JPH0480733B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0480733B2 JPH0480733B2 JP28734285A JP28734285A JPH0480733B2 JP H0480733 B2 JPH0480733 B2 JP H0480733B2 JP 28734285 A JP28734285 A JP 28734285A JP 28734285 A JP28734285 A JP 28734285A JP H0480733 B2 JPH0480733 B2 JP H0480733B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching chamber
- valve
- lid
- vacuum
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は真空処理装置に係り、特に真空チヤン
バ内に残留する有毒ガスの外部への放出を防ぐよ
うにした真空処理装置に関する。
バ内に残留する有毒ガスの外部への放出を防ぐよ
うにした真空処理装置に関する。
第２図は真空処理装置として従来のプラズマエ
ツチング装置を示したもので、エツチングチヤン
バ１には、反応ガスおよびマイクロ波を導入して
プラズマを発生させる放電装置２が接続されると
ともに、本装置においては、真空排気系統として
メカニカルブースタポンプ３およびロータリポン
プ４が途中主バルブ５を介して接続されている。
ツチング装置を示したもので、エツチングチヤン
バ１には、反応ガスおよびマイクロ波を導入して
プラズマを発生させる放電装置２が接続されると
ともに、本装置においては、真空排気系統として
メカニカルブースタポンプ３およびロータリポン
プ４が途中主バルブ５を介して接続されている。
上記装置においては、エツチングチヤンバ１の
内部に被処理物６を配置し、主バルブ５を開いて
各ポンプ３，４によりエツチングチヤンバ１内を
真空排気する。そして、放電装置２により発生す
る放電プラズマをエツチングチヤンバ１内に送
り、被処理物６のエツチングを行なうものであ
る。
内部に被処理物６を配置し、主バルブ５を開いて
各ポンプ３，４によりエツチングチヤンバ１内を
真空排気する。そして、放電装置２により発生す
る放電プラズマをエツチングチヤンバ１内に送
り、被処理物６のエツチングを行なうものであ
る。
上記のようにエツチングを行なつた後、作業者
がエツチングチヤンバ１内の被処理物６を交換し
たり、エツチングチヤンバ１内部の清掃を行なう
等エツチングチヤンバ１の蓋を開く際に、エツチ
ングチヤンバ１の内壁に付着した有毒ガスが外部
に放出されるおそれがある。この有毒ガスが外部
に広がらないようにするため、従来から種々の手
段が用いられている。
がエツチングチヤンバ１内の被処理物６を交換し
たり、エツチングチヤンバ１内部の清掃を行なう
等エツチングチヤンバ１の蓋を開く際に、エツチ
ングチヤンバ１の内壁に付着した有毒ガスが外部
に放出されるおそれがある。この有毒ガスが外部
に広がらないようにするため、従来から種々の手
段が用いられている。
これには、第３図に示すようにエツチングチヤ
ンバ１の周囲をケース７により覆うようにする手
段や、第４図に示すようにエツチング装置８自体
をクリーンベンチ９の中に設置する手段や、第５
図に示すようにエツチングチヤンバ１の蓋１０近
傍に排気ダクト１１を配置する手段等がある。
ンバ１の周囲をケース７により覆うようにする手
段や、第４図に示すようにエツチング装置８自体
をクリーンベンチ９の中に設置する手段や、第５
図に示すようにエツチングチヤンバ１の蓋１０近
傍に排気ダクト１１を配置する手段等がある。
しかし、上記いずれの手段でも、ケース７やク
リーンベンチ９等の大がかりな装置が必要であ
り、その設置スペースが多く必要となつてしま
う。
リーンベンチ９等の大がかりな装置が必要であ
り、その設置スペースが多く必要となつてしま
う。
また、上記手段では、有毒ガスがあまり広範囲
に広がらないようにするだけで完全に有毒ガスを
除去することができないので、作業者に悪影響を
及ぼしたり、クリーンルームを汚染してしまうと
いう問題があつた。
に広がらないようにするだけで完全に有毒ガスを
除去することができないので、作業者に悪影響を
及ぼしたり、クリーンルームを汚染してしまうと
いう問題があつた。
本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、
エツチングチヤンバの内壁に付着した有毒ガスを
確実に除去することのできる真空処理装置を提供
することを目的とするものである。
エツチングチヤンバの内壁に付着した有毒ガスを
確実に除去することのできる真空処理装置を提供
することを目的とするものである。
上記目的を達成するため本発明に係る真空処理
装置は、真空チヤンバに主バルブを介して真空排
気系統を接続してなる真空処理装置において、上
記真空チヤンバと主バルブとの間に常時減圧状態
に保持された排気系統を途中ドラフトバルブを介
して接続して構成され、エツチングチヤンバの蓋
を開く時にドラフトバルブを開くようになされて
いる。
装置は、真空チヤンバに主バルブを介して真空排
気系統を接続してなる真空処理装置において、上
記真空チヤンバと主バルブとの間に常時減圧状態
に保持された排気系統を途中ドラフトバルブを介
して接続して構成され、エツチングチヤンバの蓋
を開く時にドラフトバルブを開くようになされて
いる。
以下、本発明の実施例を第１図を参照して説明
し、第２図乃至第５図と同一部分には同一符号を
付してその説明を省略する。
し、第２図乃至第５図と同一部分には同一符号を
付してその説明を省略する。
本実施例においては、エツチングチヤンバ１と
主バルブ５との間には、排気ダクト等常に減圧状
態に保持されている排気系統１２が途中ドラフト
バルブ１３を介して接続されている。このドラフ
トバルフ１３は、例えば、マイコン等の制御装置
により開閉制御され、この開閉のタイミングはエ
ツチングチヤンバ１の蓋の開閉と同時に行なうよ
うになされる。すなわち、エツチングチヤンバ１
の蓋が閉じている時には、ドラフトバルブ１３は
閉じられ、エツチングチヤンバ１の蓋が開くと同
時にドラフトバルブ１３を開くように制御され
る。また、このエツチングチヤンバ１の蓋の開閉
を検知するには、エツチングチヤンバ１の内部に
大気圧検出器を設け、エツチングチヤンバ１内が
大気圧になつたことにより上記蓋が開いたことを
検知するようにしてもよいし、タイマにより一定
の処理時間が経過した時にドラフトバルブ１３を
開くようにしてもよい。
主バルブ５との間には、排気ダクト等常に減圧状
態に保持されている排気系統１２が途中ドラフト
バルブ１３を介して接続されている。このドラフ
トバルフ１３は、例えば、マイコン等の制御装置
により開閉制御され、この開閉のタイミングはエ
ツチングチヤンバ１の蓋の開閉と同時に行なうよ
うになされる。すなわち、エツチングチヤンバ１
の蓋が閉じている時には、ドラフトバルブ１３は
閉じられ、エツチングチヤンバ１の蓋が開くと同
時にドラフトバルブ１３を開くように制御され
る。また、このエツチングチヤンバ１の蓋の開閉
を検知するには、エツチングチヤンバ１の内部に
大気圧検出器を設け、エツチングチヤンバ１内が
大気圧になつたことにより上記蓋が開いたことを
検知するようにしてもよいし、タイマにより一定
の処理時間が経過した時にドラフトバルブ１３を
開くようにしてもよい。
したがつて本実施例においては、エツチングチ
ヤンバ１の蓋を開いた時に、ドラフトバルブ１３
が開くことにより、排気系統１２への空気の流れ
が生じ、エツチングチヤンバ１の内壁に付着して
いた有毒ガスは、外部に放出されることなく排気
系統１２へ排気される。その結果、作業者に悪影
響を与えることがなく、クリーンルームを汚染す
ることを防止することができ、ケースやクリーン
ベンチ等も不要となる。
ヤンバ１の蓋を開いた時に、ドラフトバルブ１３
が開くことにより、排気系統１２への空気の流れ
が生じ、エツチングチヤンバ１の内壁に付着して
いた有毒ガスは、外部に放出されることなく排気
系統１２へ排気される。その結果、作業者に悪影
響を与えることがなく、クリーンルームを汚染す
ることを防止することができ、ケースやクリーン
ベンチ等も不要となる。
以上述べたように本発明に係る真空処理装置
は、エツチングチヤンバと主バルブ５との間にド
ラフトバルブを介して排気系統を接続して構成さ
れ、エツチングチヤンバの蓋を開く時に上記ドラ
フトバルブを開くようにしたので、エツチングチ
ヤンバ内の有毒ガスを外部へ放出させることなく
確実に排気することができる。その結果、作業者
に悪影響を与えることがなく、クリーンルームを
汚染することもなく、さらに、スペース効率も高
まる等の効果を奏する。
は、エツチングチヤンバと主バルブ５との間にド
ラフトバルブを介して排気系統を接続して構成さ
れ、エツチングチヤンバの蓋を開く時に上記ドラ
フトバルブを開くようにしたので、エツチングチ
ヤンバ内の有毒ガスを外部へ放出させることなく
確実に排気することができる。その結果、作業者
に悪影響を与えることがなく、クリーンルームを
汚染することもなく、さらに、スペース効率も高
まる等の効果を奏する。
第１図は本発明の一実施例を示す系統図、第２
図は従来のプラズマエツチング装置を示す系統
図、第３図、第４図および第５図はそれぞれ従来
の有毒ガスへの対策手段を示す説明図である。 １…エツチングチヤンバ、２…放電装置、３，
４…ポンプ、５…主バルブ、６…被処理物、１２
…排気系統、１３…ドラフトバルブ。
図は従来のプラズマエツチング装置を示す系統
図、第３図、第４図および第５図はそれぞれ従来
の有毒ガスへの対策手段を示す説明図である。 １…エツチングチヤンバ、２…放電装置、３，
４…ポンプ、５…主バルブ、６…被処理物、１２
…排気系統、１３…ドラフトバルブ。
Claims (1)
- １ 被処理物を収容する真空チヤンバに主バルブ
を介して真空排気系統を接続してなる真空処理装
置において、上記真空チヤンバと主バルブとの間
に常時減圧状態に保持された排気系統を途中ドラ
フトバルブを介して接続したことを特徴とする真
空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28734285A JPS62144742A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28734285A JPS62144742A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62144742A JPS62144742A (ja) | 1987-06-27 |
| JPH0480733B2 true JPH0480733B2 (ja) | 1992-12-21 |
Family
ID=17716129
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28734285A Granted JPS62144742A (ja) | 1985-12-20 | 1985-12-20 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62144742A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04313038A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-05 | Mitsubishi Electric Corp | ガス漏れ量検出装置 |
-
1985
- 1985-12-20 JP JP28734285A patent/JPS62144742A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62144742A (ja) | 1987-06-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |