JPH0660757B2 - 空気濾過分配構造 - Google Patents
空気濾過分配構造Info
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- JPH0660757B2 JPH0660757B2 JP61051629A JP5162986A JPH0660757B2 JP H0660757 B2 JPH0660757 B2 JP H0660757B2 JP 61051629 A JP61051629 A JP 61051629A JP 5162986 A JP5162986 A JP 5162986A JP H0660757 B2 JPH0660757 B2 JP H0660757B2
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明は層流清浄室のための天井構造に関し、特に乱
れなしに清浄室を経て空気流を均一に分配するための膜
拡散パネルを備える、清浄空間のための空気濾過分配構
造に関する。
れなしに清浄室を経て空気流を均一に分配するための膜
拡散パネルを備える、清浄空間のための空気濾過分配構
造に関する。
(従来の技術) 清浄室産業は1960年代の初期に生まれた。HEPE
(High Efficiency Particulate Absolute高性能微粒子
除去)による濾過空気の均一な多量の空気流は、作業空
間すなわち清浄空間を横切る縦方向または水平方向への
均一速度の乱れのない空気流(層流)のために「層流」
と呼ばれた。代表的な清浄室は壁、床、天井、空気供給
導管またはプレナムすなわち清浄空気空間、ファンおよ
び空気を濾過するためのHEPAフィルタを含む天井か
ら下方に釣られた天井パネルの平面セクションを含む。
(High Efficiency Particulate Absolute高性能微粒子
除去)による濾過空気の均一な多量の空気流は、作業空
間すなわち清浄空間を横切る縦方向または水平方向への
均一速度の乱れのない空気流(層流)のために「層流」
と呼ばれた。代表的な清浄室は壁、床、天井、空気供給
導管またはプレナムすなわち清浄空気空間、ファンおよ
び空気を濾過するためのHEPAフィルタを含む天井か
ら下方に釣られた天井パネルの平面セクションを含む。
電子、光学、電気通信、ロボット、薬剤および一般的な
技術の分野における高度の技術開発の出現は製造および
研究開発における清浄室へのこれまでの要求を高めてい
る。米国連邦標準による部屋の最清浄クラスはクラス1
00の清浄室である。清浄室の汚染度は空間を動かされ
る空気の換気回数の数に一般に比例する。より高い換気
率は部屋をより清浄にし、より高品質の空気フィルタが
必要とされる。
技術の分野における高度の技術開発の出現は製造および
研究開発における清浄室へのこれまでの要求を高めてい
る。米国連邦標準による部屋の最清浄クラスはクラス1
00の清浄室である。清浄室の汚染度は空間を動かされ
る空気の換気回数の数に一般に比例する。より高い換気
率は部屋をより清浄にし、より高品質の空気フィルタが
必要とされる。
過去10年にわたるインフレーションは作業室の一平方
フィートにつき200ドルを越えるところまで、クラス
100の清浄室の設置コストを高めた。そこで、HEP
Aフィルタの効率的な使用がコストの上から清浄室の効
率的な使用のために必要である。空気の乱れ分配は、高
価なフィルタを使用しつつ所定の効率を達成するため
に、多数回の換気を必要とする。このシステムが非常に
高価につく他の理由はHEPAフィルタが気密枠組中の
天井に釣られることである。この高価につく枠組ととも
にフィルタの重量を支持するための構造上のシステムお
よび前記枠組のためのシステムを備えなければならな
い。HEPAフィルタによる濾過空気拡散システムの他
の不利な点は、天井での空気の引き込みがフィルタ面で
の吸気を生じさせ、また乱れた空気のパターンがHEP
Aフィルタに隣接しておよひ照明器具および天井パネル
によって占められる天井部分の周りに生じることであ
る。
フィートにつき200ドルを越えるところまで、クラス
100の清浄室の設置コストを高めた。そこで、HEP
Aフィルタの効率的な使用がコストの上から清浄室の効
率的な使用のために必要である。空気の乱れ分配は、高
価なフィルタを使用しつつ所定の効率を達成するため
に、多数回の換気を必要とする。このシステムが非常に
高価につく他の理由はHEPAフィルタが気密枠組中の
天井に釣られることである。この高価につく枠組ととも
にフィルタの重量を支持するための構造上のシステムお
よび前記枠組のためのシステムを備えなければならな
い。HEPAフィルタによる濾過空気拡散システムの他
の不利な点は、天井での空気の引き込みがフィルタ面で
の吸気を生じさせ、また乱れた空気のパターンがHEP
Aフィルタに隣接しておよひ照明器具および天井パネル
によって占められる天井部分の周りに生じることであ
る。
米国特許第3975995号明細書(以下「シューラ特
許」と称す。)には、天井から隔てられ、フィルタパネ
ルとブランクパネルとの混合列を備える第1の平面セク
ションと、清浄空気空間を規定する第1の平面パネルか
ら隔てられかつ該第1の平面パネルの下方に配置の、穿
孔された空気拡散パネルから隔てられかつ該第1の平面
パネルの下方に配置の、穿孔された空気拡散パネルから
なる第2の平面セクションとを備える。穿孔された空気
拡散パネルは空気を均一に分配する能力に制限があるこ
とが発見された。加えて前記シューラ特許のシステムは
乱れの全体的な除去について明らかにしていない。本発
明の膜拡散パネルは、前記シューラ特許の穿孔空気拡散
パネルを実質的に改良し、空気を膜拡散パネルの面に均
一に拡散する。
許」と称す。)には、天井から隔てられ、フィルタパネ
ルとブランクパネルとの混合列を備える第1の平面セク
ションと、清浄空気空間を規定する第1の平面パネルか
ら隔てられかつ該第1の平面パネルの下方に配置の、穿
孔された空気拡散パネルから隔てられかつ該第1の平面
パネルの下方に配置の、穿孔された空気拡散パネルから
なる第2の平面セクションとを備える。穿孔された空気
拡散パネルは空気を均一に分配する能力に制限があるこ
とが発見された。加えて前記シューラ特許のシステムは
乱れの全体的な除去について明らかにしていない。本発
明の膜拡散パネルは、前記シューラ特許の穿孔空気拡散
パネルを実質的に改良し、空気を膜拡散パネルの面に均
一に拡散する。
本発明に関係する他の特許は清浄室のための照明および
濾過ユニットを開示する米国特許第4461205号で
ある。
濾過ユニットを開示する米国特許第4461205号で
ある。
前記したところから理解されるように、発展する「清浄
空間」産業の拡大する要求に鑑み、コストに照らして高
質の空気濾過に対する増大する要求がある。
空間」産業の拡大する要求に鑑み、コストに照らして高
質の空気濾過に対する増大する要求がある。
(発明が解決しようとする課題) 清浄空気の汚染度はその空間を経て動かされる濾過され
た空気の1時間当りの換気回数にほぼ比例する。換気率
は一般に約20回の低いものから200〜300回の高
いものまで変化する。換気率が高ければ高いほど部屋は
より清浄にされ、天井にはより高品質のフィルタが要求
される。第2図に示すように、本発明は乱れのない均一
な層流を与えることにより、所望の清浄度を達成するの
に必要な空気流を最小限にすることに適する。これによ
れば、所望の清浄度のために換気回数を減じ、フィルタ
のコストを必然的に軽減し、システムの効率を改善す
る。
た空気の1時間当りの換気回数にほぼ比例する。換気率
は一般に約20回の低いものから200〜300回の高
いものまで変化する。換気率が高ければ高いほど部屋は
より清浄にされ、天井にはより高品質のフィルタが要求
される。第2図に示すように、本発明は乱れのない均一
な層流を与えることにより、所望の清浄度を達成するの
に必要な空気流を最小限にすることに適する。これによ
れば、所望の清浄度のために換気回数を減じ、フィルタ
のコストを必然的に軽減し、システムの効率を改善す
る。
本発明の主たる目的は、コストを実質的に軽減しかつ垂
直層流清浄室の性能を改善すべく材料およびフィルタ媒
体における最新の技術の特徴を活かした空気濾過分配構
造を提供することにある。
直層流清浄室の性能を改善すべく材料およびフィルタ媒
体における最新の技術の特徴を活かした空気濾過分配構
造を提供することにある。
本発明は天井全体を横切る空気の拡散を生じさせる。制
御された多孔性(例えば、膨張させたポリテトラフルオ
ロエチレンまたは紡績接合したポリエステル)を有する
透明なシートの使用により、膜拡散パネルに組み立てる
ことが可能であり、これはオフィスビルの天井に一般に
使用される音響タイルに保持するために使用される従来
の格子中に設けるように設計することができる。「膜拡
散」のシステムの利点は、清浄空間のための照明器具が
天井の上方に取り付けられ、従って照明器具が拡散され
た清浄空気のために天井の下方に取り付けられる際に通
常生じる「乱れコーン」の問題を減じることである。透
明な繊維シートは、ある部域におけるパネルを孔サイズ
を異にするパネルと置き換えることにより、天井を横切
る空気の均一な分散を与えるべく、システムを平衡させ
るように孔のサイズを変更することができる。
御された多孔性(例えば、膨張させたポリテトラフルオ
ロエチレンまたは紡績接合したポリエステル)を有する
透明なシートの使用により、膜拡散パネルに組み立てる
ことが可能であり、これはオフィスビルの天井に一般に
使用される音響タイルに保持するために使用される従来
の格子中に設けるように設計することができる。「膜拡
散」のシステムの利点は、清浄空間のための照明器具が
天井の上方に取り付けられ、従って照明器具が拡散され
た清浄空気のために天井の下方に取り付けられる際に通
常生じる「乱れコーン」の問題を減じることである。透
明な繊維シートは、ある部域におけるパネルを孔サイズ
を異にするパネルと置き換えることにより、天井を横切
る空気の均一な分散を与えるべく、システムを平衡させ
るように孔のサイズを変更することができる。
発明者は主題の膜拡散パネルの使用の結果として、清浄
空間の天井の全部を横切る空気の均一な拡散により、清
浄室が膜拡散パネルのない従来のHEPAフィルタによ
り濾過される天井に比較して、所定のHEPAフィルタ
により濾過した空気の換気率のために一層高い清浄度を
達成することができることを見い出した。従ってHEP
Aフィルタの高いコストが軽減され、清浄空気技術の適
用をより広範な適用における経費効率にする。
空間の天井の全部を横切る空気の均一な拡散により、清
浄室が膜拡散パネルのない従来のHEPAフィルタによ
り濾過される天井に比較して、所定のHEPAフィルタ
により濾過した空気の換気率のために一層高い清浄度を
達成することができることを見い出した。従ってHEP
Aフィルタの高いコストが軽減され、清浄空気技術の適
用をより広範な適用における経費効率にする。
この技術の最近の適用においては、1200ft2の清浄
室で60%のHEPAフィルタによる濾過天井が、クラ
ス100より一層改善された作動レベルを達成した。膜
拡散パネルなしにクラス500〜10000の作動レベ
ルが常時期待される。
室で60%のHEPAフィルタによる濾過天井が、クラ
ス100より一層改善された作動レベルを達成した。膜
拡散パネルなしにクラス500〜10000の作動レベ
ルが常時期待される。
発明者は、また、空気のもれが清浄空間の外側にあるべ
き第1の天井格子を経ておよび該清浄空間から離れて生
ぜしめる態様でわずかな圧力が主たるHEPAフィルタ
天井と膜拡散天井との間の二次天井に発生することを見
い出した。これは、各格子開口面を取り巻くガスケット
やシールの使用なしに逆T状の棒材格子中に第1のグリ
ッドを設置することを可能にするという利点を有する。
この利点は、市場における標準のT状棒材格子を使用す
ることができるので、コストの上で非常に効果的な設置
に至る。
き第1の天井格子を経ておよび該清浄空間から離れて生
ぜしめる態様でわずかな圧力が主たるHEPAフィルタ
天井と膜拡散天井との間の二次天井に発生することを見
い出した。これは、各格子開口面を取り巻くガスケット
やシールの使用なしに逆T状の棒材格子中に第1のグリ
ッドを設置することを可能にするという利点を有する。
この利点は、市場における標準のT状棒材格子を使用す
ることができるので、コストの上で非常に効果的な設置
に至る。
発明者は、さらに、空気の乱れが、前記の透明な膜拡散
と拡散膜上方の第1の天井中に配置した照明との組合せ
により与えられたシステムにおいて減少されることを見
い出した。
と拡散膜上方の第1の天井中に配置した照明との組合せ
により与えられたシステムにおいて減少されることを見
い出した。
(課題を解決するための手段) 本発明は、環境的に制御される清浄空間のための空気濾
過分配構造を提供するものであり、該空気濾過分配構造
は、前記清浄空間上方の第1の平面セクションと、該第
1の平面セクションからその下方へ隔てられかつ該第1
の平面セクションにほぼ平行な第2の平面セクションと
を含み、前記第1の平面セクションはエアフィルタおよ
び不通気性パネルを備え、前記第2の平面セクションは
複数の膜拡散パネルを備え、各膜拡散パネルは天井パネ
ルと多孔性の繊維シートとを含み、前記第1の平面セク
ションおよび前記第2の平面セクションはそれらの間に
清浄空間を規定する。
過分配構造を提供するものであり、該空気濾過分配構造
は、前記清浄空間上方の第1の平面セクションと、該第
1の平面セクションからその下方へ隔てられかつ該第1
の平面セクションにほぼ平行な第2の平面セクションと
を含み、前記第1の平面セクションはエアフィルタおよ
び不通気性パネルを備え、前記第2の平面セクションは
複数の膜拡散パネルを備え、各膜拡散パネルは天井パネ
ルと多孔性の繊維シートとを含み、前記第1の平面セク
ションおよび前記第2の平面セクションはそれらの間に
清浄空間を規定する。
(実施例) 第1図を参照するに、膜拡散パネル10は好ましくは7
0〜80%の開口域を備えるポリスチレン製の天井パネ
ル12を含む。天井パネル12は清浄空間である清浄空
気作業域のために充分な照明を与えるために該天井パネ
ルの上方に照明器具を設置することができるように透明
であることが好ましい。第1図に示すように天井パネル
12は実質的に平行な縦および横の、間に開口を規定す
る棒材を有する格子の形を取る。繊維シート14は天井
パネル12上に取り付けられている。保持クリップ16
は、押し出し成形プラスチックから成り、膜拡散パネル
10を構成するように繊維シート14を天井パネル12
に固定する。
0〜80%の開口域を備えるポリスチレン製の天井パネ
ル12を含む。天井パネル12は清浄空間である清浄空
気作業域のために充分な照明を与えるために該天井パネ
ルの上方に照明器具を設置することができるように透明
であることが好ましい。第1図に示すように天井パネル
12は実質的に平行な縦および横の、間に開口を規定す
る棒材を有する格子の形を取る。繊維シート14は天井
パネル12上に取り付けられている。保持クリップ16
は、押し出し成形プラスチックから成り、膜拡散パネル
10を構成するように繊維シート14を天井パネル12
に固定する。
繊維シート14は、繊維シートの縁部を経て漏れる未濾
過空気に対する補償を与えるために、繊維シートの縁部
に沿ったクリップ18を含む。繊維シート14は連続フ
ィラメントポリエステルから成ることが好ましい。紡績
ポリエステルシートとしてデュポン社の「Reemey」(商
品名)を使用することができる。繊維シート14の紡績
繊維は、これを経る空気の通路のための予め定められた
細孔寸法を達成するように束ねられる。膜拡散パネル1
0は、音響タイルに保持するために通常使用されるパネ
ルのように、従来の格子に置いて組み立てることができ
る。孔径を変えることができる繊維シート14は、ある
部分において膜拡散パネル10を異なる孔径のパネルに
置き換えることにより、天井を横切る空気の平衡した均
一な拡散を与えることができる。繊維シート14および
天井パネル12は、それらの組み合わせによって、清浄
空間である作業空間を空気を均一に拡散する。
過空気に対する補償を与えるために、繊維シートの縁部
に沿ったクリップ18を含む。繊維シート14は連続フ
ィラメントポリエステルから成ることが好ましい。紡績
ポリエステルシートとしてデュポン社の「Reemey」(商
品名)を使用することができる。繊維シート14の紡績
繊維は、これを経る空気の通路のための予め定められた
細孔寸法を達成するように束ねられる。膜拡散パネル1
0は、音響タイルに保持するために通常使用されるパネ
ルのように、従来の格子に置いて組み立てることができ
る。孔径を変えることができる繊維シート14は、ある
部分において膜拡散パネル10を異なる孔径のパネルに
置き換えることにより、天井を横切る空気の平衡した均
一な拡散を与えることができる。繊維シート14および
天井パネル12は、それらの組み合わせによって、清浄
空間である作業空間を空気を均一に拡散する。
第2図を参照するに、清浄室22の部分的な正面が示さ
れている。この清浄室22の空気循環システムは、全体
に帰環ユニット24、該帰還ユニットに連通する導管2
6、該導管内に任意に設けられるフィルタ28およひフ
ァン30を含む。天井構造は、天井32、第1の平面セ
クションである格子34および第2の平面セクションで
ある格子36を含み、ハンガー38がこれらの格子を支
持すべく天井32から釣られている。格子34,36
は、それらの間に後に説明する清浄空気空間60を規定
する。
れている。この清浄室22の空気循環システムは、全体
に帰環ユニット24、該帰還ユニットに連通する導管2
6、該導管内に任意に設けられるフィルタ28およひフ
ァン30を含む。天井構造は、天井32、第1の平面セ
クションである格子34および第2の平面セクションで
ある格子36を含み、ハンガー38がこれらの格子を支
持すべく天井32から釣られている。格子34,36
は、それらの間に後に説明する清浄空気空間60を規定
する。
格子34は必要に応じて種々の部材から構成する。第2
図の実施例においては、格子34は、従来のタイルまた
は繊維板材料から成る不通気性パネル42、従来のHE
PAフィルタから成るエアフィルタであるHEPAフィ
ルタ44および照明モジュール46を含み、この照明モ
ジュールは空気流との干渉を避けるために透明な膜拡散
パネル10から間隔を置かれている。
図の実施例においては、格子34は、従来のタイルまた
は繊維板材料から成る不通気性パネル42、従来のHE
PAフィルタから成るエアフィルタであるHEPAフィ
ルタ44および照明モジュール46を含み、この照明モ
ジュールは空気流との干渉を避けるために透明な膜拡散
パネル10から間隔を置かれている。
第2図の実施例における空気流は、第2,3図の矢印に
従い、帰還ユニット24から作業スペースである清浄空
間56への経路をたどる。汚れた空気は、帰還ユニット
24から導管26中に入り、フィルタ28を経てファン
30に至る。ファン30は、流圧を増し、空気をその後
の導管中に押しやる。空気は、次いでHEPAフィルタ
44を経て清浄空気空間60中に拡散する。空気は、H
EPAフィルタ44を経過し、濾過される。清浄空気
は、次いで第1の平面セクションと第2の平面セクショ
ンとの間すなわち格子34,36間の清浄空気空間60
に至る。格子36を経る空気流に対する抵抗は、種々の
膜拡散パネル10の多孔性を制御することにより与えら
れる。こうして清浄空間56に均一な空気流を与えるこ
とができる。
従い、帰還ユニット24から作業スペースである清浄空
間56への経路をたどる。汚れた空気は、帰還ユニット
24から導管26中に入り、フィルタ28を経てファン
30に至る。ファン30は、流圧を増し、空気をその後
の導管中に押しやる。空気は、次いでHEPAフィルタ
44を経て清浄空気空間60中に拡散する。空気は、H
EPAフィルタ44を経過し、濾過される。清浄空気
は、次いで第1の平面セクションと第2の平面セクショ
ンとの間すなわち格子34,36間の清浄空気空間60
に至る。格子36を経る空気流に対する抵抗は、種々の
膜拡散パネル10の多孔性を制御することにより与えら
れる。こうして清浄空間56に均一な空気流を与えるこ
とができる。
第3図はHEPAフィルタ48が導管50の出口に配置
されている実施例を示す。濾過された空気は、清浄空気
空間54に吹き込まれ、在来の通気性のパネル材料から
成る第1の平面セクションすなわち格子52を通過す
る。
されている実施例を示す。濾過された空気は、清浄空気
空間54に吹き込まれ、在来の通気性のパネル材料から
成る第1の平面セクションすなわち格子52を通過す
る。
第3図の実施例においては、単一のエアフィルタを使用
することができ、エアフィルタの簡単な交換が可能とな
り、天井構造に単純化が達成される。膜拡散パネル10
は第3図の実施例において前記したと同様に動く。天井
にHEPAフィルタを備える垂直流清浄室は、一般にH
EPAフィルタが毎分ほぼ100フィートの面速度で負
荷されるように、天井を横切って毎分ほぼ100フィー
トの均一な流れを供給することが必要である。この低い
面速度は交換なしにフィルタを長期に使用することがで
きるようにする効果を有する。新しいフィルタ技術はH
EPAフィルタ(およびHEPAフィルタと等しい効率
を持つバッグフィルタ)を毎分500フィートまたはそ
れ以上の面速度で作動させることを可能にする。第3図
のHEPAフィルタ48は、同じ表面積を持つ従来の天
井用HEPAフィルタ5個と同程度の空気を処理するよ
うに負荷することにより、この新しい技術の利点を発揮
する。HEPAフィルタ48は清浄空気空間54にクラ
ス100またはそれ以上の空気を供給する。清浄空気空
間54は例えばテープを巻かれ、浮かされかつエポキシ
ペンキを塗布されたシートロックのような従来の建築材
料で構成することもできる。
することができ、エアフィルタの簡単な交換が可能とな
り、天井構造に単純化が達成される。膜拡散パネル10
は第3図の実施例において前記したと同様に動く。天井
にHEPAフィルタを備える垂直流清浄室は、一般にH
EPAフィルタが毎分ほぼ100フィートの面速度で負
荷されるように、天井を横切って毎分ほぼ100フィー
トの均一な流れを供給することが必要である。この低い
面速度は交換なしにフィルタを長期に使用することがで
きるようにする効果を有する。新しいフィルタ技術はH
EPAフィルタ(およびHEPAフィルタと等しい効率
を持つバッグフィルタ)を毎分500フィートまたはそ
れ以上の面速度で作動させることを可能にする。第3図
のHEPAフィルタ48は、同じ表面積を持つ従来の天
井用HEPAフィルタ5個と同程度の空気を処理するよ
うに負荷することにより、この新しい技術の利点を発揮
する。HEPAフィルタ48は清浄空気空間54にクラ
ス100またはそれ以上の空気を供給する。清浄空気空
間54は例えばテープを巻かれ、浮かされかつエポキシ
ペンキを塗布されたシートロックのような従来の建築材
料で構成することもできる。
本発明によれば、乱れなしに空気流の改善された拡散を
実現することができ、これにより経費効率のよい空気濾
過分配構造を提供することができる。
実現することができ、これにより経費効率のよい空気濾
過分配構造を提供することができる。
第1図は本発明の膜拡散パネルの斜視図であり、組立状
態にある右側部と分解状態にある左側部とを示し、両側
部は共通の格子板を備える。格子板の一部分は図示され
ておらず、その縁部は破線で示されている。 第2図は本発明にかかる空気濾過分配構造を採用する清
浄室の実施例を示す断面図である。 第3図は本発明にかかる空気濾過分配構造を採用する清
浄室の他の実施例を示す断面図である。 10……膜拡散パネル、 12……天井パネル、 14……繊維シート、 22……清浄室 24……帰還ユニット、 26,50……導管、 28……エアフィルタ、 30……ファン、 34……第1の平面セクション(格子)、 36……第2の平面セクション(格子)、 42……不通気性パネル、 44,48……HEPAフィルタ、 46……照明モジュール、 54,60……清浄空気空間、 56……清浄空間(作業スペース)。
態にある右側部と分解状態にある左側部とを示し、両側
部は共通の格子板を備える。格子板の一部分は図示され
ておらず、その縁部は破線で示されている。 第2図は本発明にかかる空気濾過分配構造を採用する清
浄室の実施例を示す断面図である。 第3図は本発明にかかる空気濾過分配構造を採用する清
浄室の他の実施例を示す断面図である。 10……膜拡散パネル、 12……天井パネル、 14……繊維シート、 22……清浄室 24……帰還ユニット、 26,50……導管、 28……エアフィルタ、 30……ファン、 34……第1の平面セクション(格子)、 36……第2の平面セクション(格子)、 42……不通気性パネル、 44,48……HEPAフィルタ、 46……照明モジュール、 54,60……清浄空気空間、 56……清浄空間(作業スペース)。
Claims (14)
- 【請求項1】環境的に制御される清浄空間(56)のた
めの空気濾過分配構造であって、前記清浄空間上方の第
1の平面セクション(34)と、該第1の平面セクショ
ンからその下方へ隔てられかつ該第1の平面セクション
にほぼ平行な第2の平面セクション(36)とを含み、
前記第1の平面セクションはエアフィルタ(44)およ
び不通気性パネル(42)を備え、前記第2の平面セク
ションは複数の膜拡散パネル(10)を備え、各膜拡散
パネルは天井パネル(12)と多孔性の繊維シート(1
4)とを含み、前記第1の平面セクションおよび前記第
2の平面セクションはそれらの間に清浄空気空間(6
0)を規定する、空気濾過分配構造。 - 【請求項2】前記膜拡散パネル(10)は透明である、
特許請求の範囲第(1)項に記載の空気濾過分配構造。 - 【請求項3】前記繊維シート(14)は連続フィラメン
トの繊維構造を有する、特許請求の範囲第(2)項に記載
の濾過分配構造。 - 【請求項4】前記繊維シート(14)はポリエステル繊
維の紡績構造を有する、特許請求の範囲第(3)項に記載
の空気濾過分配構造。 - 【請求項5】前記第1の平面セクション(34)は前記
清浄空間に照明を与えるために前記第1の平面セクショ
ンに取り付けられた少なくとも1つの照明モジュール
(46)を含む、特許請求の範囲第(1)項に記載の空気
濾過分配構造。 - 【請求項6】前記繊維シート(14)は前記天井パネル
(12)に取り付けられ、該天井パネルは多数の貫通開
口を有するプラスチックパネルである、特許請求の範囲
第(3)項に記載の空気濾過分配構造。 - 【請求項7】前記天井パネル(12)は格子状で、開口
を規定する実質的に平行な縦横の棒材を有する、特許請
求の範囲第(6)項に記載の空気濾過分配構造。 - 【請求項8】前記膜拡散パネル(10)は前記繊維シー
ト(14)を前記天井パネル(12)に固定するための
保持クリップ(16)を含む、特許請求の範囲第(1)項
に記載の空気濾過分配構造。 - 【請求項9】前記清浄空間(56)に入る全ての空気は
エアフィルタ(44,48)を経る、特許請求の範囲第
(1)項に記載の空気濾過分配構造。 - 【請求項10】床高さにおいて前記清浄空間(56)の
側部に配置され、前記清浄空間からの空気が入り込む復
帰ユニット(24)と、前記清浄空間の側部に配置さ
れ、下方部分に前記復帰ユニットを収容する垂直な導管
(26)と、該導管の中央部分に配置され、空気流圧を
増すためのファン(30)とを含み、前記エアフィルタ
(48)は前記導管の上部に配置され、前記ファンによ
り清浄空気空間(54)に吹き込まれる空気を濾過す
る、特許請求の範囲第(9)項に記載の空気濾過分配構
造。 - 【請求項11】前記第1の平面セクション(34)が照
明モジュール(46)とエアフィルタ(44)を含み、
また前記第1の平面セクションの下方に配置された前記
第2の平面セクション(36)が空気を前記清浄空間
(56)に均一に分配するための透明な膜拡散パネル
(10)を含む、特許請求の範囲第(1)項に記載の空気
濾過分配構造。 - 【請求項12】前記膜拡散パネル(10)が格子状の天
井パネル(12)に取り付けられた繊維シート(14)
を含む、特許請求の範囲第(11)項に記載の空気濾過分配
構造。 - 【請求項13】前記膜拡散パネル(10)は、透明な天
井パネル(12)と、該天井パネルに取り付けられた、
連続したフィラメント繊維構造を備える透明な繊維シー
ト(14)とを含み、前記天井パネルがこれを貫通する
多数の開口を備えまた前記天井パネルがこれを経ての空
気の通過を許す少なくとも50%の開口域を備える、特
許請求の範囲第(1)項記載の空気濾過分配構造。 - 【請求項14】環境的に制御される清浄空間(56)の
ための空気濾過分配構造であって、前記清浄空間上方の
第1の平面セクションであってエアフィルタ(44)、
不通気性パネル(42)および照明モジュール(46)
を備える第1の平面セクション(34)と、該第1の平
面セクションからその下方に隔てられかつ前記第1の平
面セクションにほぼ平行な第2の平面セクションであっ
て第1の平面セクションと第2の平面セクションとの間
に清浄空気空間(60)を規定する第2の平面セクショ
ン(36)とを含み、該第2の平面セクションが複数の
膜拡散パネル(10)を含み、各膜拡散パネルが開口を
規定する実質的に平行な縦横の棒材を有する格子状を備
えた透明なプラスチック製天井パネル(12)と多孔性
を有する連続したフィラメント紡績ポリエステル繊維構
造の繊維シート(14)とを含む空気濾過分配構造。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US735550 | 1985-05-20 | ||
| US06/735,550 US4603618A (en) | 1985-05-20 | 1985-05-20 | Air filtering and distribution for laminar flow clean room |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61265433A JPS61265433A (ja) | 1986-11-25 |
| JPH0660757B2 true JPH0660757B2 (ja) | 1994-08-10 |
Family
ID=24956245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61051629A Expired - Lifetime JPH0660757B2 (ja) | 1985-05-20 | 1986-03-11 | 空気濾過分配構造 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4603618A (ja) |
| JP (1) | JPH0660757B2 (ja) |
| CA (1) | CA1266200A (ja) |
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-
1986
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- 1986-03-11 JP JP61051629A patent/JPH0660757B2/ja not_active Expired - Lifetime
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