JPH057869B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、部品の自動検査装置に組込まれて
順次検査対象の部品を測定部に供給し、検査終了
後の部品を検査結果に応じて排出する部品のハン
ドラに関し、特に、サイズの相違する部品を測定
部に供給することができる部品供給機構を有する
ICハンドラに関する。

［従来の技術］ 第９図は、従来のICハンドラの基本的な構成
を示す概要図である。

図中、Ａは、未検査のICを収納して順次送り
出すローダ部であり、一般に、ICマガジン１が
積層されている。このICマガジンの１の内部に
は、連続的に、個々のICが配列されている。

ICマガジン１の中のICは、予熱処理部Ｂに順
次自重にてガイドレールにより案内されて滑降し
つつ所定の検査条件に適合する温度に予備処理さ
れる。この場合の予備処理としては、予熱と予冷
等がある。

予熱処理部Ｂを通過したICは、同様にガイド
レールにより案内されて測定部Ｃを順次垂直下方
に自重降下しつつ、自動測定器（検査ヘツド、図
示せず）によつて検査される。

そして、検査を終えたICは、アンローダ部Ｄ
に自重滑降することになるが、その途中で、検査
結果に応じて分類部Ｅによつて分類されて振分ら
れ、平行に設けられた複数のレーンを自重滑降し
て、アンローダ部Ｄにセツトされている複数列の
マガジン１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｅ，１ｆ，１ｇ，
１ｈのいずれか１つに収納される。

［解決しようとする問題点］ このようにガイドレール上を自重により滑降
し、降下して行く自然落下方式のものにあつて
は、加熱処理及び測定処理等のためにIC自体を
押さえてその流れを止めたり、落下方向に合わせ
てIC自体の方向を転換することが必要となるた
め、ICピンの曲がりとかジヤムが発生し易いと
いう欠点がある。

また、ガイドレールによるために複数のICを
並列に検査する場合には、その数に対応するガイ
ドレールを並設しなければならず、並列に流れる
IC相互の制御タイミングが難しくなるとともに、
装置が大型化する欠点がある。

さらに、ガイドレールのレール幅が固定式なの
で、平面から見て幅（サイズ）の異なるICを同
時に検査することは難しく、ICのサイズが変化
する場合には、ガイドレールをICのサイズに合
つたものに交換するか、それ専用のレーンを設け
る必要がある。

このような欠点を解消する方式として、ガイド
レールを使用しないで搬送する強制搬送方式が考
えられるが、この場合、ローダ部から強制搬送機
構に部品を載置するためにローダ部側にピツクア
ツプアーム等の部品取出し機構を設けることが必
要となる。

［解決しようとする問題点］ ローダ、アンローダ機構にあつては、ピツクア
ツプアーム等を用意することにより強制搬送機構
による部品供給は実現できるが、強制搬送機構に
より測定部まで部品を搬送するようにした場合
に、強制搬送機構から測定部に部品を供給するこ
とが問題となる。測定部に部品を供給するために
部品供給機構として部品チヤツクとかピツクアツ
プアーム等を用いると上部のスペースを多く採る
必要がある。一般に部品搬送機構は、テストヘツ
ドの下側に配置されることになり、テストヘツド
側の位置が固定されている関係から上部のスペー
スが大きく採れない。そのため部品供給機構を大
きくすることには制限があつて、部品チヤツク、
ピツクアツプアーム等を用いることが難しい。

また、同一の部品ハンドラにおいて、サイズ
（幅）の相違する部品それぞれを測定部に供給す
るような場合にあつては、チヤツク機構、ピツク
アツプ機構等を検査する部品のサイズに応じて交
換することが必要となり、作業性が悪いという問
題も生じる。

［発明の目的］ 従つて、本発明の目的は、このような従来技術
の問題点を解決するものであつて、スペースを採
らず、簡単な機構で測定部品を測定部に供給し、
測定部品を元へ戻すことができる部品のハンドラ
を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ このような目的を達成するためのこの発明の部
品のハンドラは、複数の部品を収納したローダ部
と、部品の測定部と、ローダ部から供給された部
品を測定部まで搬送する搬送機構部とを備えてい
て、搬送機構部は無端巻掛け伝動機構を有し、間
欠送り動作をするものであり、測定部は部品端子
と接触するコンタクトを有し、このコンタクトは
電気的な接続面が搬送機構部に対峙して配置さ
れ、搬送機構部は、その搬送路を挟んでコンタク
トと反対側に部品押出機構を有し、搬送機構部の
搬送の停止状態において部品押出機構によりコン
タクトの位置に対応する搬送路上の部品を搬送機
構部から測定部に押出してコンタクトに部品を挿
着又は押付けて電気的に接触させ、測定部におい
て測定済みの部品が部品押出機構を介して測定部
から搬送機構部に戻され、部品押出機構が部品の
搬送方向に平行に往復移動する直動カムと、この
直動カムに係合する従節が設けられ、直動カムの
往復移動に応じて押出しのときに部品をチヤツク
して押出す押出部材とを有するものである。

［作用］ このように搬送機構の搬送路を挟んで測定部の
コンタクトと部品押出機構とを設け、部品押出機
構が部品をチヤツクして押出す押出部材とこの押
出部材に設けられた従節に係合する傾斜面を有す
る直動カムとにより構成されているので、搬送機
構から直接測定対象となる部品をコンタクト側に
押付けて測定部に供給することができ、しかも、
その押付けとその解除とが直動カムの往復動作だ
けで確実かつ容易にできる。さらに、この場合の
往復動作の方向が部品の搬送方向と平行になるこ
とから部品押上機構を用いても押上方向の前後に
大きなスペースを採らなくて済む。

その結果、スペースを採ることなく、簡単な機
構で測定部への部品供給ができ、同一の搬送機構
により測定後の部品を搬送することができる。し
たがつて、ガイドレール等を用いる必要がなく、
装置が大型化せず、搬送制御も単純なものとな
る。

特に、部品押出機構として、部品のサイズに対
応した複数の部品押上部材のそれぞれに従節を設
けて、反対方向に傾斜した直動カムを用い、これ
らをシフトするようにすれば、簡単な押出機構で
異なるサイズの部品を測定部に供給することがで
きる。

［実施例］ 以下、この発明の一実施例について図面を用い
て詳細に説明する。

第１図ａは、ICを把持してバケツト搬送機構
から測定部に供給するIC押上機構の押さえピン
を中心とする説明図、第１図ｂは、その押上ピン
の説明図、第１図ｃは、サイズの相違する部品を
把持して測定部に供給するIC押上機構における
直動カム移動機構の説明図、第１図ｄは、そのシ
フト機構の説明図、第２図は、この発明を適用し
た一実施例のICハンドラの上部取外し平面図、
第３図はその側面断面図、第４図ａ及びｂはその
IC収納ラツクの説明図、第５図ａ及びｂはその
ローダ部の説明図、第６図は、ローダ部からバケ
ツト搬送部へICを供給するハンドリング操作の
説明図、第７図ａ及びｂは、この発明を適用した
一実施例のICハンドラのバケツト搬送機構の側
面断面図及び正面断面図、第８図ａ，ｂ及びｃは
バケツトの説明図、第９図はそのチエーンの説明
図である。

なお、これら各図において同一のものは同一の
符号で示す。

第２図〜第３図において、１０は、ICハンド
ラであり、２はそのICローダ部、３はICローダ
部からICの供給を受け、ICを収納して搬送する
バケツト搬送機構部、４はバケツト搬送機構部３
の搬送路を包み込む恒温槽、５は、バケツト搬送
機構部３から部品の供給を受けて、その部品を検
査する測定部、６は、検査後のICをバケツト搬
送機構部３から受けてほぼ水平搬送し、検査結果
に対応して収納部７のラツクに収納する分類部、
８はローダ部２及び収納部７に装着され、検査部
品（ここではIC）を収納するラツク、そして５
ａは、測定部５に設けられ、ICの電気的特性等
を測定するテストヘツドである。

ここで、ローダ部２は、第２図及び第５図ａに
見るようにラツク載置テーブル２１と、リニアフ
イーダ２２、ピツクアツプアーム２３（第６図参
照）、ラツク載置テーブル２１の下に設けられ、
ラツク載置テーブル２１を上下移動させるエレベ
ータ機構２４とを備えたICロード機構２０が複
数並設（図では３個）されていて、各ICロード
機構２０のそれぞれのラツク載置テーブル２１に
はラツク８がそれぞれ装着されている。

ラツク８は、第４図ａ，ｂに見るように、上下
方向に複数段積み上げられた複数のIC収納溝８
１，８１、…が連続的に形成されていて、各溝８
１に個々のIC（ここではその例としてPGAタイプ
のIC、ハイブリツトIC）９をそのピンが上側と
なるようにして溝方向及び上下方向に連続的に配
列した形態で収納している。

そして、第５図ｂの断面図に見る押出し爪８２
が爪送り機構８３により溝８１に沿つて部品一個
の幅相当分だけのピツチで水平方向に移動する。
この爪８２が移動する溝８１は、リニアフイーダ
２２のレール２２ａの送り面に一致する位置に位
置付けられている。なお、押出し爪８２の１ピツ
チ分の移動制御は、制御部（図示せず）からの制
御信号によりその送出の都度行われる。また、爪
送り機構８３は、第５図ｂに見るように、クラン
ク状の押出し爪８２を挟持していて、第５図ａに
見るように、ベルト８５を介してプーリ８６によ
り駆動され、水平軸８４上をスライドして水平移
動する。

そこで、バケツト搬送部３側に供給されるIC
９は、押出し爪８２の１ピツチ分の移動に従つて
先端側の１つが、リニアフイーダ２２のレール２
２ａ上に押出され、このリニアフイーダ２２によ
り、その先端のピツクアツプ位置Ｐまで移送され
る。このことにより送出されたIC９が先端の部
品ピツクアツプ待機位置にセツトされる。

ここで、ラツク８は、ラツク載置テーブル２１
に着脱可能に装着され、ラツク装着テーブル２１
がエレベータ機構２４により上下移動されること
によりラツク８が上下移動して、順次下側の溝８
１からその底面がリニアフイーダ２２のレール２
２ａの送り面に一致する位置に次々に位置決めさ
れる。なお、２５，２５は、ラツク８の両端を縦
に貫通している部品抜け落ち防止のピンであつ
て、吊り下げ固定（固定手段は図示せず）されて
いて、その先端側がリニアフイーダ２２のレール
２２ａの面に一致する位置に位置付けられた溝８
１を塞がない長さとなつている。

ICロード機構２０は、このようなラツク８及
びそのエレベータ機構２４、爪送り機構８３、そ
してラツク装着状態検出／位置決めガイド機構２
６等からなり、ここではローダ部２に３個並設さ
れている。初期状態では、ICロード機構２０の
ラツク８は、一番下の溝８１の底面がレール２２
ａの上面に一致していて、この溝８１からICが
送出されて、その溝８１が空になると、溝８１の
積み上げピツチ（１ピツチ）分だけ下げられる。
すなわち、あるラツク８の溝８１のICが空にな
つた時点で、ラツク８は、エレベータ機構２４に
より下へと移動してその上にある溝８１の底面が
レール２２ａの上面の位置に位置付けられる。

さて、ラツク８から送出されてリニアフイーダ
２２のレール２２ａの先端で待機しているIC９
は、第７図ａ及び第６図に見るようにピツクアツ
プアーム２３の爪２３１が開かれた状態で降下
し、閉じられることにより把持され、バケツト搬
送機構部３のバケツト３１の各収納位置までレー
ル２２ａ上を移動して順次運ばれる。そして爪２
３１が開かれてIC９がそれぞれの収納開口部３
２にセツトされる。ここで収納開口部３２は、１
つのバケツト３１に４つ設けられていて、第７図
ａに示すようにバケツト３１の端から順次４個の
IC９が収納開口部３２に収納されて行く。

したがつて、ピツクアツプアーム２３のハンド
リング時間に合わせたタイミングでラツク８から
４個のIC９が一個一個間欠的に送出され、リニ
アフイーダ２２の先端の待機位置Ｐに搬送され
て、ピツクアツプアーム２３により順次リニアフ
イーダ２２から４個のIC９が一個一個取り上げ
られてバケツト３１に個々に搬送される。

なお、２３２は、ピツクアツプアーム２３の爪
２３１を閉じる方向に付勢するばねであり、２３
３，２３３及び２３４，２３４は、爪２３１を開
く方向に回動させるカム面及びローラ、そして２
３５，２３５は、爪２３１の２つの各爪片の回動
支点である。

このようにして１つのバケツト３１にIC4個が
セツトされると、バケツト３１が１つ前へと進
み、次の空のバケツト３１がリニアフイーダ２２
に対応するIC供給位置に位置付けられる。ここ
で、あるICロード機構２０のラツク８のICがす
べて空になると、制御部からの制御信号に応じて
エレベータ機構２４が上昇制御されてラツク８が
上へと移動して元の初期状態に戻り、ピツクアツ
プアーム２３が次のICロード機構２０の位置へ
と移動してそのICロード機構２０のラツク８か
らICが供給され、空になつたラツク８は、取り
外される。そしてICが一杯詰まつた新しいラツ
ク８が、取り外されたICロード機構２０に新た
に装着される。

ところで、このバケツト３１は、第７図ａ，ｂ
に見るように、複数個が所定間隔をおいて両端で
無端のチエーン３２ａ，３２ｂにより連結されて
いる。そして第３図に見るように、このチエーン
３２ａ，３２ｂがバケツト搬送機構部３の両端に
設けられたスプロケツト３３ａ，３３ｂに咬み合
つて送られることで順次搬送される。すなわち、
これらはチエーン伝動機構を構成している。した
がつて、バケツト３１は、チエーン３２ａ，３２
ｂに架け渡されて支持され、前側のスプロケツト
３３ａが間欠的にモータ３４によりタイミングベ
ルト３５を介して駆動され、各バケツト３１が所
定のピツチで間欠送りされる。

ここで、バケツト３１は、熱伝導性のよい金属
等の部材、例えばアルミニウム等で構成されてい
て、その形状は、第８図ａに見るように、四角棒
状のものであつて、４つの収納開口部３２が所定
間隔おきに設けられていて、その両端には、チエ
ーン３２ａ，３２ｂにねじピンを介して固定さ
れ、そのためのねじ孔３１１，３１１，３１２，
３１２が両端側面に開けられている。このバケツ
ト３１は、これらのねじ孔３１１，３１２におい
て、第９図に見るチエーン３２ａ（３２ｂ）を構
成する各リンク３２１に固定されていて、ブラケ
ツト３２２を介してねじピンにより搬送面に対し
て収納開口部３２が垂直に位置付けられるように
固定される。

収納開口部３２は、第８図ｂに見る同図ａの
−断面図及び第８図ｃに見る同図告ａの−
断面図に示されるように、二重に設けられた段付
きのくぼみ３１０と、このくぼみ３１０の両側に
部品ハンドリングアームの爪２３１が挿入される
十字溝３１５とが設けられていて、十字溝３１５
はバケツト３１を垂直に貫通している。

そして、くぼみ３１０のうち上段のくぼみ３１
３の下段のくぼみ３１４とは異なる大きさの部品
の平面形状に対応する開口をもつて形成されてい
て、それぞれの開口が表面まで延びていてる。第
７図ｂに見るように、これら開口が上に向くよう
にチエーン３２ａ，３２ｂに取付られる。そして
上側のくぼみ３１３及び下側のくぼみ３１４のい
ずれか一方に異なる種類のICを収納する。具体
的には、この実施例では、下段のくぼみ３１４が
SOJタイプのICを収納するのに対応する大きさと
なつていて、上段のくぼみ３１３がPGAタイプ
のIC、特にハイブリツトICを収納する大きさの
収納部となつている。

なお、これらくぼみ３１３，３１４を貫通して
いる十字溝３１５は、これらくぼみ３１３，３１
４の中心にそのクロス点の中心がほぼ一致するよ
うに設けられ、後述する押さえピン３７がこのバ
ケツトに貫通する十字溝３１５の下から進入して
測定対象のIC９を押さえて持ち上げ、上へと抜
ける。このための押さえピン通過孔となる。

さて、第２図、第３図に見るようにバケツト搬
送機構部３は、チエーン３２ａ，３２ｂも含めて
バケツトが恒温槽４の中に収納され、恒温槽４の
底部に設けられたヒータ４１により加熱される。
したがつて、バケツト３１に収納されたIC９は、
この送り過程で所定の温度まで加熱される。

そして、第７図ｂに見るように、測定部５の下
まで送られ、測定部５にバケツト３１が位置した
ときに、間欠送りの停止した状態に一致してスプ
ロケツト３３ａの駆動の停止状態において、この
停止期間中の初期に測定部５に対応するバケツト
３１の下側に配置された、直動カムによるピン押
上機構（固定フレーム３８に固定されていて第７
図ｂでは隠れて見えない、第１図ａ〜ｄ参照）に
よりチヤツク付き押さえピン３７（点線で示す）
が上へ駆動されて、各収納開口部３２を貫通して
測定部５側へとIC９を把持して押上げ押付ける。
なお、IC押上機構は、これらピン押上機構及び
押さえピン３７とにより構成されていて、この
IC押上機構がそれぞれ各収納開口部３２の下側
に位置して４つ並設され、押さえピン３７の先端
のチヤツク部分はピツクアツプアームの爪２３と
同様な形状をしている。

ここで、測定部５には、その天井側から下側に
向けて固定されたコンタクトユニツト５１（又は
ソケツト５１）が各収納開口部３２の位置に対応
するように設けられていて、第７図ｂの点線で示
すように前記押さえピン３７により押上られた
IC９がこのコンタクトユニツトのコンタクトに
接触して電気的に接続される。そしてコンタクト
ユニツト５１に結合されたテストヘツド５ａによ
り押上られ接触したIC９の測定処理がなされる。

第１図ａ〜ｄは、IC押上機構の押さえピン３
７及びピン押上機構の説明図であつて、特に、サ
イズ（平面から見た幅）の相違するICを測定部
５に供給するため種類の相違するICを押さえる
押さえピン３７をそれぞれ有する２つの従動節機
構及びこれを上下移動する直動カム機構の説明図
である。

第１図ａに見るように、押さえピン３７は、チ
ヤツク３７１と押上ピン３７２及びガイドピン３
７３とを備えていて、チヤツク３７１は、爪２３
と同様な爪で構成されている。３７１ａ，３７１
ａは、それぞれチヤツク３７１の爪片であり、支
点ピン３７４，３７４を中心として回動する。３
７５は、爪片３７１ａ及び３７１ａを閉じる方向
に付勢するためのばねであり、伸張状態でこれら
の間に架け渡されている。

各爪片３７１ａには、支点ピン３７４を挾んで
IC把持側と反対側にローラ３７６，３７６が設
けられていて、これがカム板３７７のカム面３７
７ａに係合し、通常は、爪片３７１ａの先端が開
いた状態となつている。そしてカム板３７７が上
昇することにより、ローラ３７６，３７６が開口
部カム面３７７ｂに落込み、支点ピン３７４を中
心としてばね３７５により爪片３７１ａが相互に
閉じる方向に回動して一点鎖線で示すようにIC
９ａを把持する。なお、IC９ａは、先に説明し
たIC９より幅が小さいICであつて、バケツト３
１の段付き溝の下段のくぼみ３１４に収納されて
いるものである。

ここで、カム板３７７が降下したときには、逆
の動作となり、爪片３７１ａが相互に開く方向に
回動して図示の状態に戻る。

一方、ピン押上機構は、第１図ｂに見る従動節
機構３６１とこの従動節機構３６１のころを従動
節にして係合する第１図ｃ，ｄに見る直動カム機
構３６０とからなる。先の押さえピン３７は、こ
の従動節機構３６１の上部側に設けられていて、
先のチヤツク３７１の下側に配置されたカム板３
７６は、ころ３６２ａを有する従動節３６２によ
り上下移動される。

３６３は、チヤツク３７１及び押上ピン３７２
を持つ押さえピン３７を押上げる押上プレートで
あつて、その中央部には開口部３６３ａが開けら
れていて、開口部３６３ａには軸３６３ｂが架け
渡され、この軸３６３ｂに嵌合してこれをガイド
として上下にスライドするスリーブ３６３ｃに従
動節３６２が結合されている。従動節３６２は、
このスリーブ３６３ｃを介して開口部３６３ａの
範囲で上下移動可能に支承され、その下側に固定
されたころ３６２ａを介して直動カムに係合する
ことにより、直動カムの往復運動に応じて上下移
動する。

一方、第７図ｂに見る固定フレーム３８にはプ
レート３８２が後述するシフト機構３６９（第１
図ｄ参照）によりシフトできるように摺動可能に
支承されていて、プレート３８２にブラケツト３
８０を介してガイド軸３８１が固定されている。
押上プレート３６３は、ガイド軸３８１に嵌合す
るスリーブ３６３ｂと一体的に形成されていて、
ガイド軸３８１をガイドとしてスライドするスリ
ーブ３６３ｂを介して上下移動可能に支承され、
押上プレート３６３の、スリーブ部３６３ｂとは
反対側には、従動節３６４が固定されていて、従
動節３６４により押上プレート３６３が上下移動
される。従動節３６４には、その下側にころ３６
４ａが設けられていて、ころ３６４ａを介して直
動カムに係合し、このことにより、直動カムの往
復運動に応じて押上プレート３６３が上下移動す
る。

第１図ｂに見る従動節機構３６１は、ここで
は、第１、第２の従動節機構３６１として２つ設
けられていて、それぞれICのサイズに応じてそ
れを把持するサイズのチヤツク３７１及び押上ピ
ン３７２が設けられた押さえピン３７が固定さそ
して、第１、第２の従動節機構３６１は、シフト
機構３６９（第１図ｄ参照）により第１図ａの状
態に交互に位置付けられる。３６２ｂ及び３６４
ｂとしてカツコで示す符号は、後述する直動カム
に対する説明の都合上、第２の従動節３６１のこ
ろを意味している。

一方、直動カム機構３６０は、第１図ｃに見る
ように、第１、第２の２つの従動節機構３６１，
３６１を受ける直動カム機構であつて、矩形板の
直動カム本体３６８の上側には、例えば、バケツ
ト３１の収納開口部３２の上段のくぼみ３１３に
収納された大きい幅を持つ第１のサイズのIC９
を把持して測定部５のコンタクトユニツト５１に
押上げる直動カム板群３６５が固定されている。
また、直動カム本体３６８の下側には、例えば、
バケツト３１の収納開口部３２の下段のくぼみ３
１４に収納された、第１のサイズより小さい幅を
持つ第２のサイズのIC９ａを把持して測定部５
のコンタクトユニツト５１に押上げる直動カム板
群３６６が固定されている。そして矩形板の直動
カム本体３６８は、固定フレーム３８に固定され
た２本のガイド軸３６７上をほぼカム面の幅対応
になお、この往復移動を行う直動カム本体３６８
の駆動機構は図示していない。

直動カム板群３６５と直動カム板群３６１は、
それぞれ所定量上下２段にずれて設けられた２枚
の板カム３６５ａ，３６５ｂ及び３６６ａ，３６
６ｂを有していて、上段のカム板３６５ａ及び３
６６ａは、それぞれ第１、第２のチヤツク３７１
を作動してバケツト３１のIC９又はIC９ａを把
持する動作をさせるためのカムであり、下段のカ
ム板３６５ｂ及び３６６ｂは、チヤツク３７１と
ともに押上ピン３７２を上昇させてバケツト３１
のIC９又はIC９ａをコンタクトユニツト５１に
押上げ、押付けるためのカムである。

ここに、板カム３６５ａ，３６５ｂ及び３６６
ａ，３６６ｂは、それぞれ相互に反対方向に傾斜
したカム面３６５ｃ，３６５ｄ及び３６６ｃ，３
６６ｄを有していて、第１の従動節機構３６１の
ころ３６２ａ，３６４ａ及び第２の従動節機構３
６１のころ３６２ｂ，３６４ｂは、それぞれ初期
状態では、カム面３６５ｃ，３６５ｄ及び３６６
ｃ，３６６ｄの低い側に位置している。そしてこ
れらは、直動カム本体３６８の両側に配置される
ように、所定距離離れて設けられている。

ここで、上側上段の板カム３６５ａは、大きい
サイズのIC９（第１のサイズとして）を把持す
る第１のチヤツク３７１のころ３６２ａに係合
し、これを上下移動させる。下側上段の板カム３
６６ａは、小さいサイズのIC９ａ（第２のサイズ
として）を把持する第２のチヤツク３７１のころ
３６２ｂに係合し、これを上下移動させ、上側下
段の板カム３６５ｂは、大きいサイズのIC９の
押上げに対応する第１の従動節３６４のころ３６
４ａに係合し、これを上下移動させ、下側下段の
板カム３６６ｂは、小さいサイズのIC９ａの押
上げに対応する第２の従動節３６４のころ３６４
ａに係合し、これを上下移動させる。

ところで、コンタクトユニツト５１は、ガイド
軸３６７の中央位置のころ３６２ａの上部に位置
していて、第１図ｃに見る状態にあつては、中央
のころ３６２ａを有する第１の従動節機構３６１
がコンタクトユニツト５１の下側に位置している
状態にある。そして直動カム本体３６８が図の位
置を右端として往復移動することにより、上側上
下段の板カム３６５ａと板カム３６５ｂとに係合
するころ３６２ａと３６４ａとが直動カム本体３
６８の往復移動に従つて上下移動し、直動カム本
体３６８が図の位置から左側へと移動するとき
に、ころ３６２ａと３６４ａとが共に直動カム本
体３６８の左移動に従つて上へ移動する。

このときのころ３６２ａ及び３６４ａの上への
移動に従つて第１の従動節機構３６１が上へと移
動してそれに伴つて第１図ｂに見る押さえピン３
７が上昇する。そして板カム３６５ａ及び板３６
５ｂの中央の平坦部の位置でチヤツク３７１がバ
ケツト３１の収納開口部３２に収納された大きい
サイズのIC９に位置に位置付けられる。さらに
直動カム本体３６８が右へ移動すると、第１図ａ
の点線で示すチヤツクに見るように、上段の板カ
ム３６５ａの傾斜面にころ３６２ａが押上られる
ことにより従動節３６２のみが上昇して板カム３
７７を押上げてチヤツク３７１を閉じる方向に作
用させ、収納開口部３２内のIC９を把持する。
そしてさらに、直動カム本体３６８が右へ移動す
ることにより、従動節機構３６１全体がさらに上
昇してその押さえピン３７によりIC９を測定部
５のコンタクトユニツト５１に電気的に接触させ
るものであるこの接触時点の後に、テストヘツド
５ａが接触状態にあるIC９の測定を開始する。

しかし、このとき、ころ３６２ｂ及び３６４ｂ
が板カム３６６ａと板カム３６６ｂの左端に位置
しているので、直動カム本体３６８の往復移動に
対して下側の板カム３６６ａと板カム３６６ｂと
は、その傾斜面がころ３６２ｂ及び３６４ｂから
外れる方向にある。そのためころ３６２ｂ及び３
６４ｂに対しては何等上下移動の作用はなく、そ
の動作は停止状態となつたままである。

IC９が測定部５から戻されるときには、直動
カム本体３６８が図面左から右へ前記と逆方向へ
と移動し、第１の従動節機構３６１が逆の動作を
してバケツト３１の収納開口部３２にIC９を戻
して、バケツト３１の下側の初期位置に戻る。

以上が大きいサイズのIC９についての押上動
作であるが、小さいサイズのIC９ａについては、
直動カム本体３６８及び従動節機構３６１をシフ
トする第１図ｄに示すシフト機構３６９により直
動カム本体３６８及び従動節機構３６１が第１図
ｃの一点鎖線の位置までシフトされた状態とな
る。この状態を裏側から見て示すのが第１図ｄで
あつて、第１図ｃに対してシフト機構３６９のア
ーム３８５が第１図ｃの状態から時計方向に半回
転（180度）回転している。その結果、今度は、
第２の従動節機構３６１が第１図ａの状態に位置
付けられる。そこで、この状態を基準として直動
カム本体３６８が、ここで往復移動することによ
りサイズの小さいIC９ａの測定部５への供給動
作がなされる。

すなわち、一点鎖線の位置に移動した状態にあ
つては、今度は、コンタクトユニツト５１の下側
に対応する中央部に第２の従動節機構３６１が位
置する状態とする。そして直動カム本体３６８が
図の一点鎖線で示す位置を左端として往復移動す
る。その結果、下側上下段の板カム３６６ａと板
カム３６６ｂとに係合するころ３６２ｂと３６４
ｂとがガイド軸６３７の中央に位置して直動カム
本体３６８の往復移動に従つて上下移動する。

したがつて、前記と同様に、今度は直動カム本
体３６８が図の位置から右側へと移動すると、こ
ろ３６２ｂと３６４ｂとが共に直動カム本体３６
８の右移動に従つて上へ移動することになる。こ
れ以降の移動は、前記IC９の測定部５への供給
動作と同様であるので割愛する。なお、このと
き、ころ３６２ａ及び３６４ａが板カム３６５ａ
と板カム３６５ｂの左端に位置しているので、直
動カム本体３６８の往復移動に対して上側の板カ
ム３６５ａと板カム３６５ｂとは、その傾斜面が
ころ３６２ａ及び３６４ａから外れる方向にあ
る。そのためころ３６２ａ及び３６４ａに対して
は何等上下移動の作用はなく、その動作は停止状
態となつたままである。

このようにして、サイズの小さいICに対する
第２の従動節機構３６１の上下移動を行うことが
でき、第２の従動節機構３６１とサイズの大きい
ICに対する従動節機構３６１とを切換て使用す
ることができる。

ところで、この切換を行うシフト機構３６９
は、第１図ｃでは、点線で示すように、直動カム
本体３６８の裏面側に配置されている。そして、
先に述べたように、シフト機構３６９が直動カム
本体３６８をシフトさせて一点鎖線の位置までシ
フトさせた状態の裏面側から見た図が第１図ｄで
ある。第１図ｄに見るように、直動カム本体３６
８の裏面側にはレール溝３８３が設けられてい
て、このレール溝３８３にローラ３８４を係合さ
せ、ローラ３８４がその先端に枢着されたアーム
３８５を時計方向に半回転させることにより第１
図ｃに見る一点鎖線の位置へと直動カム本体３６
８及び第１、第２の従動節機構３６１を一体的に
扱い、同時にシフトさせるものである。なお、ア
ーム３８５の回転は、アーム３８５に軸結合した
プーリ３８６をタイミングベルト３８７で回動す
ることによりなされ、反時計方向に半回転させる
ことで第１図ｃの実線で示す元の初期位置に直動
カム本体３６８及び第１、第２の従動節機構３６
１を同時に戻す。

このようにして、測定部５にサイズの大きな
IC９又はサイズの小さなIC９ａのいずれかが選
択的に供給され、測定部５により各IC９他はIC
９ａの測定が行われ、測定が終了した時点でピン
押上機構の直動カム機構３６０の戻り移動により
下降作動して押さえピン３７が下降して、コンタ
クトユニツト５１との接続が解かれる。そして各
IC９又はIC９ａがバケツト３１の元の収納開口
部３２に戻される。なお、この時点では、押さえ
ピン３７の先端部のチヤツクは、バケツト３１の
底面より下側に位置している。

その後、間欠送りの停止期間が終了して、次の
送り状態に入り、バケツト３１がチエーン３２
ａ，３２ｂを介して次に送られる。そして次のバ
ケツト３１が測定部５の下に位置してコンタクト
ユニツト５１のコンタクトに次のIC９又はIC９
ａを押上げてその端子を接触させて、同様な測定
する。このようにしてICの測定部５に対する供
給処理がなされる。

次に、測定の終了したIC９又はIC９ａは、再
びバケツト３１に収納されて４つのICがともに
搬送され、前側のスプロケツト３３ａの近傍にあ
る部品ピツクアツプ位置に来たときに、第３図及
び第７図ｂに見るように、分類部６のピツクアツ
プアーム６１によりそれぞれの４個のIC９がバ
ケツト３１から取出されて、ベルト６２ａ上に搬
送される。なお、ピツクアツプアーム６１は、ピ
ツクアツプアーム２３と同様な構成をしていて、
６１１は、その爪である。

ここで、前記分類部のピツクアツプ６１がバケ
ツト３１の各収納開口部３２に４つの各ICをセ
ツトする作業時間及びここでのバケツト３１の各
収納開口部３２から４つの各々IC９を取り出す
作業時間は、前記測定部５のIC測定時間より短
い時間であり、IC９（以下IC９ａはIC９を以て
代表する）の測定中であつてバケツト３１の送り
が停止している間に行われる。

分類部６は、ピツクアツプアーム６１と、ベル
ト搬送機構６２、分類部６に内蔵された分類数に
対応する複数のIC押出機構（図示せず）とから
なり、第２図に見るように、ベルト搬送機構６２
は、搬送方向に対して直角となる横方向に横断す
る溝６２ｂの付いた溝付きのベルト６２ａを有し
ている。そしてこのベルト６２ａの溝６２ｂに
IC９を収納し、IC９を対応するラツク８の位置
において、分類に対応するIC押出機構を作動し
てその込みピンを伸張させることでベルトの溝６
２ｂを案内としてラツク８の溝８１にIC９を押
込む。これによりIC９が検査結果に応じて分類
される。この場合、この溝付きのベルト６２ａに
代えて、バケツト３１の収納開口部３２の溝に対
応するような横断溝を持つたバケツトを用いて搬
送してもよい。この場合のバケツトは、バケツト
３１と同様にチエーンにより連結しても、また、
ベルト上に直接固定してもよい。

なお、先のエレベータ機構２４の上下動の作動
制御及びそのタイミング、ピツクアツプアーム２
３の爪２３１及びピツクアツプアームの爪の開閉
作動の制御及びそのタイミング、そして分類部の
IC押込み機構の押込みピンの進退作動制御及び
そのタイミング、そしてピン押上機構３６の直動
カム３６ａの往復作動制御及びそのタイミングと
は、それぞれマイクロプロセツサを内蔵した制御
部からの電気信号により決定され、制御されるも
のである。

ところで、リニアフイーダ２２のレール２２ａ
の溝は、バケツト３１の縦断面を示す第８図ｃと
同様な段付きの溝形状をしていて、その上段の溝
がハイブリツトIC等の部品に対応した開口幅と
なつており、下段の溝がSGO形IC等の部品に対
応した開口幅となつている。したがつて、ラツク
８をICロード機構２０に差し換えるだけで、バ
ケツト３１に異なる部品を供給することができ、
異なる部品を検査することが可能である。なお、
この場合、測定部のコンタクトユニツト５１は、
これら異なる部品が接続できるようなものとなつ
ているか、コンタクトユニツト５１をその都度測
定部品に合わせて差し換える。

以上説明してきたが、爪におけるフツクの形状
は種々のものが考えられ、実施例に限定されるも
のではない。また、その開閉機構も種々の構造の
ものを用いることができる。

実施例では、ICハンドラを中心に説明してい
るが、この発明は、部品の取扱装置一般の部品搬
送アームに適用することができることはもちろん
である。

［発明の効果］ 以上の説明から理解できるようにこの発明にあ
つては、測定部のコンタクトへの測定部品の押付
けとその解除とが直動カムの往復動作だけで確実
かつ容易にでき、さらに、この場合の往復動作の
方向が部品の搬送方向と平行になることから部品
押上機構を用いても押上方向の前後に大きなスペ
ースを採らなくて済む。

その結果、スペースを採ることなく、簡単な機
構で測定部への部品供給ができ、同一の搬送機構
により測定後の部品を搬送することができる。し
たがつて、ガイドレール等を用いる必要がなく、
装置が大型化せず、搬送制御も単純なものとな
る。

特に、部品押出機構として、部品のサイズに対
応した複数の部品押上部材のそれぞれに従節を設
けて、反対方向に傾斜した直動カムを用い、これ
らをシフトするようにすれば、簡単な押出機構で
異なるサイズの部品を測定部に供給することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図ａは、ICを把持してバケツト搬送機構
から測定部に供給するIC押上機構の押さえピン
を中心とする説明図、第１図ｂは、その押上ピン
の説明図、第１図ｃは、サイズの相違する部品を
把持して測定部に供給するIC押上機構における
直動カム移動機構の説明図、第１図ｄは、そのシ
フト機構の説明図、第２図は、この発明を適用し
た一実施例のICハンドラの上部取外し平面図、
第３図はその側面断面図、第４図ａ及びｂはその
IC収納ラツクの説明図、第５図ａ及びｂはその
ローダ部の説明図、第６図は、ローダ部からバケ
ツト搬送部へICを供給するハンドリング操作の
説明図、第７図ａ及びｂは、この発明を適用した
一実施例のICハンドラのバケツト搬送機構の側
面断面図及び正面断面図、第８図ａ，ｂ及びｃは
バケツトの説明図、第９図はそのチエーンの説明
図、第１０図は、従来のICハンドラの外観図で
ある。 １……ICハンドラ、２……ICローダ部、３…
…バケツト搬送機構部、４……恒温槽、５……測
定部、６……分類部、７……収納部、８……測定
部、８……ラツク、９……IC、１０……ICハン
ドラ、２０……ICロード機構、２１……ラツク
載置テーブル、２２……リニアフイーダ、２３…
…ピツクアツプアーム、２４……エレベータ機
構、３１……バケツト、３２……収納開口部、８
１……溝。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 複数の部品を収納したローダ部と、前記部品
   の測定部と、前記ローダ部から供給された部品を
   前記測定部まで搬送する搬送機構部とを備え、前
   記搬送機構部は無端巻掛け伝動機構を有し、間欠
   送り動作をするものであり、前記測定部は部品端
   子と接触するコンタクトを有し、このコンタクト
   は電気的な接続面が前記搬送機構部に対峙して配
   置され、前記搬送機構部は、その搬送路を挟んで
   前記コンタクトと反対側に部品押出機構を有し、
   前記搬送機構部の搬送の停止状態において前記部
   品押出機構により前記コンタクトの位置に対応す
   る前記搬送路上の部品を前記搬送機構部から前記
   測定部に押出して前記コンタクトに部品を挿着又
   は押付けて電気的に接触させ、前記測定部におい
   て測定済みの前記部品が前記部品押出機構を介し
   て前記測定部から前記搬送機構部に戻され、前記
   部品押出機構は、前記部品の搬送方向に平行に往
   復移動する直動カムと、この直動カムに係合する
   従節が設けられ、前記直動カムの往復移動に応じ
   て前記押出しのときに前記部品をチヤツクして押
   出す押出部材とを有することを特徴とする部品の
   ハンドラ。 ２ 搬送機構部は、両端に配置されたチエーン伝
   動機構のチエーンに架橋固定され、連続的に結合
   された複数のバケツトを備え、部品押出機構は部
   品押上機構であり、前記複数の各バケツトは複数
   の部品収納部を有し、部品を水平方向に送るもの
   であり、前記複数の各収納部は異なる形状の前記
   部品を収納する開口部を有し、前記開口部は前記
   搬送機構部の送り方向の面に対し垂直方向に貫通
   していて、測定部は前記搬送機構部の上部に位置
   し、前記部品押上機構は前記搬送機構部の前記測
   定部に対応する位置のバケツトの前記開口部の下
   側に位置していて前記測定部に部品を押上げるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の部品
   のハンドラ。 ３ 部品はICであり、直動カムは、相互に反対
   方向に傾斜した第１及び第２のカム面を有し、押
   上部材は、第１のカム面に係合し、第１の位置で
   は第１のカム面の傾斜面の低い側に位置している
   第１の従節を有しかつコンタクトに対する下側に
   位置する第１の押上部材と、第２のカム面に係合
   し、第１の位置では第２のカム面の傾斜面の低い
   側に位置している第２の従節を有しかつ第１の押
   上部材から一定距離離れた位置に位置する第２の
   押上部材とからなり、部品押出機構は、前記一定
   距離だけ第２の押上部材に対し反対方向に離れた
   第２の位置に前記直動カム、第１及び第２の押上
   部材を一体的に移動させて第２の押上部材をコン
   タクトに対応する下側の位置に位置付け、かつ前
   記一定距離だけ元に戻り前記直動カム、第１及び
   第２の押上部材を一体的に前記第１の位置に戻す
   押上部材移動機構とを備え、前記直動カムが第１
   の位置にあるときは第２の従節が第２のカム面か
   ら外れる方向において第１の従節を上下移動させ
   るように前記直動カムを往復移動させ、前記直動
   カム、第１及び第２の押上部材が第２の位置にあ
   るときには第１の従節が第１のカム面から外れる
   方向において第２の従節を上下移動させるように
   前記直動カムを往復移動させることを特徴とする
   特許請求の範囲第２項記載の部品のハンドラ。