JPH0644005Y2 - イオン源本体着脱装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、イオンビームを引き出すためのイオン源物
質を備えたイオン源本体とイオン源本体を収納するイオ
ン源ハウジングとを備えるイオン源の当該イオン源本体
を密閉状態で着脱可能にしたイオン源本体着脱装置に関
する。

〔従来の技術〕

第６図は、イオン源の一例を部分的に示す概略側面図で
ある。このイオン源２は、例えばいわゆるフリーマン型
イオン源と呼ばれるようなものであり、大きく分ける
と、イオンビームを引き出すためのイオン源本体12（そ
の取り出した状態を図中に２点鎖線で示す）と、イオン
源本体12を収納するイオン源ハウジング４とから成る。
イオン源ハウジング４は、例えば、ハウジング６、絶縁
フランジ８および取付けフランジ10を有する。イオン源
本体12は、例えば、アークチャンバおよび引出し電極部
14、熱シールド板16、端子18および取付けフランジ20を
有する。

上記のようなイオン源２において、例えばイオン源物質
等の交換のためにイオン注入装置等に取り付けられたイ
オン源ハウジング４から例えば矢印Ａのようにイオン源
本体12を取り出す場合、従来は、イオン源本体12は作業
者の手によって保持されてイオン源ハウジング４から取
り出されていた。そしてイオン源本体12は、人体との間
に何の隔壁も無いまま例えば作業場等へ運ばれ、またイ
オン源ハウジング４内も、その後同一または別のイオン
源本体12が再び取り付けられるまで大気との間に何の隔
壁も無いままさらされていた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記の場合、イオン源本体12の着脱時に当該イオン源本
体12は人の手によって保持されるため、必然的に生じる
保持の不安定さにより、イオン源本体12の一部分がイオ
ン源ハウジング４の内壁等に当たり、その部分を破損し
たり、あるいは所定のセッティングを乱したりする恐れ
があった。

また、例えばBF₃等の有毒物質をイオン源物質として使
用している場合、イオン源本体12を取り出すと、当該物
質の粉、薄片等が密閉されていないために外部（人体と
の間に隔壁の無い空間）に漏れ出る恐れがあった。更
に、やむを得ず作業者がイオン源本体12に直接触れる恐
れもあり、それを防ぐにはイオン源本体12の着脱時には
手袋の着用等が不可欠となり面倒でもあった。

そこでこの考案は、密閉状態でしかも確実にイオン源本
体をイオン源ハウジングに対して着脱することができる
イオン源本体着脱装置を提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案のイオン源本体着脱装置は、イオンビームを引
き出すためのイオン源本体とイオン源本体を収納するイ
オン源ハウジングとを備えるイオン源のイオン源ハウジ
ングに対するイオン源本体の着脱に用いられる装置であ
って、イオン源ハウジング側に取り付けられるものであ
ってイオン源本体が取り出された後のイオン源ハウジン
グの開口部を密閉する第１のシャッタと、第１のシャッ
タに結合されるものであってイオン源ハウジングから取
り出されるイオン源本体を密閉状態で支持する密閉装置
との組み合わせから成り、当該密閉装置は、イオン源本
体を中に収納することができるベローズと、ベローズの
一端側に取り付けられていて第１のシャッタと結合可能
な第２のシャッタと、ベローズの他端側に取り付けられ
ていてイオン源本体を支持する支持フランジと、支持フ
ランジを移動可能に支持する支持体とを備えることを特
徴とする。

〔作用〕

イオン源本体は、密閉装置に確実に支持された状態でイ
オン源ハウジングから取り出され、かつ取り出されたも
のは密閉装置によって密閉状態に保たれる。一方、イオ
ン源本体が取り出された後のイオン源ハウジングは、そ
の開口部が第１のシャッタによって密閉される。イオン
源本体のイオン源ハウジングへの取付けは、上記とほぼ
逆の動作で行われる。これによって、密閉状態でしかも
確実にイオン源本体をイオン源ハウジングに対して着脱
することができる。

〔実施例〕

第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源本体着脱
装置をイオン源に取り付けた状態の一例を示す概略断面
図である。第６図と同一または同等部分には同一符号を
付してその説明を省略する。

この実施例のイオン源本体着脱装置は、例えば第２図に
示すような第１のシャッタ22と、例えば第３図および第
４図に示すような密閉装置30との組み合わせから成る。

まず第２図を参照して、第１のシャッタ22は、例えばイ
オン注入装置等に取り付けられた状態のイオン源ハウジ
ング４の例えば取付けフランジ10に例えばボルト等によ
り取り付けられるものであって、この例では少なくとも
イオン源本体12の取付けフランジ20よりも大きい開口部
26を有する枠体24と、矢印Ｂのように開閉可能なシャッ
タ板28とを備えており、これによってイオン源本体12が
取り出された後のイオン源ハウジング４の開口部５を密
閉することができる。

次に第３図および第４図を参照して、密閉装置30は、上
記イオン源本体12を中に収納することができる大きさの
ベローズ40と、ベローズ40の一端側に取り付けられてい
て上記第１のシャッタ22と結合可能な第２のシャッタ32
と、ベローズ40の他端側に取り付けられていてイオン源
本体12を支持する支持フランジ42と、支持フランジ42を
矢印Ｃのように直線移動可能に支持するガイドレール48
等の支持体とを備える。

詳述すると、ベローズ40は、例えば金属、布、樹脂等か
ら成る筒状のものであって、その内外の雰囲気を少なく
ともある程度（例えば中から前述したような有毒物質が
漏出しない程度）分離することができるものである。

シャッタ32は、この例ではイオン源本体12の取付けフラ
ンジ20および支持フランジ42（より具体的にはその筒部
44）よりも大きい開口部36を有する枠体34と、矢印Ｄの
ように開閉可能なシャッタ板38とを備えており、これに
よってベローズ40の一方側を密閉することができる。

支持フランジ42は、この例ではフランジ部43および筒部
44を有しており、フランジ部43には後述するガイドレー
ル48に係合する幾つかの（図示例では２つの）突起46
が、筒部44にはイオン源本体12の端子18等の突出物を入
れることができる開口部45が設けられている。そして当
該支持フランジ42（より具体的にはその筒部44）にはイ
オン源本体12を取り付けることができ、そのようにする
とベローズ40の他方側も密閉されることになる。

第３図および第４図中の50は、密閉装置30全体の枠組を
成す枠体であり、52は、当該密閉装置30支持用の脚部で
ある。そしてシャッタ32とその反対端の枠体50との間に
は、例えば上下にそれぞれ、支持フランジ42の突起46を
挟んで矢印Ｃのように直線移動可能に支持する一対のガ
イドレール48が設けられている。

上記装置を使用する手順の一例を以下に示す。

第２図を参照して、第１のシャッタ22を、開いた状態
で、例えばイオン注入装置等の機器に取り付けられた状
態のイオン源ハウジング４に、より具体的にはその取付
けフランジ10に取り付ける。

次に第１図を参照して、密閉装置30を、より具体的に
はそのシャッタ32を、例えば開いた状態で、第１のシャ
ッタ22に結合する。

支持フランジ42にイオン源本体12を、より具体的には
その取付けフランジ20を固定する。

イオン源本体12をイオン源ハウジング４から、より具
体的にはその取付けフランジ10から分離する。

イオン源本体12が取り付けられた支持フランジ42をガ
イドレール48に沿って矢印Ｃのように後退させる。これ
によってイオン源ハウジング４からイオン源本体12が取
り出される。

シャッタ22および32を、それぞれ矢印ＢおよびＤのよ
うに閉じる。これによって第５図に示すような状態にな
り、イオン源ハウジング４の開口部５およびイオン源本
体12を収納した密閉装置30がそれぞれ密閉される。

密閉装置30を第１のシャッタ22から分離する。

イオン源本体12を収納した密閉装置30は、必要に応じ
て、例えばイオン源作業場等に運ばれて、イオン源本体
12に対する所望の作業が行われる。

その後必要に応じて、同一または別のイオン源本体12
のイオン源ハウジング４に対する取付けが上記とほぼ逆
の手順で行われる。

このように上記装置によれば、イオン源ハウジング４に
対するイオン源本体12の着脱は、支持フランジ42等によ
って機械的に確実に支持して行われるので、イオン源本
体12のイオン源ハウジング４の内壁等に対する衝突が防
止される。従って、イオン源本体12の破損やセッティン
グずれ等が起こらず安全である。

しかも、イオン源本体12を取り出した後は、イオン源ハ
ウジング４は第１のシャッタ22によって、イオン源本体
12は密閉装置30によってそれぞれ密閉されて人体から隔
離されるので、イオン源物質として有毒物質を使用して
いる場合にも、人体に対する危険性は大幅に減少する。
勿論、イオン源本体12の着脱時に作業者がイオン源本体
12に直接触れる恐れもないので、手袋等の着用も必ずし
も必要ではなくなる。

〔考案の効果〕

以上のようにこの考案によれば、密閉状態でしかも確実
にイオン源本体をイオン源ハウジングに対して着脱する
ことができる。従って、イオン源本体の破損等が防止さ
れると共に、イオン源物質として有毒物質を使用してい
ても人体に対する危険性は大幅に減少する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例に係るイオン源本体着脱
装置をイオン源に取り付けた状態の一例を示す概略断面
図である。第２図は、第１図の装置の第１のシャッタを
示す概略断面図である。第３図は、第１図の装置の密閉
装置を示す平面図である。第４図は、第３図の線IV-IV
に沿う概略断面図である。第５図は、第１図の装置の他
の状態を示す概略断面図である。第６図は、イオン源の
一例を部分的に示す概略側面図である。 ２……イオン源、４……イオン源ハウジング、12……イ
オン源本体、22……第１のシャッタ、30……密閉装置、
32……第２のシャッタ、40……ベローズ、42……支持フ
ランジ、48……ガイドレール。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】イオンビームを引き出すためのイオン源本
   体とイオン源本体を収納するイオン源ハウジングとを備
   えるイオン源のイオン源ハウジングに対するイオン源本
   体の着脱に用いられる装置であって、イオン源ハウジン
   グ側に取り付けられるものであってイオン源本体が取り
   出された後のイオン源ハウジングの開口部を密閉する第
   １のシャッタと、第１のシャッタに結合されるものであ
   ってイオン源ハウジングから取り出されるイオン源本体
   を密閉状態で支持する密閉装置との組み合わせから成
   り、当該密閉装置は、イオン源本体を中に収納すること
   ができるベローズと、ベローズの一端側に取り付けられ
   ていて第１のシャッタと結合可能な第２のシャッタと、
   ベローズの他端側に取り付けられていてイオン源本体を
   支持する支持フランジと、支持フランジを移動可能に支
   持する支持体とを備えることを特徴とするイオン源本体
   着脱装置。