JPH0661671B2 - ワ−ク保持位置決め装置 - Google Patents
ワ−ク保持位置決め装置Info
- Publication number
- JPH0661671B2 JPH0661671B2 JP61241213A JP24121386A JPH0661671B2 JP H0661671 B2 JPH0661671 B2 JP H0661671B2 JP 61241213 A JP61241213 A JP 61241213A JP 24121386 A JP24121386 A JP 24121386A JP H0661671 B2 JPH0661671 B2 JP H0661671B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work pallet
- wheel
- work
- wheels
- pallet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ワーク保持位置決め装置に関し、特に、プリ
ント配線基盤などの印刷技術を応用して製造される電子
部品のための、ガラスフオトマスクの保持位置決めに好
適な、ワークの保持位置決め装置に関する。
ント配線基盤などの印刷技術を応用して製造される電子
部品のための、ガラスフオトマスクの保持位置決めに好
適な、ワークの保持位置決め装置に関する。
プリント配線基板用ガラスフオトマスクのための修正装
置は、ガラスフオトマスク保持位置決め装置を備える。
この保持位置決め装置は、Ｘ−Ｙテーブルと、このテー
ブル上に載置されるワークパレツト（プレートホルダ，
ワークホルダなどとも呼ばれる）を有し、このワークパ
レツト上にガラスフオトマスクが保持される。一般に、
Ｘ−Ｙテーブルは鉄製で、ワークパレツトはアルミニウ
ム製である。ガラスフオトマスクの着脱時、あるいはワ
ークパレツトの交換時など、ワークパレツトをＸ−Ｙテ
ーブル上で移動させる機会が多い。
置は、ガラスフオトマスク保持位置決め装置を備える。
この保持位置決め装置は、Ｘ−Ｙテーブルと、このテー
ブル上に載置されるワークパレツト（プレートホルダ，
ワークホルダなどとも呼ばれる）を有し、このワークパ
レツト上にガラスフオトマスクが保持される。一般に、
Ｘ−Ｙテーブルは鉄製で、ワークパレツトはアルミニウ
ム製である。ガラスフオトマスクの着脱時、あるいはワ
ークパレツトの交換時など、ワークパレツトをＸ−Ｙテ
ーブル上で移動させる機会が多い。
従来の装置において、ワークパレツトは極論すれば単な
る板にすぎず、ガラスフオトマスクの着脱時等における
その移動は、ワークパレツトをＸ−Ｙテーブル上で摺動
することによって行なわれる。
る板にすぎず、ガラスフオトマスクの着脱時等における
その移動は、ワークパレツトをＸ−Ｙテーブル上で摺動
することによって行なわれる。
前述のような従来装置でも、ガラスフオトマスクが今ま
でのように小型で軽量ならば、特別の不都合はない。し
かしながら、最近、ガラスフオトマスクは大型化し、平
面積で６００×６００mm、重量で４ないし５kgに達する
ものが稀でない。そうなると、このようなガラスフオト
マスクが保持されたワークパレツトをＸ−Ｙテーブル上
で摺動する時の摩擦は、単に移動作業を困難にするだけ
でなく、もつと重大な問題として、かなりの量の金属屑
を発生し、その量は、ガラスフオトマスク修正作業が行
なわれるクリーンルームにとつて無視できない程度に達
する。
でのように小型で軽量ならば、特別の不都合はない。し
かしながら、最近、ガラスフオトマスクは大型化し、平
面積で６００×６００mm、重量で４ないし５kgに達する
ものが稀でない。そうなると、このようなガラスフオト
マスクが保持されたワークパレツトをＸ−Ｙテーブル上
で摺動する時の摩擦は、単に移動作業を困難にするだけ
でなく、もつと重大な問題として、かなりの量の金属屑
を発生し、その量は、ガラスフオトマスク修正作業が行
なわれるクリーンルームにとつて無視できない程度に達
する。
本発明の目的は、ワークパレツトの移動時における金属
葛の発生を防止し、併せて、その移動作業を容易にする
ことにある。
葛の発生を防止し、併せて、その移動作業を容易にする
ことにある。
本発明によれば、位置決めテーブル（前記の例における
Ｘ−Ｙテーブル）とワークパレツトの一方に、他方の対
向面に接触して自由に回転しうる車輪が設けられ、他方
には、ワークパレツトが所定位置にある時に前記車輪が
陥入してワークパレツトと位置決めテーブルの対向面の
面接触をもたらす車輪陥入溝が設けられる。
Ｘ−Ｙテーブル）とワークパレツトの一方に、他方の対
向面に接触して自由に回転しうる車輪が設けられ、他方
には、ワークパレツトが所定位置にある時に前記車輪が
陥入してワークパレツトと位置決めテーブルの対向面の
面接触をもたらす車輪陥入溝が設けられる。
ワークパレツトが定位置を離れて動かされる時には、ワ
ークパレツトは車輪によつて移動し、ワークパレツトと
位置決めテーブルの面接触は生じない。したがつて、金
属層は発生されず、また、移動作業は容易である。ワー
クパレツトが定位置に到達すると、車輪は車輪陥入溝に
陥入し、ワークパレツトは位置決めテーブルと面接触の
状態となつて安定する。
ークパレツトは車輪によつて移動し、ワークパレツトと
位置決めテーブルの面接触は生じない。したがつて、金
属層は発生されず、また、移動作業は容易である。ワー
クパレツトが定位置に到達すると、車輪は車輪陥入溝に
陥入し、ワークパレツトは位置決めテーブルと面接触の
状態となつて安定する。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図であり、第２図
はその正面図（ただし中央部を省略）である。この装置
は、大別すれば、Ｘ−Ｙテーブル１とワークパレツト２
からなる。Ｘ−Ｙテーブル１は、例えば鉄製で、その後
端にはストツパ板３が設けられ、両側部には逆Ｌ字形の
横抑えブロツク４が設けられる。横抑えブロック４は、
例えば鉄製でよい。Ｘ−Ｙテーブル１の前端には傾斜部
５が形成される。
はその正面図（ただし中央部を省略）である。この装置
は、大別すれば、Ｘ−Ｙテーブル１とワークパレツト２
からなる。Ｘ−Ｙテーブル１は、例えば鉄製で、その後
端にはストツパ板３が設けられ、両側部には逆Ｌ字形の
横抑えブロツク４が設けられる。横抑えブロック４は、
例えば鉄製でよい。Ｘ−Ｙテーブル１の前端には傾斜部
５が形成される。
ワークパレツト２は、軽いことが望まれるので、例えば
アルミニウム製であり、その上面に置かれたガラスフオ
トマスク（以下単にマスクという）を真空吸着によつて
保持するために、一群の小孔６を有する。位置決めピン
７は、マスクにあけられたガイド孔に挿通されて、マス
クのワークパレツト上における位置を規定する。ワーク
パレツト２の後端の両側部にはストツパブロツク８が固
着され、これらはそれぞれストツピン９を有し、これら
のストツパピンは、後で詳述するように、突出位置と引
込位置でそれぞれロックすることができる。ワークパレ
ツト２の前端には一対の取手１０が設けられ、それらの
下側にはゴム製の取手カバー１１が取付けられる。
アルミニウム製であり、その上面に置かれたガラスフオ
トマスク（以下単にマスクという）を真空吸着によつて
保持するために、一群の小孔６を有する。位置決めピン
７は、マスクにあけられたガイド孔に挿通されて、マス
クのワークパレツト上における位置を規定する。ワーク
パレツト２の後端の両側部にはストツパブロツク８が固
着され、これらはそれぞれストツピン９を有し、これら
のストツパピンは、後で詳述するように、突出位置と引
込位置でそれぞれロックすることができる。ワークパレ
ツト２の前端には一対の取手１０が設けられ、それらの
下側にはゴム製の取手カバー１１が取付けられる。
ワークパレツト２の両側には、自由に回転しうる車輪１
２が設けられる。図示の状態では隠れて見えないが、各
側に２個ずつ、合計４個の同一構造の車輪１２が設けら
れている。本実施例では、車輪１２として、ステンレス
製又は耐摩耗性プラスチツク（例えばデルリン）製の市
販されているベアリングを用いる。一端にストツパの付
いたピンをベアリングの中心孔に挿通して、その他端を
ワークパレツト２の側部に固着することにより、ベアリ
ングそれ自体が恰好の車輪となる。ワークパレツト２
は、これらの車輪によつて支えられて、その底面とＸ−
Ｙテーブル１の表面が接触することなしに、Ｘ−Ｙテー
ブル上を前後に容易に移動することができる。
２が設けられる。図示の状態では隠れて見えないが、各
側に２個ずつ、合計４個の同一構造の車輪１２が設けら
れている。本実施例では、車輪１２として、ステンレス
製又は耐摩耗性プラスチツク（例えばデルリン）製の市
販されているベアリングを用いる。一端にストツパの付
いたピンをベアリングの中心孔に挿通して、その他端を
ワークパレツト２の側部に固着することにより、ベアリ
ングそれ自体が恰好の車輪となる。ワークパレツト２
は、これらの車輪によつて支えられて、その底面とＸ−
Ｙテーブル１の表面が接触することなしに、Ｘ−Ｙテー
ブル上を前後に容易に移動することができる。
他方、Ｘ−Ｙテーブル１の上面には、ワークパレツト２
が所定位置に来た時にこれらの車輪１２が位置する各地
点に、これらの車輪１２の下部が充分陥入できる寸法の
車輪陥入溝１３が設けられる。したがつて、ワークパレ
ツト２が所定位置に達すると、各車輪１２はそれぞれ対
応する陥入溝１３に陥入し、ワークパレツト２は、その
底面がＸ−Ｙテーブルの上面と面接触して、安定する。
第３図は、このような定位置における車輪の陥入状態を
示す。所定位地におけるワークパレツトの後端の位置
は、ストッパ板３により規定され、左右位置は横抑えブ
ロツク４により規定される。
が所定位置に来た時にこれらの車輪１２が位置する各地
点に、これらの車輪１２の下部が充分陥入できる寸法の
車輪陥入溝１３が設けられる。したがつて、ワークパレ
ツト２が所定位置に達すると、各車輪１２はそれぞれ対
応する陥入溝１３に陥入し、ワークパレツト２は、その
底面がＸ−Ｙテーブルの上面と面接触して、安定する。
第３図は、このような定位置における車輪の陥入状態を
示す。所定位地におけるワークパレツトの後端の位置
は、ストッパ板３により規定され、左右位置は横抑えブ
ロツク４により規定される。
第２図に示されるように、左右の横抑えブロツク４に
は、ワークパレツト２の側面に接する横抑え車輪１４
（１４′）が、それぞれ２個ずつ設けられる。横抑え車
輪１４は、横向きに配置され、支持部材１５によつて上
下から回転可能に支持される。一方の横抑えブロツクに
設けられた横抑え車輪１４′の支持部材１５′は固定さ
れる。しかし、他方の横抑えブロツクに設けられた横抑
え車輪１４の支持部材１５は、破線で示されるように、
横抑えブロツク４を滑動可能に貫通しており、かつ、バ
ネ１６によつて図の右方向に押れている。したがつて、
横抑え車輪１４は、ワークパレツト２の移動中における
横方向の多少の振れ又は寸法変化を許容し、ワークパレ
ツトの通過を容易にする。本実施例では、横抑え車輪１
４，１４′も、車輪１２と同様なベアリングである。
は、ワークパレツト２の側面に接する横抑え車輪１４
（１４′）が、それぞれ２個ずつ設けられる。横抑え車
輪１４は、横向きに配置され、支持部材１５によつて上
下から回転可能に支持される。一方の横抑えブロツクに
設けられた横抑え車輪１４′の支持部材１５′は固定さ
れる。しかし、他方の横抑えブロツクに設けられた横抑
え車輪１４の支持部材１５は、破線で示されるように、
横抑えブロツク４を滑動可能に貫通しており、かつ、バ
ネ１６によつて図の右方向に押れている。したがつて、
横抑え車輪１４は、ワークパレツト２の移動中における
横方向の多少の振れ又は寸法変化を許容し、ワークパレ
ツトの通過を容易にする。本実施例では、横抑え車輪１
４，１４′も、車輪１２と同様なベアリングである。
第４図は、ストツパブロツク８、ストツパピン９及び横
抑えブロック４の一部を拡大して示す平面図である。ス
トツパピン９は、Ｌ字形をしており、ストツパブロツク
８の側面の穴に挿通されて、自由に滑動と回動ができ
る。ストツパブロツク８には、第１の空隙１７と第２の
空隙１８が設けられ、ストツパピン９は、その屈曲端部
が図示のように第１空隙１７にはめ込まれたとき突出位
置にロツクされ、屈曲端部が第２空隙１８にはめ込まれ
たとき引込位置にロツクさるる。ストツパピン９が突出
位置にある状態において、ワークパレツト２を引出す
と、ストツパピン９が横抑えブロツク４の直立部分１９
の端面に当たり、それ以上の引出しを阻止する。ストツ
パピン９が引込位置にあれば、ワークパレツト２を完全
に引出して取外すことができる。
抑えブロック４の一部を拡大して示す平面図である。ス
トツパピン９は、Ｌ字形をしており、ストツパブロツク
８の側面の穴に挿通されて、自由に滑動と回動ができ
る。ストツパブロツク８には、第１の空隙１７と第２の
空隙１８が設けられ、ストツパピン９は、その屈曲端部
が図示のように第１空隙１７にはめ込まれたとき突出位
置にロツクされ、屈曲端部が第２空隙１８にはめ込まれ
たとき引込位置にロツクさるる。ストツパピン９が突出
位置にある状態において、ワークパレツト２を引出す
と、ストツパピン９が横抑えブロツク４の直立部分１９
の端面に当たり、それ以上の引出しを阻止する。ストツ
パピン９が引込位置にあれば、ワークパレツト２を完全
に引出して取外すことができる。
ワークパレツト２を途中まで引出した状態で、それをＸ
−Ｙテーブルの傾斜面５に沿つて手前に向けて傾斜させ
ることができる。この時、横抑えブロツク４の水平部分
は、ワークパレツト２の後端付近を抑えて、ワークパレ
ツトが傾き過ぎないようにする。取手カバー１１は、取
手に手をかけてワークパレツト２を動かす時に、それと
Ｘ−Ｙテーブル１の間に指が挾まるのを防ぎ、また、万
一挾まれた場合にも、指を負傷から守る。
−Ｙテーブルの傾斜面５に沿つて手前に向けて傾斜させ
ることができる。この時、横抑えブロツク４の水平部分
は、ワークパレツト２の後端付近を抑えて、ワークパレ
ツトが傾き過ぎないようにする。取手カバー１１は、取
手に手をかけてワークパレツト２を動かす時に、それと
Ｘ−Ｙテーブル１の間に指が挾まるのを防ぎ、また、万
一挾まれた場合にも、指を負傷から守る。
変形として、Ｘ−Ｙテーブル１に車輪１２を設け、ワー
クパレツト２に車輪陥入溝１３を設けてもよい。
クパレツト２に車輪陥入溝１３を設けてもよい。
本発明によれば、ワークパレツトの移動に際して、摩擦
摺動部分がないから、金属屑を発生することがなく、し
かも、労力が著しく軽減される。
摺動部分がないから、金属屑を発生することがなく、し
かも、労力が著しく軽減される。
第１図は本発明の一実施の斜視図、第２図はその正面
図、第３図はワークパレツトが定位置にある状態を示す
図、第４図は第１図の装置の一部分の平面図である。 １……Ｘ−Ｙテーブル、２……ワークパレツト、１２…
…車輪、１３……車輪陥入溝。
図、第３図はワークパレツトが定位置にある状態を示す
図、第４図は第１図の装置の一部分の平面図である。 １……Ｘ−Ｙテーブル、２……ワークパレツト、１２…
…車輪、１３……車輪陥入溝。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 靜夫 神奈川県秦野市堀山下１番地 株式会社日 立製作所神奈川工場内 (56)参考文献 実開 昭58−838（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】位置決めテーブルと、被加工物を保持して
前記位置決めテーブル上に載置される平板状のワークパ
レツトとからなり、特徴として、前記位置決めテーブル
とワークパレツトの一方には他方の対向面に接触して自
由に回転しうる車輪が設けられ、他方には前記ワークパ
レツトが前記位置決めテーブル上の予め定められた位置
にある時に前記車輪が陥入して両者の対向面の面接触を
もたらす車輪陥入溝が設けられたワーク保持位置決め装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61241213A JPH0661671B2 (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | ワ−ク保持位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61241213A JPH0661671B2 (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | ワ−ク保持位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6395453A JPS6395453A (ja) | 1988-04-26 |
| JPH0661671B2 true JPH0661671B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=17070880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61241213A Expired - Lifetime JPH0661671B2 (ja) | 1986-10-13 | 1986-10-13 | ワ−ク保持位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0661671B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58838U (ja) * | 1981-06-22 | 1983-01-06 | 日立精工株式会社 | トランスフア−マシンにおけるパレツトの予備的位置決め装置 |
-
1986
- 1986-10-13 JP JP61241213A patent/JPH0661671B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6395453A (ja) | 1988-04-26 |
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