ダイレクトドライ
ブモータ２１によって、駆動伝達手段３０を介して駆動
され、軸２７を中心として回動する。
すなわち、第１のコイル１３が通電状態となると、第１
のロータ１６が回るため、これによって第１アーム１０
は、所定の方向に回動する。また、ダイレクトドライブ
モータ２１の第２コイル２４が通電状態になると、第２
の中空ロータ２５が回転し、この回転力が駆動伝達手段
３０を介し第２アーム２０に伝達されるため、第２アー
ム２０は、第１アーム１０の先端部分で軸２７を中心と
して所定の方向に必要な角度だけ回動する。なお、これ
らの第１のロータ１６および第２の中空ロータ２５の回
転量は、それぞれ対応の固定側の第１のステータ１２お
よび筒状ステータ２２との間に設けられた回転検出手段
によって検出される。これらの回転検出手段は、例えば
ダイレクトドライブモータ１１、２１の中間部分に配置
される。
のロータ１６が回るため、これによって第１アーム１０
は、所定の方向に回動する。また、ダイレクトドライブ
モータ２１の第２コイル２４が通電状態になると、第２
の中空ロータ２５が回転し、この回転力が駆動伝達手段
３０を介し第２アーム２０に伝達されるため、第２アー
ム２０は、第１アーム１０の先端部分で軸２７を中心と
して所定の方向に必要な角度だけ回動する。なお、これ
らの第１のロータ１６および第２の中空ロータ２５の回
転量は、それぞれ対応の固定側の第１のステータ１２お
よび筒状ステータ２２との間に設けられた回転検出手段
によって検出される。これらの回転検出手段は、例えば
ダイレクトドライブモータ１１、２１の中間部分に配置
される。
このようにして、第１アーム１０および第２アーム２０
は、必要な角度だけ回動し、作業軸２８を所定の方向に
移動させ、その回転および上下運動によって、チヤック
２９で必要な作業を行う。
は、必要な角度だけ回動し、作業軸２８を所定の方向に
移動させ、その回転および上下運動によって、チヤック
２９で必要な作業を行う。
発明の効果 本発明では、次の効果が得られる。
上下のダイレクトドライブモータがアウターロータ、イ
ンナーロータとして構成され、上下に配置されているた
め、ロボット本体部分がこれらのモータ自体によって構
成でき、それらの外径が小さくできる。また、これらの
モータ自体がロボット本体を構成しているため、ロボッ
トの本体部分の構成が従来のものに比較して簡略化でき
る。
ンナーロータとして構成され、上下に配置されているた
め、ロボット本体部分がこれらのモータ自体によって構
成でき、それらの外径が小さくできる。また、これらの
モータ自体がロボット本体を構成しているため、ロボッ
トの本体部分の構成が従来のものに比較して簡略化でき
る。
そして、第１アーム駆動用のダイレクトドライブモータ
が回転するとき、第２アーム駆動用のダイレクトドライ
ブモータの回転部分が負荷とならないため、モータの回
転力が有効に利用でき、また第１アームの駆動時に、第
２アームについて回転方向の補正が必要とされない。
が回転するとき、第２アーム駆動用のダイレクトドライ
ブモータの回転部分が負荷とならないため、モータの回
転力が有効に利用でき、また第１アームの駆動時に、第
２アームについて回転方向の補正が必要とされない。
図は本発明のダイレクトドライブ多関節ロボットの垂直
断面図である。 １……ダイレクトドライブ多関節ロボット、２……基
台、１０……第１アーム、１１……ダイレクトドライブ
モータ、１２……第１のステータ、１３……第１のコイ
ル、１４……磁石、１６……第１のロータ、２０……第
２アーム、２１……ダイレクトドライブモータ、２２…
…筒状ステータ、２３……磁石、２４……第２コイル、
２５……第２の中空ロータ、２７……軸、３０……駆動
伝達手段。
断面図である。 １……ダイレクトドライブ多関節ロボット、２……基
台、１０……第１アーム、１１……ダイレクトドライブ
モータ、１２……第１のステータ、１３……第１のコイ
ル、１４……磁石、１６……第１のロータ、２０……第
２アーム、２１……ダイレクトドライブモータ、２２…
…筒状ステータ、２３……磁石、２４……第２コイル、
２５……第２の中空ロータ、２７……軸、３０……駆動
伝達手段。
Claims (1)
- 【請求項１】第１アーム、第２アーム駆動用のダイレク
トドライブモータを上下に配置したロボットに於いて、
固定の筒状ステータ、この筒状ステータ内に固定された
環状の磁石、この磁石内で磁石と離間対向する第２のコ
イル、この第２のコイルを固定し、上記筒状ステータに
回転自在に支持された第２の中空ロータと、この中空ロ
ータを上下に延ばした上端に設けた第２アームへの駆動
伝達手段、この駆動伝達手段を収納した第１アーム、上
記筒状ステータの上部を上記ロータの延長部の外側に延
ばした第１のステータと、この第１のステータの外周に
固定した第１のコイルと、この第１のコイルの外側で第
１のコイルと離間対向する環状の磁石と、この磁石を固
定し上部に第１アームを固定した第１のロータとからな
ることを特徴とするダイレクトドライブ多関節ロボッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63207239A JPH0643032B2 (ja) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | ダイレクトドライブ多関節ロボット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63207239A JPH0643032B2 (ja) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | ダイレクトドライブ多関節ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0259289A JPH0259289A (ja) | 1990-02-28 |
| JPH0643032B2 true JPH0643032B2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=16536526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63207239A Expired - Lifetime JPH0643032B2 (ja) | 1988-08-23 | 1988-08-23 | ダイレクトドライブ多関節ロボット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0643032B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4766274B2 (ja) * | 2007-07-18 | 2011-09-07 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボット及びそれを備えた半導体製造装置 |
| JP7374683B2 (ja) * | 2019-09-19 | 2023-11-07 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板搬送装置および基板搬送装置のハンドの位置補正方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0632913B2 (ja) * | 1985-04-30 | 1994-05-02 | ぺんてる株式会社 | ダイレクトドライブモ−タ−を用いた関節型ロボツトの回動装置 |
| JPS63191584A (ja) * | 1987-01-30 | 1988-08-09 | 株式会社日立製作所 | 産業用ロボツト |
-
1988
- 1988-08-23 JP JP63207239A patent/JPH0643032B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0259289A (ja) | 1990-02-28 |
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