JPH0680693B2 - 半導体製造装置 - Google Patents
半導体製造装置Info
- Publication number
- JPH0680693B2 JPH0680693B2 JP61061480A JP6148086A JPH0680693B2 JP H0680693 B2 JPH0680693 B2 JP H0680693B2 JP 61061480 A JP61061480 A JP 61061480A JP 6148086 A JP6148086 A JP 6148086A JP H0680693 B2 JPH0680693 B2 JP H0680693B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pellet
- positioning
- bonding
- semiconductor manufacturing
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Die Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ペレット供給部からペレットを運び基板上
にボンディングする半導体製造装置に関するものであ
る。
にボンディングする半導体製造装置に関するものであ
る。
第３図は従来の半導体製造装置、特にペレットのボンデ
ィング装置の概略構成図であり、ここではそのペレット
の搬送過程を示すものである。（実開昭60−94839号公
報参照）。この図で、１はペレットで、このペレット１
はペレット供給部２からピックアーム３によりペレット
位置決めステージ４に運ばれ、ペレット位置決めツメ５
によって位置決めされた後、ボンディングコレット６に
よって吸着されて基板７上に運ばれ、この基板７上の所
定箇所にボンディングされる。
ィング装置の概略構成図であり、ここではそのペレット
の搬送過程を示すものである。（実開昭60−94839号公
報参照）。この図で、１はペレットで、このペレット１
はペレット供給部２からピックアーム３によりペレット
位置決めステージ４に運ばれ、ペレット位置決めツメ５
によって位置決めされた後、ボンディングコレット６に
よって吸着されて基板７上に運ばれ、この基板７上の所
定箇所にボンディングされる。
またペレット位置決めステージ４と基板７との間には、
ボンディングコレット６の吸着ミスを検出する検出器８
が設けられている。
ボンディングコレット６の吸着ミスを検出する検出器８
が設けられている。
上記のような従来のボンディング装置では、検出器８が
ペレット１の吸着ミスを検出すると、ペレット位置決め
ステージ４の上に位置がずれたままペレット１が残って
いると判断し、次のペレット１をペレット位置決めステ
ージ４に供給することができず、また位置ずれしたペレ
ット１をボンディングコレット６が再び吸着しに行くこ
ともできないため、装置を停止するようになっている。
ペレット１の吸着ミスを検出すると、ペレット位置決め
ステージ４の上に位置がずれたままペレット１が残って
いると判断し、次のペレット１をペレット位置決めステ
ージ４に供給することができず、また位置ずれしたペレ
ット１をボンディングコレット６が再び吸着しに行くこ
ともできないため、装置を停止するようになっている。
したがって、検出器８がペレット１の吸着ミスを検出す
る度に装置が停止し、その都度、作業者がペレット位置
決めステージ４上に残ったペレット１を取り払い、装置
を復帰させていたため、装置の稼動率が低下するととも
に、常時作業者が必要である等の問題点を有していた。
る度に装置が停止し、その都度、作業者がペレット位置
決めステージ４上に残ったペレット１を取り払い、装置
を復帰させていたため、装置の稼動率が低下するととも
に、常時作業者が必要である等の問題点を有していた。
この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、ペレットの吸着ミスが発生した場合でも、
装置を停止することなく、かつ人を介さずに装置を復帰
させることができる半導体製造装置を得ることを目的と
する。
れたもので、ペレットの吸着ミスが発生した場合でも、
装置を停止することなく、かつ人を介さずに装置を復帰
させることができる半導体製造装置を得ることを目的と
する。
この発明に係る半導体製造装置は、ペレット位置決めス
テージにペレット掃出し用ケースと、ボンディングコレ
ットにより前記ペレットの吸着ミスを検出する検出器
と、この検出器により吸着ミスが検出されたとき吸着さ
れなかったペレットを前記ペレット位置決めツメにより
前記ペレット掃出し用ケースに落とし込める駆動手段と
を備えたものである。
テージにペレット掃出し用ケースと、ボンディングコレ
ットにより前記ペレットの吸着ミスを検出する検出器
と、この検出器により吸着ミスが検出されたとき吸着さ
れなかったペレットを前記ペレット位置決めツメにより
前記ペレット掃出し用ケースに落とし込める駆動手段と
を備えたものである。
この発明においては、ペレットの吸着ミスを検出した場
合、ペレット位置決めステージ上に残ったペレットは、
ペレット位置決めツメにより確実に除去され、次のペレ
ットが供給されるので、装置をその都度停止することな
く、連続して装置が稼動される。
合、ペレット位置決めステージ上に残ったペレットは、
ペレット位置決めツメにより確実に除去され、次のペレ
ットが供給されるので、装置をその都度停止することな
く、連続して装置が稼動される。
第１図はこの発明の一実施例を示す半導体製造装置の概
略構成図で、この図で、第３図と同一符号は同じものを
示し、９は前記ペレット位置決めステージ４の側部に設
けられたペレット掃出し用ケースである。そして、ペレ
ット位置決めツメ５は、ペレット位置決めステージ４上
に残ったペレット１を確実にペレット掃出し用ケース９
に落とし込める動作範囲をもったものに形成される。
略構成図で、この図で、第３図と同一符号は同じものを
示し、９は前記ペレット位置決めステージ４の側部に設
けられたペレット掃出し用ケースである。そして、ペレ
ット位置決めツメ５は、ペレット位置決めステージ４上
に残ったペレット１を確実にペレット掃出し用ケース９
に落とし込める動作範囲をもったものに形成される。
上記構成において、ペレット１の搬送およびボンディン
グ動作は第３図と同様に行われるが、この過程で検出器
８がボンディングコレット６によるペレット１の吸着ミ
スを検出した場合、ペレット位置決めステージ４上に位
置ずれしたまま残されたペレット１を、第２図（ａ），
（ｂ）に示すようにペレット位置決めステージ４上のペ
レット１を確実に除去できる動作範囲を持ったペレット
位置決めツメを駆動手段により動作せしめて掃き出し、
ペレット掃出し用ケース９の中へ落とし込む。その後、
ピックアーム３により新たなペレット１をペレット供給
部２より運び、ペレット位置決めツメ５によりペレット
位置決めステージ４上に位置決めを行い、ボンディング
コレット６により基板７上に運び、基板７上の所定箇所
にボンディングされる。
グ動作は第３図と同様に行われるが、この過程で検出器
８がボンディングコレット６によるペレット１の吸着ミ
スを検出した場合、ペレット位置決めステージ４上に位
置ずれしたまま残されたペレット１を、第２図（ａ），
（ｂ）に示すようにペレット位置決めステージ４上のペ
レット１を確実に除去できる動作範囲を持ったペレット
位置決めツメを駆動手段により動作せしめて掃き出し、
ペレット掃出し用ケース９の中へ落とし込む。その後、
ピックアーム３により新たなペレット１をペレット供給
部２より運び、ペレット位置決めツメ５によりペレット
位置決めステージ４上に位置決めを行い、ボンディング
コレット６により基板７上に運び、基板７上の所定箇所
にボンディングされる。
この発明は以上説明したとおり、ペレット位置決めステ
ージにペレット掃出し用ケースと、ボンディングコレッ
トにより前記ペレットの吸着ミスを検出する検出器と、
この検出器により吸着ミスが検出されたとき吸着されな
かったペレットを前記ペレット位置決めツメにより前記
ペレット掃出し用ケースに落とし込める駆動手段とを備
えたので、ペレットの吸着ミスが発生したことを検出し
た場合には、直ちにペレット位置決めツメが動作してこ
れを除去し、ペレット掃出し用ケース内に落とし込ませ
ることができ、その都度装置を停止させることもない。
したがって、この発明によれば、装置を連続して運転す
るこができるので、常時作業者を配置する必要がなく、
稼動率が向上する等の効果が得られる。
ージにペレット掃出し用ケースと、ボンディングコレッ
トにより前記ペレットの吸着ミスを検出する検出器と、
この検出器により吸着ミスが検出されたとき吸着されな
かったペレットを前記ペレット位置決めツメにより前記
ペレット掃出し用ケースに落とし込める駆動手段とを備
えたので、ペレットの吸着ミスが発生したことを検出し
た場合には、直ちにペレット位置決めツメが動作してこ
れを除去し、ペレット掃出し用ケース内に落とし込ませ
ることができ、その都度装置を停止させることもない。
したがって、この発明によれば、装置を連続して運転す
るこができるので、常時作業者を配置する必要がなく、
稼動率が向上する等の効果が得られる。
第１図はこの発明の一実施例を示す半導体製造装置の構
成略図、第２図（ａ），（ｂ）はペレットの掃出し動作
を説明する斜視図、第３図は従来の半導体製造装置の構
成略図である。 図において、１はペレット、２はペレット供給部、３は
ピックアーム、４はペレット位置決めステージ、５はペ
レット位置決めツメ、６はボンディングコレット、７は
基板、８は検出器、９はペレット掃出し用ケースであ
る。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
成略図、第２図（ａ），（ｂ）はペレットの掃出し動作
を説明する斜視図、第３図は従来の半導体製造装置の構
成略図である。 図において、１はペレット、２はペレット供給部、３は
ピックアーム、４はペレット位置決めステージ、５はペ
レット位置決めツメ、６はボンディングコレット、７は
基板、８は検出器、９はペレット掃出し用ケースであ
る。 なお、各図中の同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】ペレット供給部からペレットをペレット位
置決めステージへ運ぶピックアームと、前記ステージで
ペレット位置決めツメにより位置決めされた前記ペレッ
トを吸着して運ぶボンディングコレットとを有し、前記
ペレットを基板上にボンディングするボンディング装置
において、前記ペレット位置決めステージに設けられた
ペレット掃出し用ケースと、前記ボンディングコレット
により前記ペレットの吸着ミスを検出する検出器と、こ
の検出器により吸着ミスが検出されたとき吸着されなか
ったペレットを前記ペレット位置決めツメにより前記ペ
レット掃出し用ケースに落とし込める駆動手段とを備え
たことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61061480A JPH0680693B2 (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61061480A JPH0680693B2 (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | 半導体製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62219537A JPS62219537A (ja) | 1987-09-26 |
| JPH0680693B2 true JPH0680693B2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=13172280
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61061480A Expired - Lifetime JPH0680693B2 (ja) | 1986-03-19 | 1986-03-19 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0680693B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0821600B2 (ja) * | 1988-02-29 | 1996-03-04 | 日本電気株式会社 | 半導体ペレットのマウント方法 |
| JPH085551Y2 (ja) * | 1988-10-24 | 1996-02-14 | 松下電器産業株式会社 | ダイの位置ずれ補正装置 |
| JP4992881B2 (ja) * | 2008-10-28 | 2012-08-08 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519376A (ja) * | 1974-07-12 | 1976-01-26 | Hitachi Ltd | Peretsutobondeingusochi |
| JPS56136286A (en) * | 1980-03-26 | 1981-10-24 | Nec Corp | Electron beam welding machine |
| JPS6117736U (ja) * | 1984-07-09 | 1986-02-01 | ニチデン機械株式会社 | ペレツトマウント装置 |
-
1986
- 1986-03-19 JP JP61061480A patent/JPH0680693B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62219537A (ja) | 1987-09-26 |
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