JPH066523Y2 - 横方向放電励起パルスガスレ−ザ - Google Patents
横方向放電励起パルスガスレ−ザInfo
- Publication number
- JPH066523Y2 JPH066523Y2 JP3466987U JP3466987U JPH066523Y2 JP H066523 Y2 JPH066523 Y2 JP H066523Y2 JP 3466987 U JP3466987 U JP 3466987U JP 3466987 U JP3466987 U JP 3466987U JP H066523 Y2 JPH066523 Y2 JP H066523Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side electrode
- voltage side
- ground
- gas laser
- main discharge
- Prior art date
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、エキシマレーザやＴＥＡＣＯ２レーザなどの
ように、予備電離を必要とし、接地側電極と高圧電極と
の対（以下、主放電電極対）を用いた、光軸と垂直方向
の放電（以下、主放電）でレーザの励起を行なう、いわ
ゆる横方向放電励起パルスガスレーザ（以下、パルスガ
スレーザという）に関する。
ように、予備電離を必要とし、接地側電極と高圧電極と
の対（以下、主放電電極対）を用いた、光軸と垂直方向
の放電（以下、主放電）でレーザの励起を行なう、いわ
ゆる横方向放電励起パルスガスレーザ（以下、パルスガ
スレーザという）に関する。
第３図に従来のパルスガスレーザの一例の斜視図を示
す。
す。
第３図に示すように、接地側電極１１につながれた複数
個の接地側電極体８とそれぞれピーキングコンデンサ１
３を介して高圧側電極１２につながれた複数個の高圧側
電極体９とが対をなして、接地側電極１１と高圧側電極
１２との主放電電極対に沿って、主放電電極対の長手方
向である光軸の方向に設けられ、対になった接地側電極
体８と高圧側電極体９との間で紫外線予備電離のための
アーク放電を得ている。また、接地リード体１０を用い
て接地側電極１１を接地している。
個の接地側電極体８とそれぞれピーキングコンデンサ１
３を介して高圧側電極１２につながれた複数個の高圧側
電極体９とが対をなして、接地側電極１１と高圧側電極
１２との主放電電極対に沿って、主放電電極対の長手方
向である光軸の方向に設けられ、対になった接地側電極
体８と高圧側電極体９との間で紫外線予備電離のための
アーク放電を得ている。また、接地リード体１０を用い
て接地側電極１１を接地している。
このような、従来のパルスガスレーザに関しては、文献
「応用物理学会誌54〔12〕（1985年）技術ノート“高繰
り返し高出力エキシマレーザ”」に示されている。
「応用物理学会誌54〔12〕（1985年）技術ノート“高繰
り返し高出力エキシマレーザ”」に示されている。
ところで、第３図に示すような従来のパルスガスレーザ
においては、安定で高効率なレーザ出力を得ようとする
場合、対になった接地側電極体８と高圧側電極体９の数
を多くし、紫外線予備電離のためのアーク放電の数を多
くする必要がある。
においては、安定で高効率なレーザ出力を得ようとする
場合、対になった接地側電極体８と高圧側電極体９の数
を多くし、紫外線予備電離のためのアーク放電の数を多
くする必要がある。
本考案の目的は、接地リード体と高圧側電極体とで紫外
線予備電離のためのアーク放電を得るようにして、接地
側電極体を不要にすることにあり、かつ、一つの高圧側
電極体で二つのアーク放電を得、所望する数のアーク放
電を、従来のパルスガスレーザにおいて必要であった高
圧側電極体の半分の数で得ることにある。
線予備電離のためのアーク放電を得るようにして、接地
側電極体を不要にすることにあり、かつ、一つの高圧側
電極体で二つのアーク放電を得、所望する数のアーク放
電を、従来のパルスガスレーザにおいて必要であった高
圧側電極体の半分の数で得ることにある。
本願のパルスガスレーザは、予備電離を必要とし、それ
ぞれ光軸と平行な接地側電極と高圧側電極とを有する一
対の主放電電極対の前記光軸と垂直方向の主放電でレー
ザ励起を行なう横方向放電励起パルスガスレーザにおい
て、前記主放電電極対に沿つて前記光軸の方向に複数個
設置したそれぞれ棒状あるいは板状の接地リード体を用
いて前記接地側電極を接地し、隣接する前記接地リード
体の中間にピーキングコンデンサを介して前記高圧側電
極につながれている高圧側電極体を設置し、隣接する二
つの前記接地リード体とこの二つの前記接地リード体が
挾む前記高圧側電極体との間で紫外線予備電離のための
アーク放電を二つ起こすように構成される。
ぞれ光軸と平行な接地側電極と高圧側電極とを有する一
対の主放電電極対の前記光軸と垂直方向の主放電でレー
ザ励起を行なう横方向放電励起パルスガスレーザにおい
て、前記主放電電極対に沿つて前記光軸の方向に複数個
設置したそれぞれ棒状あるいは板状の接地リード体を用
いて前記接地側電極を接地し、隣接する前記接地リード
体の中間にピーキングコンデンサを介して前記高圧側電
極につながれている高圧側電極体を設置し、隣接する二
つの前記接地リード体とこの二つの前記接地リード体が
挾む前記高圧側電極体との間で紫外線予備電離のための
アーク放電を二つ起こすように構成される。
高圧側電極体は隣接する二つの接地リード体の真ん中に
挾まれているので、その高圧側電極体と隣接する二つの
接地リード体との間で紫外線予備電離のためのアーク放
電が二つ起こる。従って、接地側電極体が不要で、か
つ、一つの高圧側電極体で二つのアーク放電が得られ、
所望する数のアーク放電が、従来のパルスガスレーザに
おいて必要であった高圧側電極体の半分の数で得られ
る。
挾まれているので、その高圧側電極体と隣接する二つの
接地リード体との間で紫外線予備電離のためのアーク放
電が二つ起こる。従って、接地側電極体が不要で、か
つ、一つの高圧側電極体で二つのアーク放電が得られ、
所望する数のアーク放電が、従来のパルスガスレーザに
おいて必要であった高圧側電極体の半分の数で得られ
る。
次に、図面を用いて実施例について説明する。
第１図，第２図は、本考案のパルスガスレーザの第１の
実施例および第２の実施例の斜視図であり、それぞれ本
考案に関わる部分を示す。
実施例および第２の実施例の斜視図であり、それぞれ本
考案に関わる部分を示す。
第１図に示す実施例は、接地側電極３と高圧側電極４と
がなす主放電電極対における主放電でレーザ励起を行な
っており、接地リード体１として、主放電電極対に沿っ
て、主放電電極対の長手方向である光軸の方向に複数個
設置された棒状の金属を用い、一端がピーキングコンデ
ンサ５につながり他端が二つに分岐したＴ字形の棒状金
属の高圧側電極体２を隣接する二つの接地リード体１の
中間に設置している。
がなす主放電電極対における主放電でレーザ励起を行な
っており、接地リード体１として、主放電電極対に沿っ
て、主放電電極対の長手方向である光軸の方向に複数個
設置された棒状の金属を用い、一端がピーキングコンデ
ンサ５につながり他端が二つに分岐したＴ字形の棒状金
属の高圧側電極体２を隣接する二つの接地リード体１の
中間に設置している。
この実施例において、高圧側電極４と接地リード体１と
の間に高圧パルス電圧を印加すると、隣接する接地リー
ド体１の中間にある高圧側電極体２の二つに分岐したＴ
字形部分の各先端部と両側の接地リード体１との間でア
ーク放電が生じる。
の間に高圧パルス電圧を印加すると、隣接する接地リー
ド体１の中間にある高圧側電極体２の二つに分岐したＴ
字形部分の各先端部と両側の接地リード体１との間でア
ーク放電が生じる。
このように、本考案では、一つの高圧側電極体２で紫外
線予備電離のためのアーク放電が二つ得られるため、安
定で高効率なレーザ出力を得るために必要な高圧側電極
体２の数を少くすることができる。また、アーク放電を
得るための接地側電極体は不要になる。
線予備電離のためのアーク放電が二つ得られるため、安
定で高効率なレーザ出力を得るために必要な高圧側電極
体２の数を少くすることができる。また、アーク放電を
得るための接地側電極体は不要になる。
次に、第２図に示す実施例は、高圧側電極体として、第
１図に示す実施例における高圧側電極体２のかわりに、
一端がピーキングコンデンサ５につながっている棒状金
属の高圧側電極体７を用い、接地リード体１のかわり
に、高圧側電極体７に向って金属棒が垂直に立てられた
板状金属の接地リード体６を用いている。
１図に示す実施例における高圧側電極体２のかわりに、
一端がピーキングコンデンサ５につながっている棒状金
属の高圧側電極体７を用い、接地リード体１のかわり
に、高圧側電極体７に向って金属棒が垂直に立てられた
板状金属の接地リード体６を用いている。
この実施例において、高圧側電極４と接地リード体６と
の間に高圧パルス電圧を印加すると、隣接する接地リー
ド体６の中間に設置した高圧側電極体７と両側から高圧
側電極体７に向けられた、接地リード体６である板状金
属に垂直に立てられた、各金属棒との間でアーク放電が
生じる。
の間に高圧パルス電圧を印加すると、隣接する接地リー
ド体６の中間に設置した高圧側電極体７と両側から高圧
側電極体７に向けられた、接地リード体６である板状金
属に垂直に立てられた、各金属棒との間でアーク放電が
生じる。
この実施例においても、第１の実施例と同様の効果が得
られる。
られる。
第１の実施例において接地リード体として棒状の金属を
用いたが、板状の金属体でも良く、第２の実施例におい
て高圧側電極体として金属棒を用いているが板状の金属
でも良い。さらに、第１および第２の実施例では主放電
電極対の片側だけに沿って接地リード体および高圧側電
極体を設置したが両側に沿って設置しても良い。
用いたが、板状の金属体でも良く、第２の実施例におい
て高圧側電極体として金属棒を用いているが板状の金属
でも良い。さらに、第１および第２の実施例では主放電
電極対の片側だけに沿って接地リード体および高圧側電
極体を設置したが両側に沿って設置しても良い。
本考案による構成を持つパルスガスレーザは、従来のパ
ルスガスレーザに比べ、高圧側電極体の数を半分に減ら
しても安定で高効率なレーザ出力を得ることができ、ま
た接地側電極体が不要になるので装置が簡略化できると
いう効果がある。
ルスガスレーザに比べ、高圧側電極体の数を半分に減ら
しても安定で高効率なレーザ出力を得ることができ、ま
た接地側電極体が不要になるので装置が簡略化できると
いう効果がある。
第１図および第２図は本考案の第１および第２の実施例
であるパルスガスレーザの本考案に関わる部分の斜視
図、第３図は従来のパルスガスレーザの斜視図である。 １，６……接地リード体、２，７……高圧側電極体、３
……接地側電極、４……高圧側電極、５……ピーキング
コンデンサ。
であるパルスガスレーザの本考案に関わる部分の斜視
図、第３図は従来のパルスガスレーザの斜視図である。 １，６……接地リード体、２，７……高圧側電極体、３
……接地側電極、４……高圧側電極、５……ピーキング
コンデンサ。
Claims (1)
- 【請求項１】予備電離を必要とし、それぞれ光軸と平行
な接地側電極と高圧側電極とを有する一対の主放電電極
対の前記光軸と垂直方向の主放電でレーザ励起を行なう
横方向放電励起パルスガスレーザにおいて、前記主放電
電極対に沿つて前記光軸の方向に複数個設置したそれぞ
れ棒状あるいは板状の接地リード体を用いて前記接地側
電極を接地し、隣接する前記接地リード体の中間にピー
キングコンデンサを介して前記高圧側電極につながれて
いる高圧側電極体を設置し、隣接する二つの前記接地リ
ード体とこの二つの前記接地リード体が挾む前記高圧側
電極体との間で紫外線予備電離のためのアーク放電を二
つ起こすことを特徴とした横方向放電励起パルスガスレ
ーザ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3466987U JPH066523Y2 (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 横方向放電励起パルスガスレ−ザ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3466987U JPH066523Y2 (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 横方向放電励起パルスガスレ−ザ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63142864U JPS63142864U (ja) | 1988-09-20 |
| JPH066523Y2 true JPH066523Y2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=30843444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3466987U Expired - Lifetime JPH066523Y2 (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 横方向放電励起パルスガスレ−ザ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066523Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-03-09 JP JP3466987U patent/JPH066523Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63142864U (ja) | 1988-09-20 |
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