JPH0660437A - 現像装置及びその現像方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 スピン方式における現像の内外周差を低減し
て現像の均一度の向上を図る。 【構成】 外部から供給された現像液は、ノズル３０の
堰３４及びガイド３６の作用によって円周方向の速度成
分をもって矢印Ｆ２方向に吐出される。他方、現像対象
のガラス原盤の回転方向は現像液の吐出方向と一致して
いる。従って、現像液はガラス原盤の表面を螺旋状に進
行するようになり、結果的に現像液は均一にガラス原盤
の外周側に流れるようになる。また、現像液がガラス原
盤の全域に行き渡った時点でターンテーブルの回転が一
端停止される。これによって、いわゆるバッチ処理に近
い状態が作り出され、レジスト膜の現像の進行が一層均
一化される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スピン方式による現像
装置及びその現像方法にかかり、更に具体的には、ＣＤ
（コンパクトディスク）などのディスク媒体を製造する
ガラス原盤などのような比較的面積の大きいものに対し
て現像を行う現像装置及びその現像方法の改良に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】音楽メディアとして急速に普及したＣＤ
の製造にあたっては、まず、情報信号としてのピット列
が刻まれたレジスト原盤が作製される。すなわち、よく
研磨したガラス板の主面上にフォトレジストを塗布し、
このレジスト原盤にレーザビームを用いた光ディスク原
盤記録装置によってピット列の露光記録が行なわれる。
そしてその後、現像装置によってピット列の現像処理が
行われ、更にメッキ工程を経てディスクを複製成形する
ための金属原盤（スタンパ）ができ上がる。

【０００３】ところで、上述したガラス原盤の露光後の
現像装置としては、例えば図５（Ａ）に示すものがあ
る。この現像装置は、矢印ＦＡ方向に回転するガラス原
盤上に現像液を吐出するいわゆるスピン現像方式のもの
である。同図において、ガラス原盤１０は、現像装置上
部の洗浄槽１２内の略中央にはターンテーブル１４が設
けられている。このターンテーブル１４の近傍には、超
純水用ノズル及び窒素用ノズルを有する純水・窒素用ア
ーム１６，現像液用ノズルを有する現像液用アーム１８
が各々設けられており、それぞれ矢印ＦＢ，ＦＣ方向に
回転移動可能となっている。更に、現像装置側面には、
シーケンスを制御するための制御盤２０が設けられてい
る。

【０００４】次に、このような現像装置による現像処理
の概略のシーケンスを説明する。まず、露光記録が行わ
れたガラス原盤１０をターンテーブル１４上に設置す
る。そして、制御盤２０上のスタートスイッチ（図示せ
ず）をＯＮとすると、ターンテーブル１４が回転すると
ともに、純水・窒素用アーム１６が旋回してガラス原盤
１０の内周位置となる。この状態で、ノズルから超純水
の噴出が開始されるとともに、純水・窒素用アーム１６
は徐々にガラス原盤１０の外周側に向って旋回する。こ
の動作によってガラス原盤超１０上に純水が噴出され、
そのレジストが塗布されている主面の洗浄が行われる。
そして、純水・窒素用アーム１６が外周位置となった時
点で純水の噴出が停止する。

【０００５】次に現像液用アーム１８が旋回を開始し、
同様にガラス原盤１０の内周位置となった時点で現像液
の噴出が開始される。図５（Ｂ）には、この現像時の装
置の状態が示されている。ガラス原盤１０の中央の穴に
ターンテーブル１４のセンタピン２２がはまり込んでお
り、これによって、ターンテーブル１４の回転によりガ
ラス原盤１０のターンテーブル１４上からの滑り落ちが
防止されている。現像液用アーム１８のノズルからガラ
ス原盤１０上に吐出した現像液ＬＡは、回転による遠心
力でガラス原盤１０の外周部へ行き渡り、更には液つぶ
となって飛ばされる。このような現像液ＬＡの塗布によ
って、ガラス原盤１０上のレジストに対する現像が進行
し、ピット列パターンが形成されるようになる。

【０００６】そして、予め設定された現像時間が経過す
ると、現像液ＬＡの供給が停止されるとともに、現像液
用アーム１８はガラス原盤１０の外周側へと旋回する。
他方、純水・窒素用アーム１６が再び旋回してガラス原
盤１０の内周位置へ到達すると、今度は窒素が噴出され
る。純粋・窒素用アーム１６は窒素を噴出しながらガラ
ス原盤１０の外周側に旋回し、徐々にガラス原盤１０の
乾燥が行われる。そして、純粋・窒素用アーム１６が外
周位置へ旋回した時点で窒素の噴出を停止するととも
に、ターンテーブル１４の回転も停止して現像作業が終
了する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、以上の
ような従来の現像装置では、図５（Ｂ）に示すように現
像液ＬＡはガラス原盤１０の内周側から外周側に向って
流れるものの、ガラス原盤１０の面積が大きいために、
現像の進行度合いがガラス原盤１０の全体にわたって必
ずしも均一とはならない。すなわち、現像液ＬＡが吐出
した位置が最も現像の進行が速い。そして、外周側に行
くに従って現像液ＬＡの液層が薄くなり、また内周側に
おいて現像を終了した現像液ＬＡが外周側に流れてく
る。このような関係上必然的に、ガラス原盤１０の外周
側へ行くほど現像の進行が遅くなる。その結果、ガラス
原盤１０上のレジスト現像に内外周差が発生することに
なる。図４のグラフＧＡにはその一例が示されており、
現像進行度はガラス原盤１０の内周側と外周側とで大き
く異なる。

【０００８】このような現像の内外周差は、その後のメ
ッキ工程においてもそのまま保存され、最終的に成形さ
れたディスクの再生信号特性にも内外周差が生ずること
になる。本発明は、これらの点に着目したもので、現像
対象の面積が大きい場合でも、現像の内外周差を低減し
て現像の均一度の向上を図ることができる簡便な現像装
置及びその現像方法を提供することを目的とするもので
ある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明による現像装置
は、ターンテーブル上の現像対象面に現像液を吐出する
ノズルが、現像液を現像対象面に沿って吐出するための
堰と、現像液を現像対象面の回転方向に沿った周速度を
もって吐出するガイドとを備えたことを特徴とする。本
発明による現像方法は、前記現像装置による現像処理中
にターンテーブルの回転を一旦停止するステップを含む
ことを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明によれば、現像液を吐出するノズルに堰
とガイドが設けられており、現像液は、現像対象の回転
方向に対応する周速度をもって吐出される。このため、
回転に伴って均一に拡るようになり、現像の内外周差が
低減される。また、本発明によれば、現像処理中に現像
対象の回転が一旦停止され、いわゆるバッチ処理的に現
像が行われる。これによっても現像の内外周差が低減さ
れる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明による現像装置及びその現像方
法の一実施例について、添付図面を参照しながら説明す
る。なお、上述した従来例と同様の構成部分又は従来例
と対応する構成部分については、同一の符号を用いる。
図１には、本実施例の現像装置の主要部が示されてい
る。本実施例の現像装置は、前記図５の装置の現像液用
アーム１８の先端に図１に示すノズルが装着される。図
１中、（Ａ）は平面図，（Ｂ）は側面図，（Ｃ）は一部
分を拡大して示す斜視図である。

【００１２】これらの図において、ノズル３０は、軸部
３２と、その一方に設けられた円板状の堰３４と、それ
らの間を結ぶガイド３６とを有している。軸部３２のア
ーム側には凹部３８が設けられており、これが現像液用
アーム１８に嵌合することで、ノズル３０の取付けが行
われるようになっている。また、現像液用アーム１８か
らの現像液ＬＡも、この凹部３８の部分を介して供給さ
れるようになっている。堰３４は、現像液を矢印Ｆ２方
向に送り出すためのもので、この堰３４と前記軸部３２
との間に、略三角形状の仕切りを螺旋状に変形したガイ
ド３６が複数設けられている。また、堰３４の直径は、
ガラス原盤１０の中心径よりも多少大きい設定となって
いる。このようなノズル３０は、現像液用アーム１８
（図５参照）の先端に取り付けられる。

【００１３】次に、図２及び図３を参照しながら本実施
例による現像方法について説明する。図２は現像液吐出
時の様子を示しており、図３のフローチャートは現像方
法の手順を示している。ガラス原盤１０のセットから洗
浄に至る動作は、上述した従来例と同様である。すなわ
ち、露光記録が行われたガラス原盤１０をターンテーブ
ル１４上に設置し、制御盤２０を操作してターンテーブ
ル１４の回転を開始する（ステップＳ１）。このとき、
ガラス原盤１０の中央の穴にターンテーブル１４のセン
タピン２２がはまり込み、ターンテーブル１４の回転に
よるガラス原盤１０の滑り落ちが防止される。次に、純
水・窒素用アーム１６を旋回して、超純水によるガラス
原盤１０の洗浄を行う（ステップＳ２）。

【００１４】次に、現像液用アーム１８をガラス原盤１
０の中心位置まで旋回する（ステップＳ３）。上述した
実施例では、ガラス原盤１０の内周位置としたが、本実
施例では中心位置まで現像液用アーム１８を旋回させて
現像液ＬＡの吐出を開始する（ステップＳ３）。上述し
たように、本実施例では、現像液用アーム１８の先端に
図１に示したノズル３０が取り付けられている。このた
め、現像液ＬＡは、ガイド３６に沿って螺旋状に進行
し、矢印Ｆ２で示すように扇状に拡ってガラス原盤１０
上に吐出するようになる。

【００１５】次に、現像液ＬＡは、図２に示すように回
転による遠心力でガラス原盤１０の外周部へ行き渡る。
このとき、現像液ＬＡは、ノズル３０のガイド３６の作
用によって円周方向の速度成分を持っている。そして、
ガラス原盤１０の回転方向は現像液ＬＡの吐出方向と一
致している。従って、現像液ＬＡはガラス原盤１０の表
面を螺旋状に進行するようになり、結果的に現像液ＬＡ
は均一にガラス原盤１０の外周側に流れるようになる。
このため、従来技術と比較して現像液ＬＡの滴下位置の
みにおいて極端に現像が進行するというような不都合が
改善される。ガラス原盤１０の外周位置に達した現像液
ＬＡは、更に液つぶとなって飛ばされる。

【００１６】次に、現像液ＬＡがガラス原盤１０の全域
に行き渡った時点で（ステップＳ４）、本実施例では制
御盤２０の操作によってターンテーブル１４の回転が一
端停止される（ステップＳ５）。なお、現像液ＬＡの吐
出はそのまま続けられる。これによって、いわゆるバッ
チ処理に近い状態が作り出され、レジスト膜の現像の進
行が一層均一化されるようになる。所定時間（例えば２
０〜２５秒）の停止の後、再びターンテーブル１４の回
転が開始される（ステップＳ６）。そして、更に所定時
間の後、つまり予め設定された現像開始当初からの現像
時間が経過した時点で現像が終了する（ステップＳ
７）。全体の現像時間は、前記回転停止時間も含めて例
えば２５〜３０秒である。現像終了時には、現像液ＬＡ
の吐出が停止するとともに、現像液用アーム１８がガラ
ス原盤１０の外周側に旋回する。

【００１７】このように、ノズル３０を用いるととも
に、ターンテーブル１４の回転の一旦停止を行って現像
液ＬＡの塗布が行われ、ガラス原盤１０上のレジストに
対する現像が進行し、ピット列パターンが形成されるよ
うになる。次に、純水・窒素用アーム１６が再び旋回し
てガラス原盤１０の内周位置へ到達すると、今度は窒素
が噴出してガラス原盤１０の乾燥が行われる（ステップ
Ｓ８）。この動作は、上述した従来技術と同様である。
乾燥終了後、ターンテーブル１４の回転も停止して現像
作業が終了する（ステップＳ９）。

【００１８】次に、図４を参照しながら、本実施例によ
る現像処理の効果について説明する。同図には、ガラス
原盤１０の中心からの半径位置の値（単位はｍｍ）と、
現像進行の程度との関係が示されている。グラフＧＡ
は、前記従来の装置によって現像処理を行った場合の特
性を示すものである。半径値が小さい内周側ほど現像進
行度は高く、外周にいくに従って現像進行度は低下す
る。特に、約３６ｍｍより小さい内周側の領域の現像進
行度は、その外周側よりも相当大きい。

【００１９】グラフＧＢは、図１に示したノズル３０を
用いるものの、ターンテーブル１４の一旦停止は行わな
いようにして現像処理を行った場合の特性を示すもので
ある。半径値が約３６ｍｍ以下の内周側における現像進
行度はグラフＧＡの場合よりも低下しており、現像の程
度が均一化されている。グラフＧＣは、前記実施例にお
ける特性を示すもので、ノズル３０を用いるとともに、
ターンテーブルの一旦停止を行う場合である。同図に示
すように、半径値が約３６ｍｍ以下の内周側における現
像進行度は更に効果的に均一化されている。また、３６
ｍｍ以上の外周側でも良好な現像進行度の均一性が得ら
れている。

【００２０】このように、本実施例によれば、現像液を
ガラス原盤に対して扇状に吐出するノズルを用いるとと
もに、現像中にターンテーブルの一旦停止を行うように
したので、簡便な構成でありながら、現像の内外周差は
大幅に低減される。この結果、成形後のディスクの特性
においても内外周で均一度の高いものが実現できる。ま
た、現像時に、ノズル３０によってガラス盤１０の中心
が蓋をされた状態となる。このため、中心部の孔から漏
れた現像液ＬＡがガラス盤１０の裏面へ回ってガラス盤
１０に汚れ等を付着させるというような心配もなくな
る。

【００２１】なお、本発明は、何ら上記実施例に限定さ
れるものではなく、例えば次のようなものも含まれる。 （１）ノズル３０の構造や形状は、現像液が周方向の速
度成分をもって吐出できるように種々変更可能である。
例えば、ガイド３６の数を増減したり、図１（Ａ）に点
線ＧＤで示すようにガイド３６を螺旋状ではなく単に斜
方向に形成するなどである。

【００２２】（２）また、現像液用アーム１８に対する
ノズル３０の取付構造も任意であり、凹凸の嵌合，ネジ
式，あるいは両者を一体に構成するなど必要に応じて適
宜設計してよい。しかし、着脱自在とすることで従来の
装置にも本発明を簡単に適用できる。 （３）本発明の適用対象としては、ＣＤ作製用のガラス
原盤などが好適な例であるが、比較的面積の大きいもの
に対してスピン方式で現像を行う場合にはどのようなも
のにも適用可能である。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明による現像
装置及びその現像方法によれば、次のような効果があ
る。 （１）現像液を周方向の速度成分を有するように吐出さ
せるノズルを用いるとともに、現像対象の回転方向を現
像液の吐出方向と一致させることとしたので、現像液Ｌ
Ａが均一に現像対象面上を流れるようになり、現像の内
外周差が低減される。 （２）前記ノズルによる現像開始後、一旦現像対象の回
転を停止して現像を行うこととしたので、現像の内外周
差が更に低減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による現像装置の一実施例におけるノズ
ルを示す説明図である。

【図２】本発明の実施例における現像時の状態を示す説
明図である。

【図３】本発明の実施例における現像方法の手順を示す
フローチャートである。

【図４】本発明の実施例と従来技術の現像特性を示すグ
ラフである。

【図５】従来の現像装置の一例を示す説明図である。

【符号の説明】

１０…ガラス原盤（現像対象）、１２…洗浄槽、１４…
ターンテーブル、１６…純水・窒素用アーム、１８…現
像液用アーム、２０…制御盤、２２…センタピン、３０
…ノズル、３２…軸部、３４…堰、３６…ガイド、３８
…凹部、ＦＡ〜ＦＣ，Ｆ１〜Ｆ２…矢印、ＬＡ…現像
液。

フロントページの続き (72)発明者 安藤 信一 神奈川県横浜市神奈川区守屋町３丁目12番 地 日本ビクター株式会社内 (72)発明者 山崎 勝和 神奈川県横浜市神奈川区守屋町３丁目12番 地 日本ビクター株式会社内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ターンテーブル上の現像対象面に、ノズ
   ルから現像液を吐出して記録情報の現像を行う現像装置
   において、前記ノズルは、現像液を現像対象面に沿って
   吐出するための堰と、現像液を現像対象面の回転方向に
   沿った周速度をもって吐出するガイドとを備えたことを
   特徴とする現像装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の現像装置を用いる現像方
   法において、前記ノズルを用いた現像処理中にターンテ
   ーブルの回転を一旦停止するステップを含むことを特徴
   とする現像方法。