JPH0645235A - 制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】装置の制御に必要な複数の画面を制御用表示装
置に表示するとともに、それぞれの制御に必要な複数画
面が重ならないように表示する。また、装置の使用形態
に応じて、最適な操作画面が表示出来るように、画面情
報を記憶する。 【効果】装置制御時に同時に操作、あるいは、観察する
画面を、重畳しないように表示するため、画面選択の操
作が不必要となり、操作性が格段に向上する。また、そ
の結果、誤操作も防ぐこととなる。装置の使用形態に応
じて、最適な操作画面を表示することが出来る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は装置の制御を制御用表示
装置を用いて制御する装置に係り、特に、電子線描画装
置の制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子線描画装置の制御では、制御用計算
機を用いて装置制御が行なわれる。図１は、電子線描画
装置の概略構成を示したものである。装置を構成する電
子光学鏡筒１０１は、電子銃１０２，偏向器１０３，電
子レンズ１０４等から構成され、それぞれ、高圧電源１
０９，偏向制御回路１１０，レンズ制御回路１１１でも
って制御される。試料室１０５内には、試料台１０６，
反射電子検出器１０７が有り、試料台の制御は、駆動回
路、及び、レーザ干渉計からなる試料台制御回路１１３
で制御される。また、反射電子検出器１０７からの信号
は、信号処理回路１１２で処理される。電子光学鏡筒１
０１、及び、試料室１０５は、真空排気装置１０８で真
空に排気されている。排気装置は、真空制御回路１１４
によって制御されている。制御回路の内、描画に直接関
係する偏向制御回路１１０，信号処理回路１１２，試料
台制御回路１１３が、インタフェィス１１５を介して制
御用計算機１１６と結合されている。制御用計算機１１
６には、入力用キーボード１１７、及び、表示装置１１
８が備えてある。電子線描画装置を用いて描画を行なう
際には、装置使用者はキーボード１１７から必要な命令
を入力し、装置の動作状態を表示装置１１８で確認して
いた。図１に示した装置では、その他の回路の制御、例
えば、高圧電源の制御には、電源専用の操作パネル１２
０を用いて制御を行なっていた。同様に、レンズ電流の
制御には操作パネル１２１を、真空排気系の制御にはパ
ネル１２２を使用していた。従って、装置使用者は制御
計算機１１６だけでなく、その他の操作パネルを操作す
る必要があり、操作上不便であった。

【０００３】図２は、このような不便さを考慮して設計
された従来の電子線描画装置の構成である。全ての制御
回路１０９，１１０，１１１，１１２，１１３，１１４
は、インタフェィス１１５でもって制御用計算機１１６
と結合されている。従って、装置の全ての回路は、制御
計算機１１６から制御することが可能である。制御用計
算機には、図１に示した入力用キーボード１１７、及
び、表示装置１１８に加えてポインティングデバイス１
１９が備えてある。

【０００４】このような構成の電子線描画装置を制御す
る場合には、装置使用者は入力用キーボード１１７、あ
るいはポインティングデバイス１１９を用いて必要な命
令を入力し、制御結果は表示装置１１８で確認する。従
来の制御装置では、命令をキーボード１１７から入力す
る方式が主流であったが、操作性の向上の点からポイン
ティングデバイス１１９を用いて命令を入力する方法が
とられるようになってきている。その場合には、表示装
置１１８には、従来の各制御回路の操作パネル１２０，
１２１，１２２等に対応する複数の操作画面が表示さ
れ、その画面上のスイッチ、あるいは、つまみをポイン
ティングデバイスで操作することによって、装置制御が
行なえるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一般に、装置を制御す
るには、複数の制御回路を用いて行なう。例えば、電子
線描画装置では、図１、あるいは、図２に示したよう
に、多数の制御回路が必要である。従って、表示装置１
１８に表示すべき操作画面は、複数個必要となる。

【０００６】この操作画面は、装置を制御する制御ソフ
トウェアの一機能として開発される。しかし、一般に、
制御ソフトウェアの規模が大きいため、プログラムの開
発では、複数のプログラム開発担当者が、個々の制御回
路を制御するソフトウェアの開発を担当することにな
り、その結果、各制御回路の操作画面が、重なり合って
しまうことが多い。図３にその一例を示す。表示装置１
１８の画面には、操作用の画面３０１，３０２，３０
３，３０４の４種類の画面が表示されている。各画面
は、それぞれ独立の機能の制御を担当している。一例を
挙げると、画面３０１は電子銃の状態を示し、画面３０
２は偏向系の操作画面であり、画面３０３はレンズ操作
画面、画面３０４はＳＥＭ像表示画面である。

【０００７】装置使用者は、これらの画面と、ポインテ
ィングデバイス１１９を用いて装置制御を行なうことが
出来る。しかし、実際に装置を制御する際には、例え
ば、ＳＥＭ表示画面３０４を観察しつつ、偏向系やレン
ズ系の条件を変更することが多い。あるいは、電子光学
鏡筒内に、複数の偏向器が存在する場合にはそれらの偏
向条件を変化させつつＳＥＭ像を観察することがしばし
ばである。このような操作を行なうに際して、図３に示
されるような従来の画面では、必要な都度、装置制御に
必要とする画面を、重なりあった画面の一番上に持って
くる操作が必要となる。更に、複数の偏向器の条件を変
えるには、その都度、偏向器を制御する画面を切り替え
る手間が必要であった。従って、装置に指示を与える前
に、必要とする画面を前面に出す画面選択の操作が必要
となり、更に、同一機能を有する操作画面における、異
なった状態での情報を同時には得られないこともあっ
て、操作性の上で非常に煩雑となっていた。

【０００８】本発明の目的は、従来の装置制御における
操作性の不都合さを解決することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に、本発明における装置制御装置では、複数の操作画面
が重畳しない様に考慮される。あるいは、同一機能を有
する画面を複数個表示できように考慮する。特定の装置
の制御を目的とする表示装置の画面では、必要とする画
面の個数は限られており、従って、各々の画面の大き
さ，位置などを、あらかじめ決定しておいても問題は無
い。更に、本発明では、最適な画面の表示方法を記憶す
る回路を設け、常に操作しやすい画面を提供する。

【００１０】

【作用】装置制御時に同時に操作する、あるいは、観察
する画面を重畳しないように表示するため、画面選択の
操作が不必要となるので、操作性が格段に向上する。

【００１１】

【実施例】以下に、本発明に基づく制御装置を、電子線
描画装置に適用した場合を例にとって説明する。図４
は、操作用の画面の一例を示したものである。本実施例
では、表示画面を同図（ａ）に示すように画面を６個の
区画に分割し、制御画面は、この区画を単位として表示
するようにした。図４（ｂ）は表示例である。同画面に
は、４０１，４０２，４０３，４０４の４種の画面が表
示されている。各画面は、それぞれ、電子銃，偏向系，
レンズ及び、ＳＥＭ機能を操作する画面である。各画面
の大きさは区画を単位として決められており、画面４０
１は２個の区画の大きさであり、その他は１区画分の大
きさで表示されている。このように表示することによっ
て、各制御画面は重畳すること無く表示されるので、画
面選択の操作が不必要となり操作性が向上する。更に、
別種の偏向器の操作画面が必要となった場合には、同図
（ｃ）に示すように、もう１個の区画を用いて表示する
ことが可能である。また、１個の区画の大きさでは不充
分の場合には、同図（ｄ）の様にすることも可能であ
る。図４に示した例では、最大６種類の画面しか表示で
きないが、装置制御に必要とされる制御画面の最大個数
は、必ずしも６個に限られるものではない。事前の検討
により区画の個数を決定すれば良く、従って、図４に示
した例より区画の個数を多くし、それを単位として表示
してもよい。

【００１２】図５は、本発明の他の実施例を示したもの
である。同図は図２で示した電子線描画装置の構成を示
している。しかし、装置には図２の場合とは異なり、制
御用画面の表示情報を記憶する装置５０１が備えてあ
り、最適の操作画面を記憶する機能をもつ。記憶する表
示情報は、表示する画面の種類，大きさ，画面上の位
置，配色などが含まれる。

【００１３】例えば、描画を行なう際には図６（ａ）に
示すように、描画の経過を表示する６０１画面と、試料
台の状態を表示する６０２画面、更に、電子ビームの偏
向の様子をモニタする６０３画面を用いて描画を行なう
のが、最も、操作しやすい制御画面であったとすると、
装置操作者は、制御用計算機に命じて画面の表示情報
を、記憶装置５０１に記憶させることが可能である。画
面情報を登録後は、最適化された画面が、描画時に表示
されることになる。また、装置の使用形態が描画とは異
なった状態の場合、例えば、電子光学鏡筒の調整に対し
ては、異なった種類の操作画面を登録することも可能で
ある。この方式を採用することによって、装置の状態ご
とに最適な制御画面を登録することが可能となり、装置
の操作性が格段に向上する。

【００１４】本発明は、必要とする操作画面を重畳させ
ないことを目的としている。従って、同時に操作する必
要のない画面が重なって表示されても、本発明の目的を
逸脱するものではない。図６（ｂ）は同図（ａ）のよう
に、電子線描画に適した３種類の画面を表示しつつ描画
を行なっている最中に、次の描画に備えて他の描画デー
タの処理を同時に行ない、その様子を画面６０４で監視
している例である。この場合、画面６０４は一時的に表
示されるものであり、従って、同画面は他の画面と重畳
して表示されても問題は無い。描画データの処理の経過
を確認した後は、画面６０４は消去されて、再び、画面
は図６（ａ）の状態に戻り、現在進行中の電子線描画経
過をモニタすることになる。

【００１５】

【発明の効果】装置の制御に必要な画面が重畳すること
無く表示されるので、画面選択の操作が不要となり、操
作性が格段に向上し、誤操作を防ぐことができる。ま
た、電子線描画装置の使用形態に応じて、最適な制御画
面を選択することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の電子線描画装置のブロック図。

【図２】従来の電子線描画装置の他のブロック図。

【図３】従来の装置制御画面の表示方法の説明図。

【図４】本発明の装置制御の方法の説明図。

【図５】本発明の他の装置制御の方法の説明図。

【図６】本発明の装置制御の一例を示す説明図。

【符号の説明】

１０１…電子光学鏡筒、１０２…電子銃、１０３…偏向
器、１０４…電子レンズ、１０５…試料室、１０６…試
料台、１０７…反射電子検出器、１０８…真空排気装
置、１０９…高電圧電源、１１０…偏向制御回路、１１
１…レンズ制御回路、１１２…信号処理回路、１１３…
試料台制御回路、１１４…真空排気制御回路、１１５…
インタフェィス、１１６…制御用計算機、１１７…キー
ボード、１１８…表示装置、１１９…ポインティングデ
バイス、５０１…画面情報記憶装置。

フロントページの続き (72)発明者 佐々木 実 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測器事業部内

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】表示装置を用いた制御装置において、装置
   の制御に必要な複数の画面を前記表示装置に表示する際
   に、制御に必要な複数の画面が重ならないように表示す
   ることを特徴とする制御装置。
2. 【請求項２】表示装置を用いた制御装置において、装置
   の制御に必要な複数の画面を前記表示装置に表示して装
   置制御を行なう際に、制御に必要な複数の画面が重なら
   ないように表示するとともに、同一機能を有する操作画
   面を複数個同時表示する機能をもつことを特徴とする制
   御装置。
3. 【請求項３】請求項１または２において、表示する画面
   の種類，大きさ，表示する位置等の表示条件を記憶格納
   する機能を設け、制御の使用形態に応じて、これらの記
   憶された情報に従って制御画面を表示する機能を設けた
   制御装置。
4. 【請求項４】請求項１，２または３において、制御用計
   算機を用い、表示装置に前記制御用計算機のモニタ画面
   を用いた制御装置。
5. 【請求項５】請求項１乃至４のいずれか記載の制御装置
   を用いた電子線描画装置。