JPS6358268A - Ｉｃハンドラ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分身コ この発明は、部品の自動検査装置に組込まれて順次検査
対象の部品を？！１す足部に供給し、検査終ｒ後の４５
品を検査結果に応じて排出する部品のハンドラに関し、
特に、ジャムとか、ピンの曲がりの発生が少ないＩＣハ
ンドラに関する。

［従来の技術］ 第１３図は、従来のＩＣハンドラの基本的な構成を示す
概四図である。

図中、Ａは、未検査のＩＣを収納して順次送り出すロー
ダ部であり、　・般に、ＩＣマガジン１が積層されてい
る。このＩＣマガジンの１の内部には、辻続的に、個々
のＩＣが配列されている。

ＩＣマガジン１の中のＩＣは、ｒ熱処理１窃Ｂに順次自
重にてガイドレールにより案内されて滑降しつつ所定の
検査条件に適合するｔ見回にｒ備処理される。この場合
のｒ備処理としては、Ｆ熱とｒ・冷等がある。

ｆ・熱処理部Ｂを通過したＩＣは、同様にガイドレール
により案内されて測定部Ｃを順次市直ドカに自重降下し
つつ、自動測定器（検査ヘッド、図７１＜せず）によっ
て検査される。

そして、検査を終えたＩＣは、アンローダ部１）に自重
滑降することになるが、その途中で、検査結果に応じて
分類部Ｅによって分類されて振分られ、車行に設けられ
た複数のレーンを自重滑降して、アンローダ部１）にセ
ットされている複数列のマガジン１ａ＋　　ｌｂ＋　　
ｌｃ、ｌｅ、ｌｆｔ　　１ｇ＋１ｈのいずれか１つに収
納される。

［解決しようとする問題点コ このようにガイドレール１−を自重により／ｉｔ降し、
降ドして行く自然落ド方式のものにあっては、加熱処理
及び測定処理等のためにＩＣ自体を押さえてその流れを
市めたり、落ド方間に合わせてＩＣ自体の方向を転換す
ることが必要となるため、ＩＣビンの曲がりとかジャム
が発生し易いという欠点かある。また、ガイドレールに
よるためにＦＳｉｈのＩＣを・１ｒ；列に検査する場合
には、その数に対応するガイドレールを並設しけなけれ
ばならず、並列に流れるＩ　Ｃ＋Ｉｆ　Ｉ）’、の制御
タイミングが難しくなるとともに、装置が大型化する欠
点がある。

［発明の［−１的］ この発明は、このような従来技術の問題点を解決するも
のであって、ピン曲がりとかジャム率が少なく、並列に
部品を流すことが容易な部品のハンドラを提供すること
を目的とする。

〔問題点を解決するための丁・段コ　　　“このような
１−１的を達成するためのこの発明の部品のハンドラは
、複数の部品を収納したローダ部と、部品の測定部と、
ローダ部から供給された部品を間欠法りによりほぼ水・
１１に移動させて測定部まで搬送する搬送機構部と、測
定部からの測定済みの部品を載置しほぼ水平に移動して
測定結果に応じて分類する分類機構部と、分類機構部に
より分類された部品を収納する収納部とを備えていて、
少なくとも搬送ｉ構部の搬送路の−・部が恒温槽の中に
あるというものである。

［作用コ このように搬送機構部の搬送路の一部が恒１１シ槽の中
にあって、搬送機構部が部品を載置してほぼ水平に移動
し、間欠的に測定部まで部品を送るようにしているので
、この水平移動過程で加熱又は冷却等の熱処理ができ、
長時間の熱処理が必要なときであっても、また、短時間
の熱処理であっても搬送機構部の停止／駆動で対応でき
る。したがって、部品自体を押さえて流れを１１めたり
する必要がない。さらに、間欠移動であることから搬送
機構部側から測定部側への供給も曲中なものとなり、部
品を押さえて待機させる必”皮がない。しかも、測定後
の部品をほぼ水平移動して分類するようにしているので
、ガイドレール等による落ド搬送をせずに済み、部品自
体の方向転換もする必要がない。

その結果、ジャムとか、部品のビンの曲がりが」ユとん
と発生しないハンドラを゛夫現でき、はぼ水・にに載置
して搬送する構成を採っていることから、′たとえ、部
品を並列処理しなけらばならない場合であっても、部品
を・１ａ列に載置するようにすれば、１ＩＴｉ中に、複
数個の部品を同時に検査処理でき、装置自体の大きさも
あまり人きくせずに済む。

［実施例コ 以ド、この発明の一実施例について図面を用いて詳細に
説明する。

第１図は、この発明を適用した一実施例のＩＣハンドラ
の外観図であり、第２図はその−１ユ部取外し・＋１而
図、第３図はその側面断面図、第４図（ａ）及び（ｂ）
はそのＩＣ収納ランクの説明図、第４図（ｅ）、（ｄ）
及び（ｆ）はランクに装７ｔされる部品抜は落ち防市ビ
ンの支持機構の説明図、第５図（ａ）及び（１））はそ
のローダ部の説明図、第６図は、ローダ部からバケット
搬送部へＩＣを供給するハンドリング操作の説明図、第
７図（ａ）及び（ｂ）は、バケット搬送機構の側面断面
図及び１１．面断面図、第８図（ａ）、（ｂ）及び（ｅ
）はバケットの説明図、第９図はそのチェーンの説明図
、第１０図（ａ　）は、ＩＣを把持してバケッ］・搬送
機構から測定部に供給するＩＣ押押１機構の押さえビン
を中心とする説明図、第１０図（ｂ）は、その押１°、
ピンの説明図、第１０図（Ｃ）は、サイズの相違する部
品を把持して測定部に供給するＩＣＣ１０機構における
直動カム移動機構の説明図、第１０図（ｄ）は、そのシ
フト機構の説明図、第１１図はその分類部の説明図、第
１２図（ａ）。

（ｂ）及び（ｃ）は、分類部の押出機構の説明図である
。なお、これら各図において同・のものは同一の符号で
示す。

第１図〜第３図において、１０は、ＩＣハンドラであり
、２はそのＩＣローダ部、３はＩＣローダ部からＩＣの
供給を受け、ＩＣを収納して搬送するバケット搬送機構
部、４はバケット搬送機構部３の搬送路を包み込む恒温
槽、５は、バケット搬送機構部３から部品の供給を受け
て、その部品を検査する測定部、６は、検査後のＩＣを
バケット搬送機構部３から受けてほぼ水・１之搬送し、
検＾結果に対応して収納部７のラックに収納する分類部
、８はローダ部２及び収納部７に装着され、検査部品（
ここではＩＣ）を収納するラック、そして５ａは、測定
部５に設けられ、ＩＣの電気的特性）・を／ｌ１１１定
するテストヘッドである。

ここで、ローダ部２は、第２図及び第５図（ａ）に見る
ようにラック載置テーブル２１と、リニアフィーダ２２
、ピックアップアーム２３（第６図１！！（１）Ｎ　ラ
ック載置テーブル２１のドに設けられ、ランク載置テー
ブル２１を１・、ド移動させるエレベータ機構２４、そ
してラック装着状態検出／位置決めガイド機構２６とを
備えたＩＣロード機構２０が複数−１６設（図では３個
）されていて、各ＩＣロード機構２０のそれぞれのラッ
ク載置テーブル２１にはラック８がそれぞれ’Ａｌｌさ
れている。

ラック８は、第４図（ａ）、（ｂ）に見るように、１・
、ド方向に複数段積み１・６げられた複数のＩＣ収納溝
８１，８１．　　・・・が連続的に形成されていて、谷
溝８１に個々のＩＣ（ここではその例としてＰＧＡタイ
プのＩＣ，ハイブリットＩＣ）９をそのビンが１・、側
となるようにして溝方向及び１・。

ド方向に連続的に配列した形態で収納している。

しかも、各ｔ１■８１の大井曲は、各ＩＣが飛び出した
り、＋ｌｉｆ側に配列されたＩＣと競合しないような高
さ位置にある。すなわち、その、−°５さは、収納され
るＩＣの高さの２倍より小さいものとなっている。

そして、第５図（ｂ）の断面図に見る押出し爪８２が爪
送り機構８３により溝８１に挿入され、この溝８１に沿
って部品−個の線引当分だけのピッチで水平方向に移動
して、最後ｍりに配列されるＩＣ９を押して、ＩＣ９を
１個分だけ図面左側へと送り移動させる。ここで押出し
爪８２と爪送り機構８３とは、溝８１からＩＣ９を押出
す押出機構を構成していて、溝８１に沿って溝の・方の
側（図面左側）からＩＣ９を押してＩＣ９を溝の他方の
側（図面右側）から外へと押出すものである。

この爪８２が移動する溝８１は、リニアフィーダ２２の
レール２２ａの送り而に−・致する位置に位置付けられ
ている。

なお、押出し爪８２の１ピ、子分の移動制御は、制御部
（図／１＜せず）からの制御借りによりその送出の都度
４７われる。また、爪送り機構８３は、第５図（ｂ）に
見るように、クランク状の押出し爪８２を挟持していて
、第５図（ａ）に見るよに、ベルト８５を介してプーリ
８６により駆動され、水・Ｉｉ、軸８４１−をスライド
して水・Ｉｌ移動する。

ここで、リニアフィーダ２２のレール２２　ａ　ハ、ラ
ック８の押出し爪８２が挿入される溝８１の部品送出口
に隣接して設けられている。そしてラック８の溝８１か
ら押出されたＩＣ９をレール２２ａで受けて、これをレ
ール２２ａの他端のピックアップアーム位置Ｐまで移送
する。このリニアフィーダ２２は、菱形をしていて、そ
の柱が板ばねにより形成され、所定の周波数、例えば数
１・Ｈｚ〜数百Ｈｚで斜め方向に振動する。

そこで、バケット搬送部３側に供給されるＩＣ９は、押
出し爪８２の１ピノ千分の移動に従って先端側の１つが
、リニアフィーダ２２のレール２２ａｌ−に押出され、
このリニアフィーダ２２により、その先端のビワクアノ
ブ位置Ｐまで移送される。このことにより送出されたＩ
Ｃ９が先端の、ＭＳ品ビックア・、ブ待機位置にセント
される。

ここで、ラック８は、ラック載置テーブル２１に着脱１
１能に装？ｔされ、ラック載置テーブル２１がエレベー
タ機構２４により−１−上移動されることによりラック
８が１・、上移動して、溝８１のＩＣ９がすべて排出さ
れるとその［・、の溝８１へと順次下側の溝８１からそ
の底面がリニアフィーダ２２のレール２２ａの送り面に
一致する位置に次々に位置決めされる。なお、２５．２
５は、ランク８の両端を縦に貫通している部品数は落ち
防１１−ピンであって、吊りドげ保持されていて、その
先端側がリニアフィーダ２２のレール２２ａの而に・致
する位置に位置付けられた溝８１を塞がない状態（部品
数は落ち防１トビン２５の長さがそれに対応している）
となっている。

この部品数は落ち防＋ｌピン２５ｉ　　２５の吊りドげ
保持機構を示すのが第４図（Ｃ）〜（ｆ）であり、第４
図（ｃ）は、同図（ａ）の裏面側から見たリニアフィー
ダ２２側の１１分の部分ＩＥ而面図あり、同図（ｄ）は
その部分・１ｉ−面図、同図（ｅ）はその縦断面図、同
図（ｆ）はその部分縦断面図である。

部品数は落ち防止ピン２５は、う、り８がＩＣロード機
構２０に装着された状態のときには、第４図（ｅ）に見
るような関係にあって、フックプレート２７のフック部
２７０に設けられた開１”１部２７０ａに嵌合してフッ
クプレート２７に引っ掛けられて保持される。フックプ
レート２７は、台座２７２に固定されたロータリアクチ
ュエータ２９の軸２９ａに固定されていて、通常は、う
、り８と・Ｖ行な状態（第４図（ｄ）の点線部分参照）
に位置し、：ｂ’制御部からの制御借りに応じて、はぼ
２５度程度時計方向に回動してラック８の１・、而と下
側の鍔２５２との間に挿入されて開口部２７０ａが部品
数は落ち防１１．ピン２５のフ、り受部２５１に嵌合す
る。

その結果、鍔２５２が開口部２７０ａの周囲に係合し、
落ドしない状態となり、部品数は落ち防止ピン２５が保
持される。そしてう、り８が降ドしたときに、第４図（
ｆ）に見るように鍔２５２がフ、り部２７０の開口部２
７０ａの１゛、面ｊ、°旧ｊｌｌに設けられた円形溝２
５３に嵌合して部品数は落ち防゛１トビン２５の中心が
開口部２７０ａの中心に位置付けられ、このことにより
ラック８のピン貫通孔８ａの中心に位置付けられる。こ
のようにすることで部品数は落ち防止ビン２５の長さが
長くなっても、最上段の溝まで貫通孔８ａの中心に部品
数は落ち防止ピン２５の中心を−・致させて保持でき、
その抜き、差しが容易なものとなる。

−・方、制御部からの制御部−Ｊ・が停止１・したとき
には、ロータリアクチュエータ２９の型動が停止１シて
フックプレート２７は元のラック８と・］４１行状まで
回動して戻る。ことのきには、ｍ２６２が１１ｔｌｆｆ
ｉ＜２７０ａから外れて部品数は落ち防１１ビン２５は
、ラック８の最１・、而まで落ちて、すべてのｉ：Ｑ８
１をＬＴ通することになり、第４図（ｅ）に見る状態と
なる。

ところで、台座２７２には、フックプレート２７をガイ
ドするがイドプレート２７３が固定されていて、ガイド
プレート２７３の先端部がフックプレート２７のほぼ中
間部分に当てられ、フックプレート２７の回動をガイド
する構成となっている。また、台座２７２は、ベースフ
レーム２８に固定された２木の支柱２７１，２７１に支
持されている。そしてこれは、ラック８の１一端より少
し低い位置にあって、第４図（Ｃ）では、ラック８が溝
高さ分に相当する１ピツチドかった状態にある。なお、
第４図（Ｃ）、第５図（ａ）に見る２６１．２６２は、
ランク８をＩＣロード機構２０に装７１する際の位置決
めガイドローラである。

ところで、第４図（Ｃ）に見るように、フックプレート
２７のフック部２７０は、１・、ドに２段設けられてい
て、１・、側のフ、り部２７０は、異なる溝高さのラッ
クが装着されたときに使用されるものである。これは、
部品数は落ち防雨ピン２５を現在とは異なる高さに保持
するものであり、部品数は落ち防子、ピン２５の１・、
側の鍔２５２ａのフック受ｆｆｉ＜２５１ａに１−側の
フック部２７０が嵌合して部品数は落ち防雨ピン２５が
保持されることになる。

・方、ラック装着状態検出／位置決めガイド機構２６は
、所定間隔離れて配置された２つの位置決めガイドロー
ラ２８１，２６２とを有していて、これら位置決めガイ
ドローラ２６１．２６２は、それぞれＬ字形フレーム２
８３，２Ｅ３４の脚部２８３　ａｌ　　２６４　ａの先
端にピンを介して回転ｉｉＪ能に軸着されている。そし
てＬ字フレーム２６３゜２６４の柱部分２６３ｂ、２８
４ｂは、その中央部分でラック載置テーブル２１の裏面
側に固定されたブラケット２１１．２１１に回動できる
ようにそれぞれピンを介して回転可能に軸７ｔされてい
て、そのローラ軸着側に対して反対側にあたる柱部分２
６３ｂ、２Ｂ４ｂの先端側にはラック載置テーブル２１
に而して穴が設けられていて、この穴とランク載置テー
ブル２１の穴との間に圧縮状態のばね２１２，２１３が
装着されている。

ばね２１２により位置決めガイドローラ２６１は、図面
において反時計方向に回転するように付勢される。また
、ばね２１３により位置決めガイドローラ２６２は、図
面において時計方向に回転するように付勢される。その
結果、位置決めガイドローラ２８１．２８２は、１−上
移動１−１）能にとなる。

ところで、位置決めガイドローラ２６１は、ラック載置
テーブル２１のＭり分断面から理解できるように、ラッ
ク載置テーブル２１に設けられた開［１部２１４より突
出している。したがって、位置決めガイドローラ２６１
は、ラック載置テーブル２１に対して前記間［１部２１
３を貫通して十、上移動し、進退する。このことは、部
分断面図として図、ドしていない位置決めガイドローラ
２６２についても同様である。

位置決めガイドローラ２６１が位置決めガイドローラ２
６２と相違する点としては、Ｌ字フレーム２６３の柱部
分２６３ｂに押ドげ検出用のレバー２６４が柱部分２６
３ｂと１Ｆ直になるように固定されていることである。

このレバー２６４は、位置決めガイドローラ２６１がラ
ック８により押ドげられたときに発生するＬ字フレーム
２６３の同動を拡大するものであって、その下側先端側
の曲折＼１１・、げ部２６４　ａに孔を有していて、こ
の孔に発光素ｒからの光を通過させることにより、その
光をホトセンサで検出することで、ランク８か装着され
ていない状態を検出し、ラック８が装７トされたときに
は曲折−７，Ｌげ部２６４ａの孔がずれて、発光素ｒか
らの光を遮ることにより受光素ｒ側が非受光状態となっ
て、このことでラック装着状態を検出するものである。

とろこで、位置決めガイドローラ２８１，２８２は、そ
れぞれ第５図（ｂ）に見るように、その周面が対称的な
傾斜面を有する山形となっていて、ラック８の裏面底面
に説けられた谷溝８４に嵌合する。この谷溝８４は、対
称的な傾斜面８４ａ。

８４ｂを持っていて、この傾斜面８４ａ、８４ｂが位置
決めガイドローラ２６１，２８２の山形の灯１斜而に嵌
合することにより、ローラ２６１によりずれなく、＋ｌ
Ｅ確に位置決めされる。また、第５図（ａ）に見るよう
に、う、り８の後端部に接するように、ローラ２６５が
うｌり載置テーブル２１に回転１■能に輔行されていて
、ラック８の先端部は、爪２６６が咬み込みこれにより
押さえられる。したがって、ラック８が図面右側から装
着され、左側へと押込まれたときに、位置決めガイドロ
ーラ２６１．２６２により案内されて位置付けられ、爪
２６６によりその移動が停止され、ローラ２６５に沿っ
てラック８の後部が落とし込まれてリニアフィーダ２２
のレール２２ａに対して前後、左右に対し移動しないよ
うに１−１１定され、位置決めされる。

ＩＣロード機構２０は、このようなラック８及びそのエ
レベータ機構２４、爪送り機構８３、そしてラック装着
状態検出／位置決めガイド機構２６等からなり、ここで
はローダ部２に３個１１１’ｉ設されている。初期状態
では、ＩＣロード機構２０のラック８は、　・番ドの溝
８１の底面がレール２２ａの上面に一致していて、この
１み８１からＩＣが送出されて、その溝８１が空になる
と、〆１■８１の積み１−げピッチ（１ピツチ）分たけ
ドげられる。

すなわち、あるう、り８の溝８１のＩＣが空になった時
点で、ラック８は、エレベータ機構２４によりドへと移
動してその１°、にある溝８１の底面がレール２２ａの
１・２面の位置に位置付けられる。

さて、ラック８から送出されてリニアフィーダ２２のレ
ール２２ａの先端で待機しているＩＣ９は、第６図及び
第７図（ａ）に見るようにピックアップアーム２３の爪
２３１が開かれた状態で降ドし、閉じられることにより
把持され、バケット搬送ａ構部３のバケット３１の各収
納位置までレール２２　ａ−Ｌを移動して順次運ばれる
。そして爪２３１が開かれてＩＣ９がそれぞれの収納量
Ｌ１部３２にセットされる。ここで収納量ＩＩ　？ａ＜
　３２は、１つのバケット３１に４つ１没けられていて
、第７図（ａ）に示すようにバケット３１の端から順次
４個のＩＣ９が収納量１１部３２に収納されて行（。

したがって、ピックアップアート２３のハンドリング時
間に合わせたタイミングでラック８から４個のＩＣ９が
・個−個間欠的に送出され、リニアフィーダ２２の先端
の待機位置Ｐに搬送されて、ピックアップアーム２３に
より順次リニアフィーダ２２から４個のＩＣ９が・個−
個取り１−げられてバケット３１に個々に搬送される。

なお、２３２は、ピックアップアート２３の爪２３１を
閉じる方向に付勢するばねであり、２３３．２３３及び
２３４，２３４は、爪２３１を開く方向に回動させるカ
ム而及びローラ、そして２３５．２３５は、爪２３１の
２つの各爪片の回動支点である。

このようして１つのバケット３１にＩＣ４個がセットさ
れると、バケット３１が１つ前へと進み、次の空のバケ
ット３１がリニアフィーダ２２に対応するＩＣ供給位置
に位置付けられる。ここで、あるＩＣロード機構２０の
ランク８のＩＣがすべて空になると、制御部からの制御
４１ｉ号に応じてエレベータ機構２４が１１昇制御され
てラック８が１・。

へと移動して元の初期状態に戻り、ピックアップアーム
２３が次のＩＣロード機構２０の位置へと移動してその
ＩＣロード機構２０のラック８からＩＣが供給され、空
になったラック８は、取り外される。そしてＩＣが・杯
詰まった新しいう、り８が、取り外されたＩＣローＰ　
Ｆ？ｉ　構２０に新たに装着される。

ところで、このバケット３１は、第７図（ａ）。

（ｂ）に見るように、Ｎ数個が所定間隔をおいて両端で
無端のチェーン３２　ａ、　　３２　ｂにより連結され
ている。そして第３図に見るように、このチェーン３２
ａ、３２ｂがバケット搬送機構部３の両端に設けられた
スプロケット３３ａ、３３ｂに咬み合って送られること
で順次搬送される。すなわち、これらはチェーン伝動機
構を構成している。

したがって、バケット３１は、チェーン３２ａ。

３２ｂに架は渡されて支ｔ、′ｌされ、前側のスプロケ
ット３３ａか間欠的にモータ３４によりタイミングベル
ト３５を介して駆動され、各バケッ１−３１　　。

が所定のピッチで間欠送りされる。

ここで、バケット３１は、熱伝導Ｐ１ミのよい金属等の
部材、例えばアルミニウム等で構成されていて、その形
杖は、第８図（ａ）に見るように、四角棒状のものであ
って、４つの収納量１−１部３２が所定間隔おきに設け
られていて、その両端には、チェーン３２ａ、３２ｂに
ねしピンを介して固定され、そのためのねし孔３１１，
３１１，３１２゜３１２が両端側面に開けられている。

このバケット３１は、これらのねじ孔３１１，３１２に
おいて、第９図に見るチェーン３２ａ　（３２ｂ）を構
成する各リンク３２１に固定されていて、ブラケット３
２２を介してねじピンにより搬送面に対して収納１５旧
−１部３２が市直に位置付けられるように固定される。

収納量（−１部３２は、第８図（ｂ）に見る同図（ａ）
のＩ−Ｉ断面図及び第８図（ｃ）に見る同図前（ａ）の
■−■断面図にｔノ＜されるように、−二重に１没けら
れた段付きのくぼみ３１０．！：、このくぼみ３１０の
両側に部品ハンドリングアームの爪２３１が挿入される
１字ｉ＋’／ｉ　３１５とか設けられていて、ド？？＋
’４３１５はバケ・ノド３１をＩＦ直に貫通している。

そして、くぼみ３１０のうちＬ段のくぼみ３１３とド段
のくぼみ３１４とは異なる大きさの部品の・１４而形状
に対応する開１１をもって形成されていて、それぞれの
１）旧１が表面まで延びていてる。第７図（ｂ）に見る
ように、これら開１１が１・に向くようにチェーン３２
ａ、３２ｂに取付られる。モして１・８側の（ぼみ３１
３及び下側の（ぼみ３１４のいずれか一力に異なる種類
のＩＣを収納する。

具体的には、この実施例では、ド段のくぼみ３１４がＳ
ＯＪタイプのＩＣを収納するのに対応する大きさとなっ
ていて、１−段のくぼみ３１３がＰＧＡタイプのＩＣ１
特にハイブリットＩＣを収納する大きさの収納部となっ
ている。

なお、これらくぼみ３１３，３１４をｌ′１通している
Ｉ−字溝３１５は、これらくぼみ３１３，３１４の中心
にそのクロス点の中心がほぼ−・致するように設けられ
、後述する押さえピン３７がこのバケットに貫通する１
・字溝３１５のドから進入して測定対象のＩＣ９を押さ
えて持ちトげ、１−へと抜ける。そのための押さえビン
通過孔となる。

さて、第３図に見るように、バケット搬送機＋ｌ”Ｔｆ
ｆｉ＜３は、チェーン３２ａ、３２ｂも含めて、バケッ
トが恒ｔ７．！槽４の中に収納されていて、恒温槽４の
底部に設けられがヒータ４１により加熱される。

したがって、バケット３１に収納されたＩＣ９は、この
送り過程で所定の温度まで加熱される。

そして、第７図（ｂ）に見るように、測定部５のドまで
送られ、測定部５にバケツ）３１が位置したときに、間
欠送りの停止１・した状態に一致してスプロケッｌ−３
３ａの駆動の停止Ｉ・、状態において、この停止期間中
の初期に測定ｆｆｉ＜５に対応するバケ、ノド３１の下
側に配置された、直動カムによるピン押！−機構（固定
フレーム３８に固定されていて第７図（ｂ）では隠れて
見えない。第１０図（ａ）〜（ｄ）参照）によりチャッ
ク付き押さえピン３７（点線で示す）が−Ｌへ駆動され
て、各収納量Ｌ１部３２を１″１通して測定部５側へと
ＩＣ９を把持して押１−げ押付ける。

なお、ＩＣ１ｉｌＮ−機構は、これらピン押上１機構及
び押さえピン３７とにより構成されていて、このＩＣＣ
１０機構がそれぞれ各収納１ｊ旧！部３２の下側に位置
して４つ並設゛され、押さえピン３７の先！６１１ｉの
チャック部分はビックアップア−１、の爪２３と同様な
形状をしている。

ここで、測定部５には、その大片側から下側に向けて固
定されたコンタクトユニｙ）５１（又はソケット５１）
が各収納１）旧１部３２の位置に対応するように設けら
れていて、第７図（ｂ）の点線で、」＜すように前記押
さえピン３７により押１−られたＩＣ９がこのコンタク
トユニットのコンタクトに接触して電気的に接続される
。そしてコンタクトユニット５１に結合されたテストへ
ソド５ａにより押１−られ接触したＩＣ９の測定処理が
なされる。

第１０図（ａ）　〜（ｄ）は、ＩＣ押押１°機構の押さ
えピン３７及びピン押１−機構の説明図であって、特に
、サイズ（・１４而から見た幅）の相違するＩＣを測定
部５に供給するため種類の相違するＩＣを押さえる押さ
えピン３７をそれぞれ自する２つの従動節機構及びこれ
を１−上移動する１動カム機も４の説明図である。

第１Ｏ図（ａ）に見るように、押さえピ／３７は、チャ
ック３７１と押１“、ピン３７２及びガイドピン３７３
とを備えていて、チャック３７１は、爪２３乏同様な爪
で構成されている。３７１ａ。

３７１ａは、それぞれチャック３７１の爪片であり、支
点ピン３７４，３７４を中心として回動する。３７５は
、爪片３７１　ａ及び３７１ａを閉じる方向に付勢する
ためのばねであり、伸張状態でこれらの間に架け４度さ
れている。

各爪片３７１ａには、支点ピン３７４を挾んでＩＣ把持
側と反対側にローラ３７６．３７８が設けられていて、
これがカム板３７７のカム而３７７ａに係合し、通常は
、爪片３７１ａの先端が開いた状態となっている。そし
てカム板３７７が！・。

昇することにより、ローラ３７　Ｂ　、　　３７　Ｂ　
カ開１−Ｉ部カム面３７７ｂに落込み、支点ピン３７４
を中心としてばね３７５により爪片３７１ａが相ｌｆに
閉じる方向に回動して・点鎖線で示すようにＩＣ９ｄを
把持する。なお、ＩＣ９ａは、先に説明したＩＣ９より
幅が小さいＩＣであって、バケット３１の段付き溝のド
段のくぼみ３１４に収納されているものである。

ここて、カッ、板３７７が降ドしたときには、逆の動作
となり、爪Ｊ’＋’３７１　ａが相ｌｌ：に開（方向に
回動して図／Ｊ＜の状態に戻る。

・方、ピン押１−機構は、第１０図（ｂ）に見る従動節
機構３６１とこの従動節機構３６１のころを従動節にし
て係合する第１０図（ｃ）、（ｄ）に見る直動カム機構
３６０とからなる。先の押さえピン３７は、この従動節
機構３６１の上部側に設けられていて、先のチャック３
７１の下側に配置されたカム板３７６は、ころ３６２ａ
を有する従動節３６２により１−上移動される。

３６３は、チャック３７１及び押１−ピン３７２を持つ
押さえピン３７を押［−げる押１ニブレートであって、
その中央部には開口部３６３ａが開けられていて、１５
旧１部３６３ａには軸３６３ｂか架は渡され、この軸３
６３ｂに向合してこれをガイドとしてｌ〕ドにスライド
するスリーブ３６３ｃに従動節３６２が結合されている
。従動節３６２は、このスリーブ３６３ｃを介して開１
１ＰＢ３６３ａの範囲で１−ド移動可能に支承され、そ
の下側に固定されたころ３６２ａを介して直動カムに係
合することにより、直動カムの往復運動に応じて１−上
移動する。

・ツバ第７図（ｂ）に見る固定フレーム３８にはプレー
ト３８２が固定されていて、プレート３８２にブラケツ
ト３８０を介してガイド軸３８１が固定されている。押
１゛、プレート３６３は、ガイド軸３８１に嵌合するス
リーブ３６３ｂと一体的に形成されていて、ガイド軸３
８１をガイドとしてスライドするスリーブ３６３ｂを介
して１−上移動１工能に支承され、押！プレート３６３
の、スリーブ部３６３ｂとは反対側には、従動節３６４
が固定されていて、従動節３６４により押上、プレート
３６３が１ｔド移動される。従動節３６４には、その下
側にころ３６４ａが設けられていて、こる３６４ａを介
して的動力ｌ、に係合し、このことにより、直動力１１
の往復運動に応じて押上、プレート３６３が１・、上移
動する。

第１０図（ｂ）に見る従動節機構３６１は、ここでは、
第１．第２の従動節機構３６１として２つ設けられてい
て、それぞれＩＣのサイズに応してそれを把持するサイ
ズのチャック３７１及び押１４ビン３７２が設けられた
押さえピン３７が固定されている。３６２ｂ及び３６４
ｂとしてカッコで小す符吋は、後述する直動カムに対す
る説明の都合！−１第２の従動節３６１のころを意味し
ている。

一方、直動カム機構３６０は、第１０図（ｃ）に見るよ
うに、第１．第２の２つの従動節機構３６１．３６１を
受ける直動カム機構であって、矩形板の直動カム本体３
６８の−１−側には、例えば、バケット３１の収納量１
−１部３２の１−段のくぼみ３１３に収納された人きい
幅を持つ第１のサイズのＩＣ９を把持して測定部５のコ
ンタクトユニット５１に押上、げる直動カム板群３６５
が固定されている。また、直動力ｌ、本体３６８の下側
には、例えば、バケ７）３１の収納量１１部３２のト段
のくぼみ３１４に収納された、第１のサイズより小さい
幅を持つ第２のサイズのＩＣ９ａを把持して測定部５の
コンタクトユニット５１に押１−げる直動カム板群３６
６が固定されている。そして矩形板の直動カム本体３６
８は、固定フレーム３８に固定された２木のガイド軸３
６７１をほぼカム面の幅対応に往復移動する。

直動カム板群３６５と直動カム板Ｊ！′ｔ、３６　Ｂは
、それぞれ所定１１目−ド２段にずれて設けられた２枚
の数カｌ、３６５ａ、３６５ｂ及び３６６ａ、３６６ｂ
を自していて、１１段のカム板３６５ａ及び３６８ａは
、それぞれ第１．第２のチャ、り３７１を作動してバケ
ット３１のＩＣ９又はＩＣ９ａを把持する動作をさせる
ためのカムであり、ド段のカム板３６５ｂ及び３６６ｂ
は、チャック３７１とともに押１−ビン３７２をｌ−ｙ
／−させてバケット３１のＩＣ９又はＩＣ９ａをコンタ
クトユニ、ト５１に押］−げ、押付けるためのカッ、で
ある。

ここに、数カＡ３６５ａ、３６５ｂ及び３６６ａ、３６
６ｂは、それぞれ相１１：に反対方向に傾↑４したカム
面３６５ｃ、３６５ｄ及び３６６ｃ、３６６ｄを有して
いて、第１の従動節機！；＜　３６１のころ３８２ａ、
３６！ｌａ及び第２の従動節機構３６１のころ３Ｂ２１
）、３６４ｂは、それぞれ初期状態では、カム面３６５
ｃ、３６５ｄ及び３６６ｃ、３８６ｄの低い側に位置し
ている。そしてこれらは、直動カム本体３６８の両側に
配置されるように、所定距離離れて設けられている。

ここで、１・、側１・１段の板カム３６５ａは、人きい
サイズのＩＣ９（第１のサイズとして）を把持する第１
のチャック３７１のころ３６２ａに係合し、これを−１
−上移動させる。下側１−段の板カム３６６ａは、小さ
いサイズのＩＣ９ａ（第２のサイズとして）を把持する
第２のチャック３７１のころ３６２ｂに係合し、これを
１−上移動させ、１−側ド段の板カム３６５ｂは、大き
いサイズのＩＣ９の押ｌげに対応する第１の従動節３６
４のころ３６４ａに係合し、これを１−上移動させ、下
側ド段の仮カム３６６ｂは、小さいサイズのＩＣ９ａの
押上。

げに対応する第２の従動節３６４のころ３６４ａに係合
し、これを１−上移動させる。

ところで、コンタクトユニ、ト５１は、ガイド軸３６７
の中央位置のころ３６２ａの１〕部に位置していて、第
１Ｏ図（Ｃ）に見る状態にあっては、中央ｊ１りのころ
３６２ａを有する第１の従動節機構３６１がコンタクト
ユニット５１の下側に位置している状態にある。そして
直動カム本体３６８が図の位置を右端として往復移動す
ることによりト。

側１・、ド段の板カム３６５　ａ　ｋ板カム３６５ｂと
に係合するころ３６２ａと３６４ａとが直動カム本体３
６８の往復移動に従って１・、上移動し、直動カム本体
３６８が図の位置から左側へと移動するときに、ころ３
６２ａと３８４　ａ　、！：が共に直動カム本体３６８
の左移動に従って１−へ移動する。

このときのころ３６２ａ及び３６４ａの１−への移動に
従って第１の従動節機構３６１が１〕へと移動してそれ
に伴って第１０図（ｂ）にジする押さえピン３７が１・
、シ１′する。そして数カｔ、３６５ａ及び板カム３６
５ｂの中央の＼］４坦部の位置でチャック３７１がバケ
ツ）３１の収納量１１部３２に収納された大きいサイズ
のＩＣ９に位置に位置付けられる。さらに直動カム本体
３６８が右へ移動すると、第１０図（ａ）の点線で小ナ
チャソクに見るように、１・０段の板カム３６５ａの傾
斜面にころ３６２ａが押上、られることにより従動節３
６２のみがｌ！ｎｌＬ／て板カム３７７を押＋１げてチ
ャック３７１を閉じる方向に作用させ、収納］ｊ旧−１
部３２内のＩＣ９を把持する。そしてさらに、直動カム
本体３６８か右へ移動することにより、従動節機構３６
１全体がさらにＩＪ’＋’化でその押さえピン３７によ
りＩＣ９を測定部５のコンタクトユニ・、）５１に電気
的に接触させるものである。この接触時点の後に、テス
トへノド５ａが接触状態にあるＩＣ９の測定を開始する
。

しかし、このとき、ころ３６２　ｂ及び３６４１）が板
カム３６６ａと板カム３６６ｂの左端に位置しているの
で、直動カム本体３６８の往復移動に対して下側の板カ
ム３６６ａと数カｌ、３６６ｂとは、その傾斜面がころ
３６２ｂ及び３６４ｂから外れる方向にある。そのため
ころ３６２ｂ及び３６４１）に対しては何等１・、上移
動の作用はなく、その動作は停止状態となったままであ
る。

ＩＣ９が−（り室部５から戻されるときには、直動力ｔ
、本体３６８が図面左から右へ前記と逆方向へと移動し
、第１の従動節機構３６１は逆の動作をしてバケット３
１の収納量１１部３２にＩＣ９を戻して、バケット３１
の下側の初期位置に戻る。

以１−が人きいサイズのＩＣ９についての押、Ｌ動作で
あるが、小さいサイズのＩＣ９ａについては、直動カム
本体３６８及び従動節機構３６１をシフトするシフト機
構３６９により直動カム本体３６８及び従動節機構３８
１が第１０図（Ｃ）の−点鎖線の位置までシフトされた
状態となる。この杖複を基をとして直動カム本体３６８
が、ここで往復移動することによりサイズの小さいＩＣ
９ａの測定部５への供給動作がなされる。

すなわち、　−点鎖線の位置に移動した状態にあっては
、今度は、コンタクトユニット５１のｒ側に対応する中
央部に第２の従動節機構３６１が位置する状態となる。

そして直動カム本体３６８が図の・点鎖線で示す位置を
左端として往復移動する。その結末、下側トド段の数カ
ｌ、３６６ａと板カム３６６　ｂとに係合するころ３６
２ｂと３６４ｂとがガイド軸６３７の中央にイ）”Ｉ置
して直動力Ｊ、本体３６８の往復移動に従って１−上移
動する。

したがって、＋１’＋記と同様に、今疫は直動カム本体
３６８が図の位置から右側へと移動すると、こる３６２
ｂと３６４ｂとが共に直動カム本体３６８の右移動に従
って１−へ移動することになる。これ以降の移動は、前
記ＩＣ９の測定部５への供給動作と同様であるので割愛
する。なお、このとき、ころ３６２ａ及び３６４ａが板
カム３６５ａと板カム３６５ｂの左端に位置しているの
で、直動カム本体３６８の往復移動に対して１・、側の
板カム３６５ａと板カム３６５ｂとは、その傾斜面がこ
ろ３６２ａ及び３６４ａから外れる方向にある。そのた
めころ３６２ａ及び３６４ａに対しては何重１−ド移動
の作用はなく、その動作は停止１・、状態となったまま
である。

このようにして、サイズの小さいＩＣに対する第２の従
動節機構３６１の１−上移動を行うことかでき、第２の
従動節機構３６１とサイズの大きいＩＣに対する第１の
従動節機構３６１とを切換で使用することかできる。

ところで、この切換を行うシフト機構３６９は、第１０
図（ｃ）では、点線で示すように、直動カム本体３８６
の裏面側に配置されている。この裏面側から見た図が第
１０図（ｄ）である。第１Ｏ図（ｄ）に見るように、直
動カム本体３６８の裏面側にはレール溝３８３が設けら
れていて、このレール溝３８３にローラ３８４を係合さ
せ、ローラ３８４がその先端に枢７ｔされたアーム３８
５を時、：１方向に゛１１回転させることにより第１０
図（Ｃ）に見る　・点鎖線の位置へと直動力ｌ、本体３
６８及び第１．第２の従動節機構３６１を・体重に扱い
同時にシフトさせるものである。なお、アーム３８５の
回転は、アーム３８５に軸結合したプーリ３８６をタイ
ミングベルト３８７で回動することによりなされ、反時
計方向に゛１１回転させることで第１０図（ｃ）の実線
で示す元の初期位置に直動カム本体３６８及び第１．第
２の従動節機構３６■を同時に戻す。

このようにして、測定部５にサイズの大きなＩＣ９又は
サイズの小さなＩＣ９ａのいずれかが選択的に供給され
、測定部５により各ＩＣ９又はＩＣ９ａの測定が行われ
、測定が終ｒした時点でビン押上０機構の直動カム機構
３６０の戻り移動によりド降作動して押さえピン３７が
降Ｆして、コンタクトユニット５１との接続が解かれる
。そして各ＩＣ９又はＩＣ９ａがバケット３１の元の収
納量［１部３２に戻される。なお、この時点では、押さ
えビン３７の先端部のチャックは、バケット３１の底面
よリー下側に位置している。

その後、間欠送りの停干９期間が終ｒして、次の送り状
態に入り、バケット３１がチェーン３２２１１３２ｂを
介して次に送られる。そして次のバケット３１が測定部
５のドに位置してコンタクトユニ、ト５１のコンタクト
に次のＩＣ９又はＩＣ９ａを押１−げてその端子−を接
触させて、同様な測定する。このようにしてＩＣの測定
部５に対する供給処理がなされる。

次に、測定の終Ｊ′シたＩＣ９又はＩＣ９ａは、＋Ｉび
バケ・ノド３１に収納されて４つのＩＣがとも（：［送
すれ、前側のスブロケッ）３３ａの近傍にある部品ピン
クアップ位置に来たときに、第３図。

第７図（ｂ）及び第１１図に見るように、分類部６のピ
ックアラプアーｌ、６１によりそれぞれの４個のＩＣ９
がバケット３１から取出されて、ベルト６２ａ　！−に
搬送される。なお、ピックアップアーム６１は、ピック
アップア−１，２３と同様な構成をしていて、６１１は
、その爪である。

ここで、前記ピックアップ６１がバケット３１の各収納
部ｍ１部３２に４つの各ＩＣをセントする作業時間及び
ここでのバケット３１の各収納部１１部３２から４つの
各ＩＣ９を取り出す作文Ｕ！ｒ間は、前記４１！１定部
５のＩＣ測定中の時間より短い時間であり、ＩＣ９の測
定中であってバケット３１の送りが停止している間に行
われる。

さて、分類部６は、ピックアップアーム６１と、ベルｔ
−ｍ送機構６２、分類数に対応するＰＳｉ数のＩＣ押出
機構６３とからなり、第２図、第１１図に見るように、
ベルト搬送機構６２は、搬送方向に対して直角きなる横
方向に横断するｉＲ６２ｂの付いた溝付きのベル）８２
ａを有している。そしてこのベル）６２ａの溝６２ｂに
ＩＣ９を収納シ、ＩＣ９を対応するラック８の位置にお
いて分類に対応するＩＣ押出機構６３を作動してその押
込みピン８３ａを伸張させることでベルトの溝６２ｂを
案内としてラック８の溝８１にＩＣ９を押込む。

このことでＩＣ９を検査結果に応じて分類する。

この場合、この溝付きのベルｌ−６２ａに代えて、バケ
ット３１の収納部「１部３２の溝に対応するような横断
溝を持ったバケットを用いて搬送してもよい。この場合
のバケ・ソｉ・は、バケット３１と同様にチェーンによ
り連結しても、また、ベルト１−１に直接固定してもよ
い。

一方、ベルト８２ａの搬送路を挾んで、Ｎ数のＩＣ押出
機構６３のそれぞれの反対側には、第１１図に見るよう
に、分類に対応する３ＩＣを収納するラック８が複数配
置される収納部７が位置している。収納部７には、ロー
ダ部２のＩＣロード機構２０と同様な収納機構７０（第
２図参！！（１）が設けられ、各収納機構７０は、ラッ
ク載置テーブル（ラック載置テーブル２１と同様１図示
せず）と、エレベータ機構（エレベータ機構２４と同様
。

図示せず）とを備えていて、エレベータ機構は、このラ
ンク載置テーブルを１・、ド移動させる。各収納機構７
０のラック載置テーブルには、例えば合格、不合格、○
○不良等又は測定特性別に検査結果に応じて、結果対応
に分類されたラック８，８゜８、・・・かそれぞれ装７
ｔされている。

第１２図（ａ）は、分類部６において、溝付きベル）６
２ａに代えてバケット６２０を用いたバケット搬送機構
による例を示してたものである。

第１２図（ａ）に見るように、バケット搬送機構６００
は、バケット搬送機構部３のバケット３１と同様にチェ
ーンで結合されたバケット６２０と、このチェーンを駆
動するチェーン伝動機構（図／Ｊ＜せす）とからなるバ
ケット搬送路６０１を自している。バケット６２０は、
その開１．．ｊ　ｉｊ／ｊ　８２１にＩＣ９を収納して
搬送するものであり、開［−１溝６２１が第８図（ｃ）
の断面図に見るような段付きの溝となっている点でバケ
ツ）３１と同様であるが、底部６２２が閉塞されていて
、開１１溝６２１がバゲｙ　）６２０の長手方向に百通
し、両側か開放状態となっている′点で相違し、しかも
、１個のＩＣ９を収納する短い形状のものである。

一方、分類部６のＩＣ押出機構６３は、各ラック８の位
置に対応してＩＣ９をバゲ、トロ２０＋ｔからランク８
のｉＮ；８１に押し込むものであり、この押し込み動作
をするのが、第１１図、第１２図（ａ）、（ｂ）に見る
ＩＣ押出機構６３の押込みピン６３　ａ、８３　ａ、６
３　ａｌ　　・・・である。

第１２図（ｂ）を参！！（Ｉ　してＩＣ押出機構６３の
ピン進退動作を説明すると、押込みピン６３２Ｉは、そ
の後端部６３ｂが、エアーンリンダとか回動アーム機構
等による進退アクチュエータ６３１に結合されていて、
進退するものである。押込みピノ８３ａは、その軸の中
程に鍔６３２が設けられていて、鍔６３２によりばね６
３３の後端６３３ａが押されて押込みピン６３ａの前進
とともにばね６３３も前、准する。ばね６３３の先端側
６３３ｂは、押込みビン６３ａの軸６３４に！ＩＸ合す
るスリーブ６３５に係合している。そこで、ばね６３３
か１１；ｉ進すると、それに伴ってスリーブ６３５も前
進する。

スリーブ６３５の先端側には、ＩＣ押さえ板６３６が固
ｉｔされていて、このＩＣ押さえ板６３６は、第１２図
（Ｃ）の・Ｐ面図で見るように水・１芝方向で２つに先
が割れたフォーク状をしている。そしてその中央より先
端側に位置する基面側には、第１０（ｂ）に見る如く、
はぼ東直にド方に妊びる段付き部分６３８　ａが形成さ
れていて、先端側が伏せたＬ字形状をしている。一方、
スリーブ６３５の１・、側には、支持板６３５ａが固定
されていて、スリーブ６３５の固定側きは反対側にあた
る支持板６３５ａの１一部にはもう１つのスリーブ６−
３５ｂか結合されている。このスリーブ６３５ｂＬｔ、
＋＋ｌＩ６３７に嵌合していてこの軸８３７１をスライ
ドするものであり、スリーブ６３５を前後移動ＩＩ能（
進退＋＋ｆ能）に軸６３７を介して支承する。

また、ノ■退アクチュエータ６３１．！：押さえピン６
３ａの後部８３ｂの固着部も軸６３７に嵌合してスライ
ドするスリーブ６３０に固定されている。

このことによりスリーブ６３５．スリーブ６３０等を介
して押込みビン６３ａが進退１ｆ能に支持されるもので
ある。

したがって、前記押込みピン８３ａが＋ｌｊｉ進したと
きには、ばね６３３を介してスリーブ６３５か軸６３７
にガイドされて前進する。そしてＩＣ押さえ板６３６を
先頭として前進し、この前進に従ってＩＣ押さえ板６３
６は、バケット６２０の開１１溝６２１に押込みビン８
３ａ側の開口から進入する。その結果、ＩＣ押さえ板６
３６の股部分６３８ａがＩＣ９の１−品と進入側側面に
当接してＩＣ９が１−へとはね！二がることなく押さえ
られる。

この状態でＩＣ９は、押込みビン６３ａの前進に伴って
バケｙ　トロ２０の開１１溝６２１をラック８側へと股
部分６３６ａに押されてスライドして行く。やがて、バ
ケｙ　）６２０のラック８側の開１１からガイド部材６
３８の溝へと案内され、ガイドぷく材６３８のｌ＋％を
経てラック８の溝８１の人１１まで連ばれる。なお、ガ
イド部材６３８は、バケット６２０と同様な溝構造とな
っている。しかし、これは、う、７り８に対応して設け
られ、固定されている点でバケット６２０とは相違する
。

このようにして押込みピン６３　ｃｓとともに押さえ板
６３６がＩＣ９を押さえてラック８側にＩＣ９をスライ
ドさせ、押さえ板６３６がラック８の人１１］″、＋ｌ
ｉｆの位置（二点鎖線で示す状態）まで来たときに、ス
リーブ６３５ｂが軸６３７を支持するブラケｌトロ３９
に当たり、これがストッパーとなって、押さえ板６３６
の＋］ｉｆ進が停止する。その後、押込みピン８３ａが
さらに前進すると、ばね６３３か１縮されなから押込み
ビン６３ａだけが前進して押込みピン６３ａの鍔部６３
ｃの先に１−１１定された押しビン８３ｄの前進により
押さえ板６３６の股部分８３６２１に保持されたＩＣ９
がラック８の溝８１へと押込まれる。ここに押しピン６
３ｄも第１２図（Ｃ）に見る押さえ板６３６と同様にフ
ォーク状に先が割れた形状をしている。

このようにしてＩＣ９がラック８の溝８１へと押込まれ
、ＩＣ９の押込みが終ｒすると、進退アクチュエータ６
３１が後退状態となり、押込みピン６３ａが後退をはじ
め、まず、押しビン８３ｄの後退によりラック８の溝８
１から押しビン６３ｄが外へと出て、ラック８の大１１
丁前の位置（”。

点鎖線で示す状態）となり、さらに後退した時点で鍔部
８３ｃがスリーブ６３５の前側に係合してスリーブ６３
５を後退させる。このことによりスリーブ６３５は押込
みピン６３ａと−・体重に後退して図小する初期状態に
まで戻る。

さて、検査結果に応じてバケット６２０１〕を流れてき
たＩＣ９に対して、以１・、のようにして流れてきたタ
イミングに合わせて対応する押込みビン６３ａを伸張作
動させて、検査結果に対応するラック８の位置に流れて
きたＩＣ９をそれに対応するラック８の溝８１に押出し
て挿入する。

なお、この場合、バケ・ノド搬送機構６００によるバケ
ット６２０の送りは、押し込み動作タイミングに合わせ
てバケット６２０の移動が一時的に停＋１する間欠送り
の搬送とし、押し込みはその停（１タイミングに合わせ
て行うようにする。

このようにして、検査結果に応してＩＣ９を分類して収
納部７の各ラック８に収納して１１（。

ところで、ＩＣ押さえ仮６３６の先端部及び押しビン８
３ｄは、第１２図（ｃ）でノ１＜シたように２つに先が
割れたフォーク形状をしている。これは、押さえ板６３
６かランク８の人ＬＩ］″−前の位置（二点鎖線で示す
状態）となってときに、ラック８の大ＩＸＩ側］・１部
に配置された光学的センサの発光ムロ４０の光がこのＩ
Ｃ押さえ仮６３６の先端部の割れ１１を通り、ガイド部
材８３８１）に設けられた受光素−１−８４１に光を受
光できるようにするためのものである。そして、押さえ
板６３６がＩＣ９を保持しているときにのみこの光か遮
られることによりＩＣ９が溝８１に押込まれる状態にあ
るか否かを検出するものである。

なお、第１２図（ｂ）のバケット６２０のド段のｔ＋Ｗ
に配置されたＩＣ９ａは、小さいサイズのＩＣであって
、このＩＣ９ａを分類するときには、押込みビン６３ａ
は、ド段のｌ１４に合わせて１・側の位置にセットされ
る。

さて、このように検合結果に応じてＩＣを分類をする場
合に、水中搬送機構を設けて１ｔ品をほぼ水・１・、に
搬送し、その搬送路の両側に収納部及びこれに対する部
品を搬送方向に対して横断するノｉ　Ｉｉ＋Ｊに押出す
部品押出部材を設けておけば、水・Ｉｌ搬送過程におい
て分類に対応する収納部の部分へ選択的に収納分類する
ことができ、しかも、分類作業が水中の状態のままで行
える。

ここで、ラック８は、初期状態では、一番１−のｌ＋４
８１の底面がバケット６２０の溝の段部の位置に一致し
ていて、谷溝８１にＩＣ９が収納されて・杯になると一
部から１・、へと各面積み１ｔげピンチ対応の１ピッチ
分だけ押１−られる。すなわち、ＩＣロード機構２０の
動作とは逆の動ｆ１をする。したがって、あるラック８
の溝８１にＩＣ９がいっばいに収納された時点で、ラッ
ク８は、エレベータ機構により１．ｔ　ｔ＼と移動して
１つドの溝８１の底面がバケット６２０の１−１而の位
置に位置付けられる。

なお、先のエレベータ機構２４及び前記収納機構７０の
エレベータ機構の１−ド動の作動制御及びそのタイミン
グ、ピックアップアーム２３の爪２３１及びピンクアン
プアーム６１の爪６１１の開閉作動の制御及びそのタイ
ミング、そして前記押込みビン６３ａの進退作動制御及
びそのタイミング、そしてＩＣ押１−機構の直動カム機
構３６０の往復作動制御及びそのタイミングとは、それ
ぞれマイクロプロセッサを内蔵した制御部からの電気信
号−により決定され、制御される。

ところで、リニアフィーダ２２のレール２２ａの溝は、
バケット６２０の縦断面を小す第１２図（ａ）と同様な
段付きの溝形状をしていて、その１−段の溝がハイブリ
アトＩＣ等の大きいサイズの部品に対応した小さいサイ
ズの１）旧１幅きなっており、ド段の溝がＳＧＯ形ＩＣ
等の部品に対応した開１１幅となっている。したがって
、ラック８をＩＣロード機構２０差し換えるたけて、バ
ケット３１に異なる部品を供給することができ、異なる
部品を検査することが＋’ｉＪ能である。なお、この場
合、／！ｔｌｌ定部のコ足部クトユニット５１は、これ
ら穴なる部品が接続できるようなものとなっているか、
コンタクトユニット５１をその都度測定部品に合わせて
差し換える。

以ｌ−説明してきたか、バケット搬送機構部の搬送機構
は、チェーンに限定されるものではな（、ベルト笠によ
る、いわゆる無端巻掛は伝動機構を使用することができ
る。また、このような巻掛は伝動機構の他、（Ｉｉ行四
辺形のリンクを使用して水・１芝のレール１−に載置し
てバケットを爪送りする間欠送り機構でもよい。また、
ベルトに爪を設けてバケット又は部品を直接間欠送りす
るものであってもよい。

実施例では、ＩＣ搬送機構部全体力神ｊ７！＋＋１槽の
中に配置されているが、これは、全体を恒１ｒｉｌｌ槽
の中に配置する必安はなく、少なくともその搬送路の一
部が恒ｌ＋ａ槽の中であればよい。また、熱処理として
ヒータによる加熱を１−ばているが冷却であってもよい
ことはもちろんである。

実施例では、爪送り機構によりう、りから部晶を外へと
送り出しているが、これは、ピンを出１１の反対側から
溝に沿って挿入し、反対の出１１側から押出すようにし
てもよく、爪による送り機構に限定されるものではない
。いわゆる溝から部品を押出す押出機構ならばよい。

また、実施例では、多段に溝を何するラックを使用して
いるが、段は１段のものであってもよく、部品を収納す
る容器はどのようなものでもよいが、好ましくは、いわ
ゆる構部が塞さがれているような溝を持つものが収納し
た部品が容器からこぼれ落ちないのでよい。

さらに、この発明では、取り扱う部品がＩＣに限定され
るものではないことももちろんである。

［発明の効果］ 以１〕の説明から理解できるように、この発明にあって
は、搬送機構の搬送路の一部が恒温槽の中にあって、搬
送機構が部品を載置してほぼ水・１乙に移動し、間欠的
に測定；１りまで部品を送るようにしているので、この
水・Ｆｌ、移動過程で加熱又は冷却）の熱処理ができ、
長時間の熱処ｐｌｊが必゛畏なときであっても、また、
短時間の熱処理であっても搬送機構の停止／駆、動で対
応できる。したがって、部品自体を押さえて流れを１１
・めたすする７認がない。

さらに、間欠移動であることから搬送機構側から測定部
側への供給も簡単なものとなり、部品を押さえて待機さ
せる７認がない。しかも、測定後の部品をほぼ水平移動
して分類するようにしているので、ガイドレール等によ
る落ド搬送をせずに済み、部品自体の方向転換もする必
認がない。

その結果、ジャムとか、部品のピンの曲がりがほとんど
発生しないハンドラを実現でき、はぼ水平に載置して搬
送する構成を採っていることから、たとえ、？ａ（品を
並列処理しなけらばならない場合であっても、部品を並
列に載置するようにすれば、［ｉ　１１ｊ、に、複数個
の部品を同時に検査処理でき、装置自体の人きさもあま
り大きくせすに済む。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明を適用した　−′太施例のＩＣハン
ドラの外観図であり、第２図はそのに１部取外し・ＩＪ
　ｔｂｉ図、第３図はその側面断面図、第４図（ａ）及
び（ｂ）はそのＩＣ収納う・ツクの説明図、第４図（ｃ
）、（ｄ）＋　　（ｅ）及び（ｆ）はラックに装？゛１
される部品抜は落ら防出ビンの支持機構の説明図、第５
図（２Ｌ）及び（１））はそのローダ部の説明図、第６
図は、ローダ１＜からバケット搬送ＭくへＩＣを供給す
るハンドリング操作の説明図、第７図（Ｌｌ）及び（１
））は、ハリ”ｌト搬送機構の側面断面図及び１１而断
面図、第８図にＩＬ（＋））及び（ｅ）はバケットの説
明図、第９図はそのチェーンの説明図、第１０図（ａ）
は、ＩＣを把持してバケ７）搬送機構から測定部に供給
するＩＣ１１１’　ｔ’、　機ｒＨの押さえピンを中心
とする１体用図、第１０図（］））は、その押１．ビン
の説明図、第１０図（（・）は、サイズの相違する部品
を把持してＡｔ１ｌ定部に供給するＩ　Ｃ＋ＩＩＩ　１
９機構における的動力ｌ、移動機構の説明図、第１０図
（（１）は、そのンフｉ−機構の説明図、第１１図はそ
の分類Ｓηうの説明図、第１２図（ａ）、（ｂ）及び（
ｅ）は、′Ｊ″ｒ粕部の押出機構の説明図図及び１１而
断面図、第１３図は、従来のＩＣハンドラの外観図であ
る。 １・・・ＩＣハンドラ、２・・・ＩＣローダ部、３・・
・バケット搬送機構部、４・・・恒ｌｉｉ＋ｌ槽、５・
・・測定部、６・・・分類部、 ７・・・収納部、８・・・測定部、８・・・ラック、９
・・・ＩＣ，１０・・・ＩＣハンドラ、２０・・・ＩＣ
ロード機構、 ２１・・・ラック載置テーブル、 ２２・・・リニアフィーダ、２３・・・ビ、ツクアップ
アーム、２４・・・エレベータ機構、 ２５・・・部品抜は落ち防１１−ピン、２７・・・フッ
クプレート、２８・・・ベースプレー１・、２９・・・
ロータリアクチュエータ、 ３１・・・バケット、３２・・・収納量［１部、８１・
・・溝。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の部品を収納したローダ部と、前記部品の測
   定部と、前記ローダ部から供給された部品を間欠送りに
   よりほぼ水平に移動させて前記測定部まで搬送する搬送
   機構部と、前記測定部による測定済みの部品を載置しほ
   ぼ水平に移動させて測定結果に応じて分類する分類機構
   部と、この分類機構部により分類された部品を収納する
   収納部とを備え、少なくとも前記搬送機構部の搬送路の
   一部が恒温槽の中にあることを特徴とする部品のハンド
   ラ。
2. （２）間欠送りにおける搬送機構部の停止状態において
   、前記搬送機構部から測定部に部品が供給され、かつ測
   定済みの前記部品が前記測定部から前記搬送機構部に戻
   されることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の部
   品のハンドラ。
3. （３）測定部は部品端子と接触するコンタクトを有し、
   このコンタクトは搬送機構部の上部に電気的な接続面が
   下側となるように配置され、前記搬送機構部から押上ら
   れた部品と接触することを特徴とする特許請求の範囲第
   ２項記載の部品のハンドラ。
4. （４）搬送機構部はバケットによる搬送機構を有し、複
   数の部品が前記バケットに収納されていることを特徴と
   する特許請求の範囲第１項乃至第３項のうちから選択さ
   れた１項記載の部品のハンドラ。
5. （５）バケットは複数の収納部を有していて、両端に配
   置されたチェーン伝動機構のチェーンに架橋固定されて
   水平方向に送られるものであり、前記複数の各収納部は
   異なる形状の部品を収納する開口部を備えていることを
   特徴とする特許請求の範囲第４記載の部品のハンドラ。
6. （６）測定部は搬送機構部の上部に配置されていて、バ
   ケットの開口部は前記搬送機構部の送り方向の面に対し
   垂直方向に貫通していて、前記搬送機構部の前記測定部
   に対応する位置に位置するバケットの前記開口部の下側
   に部品を前記測定部に押上げる押上機構が設置されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の部品の
   ハンドラ。
7. （７）部品はＩＣであり、ローダ部及び収納部には、そ
   れぞれ個々のＩＣを連続的に収納する溝を多段に有する
   ラックが装着されることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項乃至第６項のうちから選択された１項記載の部品の
   ハンドラ。