JPH067882Y2 - 硬脆材の外周面研削装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 技術分野 本考案は、例えばＩＣチップに用いられるウエハ、ある
いはこのウエハに回路パターンを印刷するためのフォト
マスク等の硬脆材の外周面を倣い研削する装置に関する
ものである。

従来技術 このウエハはシリコンから成り、またフオットマスクは
石英ガラスから成る。したがって、ウエハおよびフォト
マスクは、材料自体が高価なものであるため、外周面加
工および面取り加工等をできるだけ少なくして材料歩留
りを向上させることが望ましい。ところが従来の外周面
研削装置においては、ワークをストッカー部から研削部
へ移送するワーク供給機構が、ワークを単に後方から押
すだけのものであったため、ワークを正確に研削部へ供
給することができず、このため、ワークの中心がずれて
この分だけ外周面を多く削り取らなければならなかっ
た。このようにワークの削り代を多くとることは、研削
時間を長くすることになり、また砥石の磨耗を多くして
この砥石の寿命に一定の限界を与えることとなる。

また、ウエハ等の硬脆材は、外周面の加工工程におい
て、外周面加工後の形状を有するモデルに対して同軸的
に配置され、外周面形状がこのモデルと同じになるよう
に研削する。従来の外周面研削装置では、例えば特開昭
５２−１２７６９２号公報に記載されているように、モ
デルの回転角度位置はリミットスイッチによって制御さ
れている。ところが、リミットスイッチによる位置決め
制御は、モデルを回転させる機構の慣性等のため誤差が
あり、したがってウエハ等の高価な材料を研削するに
は、充分に高精度であるとは言えない。

考案の目的 本考案は以上の点に鑑み、モデルの位置決めが容易かつ
正確に行われ、また研削されるワークが常にモデルと同
軸的であってかつ同じ角度方向を向くように供給される
外周面研削装置を提供することを目的としてなされたも
のである。

考案の構成 本考案に係る外周面研削装置は、次の（イ）〜（ト）の
構成要件を備えることを特徴としている。

すなわち、 （イ）加工前のワークを保持するストッカー部と、この
ストッカー部から延びる案内レールとを有する固定枠、 （ロ）この固定枠に設けられ、ワークの研削後の外周形
状を有するモデルとワークとを同軸的かつ一体的に支持
するワーク支持機構、 （ハ）このワーク支持機構を上記モデルの軸心周りに回
転させる回転駆動機構、 （ニ）上記ワーク支持機構に一体的に連結された固定円
板の外周面に形成された係合部と、上記ワーク支持機構
の停止時に該係合部に係合してこの支持機構の回転角度
位置を調整する係止ピンと、上記回転駆動機構のワーク
支持機構への回転駆動力の伝達および遮断を行ない、上
記係止ピンが係合部に係合する時該回転駆動力を遮断す
るクラッチとを有するストッパ機構、 （ホ）上記固定枠に往復動自在に設けられたハウジング
と該ハウジングに軸心周りに回転自在に支持されて上記
モデルの外周面に係合可能なスタイラスと、このスタイ
ラスと同じ外形を有し、上記ハウジングに該スタイラス
と同軸的に回転自在に支持されて上記ワークの外周面を
研削する砥石と、この砥石を回転させる駆動モータとを
具備する倣い機構、 （ヘ）上記案内レールに沿って往復動自在に支持され、
該案内レールの直交方向に相互に同量だけ拡縮動して上
記ワークの外周面を把持可能な一つの爪を有し、これら
の爪が該ワークを上記ストッカー部において位置決めし
て受取り、上記ワーク支持機構へ供給するワーク供給機
構、 （ト）研削されたワークを上記ワーク支持機構から取出
すワーク排出機構。

実施例 以下図示実施例により本考案を説明する。

第１図(a)、(b)はワークの形状の例を示し、硬脆材から
成るウエハおよびフォトマスクは、これらの図に示すよ
うな角形あるいは一部が切欠かれた丸形を有する。これ
らのワークは、最初、想像線Ｉで示すように若干大きく
成形されており、次に述べる外周面研削装置により外周
面を研削および面取りされ、実線Ｒで示す形状に成形さ
れる。本実施例の外周面研削装置は、想像線Ｉと実線Ｒ
の間の部分に相当する削り代を従来装置によるものより
も格段と少なくすることができるものである。

第２図および第３図は本実施例装置の全体を示す。これ
らの図において、固定枠100のほぼ中央にはワーク支持
機構200と回転駆動機構300とストッパ機構400が配設さ
れ、その右側には倣い機構500、また左側にはワーク供
給機構600、前側にはワーク排出機構700がそれぞれ設け
られる。ワーク供給機構600のストッカー601に積層して
収容された平板状のワークＷは、そのうち１枚が取出さ
れてワーク支持機構200へ移送され、倣い機構500の砥石
501に研削された後、ワーク排出機構700により取出され
て固定枠100の前面に固定された水槽701の中へ排出され
る。

ワーク支持機構200は、第３図に示されるように固定枠1
00の中に設けられた下軸部201と、固定枠100の上方に設
けられた上軸部202とから成り、下軸部201の上端部に設
けられたチャック203と上軸部202の下端部に設けられた
上板204とによりワークＷを挟持する。

下軸部201の下端にはシリンダ装置205が位置し、このシ
リンダ装置205に上下動自在に支持されて上方へ延びる
ロッド206には、継手207を介して回転軸208が連結され
る。回転軸208は固定枠100に固着されたスリーブ209に
支持され、継手207の上方部材210に対して鉛直軸周りに
回転自在であり、かつロッド206と共に昇降する。また
回転軸208の上端はスリーブ209から上方へ突出し、その
突出端にチャック203が固定される。チャック203の上面
には図示しない多数の孔が穿設され、これらの孔には固
定枠100の中に設けられた図示しない真空源から負圧を
供給可能であり、この負圧は継手207の上方部材210と回
転軸208を介して供給される。この負圧は、ワーク供給
機構600により移送されてきたワークＷを吸着して位置
がずれないようにするための作用を果たす。

ワーク支持機構200の上軸部202は、第４図(a)に示され
るように、ケーシング１０により軸心周りに回転自在に
支持される。ケーシング１０に軸受211，213を介して軸
支された回転軸212は、下部がケーシング１０から突出
し、その突出部にはモデルＭと上板204が固定される。
モデルＭの外周形状はワークの研削後の形状を有し、一
方、ワークＷは、後述するようにワーク供給機構600に
より、このモデルＭの真下にこれと同じ角度を向くよう
に供給される。

しかしてワーク支持機構200のチャック203の上面にワー
クＷが送られてくると、チャック203の上面に負圧が惹
起されてワークＷがこの面上に吸着され、次いでシリン
ダ装置205の作用によりワークＷは上軸部202の上板204
に当接するまで上昇する。ここでチャック203の負圧は
解除され、ワークＷはチャック203と上板204により挟持
されることとなり、モデルＭと同じ角度位置であって同
軸的に支持される。これらのモデルＭとワークＷは、次
に述べる回転駆動機構300により同軸的かつ一体的に回
転駆動され、その回転の間にワークＷが研削される。

回転駆動機構300は、回転軸212の上方部分に軸受301を
介して嵌合されたギア302と図示しない駆動モータとを
具備し、クラッチ401を介して、回転軸212、すなわちモ
デルＭとワークＷとを回転駆動する。

ストッパ機構400は、回転軸212の初期停止位置を定める
ためのものである。このため、ストッパ機構400は、回
転軸212の軸受211よりも上側に固着された固定円板402
と、この固定円板402の外周面に形成された切欠403に係
合する係止ピン404とを備える。係止ピン404は、ケーシ
ング１０の出張部１１に固定されたシリンダ装置405の
ピストンロッド406の先端に取付けられ、固定円板402の
外周面に対して接離可能である。切欠403は固定円板402
の外周面の１カ所に形成された錐形の溝であり、一方係
止ピン404の先端はこの切欠403の形状に対応した錐形を
呈する（第４図(b)参照）。これにより、仮に、回転軸2
12が停止した時切欠403と係止ピン404の位置が多少ずれ
ていても、係止ピン404が前進して切欠403に係合するこ
とによりそのずれが修正される。すなわち、回転軸212
は、これと同軸的に設けられたエンコーダにより検出さ
れる回転位置の信号に応じて、ほぼ所定の位置において
停止するようになっているが、この停止位置がずれたと
しても、そのずれは係止ピン404によって修正される。
なおシリンダ装置405の駆動は、回転軸212の上部に固定
されたカムドグ412と近接スイッチ413の作用により行な
われる。

この係止ピン404による回転軸212の位置ずれの修正作用
を容易ならしめるため、ストッパ機構400はクラッチ401
を有し、これにより回転軸212とギア302との連結を遮断
できるようにしている。クラッチ401の固定クラッチ板4
07はギア302に一体的に固定され、また可動クラッチ408
はキー409を介して回転軸212に、軸心方向に進退動自在
に嵌合される。可動クラッチ板408は上昇位置で固定ク
ラッチ板407に結合し、下降位置で固定クラッチ板407か
ら開放され、昇降動作はソレノイド410によりなされ
る。ソレノイド410はケーシング１０の内壁に取付けら
れる。可動クラッチ板408の下面に形成された環状溝411
の中に嵌入しており、通電されたとき、可動クラッチ板
408を上方へ付勢し、クラッチ401を連結状態にする。

しかして、ワークＷの研削が終了して次のワークが供給
される間、クラッチ401は、ソレノイド410の電力供給を
停止することにより回転駆動機構300と回転軸212とを遮
断し、これにより回転軸212を係止ピン404によって回転
しやすい状態にする。この状態で係止ピン404が前進し
て切欠403に係合すると、回転軸212は容易に回転し、モ
デルＭの位置決めが正確に行なわれる。

倣い機構500は基本的に従来公知の構成を有する。すな
わち、第２図および第３図に示されるように、ハウジン
グ502は固定枠100の上面に取付けられた案内レール503
に沿って往復動自在であり、ワークＷに近接する作業位
置とワークＷから離れた後退位置との間における早送り
は、シリンダ装置504によってなされ、作業位置におけ
る往復動は後述するようにエアーバランス505とスタイ
ラス506の作用により行なわれる。スタイラス506はハウ
ジング502の支持軸507（第５図参照）に回転自在に嵌合
され、その直下に同軸的に設けられる砥石501と同じ外
形を有する。砥石501は駆動モータ521により高速で回転
駆動され、一方スタイラス506は、砥石501とは異なりモ
デルＭから受ける摩擦力により回転する。スタイラス50
6と砥石501は上下方向に関しては一体的に連結されてお
り、これらは昇降モータ508により昇降駆動される。

第５図に詳示するように、スタイラス506は円板状を呈
し、その外周面がモデルＭの外周面に係合可能であり、
また砥石501は、その外周面がワークＷの外周面に慴接
してこれを研削するとともにワークＷの面取りを行なう
よう、上下に斜面部509，510を有し、またその間に円柱
部511を有する。

次にワークＷの研削作用を説明する。

新しいワークＷがワーク支持機構200に供給されると、
シリンダ装置504が作動してハウジング502を比較的高速
で前進させる。ハウジング502が前進端すなわち作業位
置へ送られると、ハウジング502、これに形成された長
穴（図示せず）とシリンダ装置504のピストンロッド512
のピン（図示せず）との係合により連結されることとな
り、ピストンロッド512が停止していてもピンが長穴の
中で移動できる範囲内でハウジング502は進退動可能と
なる。つまり、一端にエアーバランス505が連結された
ワイヤ513がハウジング502のボルト514に結付けられる
とともに、このワイヤ513の途中が固定枠100のローラ51
5に引掛けられており、ハウジング502はエアーバランス
505により常時図の左方へ付勢され、スタイラス506がモ
デルＭに押圧されて右方へ動く。したがって、モデルＭ
の回転に伴ない、このモデルＭに係合するスタイラス50
6の作用により、ハウジング502が往復動し、これにより
砥石501も往復動してワークＷをモデルＭと同じ外形に
研削する。

第６図(a)、(b)、(c)はワークＷの研削の行程を示すも
のである。砥石501は、第６図(a)に示されるように、ま
ずワークＷの外周面を荒研削する。すなわちワークＷが
モデルＭとともにゆっくり回転する間に、砥石501は高
速回転しつつゆっくり上昇し、この間に荒研削を行な
う。砥石501の下方の斜面部510がワークＷの下方周縁部
に係合すると、砥石501の上昇動作は停止し、第６図(b)
に示されるように、この下方周縁部の面取りが行なわれ
る。ワークＷが１回転〜１回転半して下方の面取りが終
了すると、砥石501は比較的高速で下降し、ワークＷの
外周面の仕上げ研削を行なう。砥石501の上方の斜面部5
09がワークＷの上方周縁部に係合すると、砥石501の下
降動作は停止し、第６図(c)に示されるように、ワーク
Ｗの回転の間に上方周縁部の面取りが行なわれる。その
後、砥石501はシリンダ装置504の作用により高速で後退
し、ワークＷの研削作業は終了する。

次いでワーク支持機構200のシリンダ装置205の作用によ
りチャック203が下降するが、この時、上板204の下面に
回転軸212の中を通って空気が供給され、ワークＷが容
易に上板204から解放されるようになっている。すなわ
ち、図示しない圧力源から入口管214を介して回転軸212
の軸部通路（図示せず）に給送された空気は、この通路
を通って上板204の凹陥部215へ送られ、ワークＷを上方
から下方へ付勢し、ワークＷを後述するワーク排出機構
700へスムーズに受渡す。

さて以上のワーク研削工程において、ワーク支持機構20
0の回転速度、すなわちモデルＭの回転速度は一定では
なく速度切換えになっており、モデルＭが角形の場合、
モデルＭの１回転の間に、回転速度は高速と低速の間を
無段に切換えられる。これを第７図により説明すると、
モデルＭの回転速度が一定の場合、モデルＭの角部Ｃ、
あるいは辺の中央部Ｓがスタイラス506に接触すると
き、モデルＭの回転によりスタイラス506はそれほど速
く進退動しないが、この角部Ｃから少し離れた部分Ｐが
スタイラス506に接触するとき、モデルＭの回転により
スタイラス506は比較的速く移動する。本実施例では、
スタイラス506の進退動の速さがほぼ均一になるよう
に、モデルＭの角部Ｃおよび中央部Ｓがスタイラス506
に接触するときモデルＭの回転速度を大きくし、モデル
Ｍの上記部分Ｐがスタイラス506に接触するときモデル
Ｍの回転速度を小さくしている。このため、駆動モータ
の回転速度を切換えるべく、回転軸212のケーシング１
０からの突出部分に非接触型のドグ303を設けるととも
にこれの近傍にセンサー304を取付け、ドグ303の突起
（図示せず）がセンサー304に近ずいたとき、（電気的
信号を発生させて）駆動モータを相対的に変速させるよ
うにしている。なおこれらドグ303とセンサー304も回転
駆動機構300の一部である。

このようにスタイラス506すなわち砥石501の移動速さが
ほぼ均一になり比較的高速で移動することがなくなるの
で、砥石501がワークＷから速く逃げることがなくなっ
て充分研削することができ、また、ワークＷの縁部のチ
ッピングを防止することができる。

第８図はワーク供給機構600とワーク排出機構700を示す
ものである。

ストッカー601は平板上のワークＷを重合させて支持す
るもので、４個の側当て部602が重合されたワークＷの
各側面を支持するようになっており、ワークＷの大きさ
に適当するよう横方向に位置調整可能である。本実施例
では、ストッカー601が角形のワークＷを支持する場合
を示している。

ストッカー601の下方には、１枚のワークＷを取出して
これをワーク支持機構200へ供給するための一対の爪60
3,604が設けられる。爪603,604は“くの字状”の内周部
を相互に対向させ、ワークＷの角部を内周部の中央に嵌
合させるようになっている。これらの爪603,604は、図
示しない案内部材を介して板部材605に拡縮動自在に支
持され、板部材605は、固定枠100の上面に設けられた案
内レール606に沿って往復動自在である。この板部材605
の上面には案内レール606の長手方向に沿って延びる支
持板607が固定され、これら板部材605と支持板607は、
シリンダ装置608に駆動されて往復動する。

第９図および第１０図は爪603,604の拡縮動作の原理を
説明するために支持板607を除去して示してあり、板部
材605の上面には案内部材609が示されている。案内部材
609は板部材605に対して図の左右方向に若干相対移動で
きるように支持されており、この相対移動により爪603,
604をそれぞれ同量だけ拡縮動させる。板部材605の下面
には、ピン610,611を介してＬ形のレバー612,613がそれ
ぞれ枢支され、レバー612の一端は駆動ローラ614を介し
て案内部材609の凹陥部615に係合される。レバー612の
他端は連結ローラ616を介して爪603に連結される。すな
わち駆動ローラ614は案内部材609とともに一体的に図の
左右方向に動き、これにより、レバー612が回転変位し
て爪603が図の上下方向に動く。他方の爪604も同様に連
結ローラ617を介してレバー613に連結され、またレバー
613は案内ローラ618を介して案内部材609に接続され
る。なお支持板605には、案内部材609をこの支持板605
に対して平行移動させるために案内ローラ619,620,621,
622が設けられ、これらのローラは案内部材609の案内溝
623,624,625,626にそれぞれ係合する。

第１０図は、板部材605とシリンダ装置608のピストンロ
ッド628との結合構造を示す。端板627は図示しない連結
部材を介して板部材605に一体的に固定され、また端板6
27に穿設された穴633にはピストンロッド628の先端に形
成された結合ロッド634が貫通する。この結合ロッド634
の穴633からの突出部分には抜止め用の鍔部材631が固定
され、また結合ロッド634のピストンロッド628側にはカ
ラー629が嵌合されるとともにこのカラー629と端板627
との間にはばね630が設けられる。このばね630の弾発力
は大きく、したがって爪603,604がワークを把持しない
非作動時には結合ロッド634に対して端板627は相対的に
前方に位置して鍔部材631に係止する。すなわち、カラ
ー629、ばね630、結合ロッド634、鍔部材631、および端
板627により、ピストンロッド628と板部材605が連結さ
れる。

カラー629のフランジ部629aは、案内部材609の下面に形
成された係合溝632に多少のガタをもって嵌入する。第
１０図は、ピストンロッド628が前進して、固定枠100に
取付けられたストッパ635に端板627が当接した状態を示
し、この状態はカラー629のフランジ部629aが係合溝632
の中央部にある中立状態である。すなわち、案内部材60
9はフランジ部629aが係合溝632の内壁に当たるまでの範
囲内で板部材605に対して自由に移動することができ、
この範囲内で爪603,604は自由に拡縮できる。これに対
し、この図示状態からピストンロッド628が図の左方に
後退すると、ばね630の作用によりカラー629が端板627
から後退し、カラー629のフランジ部629aが係合溝632の
左側の内壁に当って、案内部材609を板部材605に対して
図の左側へ移動させる。この結果、爪603,604は閉じ
る。

第１１図(a)、(b)は、爪603,604の拡縮動作を示す。第
１１図(a)はワークＷを把持して移送している状態を示
し、この図から理解されるように、ワークＷの縁部は爪
603,604の内側に形成された段部636,637の上に載置され
る。つまり、段部636,637は他の部分よりも若干低く形
成されており、ワークＷの周面は、この段部636,637の
基部に形成された壁面638,639により支持される。さて
ワークＷがワーク支持機構200の所に移送されると、第
１０図に示されるように端板627がストッパ635に当接
し、これにより案内部材609とカラー629の係合が解放さ
れて案内部材609はばね630の弾発力を受けなくなり、爪
603,604を閉じる力が解除される。しかしてワークＷは
ワーク支持機構200により受取られ、その後、爪603,604
はピストンロッド628とともに後退する。

爪603,604がストッカー601の所まで後退すると、固定枠
100に設けられた開放シリンダ640,641（第１１図(b)）
（第８図において支持板607の下方に位置する）のピス
トンロッド642,643（第１１図(b)）が突出して案内部材
609を押圧し、これを相対的に前方へ移動させて、第１
１図(b)に示されるように爪603,604を開放させる。この
時、次のワークがこの爪603,604の間に落下している。
次いでピストンロッド642,643が後退して案内部材609を
解放すると、案内部材609はばね630の力を受けて相対的
に後退し、爪603,604は再び閉じてワークを把持する。
以下、上記と同様な動作が繰り返される。

再び第８図を参照し、支持板607の作用を説明する。支
持板607は、爪603,604によりワークＷを移送する間、ス
トッカー601に積層されている他のワークが落下するの
を防止するためのものである。すなわち、爪603,604は
積層されたワークのうち一番下のものを取出すが、支持
板607は爪603,604とともに前進して、この取出されたワ
ークの上に積まれていたワークを支持する。しかして爪
603,604が再び後退位置へ復帰すると、支持板607はワー
クの下から後退し、ワークを爪603,604の間に落下させ
る。なお支持板607はワークの大きさに応じて位置調整
できるよう、板部材605に固定したボルト750,751に係合
する長穴752,753が形成される。ワーク排出機構700は、
第８図に示されるよう、従来公知の構成を有し、研削後
のワークＷをワーク支持機構200から取出して水槽701へ
排出する。移送部材702はワークＷを下から支持するよ
うになっており、固定枠100に設けられた案内ロッド703
に沿って往復動自在に支持された支持部材705に枢支さ
れ、この往復駆動はピストン704により行なわれる。移
送部材702は支持部材705に固定されたピン706を介して
この支持部材705に対し揺動自在であり、この揺動を行
なわせるために、移送部材702にはカムフォロア707が設
けられ、案内ロッド703のワーク支持機構側にはカム708
が設けられる。移送部材702は、図示しないばねにより
図中反時計周りに付勢されており、水槽701側にある時
図示のように端板709を水槽701側に向けており、ワーク
支持機構側に移動するとき、カムフォロア707がカム708
に係合することにより時計周りに約９０°回動し、端部
709をワーク支持機構側すなわちワーク側へ向け、ワー
クの下側に進入する。しかしてワークを受け取ると元の
位置へ後退し、再び端部709を水槽701側へ向けて排出板
710の地頃で停止する。なおピストン704は電気的に駆動
され、移動端においてリミットスイッチ711,712の作用
により停止する。

上記排出板710はワークを水槽701の中へ移動させるもの
で、移送部材702の切欠713の中に嵌入し、ピン714を中
心に揺動してワークを下からすくい上げ、このワークを
移送部材702から取出す。しかしてワークは排出板710の
上面を滑って水槽701の中へ落下し、水中に収容され
る。

本実施例装置は以上の構成を有するので、ワークは次の
ようにして研削される。

まずストッカー601に支持されたワークのうち一番下の
ワークが爪603,604により把持され、ワーク支持機構200
の所へ移送される。ワークＷはチャック203の上へ置か
れ、ここで爪603,604の把持力は解除される。これと同
時にチャック203の上面には負圧が発生しており、ワー
クＷはチャック203に吸着される。しかして相互に同量
だけ拡縮する一対の爪603,604により把持されたワーク
Ｗは、その中心点をチャック203の中心点すなわち回転
中心に合致させて移送され、チャック203に吸着されて
位置ずれのおそれがなくなる。

この状態でチャック203が上昇し、ワークＷはチャック2
03と上板204により挟持されるようになり、ここでチャ
ック203の負圧はなくなる。次いで倣い機構500が接近
し、スタイラス506がモデルＭに係合するとともに砥石5
01がワークＷに接触する。砥石501は高速で回転しつつ
上昇し、これと同時にモデルＭとワークＷが低速で回転
してワークＷの外周面の荒研削が行なわれる。モデルＭ
とワークＷの回転速度は、角部Ｃと中央部Ｍがスタイラ
ス506に係合するとき速く、それ以外のとき遅く、これ
により砥石501はワークＷを精度よく研削する。砥石501
は上昇位置でワークＷの下方の面取りを行ない。次に下
降位置でワークＷの上方の面取りを行なう。そして上昇
位置から下降位置へ移動する間、砥石501はワークＷの
外周面の仕上げ研削を行なう。

研削工程が終了すると、ワークＷの回転動作は停止し、
チャック203が下降してワークＷは上板204から解放され
る。この時、クラッチ401が切れるとともに係止ピン404
が固定円板402の切欠403内に係合し、モデルＭの位置合
わせが行なわれる。また倣い機構500は元の位置へ復帰
する。

一方、ワーク排出機構700の移送部材702がチャック203
の周囲に移動してワークＷの周縁の下面を支持し、次い
でこのワークＷをチャック203から取出して排出板710の
所へ移送する。排出板710は傾斜してワークＷを取出
し、これを水槽701の中へ移す。

以上の動作の間、爪603,604はストッカー601の所へ復帰
しており、次のワークを把持している。

考案の効果 以上のように本考案によれば、モデルの位置決めが容易
かつ正確に行なわれ、また研削されるワークが常にモデ
ルと同軸的であってかつ同じ角度方向を向くように供給
される。したがって、ワークの削り代が最小限になり、
研削時間の短縮とともに砥石の寿命を延ばすことが可能
となる。

【図面の簡単な説明】

第１図(a)、(b)はワークの形状の例を示す平面図、第２
図は実施例装置の平面図、第３図は実施例装置の一部を
破断して示す側面図、第４図(a)はワーク支持機構の上
軸部と回転駆動機構とストッパ機構を示す断面図、第４
図(b)は固定円板と係止ピンを示す斜視図、第５図はス
タイラスと砥石がそれぞれモデルとワークに係合する状
態を示す側面図、第６図(a)、(b)、(c)は砥石によるワ
ークの研削工程を示す説明図、第７図はモデルの回転と
スタイラスの往復動作の関係を示す説明図、第８図はワ
ーク供給機構とワーク排出機構を示す平面図、第９図は
爪を示す平面図、第１０図はピストンロッドと板部材の
結合構造を示す断面図、第１１図(a)、(b)は爪の拡縮動
作を示す平面図である。 100……固定枠、200……ワーク支持機構、300……回転
駆動機構、400……ストッパ機構、500……倣い機構、50
1……砥石、506……スタイラス、507……駆動モータ、6
00……ワーク供給機構、601……ストッカー、603,604…
…爪、700ワーク排出機構、Ｍ……モデル、Ｗ……ワー
ク。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】硬脆材から成るワークの外周面を倣い加工
   する装置であって、次の（イ）〜（ト）の構成要件を備
   えることを特徴とする硬脆材の外周面研削装置。 （イ）加工前のワークを保持するストッカー部と、この
   ストッカー部から延びる案内レールとを有する固定枠、 （ロ）この固定枠に設けられ、ワークの研削後の外周形
   状を有するモデルとワークとを同軸的かつ一体的に支持
   するワーク支持機構、 （ハ）このワーク支持機構を上記モデルの軸心周りに回
   転させる回転駆動機構、 （ニ）上記ワーク支持機構に一体的に連結された固定円
   板の外周面に形成された係合部と、上記ワーク支持機構
   の停止時に該係合部に係合してこの支持機構の回転角度
   位置を調整する係止ピンと、上記回転駆動機構のワーク
   支持機構への回転駆動力の伝達および遮断を行ない、上
   記係止ピンが係合部に係合する時該回転駆動力を遮断す
   るクラッチとを有するストッパ機構、 （ホ）上記固定枠に往復動自在に設けられたハウジング
   と該ハウジングに軸心周りに回転自在に支持されて上記
   モデルの外周面に係合可能なスタイラスと、このスタイ
   ラスと同じ外形を有し、上記ハウジングに該スタイラス
   と同軸的に回転自在に支持されて上記ワークの外周面を
   研削する砥石と、この砥石を回転させる駆動モータとを
   具備する倣い機構、 （ヘ）上記案内レールに沿って往復動自在に支持され、
   該案内レールの直交方向に相互に同量だけ拡縮動して上
   記ワークの外周面を把持可能な一つの爪を有し、これら
   の爪が該ワークを上記ストッカー部において位置決めし
   て受取り、上記ワーク支持機構へ供給するワーク供給機
   構、 （ト）研削されたワークを上記ワーク支持機構から取出
   すワーク排出機構。