JPH065260B2 - Ｉｃハンドラ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ ＩＣハンドラに関し、特に、ジャムとか、ピンの曲がり
の発生が少ないＩＣハンドラに関する。

［従来の技術］ 第１３図は、従来のＩＣハンドラの基本的な構成を示す
概略図である。

図中、Ａは、未検査のＩＣを収納して順次送り出すロー
ダ部であり、一般に、ＩＣマガジン１が積層されてい
る。このＩＣマガジン１の内部には、連続的に、個々の
ＩＣが配列されている。

ＩＣマガジン１の中のＩＣは、予熱処理部Ｂに順次自重
にてガイドレールにより案内されて滑降しつつ所定の検
査条件に適合する温度に予備処理される。この場合の予
備処理としては、予熱と予冷等がある。

予熱処理部Ｂを通過したＩＣは、同様にガイドレールに
より案内されて測定部Ｃを順次垂直下方に自重降下しつ
つ、自動測定器（検査ヘッド，図示せず）によって検査
される。

そして、検査を終えたＩＣは、アンローダ部Ｄに自重滑
降することになるが、その途中で、検査結果に応じて分
類部Ｅによって分類されて振分られ、平行に設けられた
複数のレーンを自重滑降して、アンローダ部Ｄにセット
されている複数列のマガジン１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｅ，
１ｆ，１ｇ，１ｈのいずれか１つに収納される。

［解決しようとする問題点］ このようにガイドレール上を自重により滑降し、降下し
て行く自然落下方式のものにあっては、加熱処理及び測
定処理等のためにＩＣ自体を押さえてその流れを止めた
り、落下方向に合わせてＩＣ自体の方向を転換すること
が必要となるため、ＩＣピンの曲がりとかジャムが発生
し易いという欠点がある。また、ガイドレールによるた
めに複数のＩＣを並列に検査する場合には、その数に対
応するガイドレールを並設しなければならず、並列に流
れるＩＣ相互の制御タイミングが難しくなるとともに、
装置が大型化する欠点がある。

そこで、このようなことを回避するために、水平強制搬
送機構によるＩＣ搬送方式も考えられる。しかし、ＩＣ
では、端子数が多く、端子間のピッチが狭いために水平
搬送機構から測定部のコンタクトにＩＣの各端子を接触
させるハンドリング処理が難しくなる。しかも、一個一
個のＩＣを水平搬送して処理するのでは、検査処理の効
率が低下して自然落下方式のものに比べて処理性能が落
ちる。複数のＩＣを同時に並列搬送すると相互の位置ず
れが問題になり、正確な位置決め機構を用いてＩＣを測
定部に供給することが必要になる。そうなると、測定部
へのＩＣ供給機構が複雑化するとともにその部分は、大
型化する欠点がある。

［発明の目的］ この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、多数のＩＣの各端子を測定部の複数のコン
タクトにそれぞれ正確に接触させることができ、装置の
測定機構系が小型化できるＩＣハンドラを提供すること
を目的とする。

［課題を解決するための手段］ このような目的を達成するためのこの発明のＩＣハンド
ラの特徴は、バケットを有する水平強制搬送機構を用い
てバケットに複数のＩＣを収納し、バケットを間欠送り
して複数のＩＣを測定部へ搬送するものであって、測定
部には複数のそれぞれのＩＣの端子とそれぞれ接触する
複数のコンタクトが並設され、それら複数のコンタクト
の電気的な接続面が水平搬送機構部に対峙してその搬送
路の上部に配置され、水平搬送機構部には搬送路を挟ん
で複数のコンタクトの反対側に複数のコンタクトのそれ
ぞれに対応して複数のＩＣ押出機構が並設され、ＩＣ収
納開口部が複数のコンタクトのそれぞれの位置に対応す
るように複数並設されていてそれぞれがＩＣを収納しか
つ垂直方向に貫通する孔となっていて、水平搬送機構部
の搬送の停止状態において複数のＩＣ押出機構によって
複数のコンタクトに対応する搬送路上のＩＣ収納開口部
に収納されたＩＣがそれぞれ測定部に押出されて複数の
コンタクトにそれぞれＩＣが挿着又は押付けられて電気
的に接触するものである。

［作用］ このように、バケットを貫通する、ＩＣを収納する収納
開口部を測定部の複数のコンタクト位置に対応付けて設
けているので、ＩＣ供給時点で各ＩＣのコンタクトに対
する位置決めができ、バケットにより複数のＩＣを同時
に水平搬送して測定部のコンタクト位置で下側から押上
機構によりバケット内部の複数のＩＣを同時に押し上げ
て複数のコンタクトにそれぞれ接触させるようにしてい
るので、測定部への複数ＩＣの同時的な供給機構が小型
化でき、バケットの各収納開口部がＩＣ押上の際のガイ
ドとなり、それぞれが搬送方向に位置ずれすることな
く、多数の端子を有するそれぞれのＩＣを同時に複数の
コンタクトに正確に接触させることができる。

その結果、ジャムとか、ＩＣのピンの曲がりがほとんど
発生しないハンドラを実現でき、ほぼ水平に載置して搬
送する構成を採っていることから、たとえ、ＩＣを並列
処理しなければならない場合であっても、ＩＣを並列に
バケットの収納開口部に収納するだけで済み、簡単に、
複数個のＩＣを同時に検査処理でき、装置自体の大きさ
もあまり大きくせずに済む。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例について図面を用いて詳細に
説明する。

第１図は、この発明を適用した一実施例のＩＣハンドラ
の外観図であり、第２図はその上部取外し平面図、第３
図はその側面断面図、第４図（ａ）及び（ｂ）はそのＩ
Ｃ収納ラックの説明図、第４図（ｃ），（ｄ）及び
（ｆ）はラックに装着される部品抜け落ち防止ピンの支
持機構の説明図、第５図（ａ）及び（ｂ）はそのローダ
部の説明図、第６図は、ローダ部からバケット搬送部へ
ＩＣを供給するハンドリング操作の説明図、第７図
（ａ）及び（ｂ）は、バケット搬送機構の側面断面図及
び正面断面図、第８図（ａ），（ｂ）及び（ｃ）はバケ
ットの説明図、第９図はそのチェーンの説明図、第１０
図（ａ）は、ＩＣを把持してバケット搬送機構から測定
部に供給するＩＣ押上機構の押さえピンを中心とする説
明図、第１０図（ｂ）は、その押上ピンの説明図、第１
０図（ｃ）は、サイズの相違する部品を把持して測定部
に供給するＩＣ押上機構における直動カム移動機構の説
明図、第１０図（ｄ）は、そのシフト機構の説明図、第
１１図はその分類部の説明図、第１２図（ａ），（ｂ）
及び（ｃ）は、分類部の押出機構の説明図である。な
お、これら各図において同一のものは同一の符号で示
す。

第１図〜第３図において、１０は、ＩＣハンドラであ
り、２はそのＩＣローダ部、３はＩＣローダ部からＩＣ
の供給を受け、ＩＣを収納して搬送するバケット搬送機
構部、４はバケット搬送機構部３の搬送路を包み込む恒
温槽、５は、バケット搬送機構部３から部品の供給を受
けて、その部品を検査する測定部、６は、検査後のＩＣ
をバケット搬送機構部３から受けてほぼ水平搬送し、検
査結果に対応して収納部７のラックに収納する分類部、
８はローダ部２及び収納部７に装着され、検査部品（こ
こではＩＣ）を収納するラック、そして５ａは、測定部
５に設けられ、ＩＣの電気的特性等を測定するテストヘ
ッドである。

ここで、ローダ部２は、第２図及び第５図（ａ）に見る
ようにラック載置テーブル２１と、リニアフィーダ２
２、ピックアップアーム２３（第６図参照）、ラック載
置テーブル２１の下に設けられ、ラック載置テーブル２
１を上下移動させるエレベータ機構２４、そしてラック
装着状態検出／位置決めガイド機構２６とを備えたＩＣ
ロード機構２０が複数並設（図では３個）されていて、
各ＩＣロード機構２０のそれぞれのラック載置テーブル
２１にはラック８がそれぞれ装着されている。

ラック８は、第４図（ａ），（ｂ）に見るように、上下
方向に複数段積み上げられた複数のＩＣ収納溝８１，８
１，…が連続的に形成されていて、各溝８１に個々ＩＣ
（ここではその例としてＰＧＡタイプのＩＣ、ハンドリ
ットＩＣ）９をそのピンが上側となるようにして溝方向
及び上下方向に連続的に配列した形態で収納している。
しかも、各溝８１の天井面は、各ＩＣが飛び出したり、
前側に配列されたＩＣと競合しないような高さ位置にあ
る。すなわち、その高さは、収納されるＩＣの高さの２
倍より小さいものとなっている。

そして、第５図（ｂ）の断面図に見る押出し爪８２が爪
送り機構８３により溝８１に挿入され、この溝８１に沿
って部品一個の幅相当分だけのピッチで水平方向に移動
して、最後部に配列されるＩＣ９を押して、ＩＣ９を１
個分だけ図面左側へと送り移動させる。ここで押出し爪
８２と爪送り機構８３とは、溝８１からＩＣ９を押出す
押出機構を構成していて、溝８１に沿って溝の一方の側
（図面左側）からＩＣ９を押して溝の他方の側（図面右
側）から外へと押出すものである。この爪８２が移動す
る溝８１は、リニアフィーダ２２のレール２２ａの送り
面に一致する位置に位置付けられている。

なお、押出し爪８２の１ピッチ分の移動制御は、制御部
（図示せず）からの制御信号によりその送出の都度行わ
れる。また、爪送り機構８３は、第５図（ｂ）に見るよ
うに、クランク状の押出し爪８２を挟持していて、第５
図（ａ）に見るよに、ベルト８５を介してプーリ８６に
より駆動され、水平軸８４上をスライドして水平移動す
る。

ここで、リニアフィーダ２２のレール２２ａは、ラック
８の押出し爪８２が挿入される溝８１の部品出口に隣接
して設けられている。そしてラック８の溝８１から押出
されたＩＣ９をレール２２ａを受けて、これをレール２
２ａの他端のピックアップアーム位置Ｐまで移送する。
このリニアフィーダ２２は、菱形をしていて、その柱が
板ばねにより形成され、所定の周波数、例えば数＋Hz〜
数百Hzで斜め方向に振動する。

そこで、バケット搬送部３側に供給されるＩＣ９は、押
出し爪８２の１ピッチ分の移動に従って先端側の１つ
が、リニアフィーダ２２のレール２２ａ上に押出され、
このリニアフィーダ２２により、その先端のピックアッ
プアーム位置Ｐまで移送される。このことにより送出さ
れたＩＣ９が先端の部品ピックアップ待機位置にセット
される。

ここで、ラック８は、ラック載置テーブル２１に着脱可
能に装着され、ラック載置テーブル２１がエレベータ機
構２４により上下移動されることによりラック８が上下
移動して、溝８１のＩＣ９がすべて排出されるとその上
の溝８１へと順次下側の溝８１からその底面がリニアフ
ィーダ２２のレール２２ａの送り面に一致する位置に次
々に位置決めされる。なお、２５，２５は、ラック８の
両端を縦に貫通している部品抜け落ち防止ピンであっ
て、吊り下げ保持されていて、その先端側がリニアフィ
ーダ２２のレール２２ａの面に一致する位置に位置けら
れた溝８１を塞がない状態（部品抜け落ち防止ピン２５
の長さがそれぞれに対応している）となっている。

この部品抜け落ち防止ピン２５，２５の吊り下げ保持機
構を示すのが第４図（ｃ）〜（ｆ）であり、第４図
（ｃ）は、同図（ａ）の裏面側から見たリニアフィーダ
２２側の半分の部分正面図であり、同図（ｄ）はその部
分平面図、同図（ｅ）はその縦断面図、同図（ｆ）はそ
の部分縦断面図である。

部品抜け落ち防止ピン２５は、ラック８がＩＣロード機
構２０に装着された状態のときには、第４図（ｅ）に見
るような関係にあって、フックプレート２７のフック部
２７０に設けられた開口部２７０ａに嵌合してフックプ
レート２７に引っ掛けられて保持される。フックプレー
ト２７は、台座２７２に固定されたロータリアクチュエ
ータ２９の軸２９ａに固定されていて、通常は、ラック
８と平行な状態（第４図（ｄ）の点線部分参照）に位置
し、制御部から制御信号に応じて、ほぼ２５度程度時計
方向に回動してラック８の上面と下側の鍔２５２との間
に挿入されて開口部２７０ａが部品抜け落ち防止ピン２
５のフック受部２５１に嵌合する。

その結果、鍔２５２が開口部２７０ａの周囲に係合し、
落下しない状態となり、部品抜け落ち防止ピン２５が保
持される。そしてラック８が降下したときに、第４図
（ｆ）に見るように鍔２５２がフック部２７０の開口部
２７０ａの上面周囲に設けられた円形溝２５３に嵌合し
て部品抜け落ち防止ピン２５の中心が開口部２７０ａの
中心に位置付けられ、このことによりラック８のピン貫
通孔８ａの中心に位置付けられる。このようにすること
で部品抜け落ち防止ピン２５の長さが長くなっても、最
下段の溝まで貫通孔８ａの中心に部品抜け落ち防止ピン
２５の中心を一致させて保持でき、その抜き、差しが容
易なものとなる。

一方、制御部からの制御信号が停止したときには、ロー
タリアクチュエータ２９の駆動が停止してフックプレー
ト２７は元のラック８と平行状態まで回動して戻る。こ
のときには、鍔２５２が開口部２７０ａから外れて部品
抜け落ち防止ピン２５は、ラック８の最上面まで落ち
て、すべての溝８１を貫通することになり、第４図
（ｅ）に見る状態となる。

ところで、台座２７２には、フックプレート２７がガイ
ドするガイドプレート２７３が固定されていて、ガイド
プレート２７３の先端部がフックプレート２７のほぼ中
間部分に当てられ、フックプレート２７の回動をガイド
する構成となっている。また、台座２７２は、ベースフ
レーム２８に固定された２本の支柱２７１，２７１に支
持されている。そしてこれは、ラック８の上端より少し
低い位置にあって、第４図（ｃ）では、ラック８が溝高
さ分に相当する１ピッチ下がった状態にある。なお、第
４図（ｃ），第５図（ａ）に見る２６１，２６２は、ラ
ック８をＩＣロード機構２０に装着する際の位置決めガ
イドローラである。

ところで、第４図（ｃ）に見るように、フックプレート
２７のフック部２７０は、上下に２段設けられていて、
上側のフック部２７０は、異なる溝高さのフックが装着
されたときに使用されるものである。これは、部品抜け
落ち防止ピン２５を現在とは異なる高さに保持するもの
であり、部品抜け落ち防止ピン２５の上側の鍔２５２ａ
のフック受部２５１ａに上側のフック部２７０が嵌合し
て部品抜け落ち防止ピン２５が保持されることになる。

一方、ラック装着状態検出／位置決めガイド機構２６
は、所定間隔離れて配置された２つの位置決めガイドロ
ーラ２６１，２６２とを有していて、これら位置決めガ
イドローラ２６１，２６２は、それぞれＬ字形フレーム
２６３，２６４の脚部２６３ａ，２６４ａの先端にピン
を介して回転可能に軸着されている。そしてＬ字フレー
ム２６３，２６４の柱部分２６３ｂ，２６４ｂは、その
中央部分でラック載置テーブル２１の裏面側に固定され
たブラケット２１１，２１１に回動できるようにそれぞ
れピンを介して回転可能に軸着されていて、そのローラ
軸着側に対して反対側にあたる柱部分２６３ｂ，２６４
ｂの先端側にはラック載置テーブル２１に面して穴が設
けられていて、この穴とラック載置テーブル２１の穴と
の間に圧縮状態のばね２１２，２１３が装着されてい
る。

ばね２１２により位置決めガイドローラ２６１は、図面
において反時計方向に回転するように付勢される。ま
た、ばね２１３により位置決めガイドローラ２６２は、
図面において時計方向に回転するように付勢される。そ
の結果、位置決めガイドローラ２６１，２６２は、上下
移動可能にとなる。

ところで、位置決めガイドローラ２６１は、ラック載置
テーブル２１の部分断面から理解できるように、ラック
載置テーブル２１に設けられた開口部２１４より突出し
ている。したがって、位置決めガイドローラ２６１は、
ラック載置テーブル２１に対して前記開口部２１３を貫
通して上下移動し、進退する。このことは、部分断面図
として図示していない位置決めガイドローラ２６２につ
いても同様である。

位置決めガイドローラ２６１が位置決めガイドローラ２
６２と相違する点としては、Ｌ字フレーム２６３の柱部
分２６３ｂに押下げ検出用のレバー２６４が柱部分２６
３ｂと垂直になるように固定されていることである。こ
のレバー２６４は、位置決めガイドローラ２６１がラッ
ク８により押下げられたときに発生するＬ字フレーム２
６３の回動を拡大するものであって、その下側先端側の
折曲立上げ部２６４ａに孔を有していて、この孔に発光
素子からの光を通過させることにより、その光をホトセ
ンサで検出することで、ラック８が装着されていない状
態を検出し、ラック７８が装着されたときには曲折立上
げ部２６４ａの孔がずれて、発光素子からの光を遮るこ
とにより受光素子側が非受光状態となって、このことで
ラック装着状態を検出するものである。

ところで、位置決めガイドローラ２６１，２６２は、そ
れぞれ第５図（ｂ）に見るように、その周面が対称的な
傾斜面を有する山形となっていて、ラック８の裏面底面
に設けられた谷溝８４に嵌合する。この谷溝８４は、対
称的な傾斜面８４ａ，８４ｂを持っていて、この傾斜面
８４ａ，８４ｂが位置決めガイドローラ２６１，２６２
の山形の傾斜面に嵌合することにより、ローラ２６１に
よりずれなく、正確に位置決めされる。また、第５図
（ａ）に見るように、ラック８の後端部に接するよう
に、ローラ２６５がラック載置テーブル２１に回転可能
に軸着されていて、ラック８の先端部は、爪２６６が咬
み込みこれにより押さえられる。したがって、ラック８
が図面右側から装着され、左側へと押込まれたときに、
位置決めガイドローラ２６１，２６２により案内されて
位置付けられ、爪２６６によりその移動が停止され、ロ
ーラ２６５に沿ってラック８の後部が落とし込まれてリ
ニアフィーダ２２のレール２２ａに対して前後，左右に
対し移動しないように固定され、位置決めされる。

ＩＣロード機構２０は、このようなラック８及びそのエ
レベータ機構２４、爪送り機構８３、そしてラック装着
状態検出／位置決めガイド機構２６等からなり、ここで
はローダ部２に３個並設されている。初期状態では、Ｉ
Ｃロード機構２０のラック８は、一番下の溝８１の底面
がレール２２ａの上面に一致していて、この溝８１から
ＩＣが送出されて、その溝８１が空になると、溝８１の
積み上げピッチ（１ピッチ）分だけ下げられる。すなわ
ち、あるラック８の溝８１のＩＣが空になった時点で、
ラック８は、エレベータ機構２４により下へと移動して
その上にある溝８１の底面がレール２２ａの上面の位置
に位置付けられる。

さて、ラック８から送出されてリニアフィーダ２２のレ
ール２２ａの先端で待機しているＩＣ９は、第６図及び
第７図（ａ）に見るようにピックアップアーム２３の爪
２３１が開かれた状態で降下し、閉じられることにより
把持され、バケット搬送機構部３のバケット３１の各収
納位置までレール２２ａ上を移動して順次運ばれる。そ
して爪２３１が開かれてＩＣ９がそれぞれ収納開口部３
２にセットされる。ここで収納開口部３２は、１つのバ
ケット３１に４つ設けられていて、第７図（ａ）に示す
ようにバケット３１の端から順次４個のＩＣ９が収納開
口部３２に収納されて行く。

したがって、ピックアップアーム２３のバンドリング時
間に合わせたタイミングでラック８から４個のＩＣ９が
一個一個間欠的に送出され、リニアフィーダ２２の先端
の待機位置Ｐに搬送されて、ピックアップアーム２３に
より順次リニアフィーダ２２から４個のＩＣ９が一個一
個取り上げられてバケット３１に個々に搬送される。

なお、２３２は、ピックアップアーム２３の爪２３１を
閉じる方向に付勢するばねであり、２３３，２３３及び
２３４，２３４は、爪２３１を開く方向に回動させるカ
ム面及びローラ、そして２３５，２３５は、爪２３１の
２つの各爪片の回動支点である。

このようにして１つのバケット３１にＩＣ４個がセット
されると、バケット３１が１つ前へと進み、次の空のバ
ケット３１がリニアフィーダ２２に対応するＩＣ供給位
置に位置付けられる。ここで、あるＩＣロード機構２０
のラック８のＩＣがすべて空になると、制御部からの制
御信号に応じてエレベータ機構２４が上昇制御されてラ
ック８が上へと移動して元の初期状態に戻り、ピックア
ップアーム２３が次のＩＣロード機構２０の位置へと移
動してそのＩＣロード機構２０のラック８からＩＣが供
給され、空になったラック８は、取り外される。そして
ＩＣが一杯詰まった新しいラック８は、取り外されたＩ
Ｃロード機構２０に新たに装着される。

ところで、このバケット３１は、第７図（ａ），（ｂ）
に見るように、複数個が所定間隔をおいて両端で無端の
チェーン３２ａ，３２ｂにより連結されている。そして
第３図に見るように、このチェーン３２ａ，３２ｂがバ
ケット搬送機構部３の両端に設けられたスプロケット３
３ａ，３３ｂに咬み合って送られることで順次搬送され
る。すなわち、これはチェーン伝動機構を構成してい
る。したがって、バケット３１は、チェーン３２ａ，３
２ｂに架け渡されて支持され、前側のスプロケット３３
ａが間欠的にモータ３４によりタイミングベルト３５を
介して駆動され、各バケット３１が所定のピッチで間欠
送りされる。

ここで、バケット３１は、熱伝導性のよい金属等の部
材、例えばアルミニウム等で構成されていて、その形状
は、第８図（ａ）に見るように、四角棒状のものであっ
て、４つの収納開口部３２が所定間隔おきに設けられて
いて、その両端には、チェーン３２ａ，３２ｂにねじピ
ンを介して固定され、そのためねじ孔３１１，３１１，
３１２，３１２が両端側面に開けられている。このバケ
ット３１は、これらねじ孔３１１，３１２において、第
９図に見るチェーン３２ａ（３２ｂ）を構成する各リン
ク３２１に固定されていて、ブラケット３２２を介して
ねじピンにより搬送面に対して収納開口部３２が垂直に
位置付けられるように固定される。

収納開口部３２は、第８図（ｂ）に見る同図（ａ）のＩ
−Ｉ断面図及び第８図（ｃ）に見る同図告（ａ）のII−
II断面図に示されるように、二重に設けられた段付きの
くぼみ３１０と、このくぼみ３１０の両側に部品ハンド
リングアームの爪２３１が挿入される十字溝３１５とが
設けられていて、十字溝３１５はバケット３１を垂直に
貫通している。

そして、くぼみ３１０のうち上段のくぼみ３１３と下段
のくぼみ３１４とは異なる大きさの部品の平面形状に対
応する開口をもって形成されていて、それぞれの開口が
表面まで延びていてる。第７図（ｂ）に見るように、こ
れら開口が上に向くようにチェーン３２ａ，３２ｂに取
付られる。そして上側のくぼみ３１３及び下側のくぼみ
３１４のいずれか一方に異なる種類のＩＣを収納する。
具体的には、この実施例では、下段のくぼみ３１４がＳ
ＯＪタイプのＩＣを収納するのに対応する大きさとなっ
ていて、上段のくぼみ３１３がＰＧＡタイプのＩＣ、特
にハイブリットＩＣを収納する大きさの収納部となって
いる。

なお、これらくぼみ３１３，３１４を貫通している十字
溝３１５は、これらくぼみ３１３，３１４の中心にその
クロス点の中心がほぼ一致するように設けられ、後述す
る押さえピン３７がこのバケットに貫通する十字溝３１
５の下から進入して測定対象のＩＣ９を押さえて持ち上
げ、上へと抜ける。そのための押さえピン通過孔とな
る。

さて、第３図に見るように、バケット搬送機構３は、チ
ェーン３２ａ，３２ｂも含めて、バケットが恒温槽４の
中に収納されていて、恒温槽４の底部に設けられがヒー
タ４１により加熱される。したがって、バケット３１に
収納されたＩＣ９は、この送り過程で所定の温度まで加
熱される。

そして、第７図（ｂ）に見るように、測定部５の下まで
送られ、測定部５にバケット３１が位置したときに、間
欠送りの停止した状態に一致してスプロケット３３ａの
駆動の停止状態において、この停止期間中の初期に測定
部５に対応するバケット３１の下側に配置された、直動
カムによるピン押上機構（固定フレーム３８に固定され
ていて第７図（ｂ）では隠れて見えない。第１０図
（ａ）〜（ｄ）参照）によりチャック付き押さえピン３
７（点線で示す）が上へ駆動されて、各収納開口部３２
を貫通して測定部５側へとＩＣ９を把持し押上げ押付け
る。

なお、ＩＣ押出機構は、これらピン押上機構及び押さえ
ピン３７とにより構成されていて、このＩＣ押出機構が
それぞれ各収納開口部３２の下側に位置して４つ並設さ
れ、押さえピン３７の先端のチャック部分はピックアッ
プアームの爪２３と同様な形状をしている。

ここで、測定部５には、その天井側から下側に向けて固
定されたコンタクトユニット５１（又はソケット５１）
が各収納開口部３２の位置に対応するように設けられて
いて、第７図（ｂ）の点線で示すように前記押さえピン
３７により押上られたＩＣ９がこのコンタクトユニット
のコンタクトに接触して電気的に接続される。そしてコ
ンタクトユニット５１に結合されたテストヘッド５ａに
より押上られ接触したＩＣ９の測定処理がなされる。

第１０図（ａ）〜（ｄ）は、ＩＣ押出機構の押さえピン
３７及びポン押上機構の説明図であって、特に、サイズ
（平面から見た幅）の相違するＩＣを測定部５に供給す
るため種類の相違するＩＣを押さえる押さえピン３７を
それぞれ有する２つの従動節機構及びこれを上下移動す
る直動カム機構の説明図である。

第１０図（ａ）に見るように、押さえピン３７は、チャ
ック３７１と押さえピン３７２及びガイドピン３７３と
を備えていて、チャック３７１は、爪２３と同様な爪で
構成されている。３７１ａ，３７１ａは、それぞれチャ
ック３７１の爪片であり、支点ピン３７４，３７４を中
心として回動する。３７５は、爪片３７１ａ及び３７１
ａを閉じる方向に付勢するためのばねであり、伸張状態
でこれらの間に架け渡されている。

各爪片３７１ａには、支点ピン３７４を挟んでＩＣ把持
側と反対側にローラ３７６，３７６が設けられていて、
これがカム板３７７のカム面３７７ａに係合し、通常
は、、爪片３７１ａの先端が開いた状態となっている。
そしてカム板３７７が上昇することにより、ローラ３７
６，３７６が開口部カム面３７７ｂに落込み、支点ピン
３７４を中心としてばね３７５により爪片３７１ａが相
互に閉じる方向に回動して一点鎖線で示すようにＩＣ９
ａを把持する。なお、ＩＣ９ａは、先に説明したＩＣ９
より幅が小さいＩＣであって、バケット３１の段付き溝
の下段のくぼみ３１４に収納されているものである。

ここで、カム板３７７が降下したときには、逆の動作と
なり、爪片３７１ａが相互に開く方向に回動して図示の
状態に戻る。

一方、ピン押上機構は、第１０図（ｂ）に見る従動節機
構３６１とこの従動節機構３６１のころを従動節にして
係合する第１０図（ｃ），（ｄ）に見る直動カム機構３
６０とからなる。先の押さえピン３７は、この従動節機
構３６１の上部側に設けられていて、先のチャック３７
１の下側に配置されたカム板３７６は、ころ３６２ａを
有する従動節３６２により上下移動される。

３６３は、チャック３７１及び押さえピン３７２を持つ
押さえピン３７を押上げる押上プレートであって、その
中央部には開口部３６３ａが開けられていて、開口部３
６３ａには軸３６３ｂが架け渡され、この軸３６３ｂに
嵌合してこれをガイドとして上下にスライドするスリー
ブ３６３ｃに従動節３６２が結合されている。従動節３
６２は、このスリーブ３６３ｃを介して開口部３６３ａ
の範囲で上下移動可能に支承され、その下側に固定され
たころ３６２ａを介して直動カムに係合することによ
り、直動カムの往復運動に応じて上下移動する。

一方、第７図（ｂ）に見る固定フレーム３８にはプレー
ト３８２が後述するシフト機構３６９（第１０図（ｄ）
参照）によりシフトできるように摺動可能に支承されて
いて、プレート３８２にブラケット３８０を介してガイ
ド軸３８１が固定されている。押上プレート３８３は、
ガイド軸３８１に嵌合するスリーブ３６３ｂを一体的に
形成されていて、ガイド軸３８１をガイドとしてスライ
ドするスリーブ３６３ｂを介して上下移動可能に支承さ
れ、押上プレート３８３の、スリーブ部３６３ｂとは反
対側には、従動節３６４が固定されていて、従動節３６
４により押上プレート３６３が上下移動される。従動節
３６４には、その下側にころ３６４ａが設けられてい
て、ころ３６４ａを介して直動カムに係合し、このこと
により、直動カムの往復運動に応じて押上プレート３６
３が上下移動する。

第１０図（ｂ）に見る従動節機構３６１は、ここでは、
第１，第２の従動節機構３６１として２つ設けられてい
て、それぞれＩＣのサイズに応じてそれを把持するサイ
ズのチャック３７１及び押上ピン３７２が設けられた押
さえピン３７が固定されている。そして、第１、第２の
従動節機構３６１は、シフト機構３６９（第１０図
（ｄ）参照）により第１０図（ａ）の状態に交互に位置
付けられる。３６２ｂ及び３６４ｂとしてカッコで示す
符号は、後述する直動カムに対する説明の都合上、第２
の従動節３６１のころを意味している。

一方、直動カム機構３６０は、第１０図（ｃ）に見るよ
うに、第１，第２の２つの従動節機構３６１，３６１を
受ける直動カム機構であって、矩形板の直動カム本体３
６８の上側には、例えば、バケット３１の収納開口部３
２の上段のくぼみ３１３に収納された大きい幅を持つ第
１のサイズのＩＣ９を把持して測定部５のコンタクトユ
ニット５１を押上げる直動カム板群３６５が固定されて
いる。また直動カム本体３６８の下側には、例えば、バ
ケット３１の収納開口部３２の下段のくぼみ３１４に収
納された、第１のサイズより小さい幅を持つ第２のサイ
ズＩＣ９ａを把持して測定部５のコンタクトユニット５
１に押上げる直動カム板群３６６が固定されている。そ
して矩形板の直動カム本体３６８は、固定フレーム３８
に固定された２本のガイド軸３６７をほぼカム面の幅対
応に往復移動する。なお、この往復移動を行う直動カム
本体３６８の駆動機構は図示していない。

直動カム板群３６５と直動カム板群３６６は、それぞれ
所定量上下２段にずれて設けられた２枚の板カム３６５
ａ，３６５ｂ及び３６６ａ，３６６ｂを有していて、上
段のカム板３６５ａ及び３６６ａは、それぞれ第１，第
２のチャック３７１を作動してバケット３１のＩＣ９又
はＩＣ９ａを把持する動作をさせるためのカムであり、
下段のカム板３６５ｂ及び３６６ｂは、チャック３７１
とともに押上ピン３７２を上昇させてバケット３１のＩ
Ｃ９又はＩＣ９ａをコンタクトユニット５１に押上げ、
押付けるためのカムである。

ここに、板カム３６５ａ，３６５ｂ及び３６６ａ，３６
６ｂは、それぞれ相互に反対方向に傾斜したカム面３６
５ｃ，３６５ｄ及び３６６ｃ，３６６ｄを有していて、
第１の従動節機構３６１のころ３６２ａ，３６４ａ及び
第２の従動節機構３６１のころ３６２ｂ，３６４ｂは、
それぞれ初期状態では、カム面３６５ｃ，３６５ｄ及び
３６６ｃ，３６６ｄの低い側に位置している。そしてこ
れらは、直動カム本体３６８の両側に配置させるよう
に、所定距離離れて設けられている。

ここで、上側上段の板カム３６５ａは、大きいサイズの
ＩＣ９（第１のサイズとして）を把持する第１のチャッ
ク３７１のころ３６２ａに係合し、これを上下移動させ
る。下側上段の板カム３６６ａは、小さいサイズのＩＣ
９ａ（第２のサイズとして）を把持する第２のチャック
３７１のころ３６２ｂに係合し、これを上下移動させ、
上側下段の板カム３６５ｂは、大きいサイズのＩＣ９の
押上げに対応する第１の従動節３６４のころ３６４ａに
係合し、これを上下移動させ、下側下段の板カム３６６
ｂは、小さいサイズのＩＣ９ａの押上げに対応する第２
の従動節３６４のころ３６４ａに係合し、これを上下移
動させる。

ところで、コンタクトユニット５１は、ガイド軸３６７
の中央位置のころ３６２ａの上部に位置していて、第１
０図（ｃ）に見る状態にあっては、中央部のころ３６２
ａを有する第１の従動節機構３６１がコンタクトユニッ
ト５１の下側に位置している状態にある。そして直動カ
ム本体３６８が図の位置を右端とそて往復移動すること
により上側上下段の板カム３６５ａと３６５ｂとに係合
するころ３６２ａと３６４ａとが直動カム本体３６８の
往復移動に従って上下移動し、直動カム本体３６８が図
の位置から左側へと移動するときに、ころ３６２ａと３
６４ａとが共に直動カム本体３６８の左移動に従って上
へ移動する。

このときのころ３６２ａ及び３６４ａの上への移動に従
って第１の従動節機構３６１が上へと移動してそれに伴
って第１０図（ｂ）に見る押さえピン３７が上昇する。
そして板カム３６５ａ及び板カム３６５ｂの中央の平坦
部の位置でチャック３７１がバケット３１の収納開口部
３２に収納された大きいサイズのＩＣ９に位置に位置付
けられる。さらに直動カム本体３６８が右へ移動する
と、第１０図（ａ）の点線で示すチャックに見るよう
に、上段の板カム３６５ａの傾斜面にころ３６２ａが押
上られることにより従動節３６２のみが上昇して板カム
３７７を押上げてチャック３７１を閉じる方向に作用さ
せ、収納開口部３２内のＩＣ９を把持する。そしてさら
に、直動カム本体３６８が右へ移動することにより、従
動節機構３６１全体がさらに上昇してその押さえピン３
７によりＩＣ９を測定部５のコンタクトユニット５１に
電気的に接触させるものである。この接触時点の後に、
テストヘッド５ａが接触状態にあるＩＣ９の測定を開始
する。

しかし、このとき、ころ３６２ｂ及び３６４ｂが板カム
３６６ａと板カム３６６ｂの左端に位置しているので、
直動カム本体３６８の往復移動に対して下側の板カム３
６６ａと３６６ｂとは、その傾斜面がころ３６２ｂ及び
３６４ｂから外れる方向にある。そのためころ３６２ｂ
及び３６４ｂに対しては何等上下移動の作用はなく、そ
の動作は停止状態となったままである。

ＩＣ９が測定部５から戻されるときには、直動カム本体
３６８が図面左から右へ前記と逆方向へと移動し、第１
の従動節機構３６１は逆の動作をしてバケット３１の収
納開口部３２にＩＣ９を戻して、バケット３１の下側の
初期位置に戻る。

以上が大きいサイズのＩＣ９について押上動作である
が、小さいサイズのＩＣ９ａについては、直動カム本体
３６８及び従動節機構３６１をシフトする第１０図
（ｄ）に示すシフト機構３６９により直動カム本体３６
８及び従動節機構３６１が第１０図（ｃ）の一点鎖線の
位置までシフトされた状態となる。この状態を裏側から
見て示すのが第１０図（ｄ）であって、第１０図（ｃ）
に対してシフト機構３６９のアーム３８５が第１０図
（ｃ）の状態から時計方向に半回転（１８０度）してい
る。その結果、今度は、第２の従動節機構３６１が第１
０図（ａ）の状態に位置付けられる。そこで、この状態
を基準として直動カム本体３６８が、ここで往復移動す
ることによりサイズの小さいＩＣ９ａの測定部５への供
給動作がなされる。

すなわち、一点鎖線の位置に移動した状態にあっては、
今度は、コンタクトユニット５１の下側に対応する中央
部に第２の従動節機構３６１が位置する状態となる。そ
して直動カム本体３６８が図の一点鎖線で示す位置を左
端として往復移動する。その結果、下側上下段の板カム
３６６ａと板カム３６６ｂとに係合するころ３６２ｂと
３６４ｂとがガイド軸６３７の中央に位置して直動カム
本体３６８の往復移動に従って上下移動する。

したがって、前記と同様に、今度は直動カム本体３６８
が図の位置から右側へと移動すると、ころ３６２ｂと３
６４ｂとが共に直動カム本体３６８の右移動に従って上
へ移動することになる。これ以降の移動は、前記ＩＣ９
の測定部５への供給動作と同様であるので割愛する。な
お、このとき、ころ３６２ａ及び３６４ａが板カム３６
５ａと板カム３６５ｂの左端に位置しているので、直動
カム本体３６８の往復移動に対して上側の板カム３６５
ａと板カム３６５ｂとは、その傾斜面がころ３６２ａ及
び３６４ａから外れる方向にある。そのためころ３６２
ａ及び３６４ａに対しては何等上下移動の作用はなく、
その動作は停止状態となったままである。

このようにして、サイズの小さいＩＣに対する第２の従
動節機構３６１の上下移動を行うことができ、第２の従
動節機構３６１とサイズの大きいＩＣに対する第１の従
動節機構３６１とを切換て使用することができる。

ところで、この切換を行うシフト機構３６９は、第１０
図（ｃ）では、点線で示すように、直動カム本体３６８
の裏面側に配置されている。そして、先に述べたよう
に、シフト機構３６９が直動カム本体３６８をシフトさ
せて一点鎖線の位置までシフトさせた状態の裏面側から
見た図が第１０図（ｄ）である。第１０図（ｄ）に見る
ように、直動カム本体３６８の裏面側にはレール溝３８
３が設けられていて、このレール溝３８３にローラ３８
４を係合させ、ローラ３８４がその先端に枢着されたア
ーム３８５を時計方向に反回転させることにより第１０
図（ｃ）に見る一点鎖線の位置へと直動カム本体３６８
及び第１，第２の従動節機構３６１を一体的に扱い同時
にシフトさせるものである。なお、アーム３８５の回転
は、アーム３８５に軸結合したプーリ３８６をタイミン
グベルト３８７で回動することによりなされ、反時計方
向に反回転させることで第１０図（ｃ）の実線で示す元
の初期位置に直動カム本体３６８及び第１，第２の従動
節機構３６１を同時に戻す。

このようにして、測定部５にサイズの大きなＩＣ９又は
サイズの小さなＩＣ９ａのいずれかが選択的に供給さ
れ、測定部５により各ＩＣ９又はＩＣ９ａの測定が行わ
れ、測定が終了した時点でピン押上機構の直動カム機構
３６０の戻り移動により下降作動して押さえピン３７が
降下して、コンタクトユニット５１との接続が解かれ
る。そして各ＩＣ９又はＩＣ９ａがバケット３１の元の
収納開口部３２に戻される。なお、この時点では、押さ
えピン３７の先端部のチャックは、バケット３１の底面
より下側に位置している。

その後、間欠送りの停止期間が終了して、次の送り状態
に入り、バケット３１がチェーン３２ａ，３２ｂを介し
て次に送られる。そして次のバケット３１が測定部５の
下に位置してコンタクトユニット５１のコンタクトに次
のＩＣ９又はＩＣ９ａを押上げてその端子を接触させ
て、同様な測定する。このようにしてＩＣの測定部５に
対する供給処理がなされる。

次に、測定の終了したＩＣ９又はＩＣ９ａは、再びバケ
ット３１に収納されて４つのＩＣがともに搬送され、前
側のスプロケット３３ａの近傍にある部品ピックアップ
位置に来たときに、第３図，第７図（ｂ）及び第１１図
に見るように、分類部６のピックアップアーム６１によ
りそれぞれの４個のＩＣ９がバケット３１から取出され
て、ベルト６２ａ上に搬送される。なお、ピックアップ
アーム６１は、ピックアップアーム２３と同様な構成を
していて、６１１は、その爪である。

ここで、前記ピックアップアーム６１がバケット３１の
各収納開口部３２に４つの各ＩＣをセットする作業時間
及びここでのバケット３１の各収納開口部３２から４つ
の各ＩＣ９を取り出す作業時間は、前記測定部５のＩＣ
９の測定中の時間より短い時間であり、ＩＣ９の測定中
であってバケット３１の送りが停止している間に行われ
る。

さて、分類部６は、ピックアップアーム６１と、ベルト
搬送機構６２、分類数に対応する複数のＩＣ押出機構６
３とからなり、第２図，第１１図に見るように、ベルト
搬送機構６２は、搬送方向に対して直角となる横方向に
横断する溝６２ｂの付いた溝付きのベルト６２ａを有し
ている。そしてこのベルト６２ａの溝６２ｂにＩＣ９を
収納し、ＩＣ９を対してすラック８の位置において分類
に対応するＩＣ押出機構６３を作動してその押込みピン
６３ａを伸張させることでベルトの溝６２ｂを案内とし
てラック８の溝８１にＩＣ９を押込む。このことでＩＣ
９を検査結果に応じて分類する。この場合、この溝付き
のベルト６２ａに代えて、バケット３１の収納開口部３
２の溝に対応するような横断溝を持ったバケットを用い
て搬送してもよい。この場合バケットは、バケット３１
と同様にチェーンにより連結しても、また、ベルト上に
直接固定してもよい。

一方、ベルト６２ａの搬送路を挟んで、複数のＩＣ押出
機構６３のそれぞれの反対側には、第１図に見るよう
に、分類に対する各ＩＣを収納するラック８が複数配置
される収納部７が位置している。収納部７には、ローダ
部２のＩＣロード機構２０と同様な収納機構７０（第２
図参照）が設けられ、各収納機構７０は、ラック載置テ
ーブル（ラック載置テーブル２１と同様，図示せず）
と、エレベータ機構（エレベータ機構２４と同様，図示
せず）とを備えていて、エレベータ機構は、このラック
載置テーブルを上下移動させる。各収納機構７０のラッ
ク載置テーブルには、例えば合格，不合格，○○不良等
又は測定特性別に検査結果に応じて、結果対応に分類さ
れたラック８，８，８，…がそれぞれ装着されている。

第１２図（ａ）は、分類部６において、溝付きベルト６
２ａに代えてバケット６２０を用いたバケット搬送機構
部による例を示してたものである。

第１２図（ａ）に見るように、バケット搬送機構部６０
０は、バケット搬送機構部３のバケット３１と同様にチ
ェーンで結合されたバケット６２０と、このチェーンを
駆動すチェーン伝動機構（図示せず）とからなるバケッ
ト搬送路６０１を有している。バケット６２０は、その
開口溝６２１にＩＣ９を収納して搬送するものであり、
開口溝６２１が第８図（ｃ）の断面図に見るような段付
きの溝となっている点でバケット３１と同様であるが、
底部６２２が閉塞されていて、開口溝６２１がバケット
６２０の長手方向に貫通し、両側が開放状態となってい
る点で相違し、しかも、１個のＩＣ９を収納する短い形
状のものである。

一方、分類部６のＩＣ押出機構６３は、各ラック８の位
置に対応してＩＣ９をバケット６２０上からラック８の
溝８１に押し込むものであり、この押し込み動作をする
のが、第１１図，第１２図（ａ），（ｂ）に見るＩＣ押
出機構６３の押込みピン６３ａ，６３ａ，６３ａ，…で
ある。

第１２図（ｂ）を参照してＩＣ押出機構６３のピン進退
動作を説明すると、押込みピン６３ａは、その後端部６
３ｂが、エアーシリンダとか回動アーム機構等による進
退アクチュエータ６３１に結合されていて、進退するも
のである。押込みピン６３ａは、その軸の中程に鍔６３
２が設けられていて、鍔６３２によりばね６３３の後端
６３３ａが押されて押込みピン６３ａの前進とともにば
ね６３３も前進する。ばね６３３の先端側６３３ｂは、
押込みピン６３ａの軸６３４に嵌合するスリーブ６３５
に係合している。そこで、ばね６３３が前進すると、そ
れに伴ってスリーブ６３５も前進する。

スリーブ６３５の先端側には、ＩＣ押さえ板６３６が固
着されていて、このＩＣ押さえ板６３６は、第１２図
（ｃ）の平面図で見るように水平方向に２つの先が割れ
たフォーク状をしている。そしてその中央より先端側に
位置する裏面側には、第１０図（ｂ）に見る如く、ほぼ
垂直に下方に延びる段付き部分６３６ａが形成されてい
て、先端側に伏せたＬ字形状をしている。一方、スリー
ブ６３５の上側には、支持板６３５ａが固定されてい
て、スリーブ６３５の固定側とは反対側にあたる支持板
６３５ａの上部にはもう１つのスリーブ６３５ｂが結合
されている。このスリーブ６３５ｂは、軸６３７に嵌合
していてこの軸６３７上をスライドするものであり、ス
リーブ６３５を前後移動可能（進退可能）に軸６３７を
介して支承する。また、進退アクチュエータ６３１と押
さえピン６３ａの後部６３ｂの固着部も軸６３７に嵌合
してスライドするスリーブ６３０に固定されている。こ
のことによりスリーブ６３５，スリーブ６３０等を介し
て押込みピン６３ａが進退可能に支持されるものであ
る。

したがって、前記押込みピン６３ａが前進したときに
は、ばね６３３を介してスリーブ６３５が軸６３７にガ
イドされて進退する。そしてＩＣ押さえ板６３６を先頭
として前進し、この前進に従ってＩＣ押出機構６３６
は、バケット６２０の開口溝６２１に押込みピン６３ａ
側の開口から進入する。その結果、ＩＣ押さえ板６３６
の段部分６３６ａがＩＣ９の上部と進入側側面に当接し
てＩＣ９が上へとはね上がることなく押さえられる。

この状態でＩＣ９は、押込みピン６３ａの前進に伴って
バケット６２０の開口溝６２１をラック８側へと段部分
６３６ａに押されてスライドして行く。やがて、バケッ
ト６２０のラック８側の開口からガイド部材６３８の溝
へと案内され、ガイド部材６３８の溝を経てラック８の
溝８１の入口まで運ばれる。なお、ガイド部材６３８
は、バケット６２０と同様な溝構造となっている。しか
し、これは、ラック８に対応して設けられ、固定されて
いる点でバケット６２０とは相違する。

このようにして押込みピン６３ａとともに押さえ板６３
６がＩＣ９を押さえてラック８側にＩＣ９をスライドさ
せ、押さえ板６３６がラック８の入口手前の位置（二点
鎖線で示す状態）まで来たときに、スリーブ６３５ｂが
軸６３７を支持するブラケット６３９に当たり、これが
ストッパーとなって、押さえ板６３６の前進が停止す
る。その後、押込みピン６３ａがさらに前進すると、ば
ね６３３が圧縮されながら押込みピン６３ａだけが前進
して押込みピン６３ａの鍔部６３ｃの先に固定された押
しピン６３ｄの前進により押さえ板６３６の段部分６３
６ａに保持されたＩＣ９がラック８の溝８１へと押込ま
れる。ここに押しピン６３ｄも第１２図（ｃ）に見る押
さえ板６３６と同様にフォーク状に先が割れた形状をし
ている。

このようにしてＩＣ９がラック８の溝８１へと押込ま
れ、ＩＣ９の押込みが終了すると、進退アクチュエータ
６３１が後退状態となり、押込みピン６３ａが後退をは
じめ、まず、押しピン６３ｄの後退によりラック８の溝
８１から押しピン６３ｄが外へと出て、ラック８の入口
手前の位置（二点鎖線で示す状態）となり、さらに後退
した時点で鍔部６３ｃがスリーブ６３５の前側に係合し
てスリーブ６３５を後退させる。このことによりスリー
ブ６３５は押込みピン６３ａと一体的に後退して図示す
る初期状態にまで戻る。

さて、検査結果に応じてバケット６２０上を流れてきた
ＩＣ９に対して、以上のようにして流れてきたタイミン
グに合わせて対応する押込みピン６３ａを伸張作動させ
て、検査結果に対応するラック８の位置に流れてきたＩ
Ｃ９をそれに対応するラック８の溝８１に押出して挿入
する。

なお、この場合、バケット搬送機構６００によるバケッ
ト６２０の送りは、押し込み動作タイミングに合わせて
バケット６２０の移動が一時的に停止する間欠送りの搬
送とし、押し込みはその停止タイミングに合わせて行う
ようにする。

このようにして、検査結果に応じてＩＣ９を分類して収
納部７の各ラック８に収納して行く。

ところで、ＩＣ押出機構６３６の先端部及び押しピン６
３ｄは、第１２図（ｃ）で示したように２つに先が割れ
たフォーク形状をしている。これは、押さえ板６３６が
ラック８の入口手前の位置（二点鎖線で示す状態）とな
ってときに、ラック８の入口側上部に配置された光学的
センサの発光器６４０の光がこのＩＣ押さえ板６３６の
先端部の割れ目を通り、ガイド部材６３８ｂに設けられ
た受光素子６４１に光を受光できるようにするためのも
のである。そして、押さえ板６３６がＩＣ９を保持して
いるときにのみこの光が遮られることによりＩＣ９が溝
８１に押込まれる状態にあるか否かを検出するものであ
る。

なお、第１２図（ｂ）のバケット６２０の下段の溝に配
置されたＩＣ９ａは、小さいサイズのＩＣであって、こ
のＩＣ９ａを分類するときには、押込みピン６３ａは、
下段の溝に合わせて下側の位置にセットされる。

さて、このように検査結果に応じてＩＣを分類をする場
合に、水平搬送機構を設けて部品をほぼ水平に搬送し、
その搬送路の両側に収納部及びこれに対する部品を搬送
方向に対して横断する方向に押出す部品押出部材を設け
ておけば、水平搬送過程において分類に対応する収納部
の部分へ選択的に収納分類することができ、しかも、分
類作業が水平の状態のままで行える。

ここで、ラック８は、初期状態では、一番上の溝８１の
底面がバケット６２０の溝の段部の位置に一致してい
て、各溝８１にＩＣ９が収納されて一杯になると下から
上へと各溝積み上げピッチ対応の１ピット分だけ押上ら
れる。すなわち、ＩＣロード機構２０の動作とは逆の動
作をする。したがって、あるラック８の溝８１にＩＣ９
がいっぱいに収納された時点で、ラック８は、エレベー
タ機構により上へと移動して１つ下の溝８１の底面がバ
ケット６２０の上面の位置に位置付けられる。

なお、先のエレベータ機構２４及び前記収納機構７０の
エレベータ機構の上下動の作動制御及びそのタイミン
グ、ピックアップアーム２３の爪２３１及びピックアッ
プアーム６１の爪６１１の開閉作動の制御及びそのタイ
ミング、そして前記押込みピン６３ａの進退作動制御及
びタイミング、そしてＩＣ押上機構の直動カム機構３６
０の報復作動制御及びそのタイミングとは、それぞれマ
イクロプロセッサを内蔵した制御部からの電気信号によ
り決定され、制御される。

ところで、リニアフィーダ２２のレール２２ａの溝は、
バケット６２０の縦断面を示す第１２図（ａ）と同様な
段付きの溝形状をしていて、その上段の溝がハイブリッ
ドＩＣ等の大きいサイズの部品に対応した小さいサイズ
の開口幅となっており、下段の溝がＳＧＯ形ＩＣ等の部
品に対応した開口幅となっている。したがって、ラック
８をＩＣロード機構２０差し換えるだけで、バケット３
１に異なる部品を供給することができ、異なる部品を検
査することが可能である。なお、この場合、測定部のコ
ンタクトユニット５１は、これら異なる部品が接続でき
るようなものとなっているか、コンタクトユニット５１
をその都度測定部品に合わせて差し換える。

以上説明してきたが、バケット搬送機構部の搬送機構
は、チェーンに限定されるものではなく、ベルト等によ
る、いわゆる無端巻掛け伝動機構を使用することができ
る。また、このような巻掛け伝動機構の他、平行四辺形
のリンクを使用して水平のレール上に載置してバケット
を爪送りする間欠送り機構でもよい。また、ベルトに爪
を設けてバケット又は部品を直接間欠送りするものであ
ってもい。

実施例は、ＩＣ搬送機構部全体が恒温槽の中に配置され
ているが、これは、全体を恒温槽の中に配置する必要は
なく、少なくともその搬送路の一部が恒温槽の中であれ
ばよい。また、熱処理としてヒータによる加熱を上げて
いるが冷却であってもよいことはもちろんである。

実施例では、爪送り機構によりラックから部品を外へと
送り出しているが、これは、ピンを出口から反対側から
溝に沿って挿入し、反対の出口側から押出すようにして
もよく、爪による送り機構に限定されるものではない。
いわゆる溝から部品を押出す押出機構ならばよい。

また、実施例では、多段に溝を有するラックを使用して
いるが、段は１段のものであってもよく、部品を収納す
る容器はどのようなものでもよいが、好ましくは、いわ
ゆる上部が塞がれているような溝を持つものが収納した
部品が容器からこぼれ落ちないのでよい。

［発明の効果］ 以上の説明から理解できるように、この発明にあって
は、バケットを貫通する、ＩＣを収納する収納開口部を
測定部の複数のコンタクト位置対応に設けて、バケット
により複数のＩＣを同時に水平搬送して測定部のコンタ
クト位置で下側から押上機構によりバケット内部の複数
のＩＣを同時に押し上げて複数のコンタクトにそれぞれ
接触させるようにしているので、複数のＩＣの同時検査
処理が可能になる。

その結果、ジャムとか、ＩＣのピンの曲がりがほとんど
発生しないハンドラを実現でき、ほぼ水平に載置して搬
送する構成を採っていることから、たとえ、ＩＣを並列
処理しなければならない場合であっても、ＩＣを並列に
バケットの収納開口部に収納するだけで済み、簡単に、
複数個のＩＣを同時に検査処理でき、装置自体の大きさ
もあまり大きくせずに済む。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を適用した一実施例のＩＣハンドラ
の外観図であり、第２図はその上部取外し平面図、第３
図はその側面断面図、第４図（ａ）及び（ｂ）はそのＩ
Ｃ収納ラックの説明図、第４図（ｃ），（ｄ），（ｅ）
及び（ｆ）はラックに装着される部品抜け落ち防止ピン
の支持機構の説明図、第５図（ａ）及び（ｂ）はそのロ
ーダ部の説明図、第６図は、ローダ部からバケット搬送
部へＩＣを供給するハンドリング操作の説明図、第７図
（ａ）及び（ｂ）は、バケット搬送機構の側面断面図及
び正面断面図、第８図（ａ），（ｂ）及び（ｃ）はバケ
ットの説明図、第９図はそのチェーンの説明図、第１０
図（ａ）は、ＩＣを把持しバケット搬送機構から測定部
に供給するＩＣ押上機構の押さえピンを中心とする説明
図、第１０図（ｂ）は、その押上ピンの説明図、第１０
図（ｃ）は、サイズの相違する部品を把持して測定部に
供給するＩＣ押上機構における直動カム移動機構の説明
図、第１０図（ｄ）は、そのシフト機構の説明図、第１
１図はその分類部の説明図、第１２図（ａ），（ｂ）及
び（ｃ）は、分類部の押出機構の説明図図及び正面断面
図、第１３図は、従来のＩＣハンドラの外観図である。 １…ＩＣハンドラ、２…ＩＣローダ部、 ３…バケット搬送機構部、４…恒温槽、 ５…測定部、６…分類部、 ７…収納部、８…測定部、８…ラック、 ９…ＩＣ、１０…ＩＣハンドラ、 ２０…ＩＣロード機構、 ２１…ラック載置テーブル、 ２２…リニアフィーダ、２３…ピックアップアーム、２
４…エレベータ機構、 ２５…部品抜け落ち防止ピン、 ２７…フックプレート、２８…ベースプレート、 ２９…ロータリアクチュエータ、 ３１…バケット、３２…収納開口部、８１…溝。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数のＩＣを収納したローダ部と、前記Ｉ
   Ｃの測定部と、前記ＩＣを収納するＩＣ収納開口部が形
   成されたバケットを有し前記ローダ部から供給された複
   数のＩＣを前記測定部まで前記バケットにより搬送する
   水平搬送機構部とを備え、前記水平搬送機構部は無端巻
   掛け伝動機構を有し、間欠送り動作をして前記バケット
   を循環させて水平搬送するものであり、前記測定部には
   複数のそれぞれの前記ＩＣの端子とそれぞれ接触する複
   数のコンタクトが並設され、これら複数のコンタクトの
   電気的な接続面が前記水平搬送機構部に対峙してその搬
   送路の上部に配置され、前記水平搬送機構部には搬送路
   を挟んで前記複数のコンタクトの反対側に前記複数のコ
   ンタクトのそれぞれに対応して複数のＩＣ押出機構が並
   設され、前記ＩＣ収納開口部は、前記複数のコンタクト
   のそれぞれの位置に対応するように複数並設されていて
   それぞれが前記ＩＣを収納しかつ垂直方向に貫通する孔
   となっていて、前記水平搬送機構部の搬送の停止状態に
   おいて前記複数のＩＣ押出機構によって前記複数のコン
   タクトに対応する搬送路上の前記ＩＣ収納開口部に収納
   された前記ＩＣがそれぞれの前記測定部に押出されて前
   記複数のコンタクトにそれぞれ前記ＩＣが挿着又は押付
   けられて電気的に接触することを特徴とするＩＣハンド
   ラ。
2. 【請求項２】ローダ部には、個々にＩＣを連続的に収納
   する溝が多段に形成されたラックが装着されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のＩＣハンド
   ラ。