JPH069500Y2 - 遠心脱水機 - Google Patents
遠心脱水機Info
- Publication number
- JPH069500Y2 JPH069500Y2 JP1987165539U JP16553987U JPH069500Y2 JP H069500 Y2 JPH069500 Y2 JP H069500Y2 JP 1987165539 U JP1987165539 U JP 1987165539U JP 16553987 U JP16553987 U JP 16553987U JP H069500 Y2 JPH069500 Y2 JP H069500Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- dust
- centrifugal dehydrator
- intake port
- preventing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 13
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体製造におけるウェット処理後の乾燥に用
いる装置に関し、特に遠心脱水機に関するものである。
いる装置に関し、特に遠心脱水機に関するものである。
従来この種の遠心脱水機は、第３図および第４図に示す
ように、清浄な空気を取入れる吸気口２には、メッシュ
７とメッシュ保持リング６とを備えた構造となってい
た。
ように、清浄な空気を取入れる吸気口２には、メッシュ
７とメッシュ保持リング６とを備えた構造となってい
た。
上述した遠心脱水機では被処理物３を乾燥させるためロ
ーターを高速回転したときに吸気口２から蓋１上の塵埃
をグローブ４内に吸込みやすい構造となっているので、
被処理物３に塵埃による悪影響を及ぼすという欠点があ
る。
ーターを高速回転したときに吸気口２から蓋１上の塵埃
をグローブ４内に吸込みやすい構造となっているので、
被処理物３に塵埃による悪影響を及ぼすという欠点があ
る。
本考案によれば、ウェット処理後の非処理物を高速回転
させることにより乾燥させる遠心脱水機において、吸気
口周辺の塵埃吸込み防止用のＯリングと塵埃巻込み防止
用の防塵リングを設け、防塵リングには、吸気口周辺の
塵埃の巻込みを防止するフランジを有する遠心脱水機が
得られる。
させることにより乾燥させる遠心脱水機において、吸気
口周辺の塵埃吸込み防止用のＯリングと塵埃巻込み防止
用の防塵リングを設け、防塵リングには、吸気口周辺の
塵埃の巻込みを防止するフランジを有する遠心脱水機が
得られる。
〔実施例〕 次の実施例を用いて本考案をより詳細に説明する。
第１図は本考案のもととなる遠心脱水機の実施例を示す
ものである。メッシュ保持リング６に蓋面と垂直に例え
ば５０mm程度の防塵リング１０を設け、又、蓋本体１と
防塵リング１０との間に隙間をシールする為のＯリング
９を設けておく。クレードル５を高速回転させて吸気口
２よりグローブ４内へクリーンエアーを取入れる時、防
塵リング１０によって蓋上の塵埃８の巻込みを防止し、
又、Ｏリング９によって隙間からの塵埃８吸込みを防止
している。
ものである。メッシュ保持リング６に蓋面と垂直に例え
ば５０mm程度の防塵リング１０を設け、又、蓋本体１と
防塵リング１０との間に隙間をシールする為のＯリング
９を設けておく。クレードル５を高速回転させて吸気口
２よりグローブ４内へクリーンエアーを取入れる時、防
塵リング１０によって蓋上の塵埃８の巻込みを防止し、
又、Ｏリング９によって隙間からの塵埃８吸込みを防止
している。
第２図は本考案の実施例を示すものである。第１図の一
実施例においてメッシュ保持シング６にフランジ１１を
設け、吸気口２周辺の塵埃の巻込みを更に防止してい
る。
実施例においてメッシュ保持シング６にフランジ１１を
設け、吸気口２周辺の塵埃の巻込みを更に防止してい
る。
〔考案の効果〕 以上説明したように本考案は被処理物を高速回転させ、
吸気口よりクリーンなエアーを取入れ被処理を乾燥させ
る遠心脱水機において、吸気口のメッシュ保持リングを
立上げ更にフランジを設け、又、蓋本体のメッシュ保持
リングの間にＯリングを設けることにより、蓋上の塵埃
の巻込み及び吸込みを防止できる効果がある。
吸気口よりクリーンなエアーを取入れ被処理を乾燥させ
る遠心脱水機において、吸気口のメッシュ保持リングを
立上げ更にフランジを設け、又、蓋本体のメッシュ保持
リングの間にＯリングを設けることにより、蓋上の塵埃
の巻込み及び吸込みを防止できる効果がある。
第１図は本考案のもととなる実施例である。第２図は本
考案の一実施例である。 第３図は従来の遠心脱水機の概略断面図であり、第４図
は吸気口の詳細断面図である。 １……蓋本体、２……吸気口、３……被処理物、４……
グローブ、５……クレードル、６……メッシュ保持リン
グ、７……メッシュ、８……塵埃、９……Ｏリング、１
０，１１……防塵リング、１２……駆動用モータ。
考案の一実施例である。 第３図は従来の遠心脱水機の概略断面図であり、第４図
は吸気口の詳細断面図である。 １……蓋本体、２……吸気口、３……被処理物、４……
グローブ、５……クレードル、６……メッシュ保持リン
グ、７……メッシュ、８……塵埃、９……Ｏリング、１
０，１１……防塵リング、１２……駆動用モータ。
Claims (1)
- 【請求項１】ウェット処理後の非処理物を高速回転させ
ることにより乾燥させる遠心脱水機において、吸気口周
辺の塵埃吸込み防止用のＯリングと塵埃巻込み防止用の
防塵リングを設け、前記防塵リングには、吸気口周辺の
塵埃の巻込みを防止するフランジを有することを特徴と
する遠心脱水機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165539U JPH069500Y2 (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 遠心脱水機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987165539U JPH069500Y2 (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 遠心脱水機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0170330U JPH0170330U (ja) | 1989-05-10 |
| JPH069500Y2 true JPH069500Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=31452116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987165539U Expired - Lifetime JPH069500Y2 (ja) | 1987-10-28 | 1987-10-28 | 遠心脱水機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069500Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6017985A (ja) * | 1983-07-12 | 1985-01-29 | 日本電気株式会社 | プリント基板製造方法 |
| JPS6090833U (ja) * | 1983-11-25 | 1985-06-21 | 黒谷 巌 | 半導体材料の水切乾燥装置 |
-
1987
- 1987-10-28 JP JP1987165539U patent/JPH069500Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0170330U (ja) | 1989-05-10 |
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