JPH0653086U - 真空チャンバの防塵装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空チャンバ内を所望の真空状態とクリー
ン環境とに維持するための装置であって、相対的に回転
する回転部の長軸方向の寸法が短く、安価な真空チャン
バの防塵装置を提供すること。 【構成】 真空チャンバを貫通する軸部材と真空チャ
ンバとが相対的に回転する回転部を有する真空チャンバ
の防塵装置において、軸部材の外周にＯリングを配設
し、軸部材と同芯状であって、半径方向に間隙を設けて
長軸方向に離設される磁極部材と、磁極部材に挟持され
る磁力発生装置と、磁極部材および軸部材の半径方向の
間隙部に充填される流動性を有する磁性体とよりなる磁
性流体シール機構をＯリングよりも真空チャンバの内壁
側の位置に配設し、磁性流体シール機構とＯリングとの
間の回転部と真空チャンバ内とを連通する連通路を配設
すると共に、連通路に防塵用のフィルタを配設する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、真空チャンバを貫通する軸部材と真空チャンバとが相対的に回転す る回転部を有する真空チャンバの防塵装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば、図１に示されるごとく真空チャンバ１に対し軸部材２が回転される場 合、真空チャンバ１外に対して、真空チャンバ１内を所望の真空状態とクリーン 環境とに維持する必要がある。

【０００３】 従来、図５および図６に示されるごとく、磁極部材４Ａおよび磁極部材４Ｂの 間に磁石５を挟持し、磁極部材４Ａ，４Ｂと磁性を有する軸部材２との半径方向 の間隙部に流動性を有する磁性体３を充填している。この磁性体３Ａ，３Ｂは、 磁石５により形成される磁力線により、磁極部材４の内周面と軸部材２の外面と の環状の間隙内に拘束されて、磁性流体シール機構６が構成されている。この磁 性流体シール機構６により回転部の防塵および気密が行われている。

【０００４】 なお、磁性体３の拘束力が真空保持能力となるが、通常の磁極部材４および磁 石５を使用する場合、１組の磁性流体シール機構６のシール可能な圧力差には制 限があり、一般的に、真空を保持する場合には、磁性流体シール機構６が多段に 配設されている。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、図５に示されるごとく、磁性流体シール機構６を多段に配設すれば 、長軸方向に長くなる欠点があった。また、加工が面倒な複雑形状の磁性流体シ ール機構６を多段に用いるため、装置が高価となるという欠点があった。

【０００６】 そこで本発明の目的は、真空チャンバを貫通する軸部材と真空チャンバとが相 対的に回転する回転部を有する真空チャンバ内を所望の真空状態とクリーン環境 とに維持するための装置であって、相対的に回転する回転部の長軸方向の寸法が 短く、安価な真空チャンバの防塵装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は、真空チャンバを貫通する軸部材と真空チャンバとが相対的に回転す る回転部を有する真空チャンバの防塵装置に適用する。 その特徴とするところは、前記軸部材の外周にＯリングを配設し、前記軸部材 と同芯状であって、半径方向に間隙を設けて長軸方向に離設される磁極部材と、 磁極部材に挟持される磁力発生装置と、磁極部材および軸部材の半径方向の間隙 部に充填される流動性を有する磁性体とよりなる磁性流体シール機構を前記Ｏリ ングよりも真空チャンバの内壁側の位置に配設し、磁性流体シール機構とＯリン グとの間の回転部と真空チャンバ内とを連通する連通路を配設すると共に、前記 連通路に防塵用のフィルタを配設したことである。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案を図示の実施例により詳細に説明する。図２において、１および ２は相対的に回転する真空チャンバ１および軸部材２で、例えば真空チャンバ１ が固定されている。軸部材２は磁性を有し、軸受１０、１０によって真空チャン バ１に対して回転自在に支持され、図示しない駆動装置により回転される。４Ａ 、４Ｂは、真空チャンバ１に配設された円板状の磁極部材で、この磁極部材４の 内周面と軸部材２の外周面との間に一定の間隙が形成されている。３Ａ、３Ｂは 流動性を有する磁性体で、この磁性体３は磁力発生装置５、たとえば磁石により 形成される磁力線により磁極部材４の内周面と軸部材２の外面との環状の間隙内 に拘束される。上記３乃至５により磁性流体シール機構６が構成されることは従 来と同様である。７は、軸部材２の外周に配設されたＯリング、８は真空チャン バ内１０１と回転部の空間１１とを連通する連通路、９は連通路８に配設された 防塵用フィルタである。

【０００９】 ところで、軸部材２が回転された場合でも、真空チャンバ１と軸部材２との間 にＯリング７が配設されているため、真空チャンバ内１０１が所望の真空状態に 維持される。なお、長時間に亘って使用すれば、軸部材２の回転に伴い軸部材２ に配設されたＯリング７と真空チャンバ１の円周面との摩擦により塵が発生する が、この塵は磁性流体シール機構６と防塵用フィルタ９とによりシールされるた め、真空チャンバ内１０１が所望のクリーン環境に維持される。また、連通路８ により、真空チャンバ内１０１と回転部の空間１１とが連通されて差圧がなくな るため、磁性流体シール機構６は回転部の防塵のみを行えばよく、従って磁性流 体シール機構６は真空チャンバ１に１段だけ配設すればよい。これにより長軸方 向の寸法を短くすることができる。さらに、磁性流体シール機構６を１組しか用 いないため、安価となる。

【００１０】 図３は、本考案の他の実施例を示す図で、軸部材２内に、さらに同様の磁性を 有する軸部材１２、磁性流体シール機構１３，Ｏリング１４、連通路１５、軸受 １６、１６および防塵用フィルタ９１が配設された構造で、軸部材２と軸部材１ ６とは同芯状に配設されているため、例えば２軸の真空用クリーンロボットに応 用することができる。

【００１１】 さらに図４は、図２の変形例を示す図で、連通路１７を軸部材２に配設してい る。このように構成すれば、真空チャンバ１に連通路８を配設するという、困難 な加工が不要となる。

【００１２】

【考案の効果】

以上の説明で明らかなように、相対的に回転する真空チャンバと軸部材との回 転部にＯリングを配設し、磁性流体シール機構をＯリングよりも真空チャンバの 内壁側の位置に配設し、磁性流体シール機構とＯリングとの間の回転部と真空チ ャンバ内とを連通する連通路を配設すると共に、前記連通路に防塵用のフィルタ を配設したため、Ｏリングにより真空チャンバ内が所望の真空状態に維持され、 かつ磁性流体シール機構およびフィルタにより真空チャンバ内が所望のクリーン 環境に維持される。さらに連通路により磁性流体シール機構の両側には差圧がな いため、磁性流体シール機構は回転部の防塵のみを行えばよく、真空チャンバに １段だけ配設すればよい。これにより長軸方向の寸法を短くすることができ、か つ磁性流体シール機構を１組しか用いないため、安価である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の対象とする、回転部を有する真空チャ
ンバを示す図

【図２】本考案の第１の実施例の要部を示す断面図

【図３】本考案の他の実施例の要部を示す断面図

【図４】図２の変形例を示す断面図

【図５】従来例の要部を示す断面図

【図６】磁性流体シール機構６の拡大断面図

【符号の説明】

１…真空チャンバ ２…軸部材 ３…磁性体 ４…磁極部材 ５…磁力発生装置 ６…磁性流体シール機構 ７…Ｏリング ８…連通路 ９…防塵用フィルタ １１…真空回転部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空チャンバを貫通する軸部材と真空チ
   ャンバとが相対的に回転する回転部を有する真空チャン
   バの防塵装置において、前記軸部材の外周にＯリングを
   配設し、前記軸部材と同芯状であって、半径方向に間隙
   を設けて長軸方向に離設される磁極部材と、磁極部材に
   挟持される磁力発生装置と、磁極部材および軸部材の半
   径方向の間隙部に充填される流動性を有する磁性体とよ
   りなる磁性流体シール機構を前記Ｏリングよりも真空チ
   ャンバの内壁側の位置に配設し、磁性流体シール機構と
   Ｏリングとの間の回転部と真空チャンバ内とを連通する
   連通路を配設すると共に、前記連通路に防塵用のフィル
   タを配設してなる真空チャンバの防塵装置。