JPH066444Y2 - 試料ステージ - Google Patents
試料ステージInfo
- Publication number
- JPH066444Y2 JPH066444Y2 JP13954187U JP13954187U JPH066444Y2 JP H066444 Y2 JPH066444 Y2 JP H066444Y2 JP 13954187 U JP13954187 U JP 13954187U JP 13954187 U JP13954187 U JP 13954187U JP H066444 Y2 JPH066444 Y2 JP H066444Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- case
- vacuum chamber
- moving
- moving mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本考案は、例えば、ＥＳＣＡやＳＩＭＳのような表面分
析装置などに好適な試料ステージに関する。
析装置などに好適な試料ステージに関する。
（ロ）従来技術とその問題点 一般にこの種の表面分析装置では、真空チャンバ（分析
室）の内部が１０−８torr〜１０−１１torr程度の超高
真空に保持させ、この中で試料ステージにより試料を移
動させて分析を行っている。
室）の内部が１０−８torr〜１０−１１torr程度の超高
真空に保持させ、この中で試料ステージにより試料を移
動させて分析を行っている。
従来、このような超高真空用の試料ステージとして、例
えば、第２図に示されるマニピュレータ方式のものがあ
る。この第２図において、２０は高真空に保持される真
空チャンバ、２１は取り付けフランジ、２２は気密保持
用のベローズ、２３は銅ガスケット、２４は試料、２５
は試料ブロック、２６は前記試料２４を軸２７を介して
移動させるための移動機構であり、図の左右方向に移動
させるための第１，第２可動部２８，２９と、前後方向
に移動させるための第３，第４可動部３０，３１と、上
下方向に移動させるための第５，第６可動部３２，３３
とから構成されている。
えば、第２図に示されるマニピュレータ方式のものがあ
る。この第２図において、２０は高真空に保持される真
空チャンバ、２１は取り付けフランジ、２２は気密保持
用のベローズ、２３は銅ガスケット、２４は試料、２５
は試料ブロック、２６は前記試料２４を軸２７を介して
移動させるための移動機構であり、図の左右方向に移動
させるための第１，第２可動部２８，２９と、前後方向
に移動させるための第３，第４可動部３０，３１と、上
下方向に移動させるための第５，第６可動部３２，３３
とから構成されている。
このような従来の試料ステージでは、ベローズ２２およ
び移動機構２６は、真空チャンバ２０の外側に配置され
ており、軸２７を介して試料２４を移動させているため
に、軸２７が長く、また、一端で支持されているため
に、外側の振動の影響を受けて試料２４が振動し易いと
いう難点がある。
び移動機構２６は、真空チャンバ２０の外側に配置され
ており、軸２７を介して試料２４を移動させているため
に、軸２７が長く、また、一端で支持されているため
に、外側の振動の影響を受けて試料２４が振動し易いと
いう難点がある。
本考案は、上述の点に鑑みて為されたものであって、振
動が少ない高精度の試料ステージを提供することを目的
とする。
動が少ない高精度の試料ステージを提供することを目的
とする。
（ハ）問題点を解決するための手段 本考案の試料ステージでは、上述の目的を達成するため
に、真空チャンバ内に配置された開口部を有するケース
内に、試料載置用の部材を支持移動させる移動機構が収
納配置され、前記ケースの開口部には、気密保持用の伸
縮自在の継ぎ手の一方の端部が気密に取り付けられ、こ
の継ぎ手の他方の端部には、前記試料載置用の部材が、
前記真空チャンバ内におけるケースの内側と外側とを隔
離するように気密に取り付けられている。
に、真空チャンバ内に配置された開口部を有するケース
内に、試料載置用の部材を支持移動させる移動機構が収
納配置され、前記ケースの開口部には、気密保持用の伸
縮自在の継ぎ手の一方の端部が気密に取り付けられ、こ
の継ぎ手の他方の端部には、前記試料載置用の部材が、
前記真空チャンバ内におけるケースの内側と外側とを隔
離するように気密に取り付けられている。
（ニ）作用 上記構成によれば、真空チャンバ内に配置されたケース
内に、移動機構を収納配置し、この移動機構により伸縮
自在の継ぎ手を介して試料載置用の部材を支持移動させ
る構成としているので、前記移動機構を、試料載置用の
部材に近接配置でき、試料載置用の部材を安定に支持あ
るいは移動させることができる。
内に、移動機構を収納配置し、この移動機構により伸縮
自在の継ぎ手を介して試料載置用の部材を支持移動させ
る構成としているので、前記移動機構を、試料載置用の
部材に近接配置でき、試料載置用の部材を安定に支持あ
るいは移動させることができる。
（ホ）実施例 以下、図面によって本考案の実施例について詳細に説明
する。第１図は本考案の一実施例の試料ステージの断面
図である。同図において、１は高真空に保持される真空
チャンバであり、この真空チャンバ１内の適宜位置、例
えば、中央位置には、上壁が開口部Ａとなっているケー
ス２が、真空チャンバ１の内壁から突設された支持部３
によって支持されている。このケース２内には、試料載
置用の部材である試料プレート４を、支持移動させる移
動機構５が収納配置されている。
する。第１図は本考案の一実施例の試料ステージの断面
図である。同図において、１は高真空に保持される真空
チャンバであり、この真空チャンバ１内の適宜位置、例
えば、中央位置には、上壁が開口部Ａとなっているケー
ス２が、真空チャンバ１の内壁から突設された支持部３
によって支持されている。このケース２内には、試料載
置用の部材である試料プレート４を、支持移動させる移
動機構５が収納配置されている。
このケース２の前記開口部Ａには、気密保持用の伸縮自
在の継ぎ手であるベローズ６の一方の端部が取り付け部
７を介して取り付けられる。この取り付け部７とケース
２の端部との間には、気密性保持のための銅ガスケット
８が介装される。
在の継ぎ手であるベローズ６の一方の端部が取り付け部
７を介して取り付けられる。この取り付け部７とケース
２の端部との間には、気密性保持のための銅ガスケット
８が介装される。
このベローズ６の他方の端部は、取り付け部９を介して
試料プレート４に気密に取り付けられる。この試料プレ
ート４には、試料１０および試料ブロック１１が載置さ
れる。この試料プレート４とベローズ６の取り付け部９
との間には、気密性保持のための銅ガスケット１２が介
装される。
試料プレート４に気密に取り付けられる。この試料プレ
ート４には、試料１０および試料ブロック１１が載置さ
れる。この試料プレート４とベローズ６の取り付け部９
との間には、気密性保持のための銅ガスケット１２が介
装される。
このようにしてケース２、ベローズ６および試料プレー
ト４により真空チャンバ１内におけるケース２の内側と
外側とが気密に隔離される。
ト４により真空チャンバ１内におけるケース２の内側と
外側とが気密に隔離される。
ケース２内に収納されている移動機構５は、試料プレー
ト４を支持し、このプレート４を図の左右方向（Ｘ軸方
向）、前後方向（Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方
向）の３軸方向に移動させる。
ト４を支持し、このプレート４を図の左右方向（Ｘ軸方
向）、前後方向（Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方
向）の３軸方向に移動させる。
この移動機構５は、上下方向（Ｚ軸方向）に移動させる
ための第１，第２可動部１３，１４と、前後方向（Ｙ軸
方向）に移動させるための第３，第４可動部１５，１６
と、左右方向（Ｘ軸方向）に移動させるための第５，第
６可動部１７，１８とから構成されている。
ための第１，第２可動部１３，１４と、前後方向（Ｙ軸
方向）に移動させるための第３，第４可動部１５，１６
と、左右方向（Ｘ軸方向）に移動させるための第５，第
６可動部１７，１８とから構成されている。
すなわち、第５可動部１７が第６可動部１８に沿って左
右方向に移動することにより、第５可動部１７上の各部
が左右方向に移動し、また、第３可動部１５が第４可動
部１６に沿って前後方向に移動することにより、第３可
動部１５上の各部が前後方向に移動し、さらに、第１可
動部１３が第２可動部１４に沿って上下方向に移動する
ことにより、第１可動部１３と一体的な試料プレート４
が上下方向に移動する。したがって、試料プレート４上
の試料１１は、移動機構５により左右方向、前後方向お
よび上下方向に移動する。
右方向に移動することにより、第５可動部１７上の各部
が左右方向に移動し、また、第３可動部１５が第４可動
部１６に沿って前後方向に移動することにより、第３可
動部１５上の各部が前後方向に移動し、さらに、第１可
動部１３が第２可動部１４に沿って上下方向に移動する
ことにより、第１可動部１３と一体的な試料プレート４
が上下方向に移動する。したがって、試料プレート４上
の試料１１は、移動機構５により左右方向、前後方向お
よび上下方向に移動する。
この移動機構５は、例えば、ラックとピニオンとを利用
して構成されており、図示しない駆動手段によって駆動
される。この駆動制御のために、ケース２には、真空チ
ャンバ１の外部に連通する管路１９が形成されており、
この管路１９を通るリード線を介して駆動制御が行われ
る。
して構成されており、図示しない駆動手段によって駆動
される。この駆動制御のために、ケース２には、真空チ
ャンバ１の外部に連通する管路１９が形成されており、
この管路１９を通るリード線を介して駆動制御が行われ
る。
このように真空チャンバ１内にケース２を配置し、この
ケース２内に移動機構５を収納配置しているので、試料
プレート４とこの移動機構５とを近接して配置させるこ
とができ、第２図の従来例に比べて振動に対して安定と
なり、また、移動機構５は真空チャンバ１とは隔離され
たケース２内にあるために真空チャンバ１内へのガスの
放出が少なくなり、高精度の試料ステージとなる。さら
に、ケース２を適宜位置に配置することにより試料プレ
ート４の移動距離を短くでき、したがって、ベローズ６
の長さも短くて済むことになる。
ケース２内に移動機構５を収納配置しているので、試料
プレート４とこの移動機構５とを近接して配置させるこ
とができ、第２図の従来例に比べて振動に対して安定と
なり、また、移動機構５は真空チャンバ１とは隔離され
たケース２内にあるために真空チャンバ１内へのガスの
放出が少なくなり、高精度の試料ステージとなる。さら
に、ケース２を適宜位置に配置することにより試料プレ
ート４の移動距離を短くでき、したがって、ベローズ６
の長さも短くて済むことになる。
上述の実施例では、Ｘ，Ｙ，Ｚの３軸方向の移動機構５
であったけれども、さらに、試料プレート４を傾斜させ
る機構を付加してもよい。
であったけれども、さらに、試料プレート４を傾斜させ
る機構を付加してもよい。
（ヘ）効果 以上のように本考案によれば、真空チャンバ内に配置さ
れた開口部を有するケース内に、試料載置用の部材を支
持移動させる移動機構が収納配置され、前記ケースの開
口部には、気密保持用の伸縮自在の継ぎ手の一方の端部
が気密に取り付けられ、この継ぎ手の他方の端部には、
前記試料載置用の部材が、前記真空チャンバ内における
ケースの内側と外側とを隔離するように気密に取り付け
られているので、前記移動機構を試料載置用の部材に近
接配置させることができ、試料載置用の部材が移動機構
によって安定に支持あるいは移動されることになり、振
動に対して安定な高精度の試料ステージとなる。
れた開口部を有するケース内に、試料載置用の部材を支
持移動させる移動機構が収納配置され、前記ケースの開
口部には、気密保持用の伸縮自在の継ぎ手の一方の端部
が気密に取り付けられ、この継ぎ手の他方の端部には、
前記試料載置用の部材が、前記真空チャンバ内における
ケースの内側と外側とを隔離するように気密に取り付け
られているので、前記移動機構を試料載置用の部材に近
接配置させることができ、試料載置用の部材が移動機構
によって安定に支持あるいは移動されることになり、振
動に対して安定な高精度の試料ステージとなる。
第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は従来例の
断面図である。 １…真空チャンバ、４…試料プレート、６…ベローズ、
５…移動機構。
断面図である。 １…真空チャンバ、４…試料プレート、６…ベローズ、
５…移動機構。
Claims (1)
- 【請求項１】真空チャンバ内に配置された開口部を有す
るケース内に、試料載置用の部材を支持移動させる移動
機構が収納配置され、前記ケースの開口部には、気密保
持用の伸縮自在の継ぎ手の一方の端部が気密に取り付け
られ、この継ぎ手の他方の端部には、前記試料載置用の
部材が、前記真空チャンバ内におけるケースの内側と外
側とを隔離するように気密に取り付けられることを特徴
とする試料ステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13954187U JPH066444Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 試料ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13954187U JPH066444Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 試料ステージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6444556U JPS6444556U (ja) | 1989-03-16 |
| JPH066444Y2 true JPH066444Y2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=31402894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13954187U Expired - Lifetime JPH066444Y2 (ja) | 1987-09-11 | 1987-09-11 | 試料ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066444Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-09-11 JP JP13954187U patent/JPH066444Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6444556U (ja) | 1989-03-16 |
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