JPH07123683A

JPH07123683A - 揺動型アクチュエータ

Info

Publication number: JPH07123683A
Application number: JP27196893A
Authority: JP
Inventors: Yoshihiko Kuriyama; 義彦栗山; Teruo Umehara; 輝雄梅原
Original assignee: KUMAGAI DENSHI KK; Hitachi Metals Ltd
Current assignee: KUMAGAI DENSHI KK; Proterial Ltd
Priority date: 1993-10-29
Filing date: 1993-10-29
Publication date: 1995-05-12

Abstract

(57)【要約】【目的】揺動方向における推力の変化が小であり，構
成部材を低コストかつ高精度で製作できる揺動型アクチ
ュエータを提供する。【構成】円弧状のセンターヨーク，アウターヨークお
よびインナーヨークにより略Ｅ形に形成したヨークに永
久磁石を固着し，可動コイルを設けたアームをセンター
ヨークに沿って移動可能に構成した揺動型アクチュエー
タにおいて，センターヨークの可動コイルのストローク
端部近傍の厚さ寸法を中間部の厚さ寸法より大に形成す
ると共に，少なくともアウターヨークに固着される永久
磁石を曲率中心軸に向う方向に磁化して形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，例えば磁気ディスク装
置における磁気ヘッドの位置決め手段等に使用される揺
動型アクチュエータ，すなわち磁気ヘッドのような機能
部材が円弧軌跡を描くように揺動するように構成された
アクチュエータに関するものであり，特に揺動方向の推
力の変化を少なくし，所謂リニアリティを向上させると
共に，構成部材を低コストかつ高精度で製作できる揺動
型アクチュエータに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７は従来の揺動型アクチュエータの例
を示す要部平面図である。図７において，１はヨークで
あり，例えば軟鉄のような強磁性材料によって，平面へ
の投影形状を略Ｅ字形に形成する。２はセンターヨー
ク，３はサイドヨークであり，各々平面への投影形状を
円弧状に形成する。４はカウンターヨークであり，前記
ヨーク１と同様な材料によって平板状に形成し，ヨーク
１の開放端に例えばねじ等によって固着する。

【０００３】次に５は永久磁石であり，断面を円弧状に
形成すると共に，厚さ方向に着磁し，サイドヨーク３の
内側に同極が対向するように，例えば接着剤を介して固
着し，センターヨーク２との間に磁気空隙６を形成す
る。７はアームであり，一端に中空角筒状に形成した可
動コイル８を，他端に例えば磁気ヘッドのような機能部
材（図示せず）を各々固着し，可動コイル８が前記永久
磁石５とセンターヨーク２とによって形成される磁気空
隙６内に位置するように，軸９を介して回動若しくは揺
動可能に配設する。

【０００４】上記の構成により可動コイル８に信号電流
を通電すると，フレミングの左手の法則に従って，可動
コイル８に軸９の回りの駆動力が作用し，アーム７を回
動若しくは揺動させ，アーム７の他端に設けた例えば磁
気ヘッドを，磁気ディスク上の所定の記録トラックに位
置決めすることができる。なお回動若しくは揺動方向の
切り換えは，可動コイル８への通電電流の向きを反転さ
せることによって行う。

【０００５】図８は前記図７における永久磁石５の成形
手段の例を示す要部横断面平面図である。図８において
１０は成形用金型であり，強磁性材料からなるコア１１
および外型１２と，非磁性材料からなる部材１３とを組
み合わせて構成する。１４は成形用キャビティである。
上記成形用金型１０を１対の電磁石１５，１５間に配置
し，破線にて示すような放射状磁場内において圧縮成形
し，得られた成形体を焼結，熱処理して図７に示す永久
磁石５を得ることができる。なお永久磁石５の着磁は，
図８と同様の構成を有する着磁装置（図示せず）によっ
て行えばよい。

【０００６】しかしながら，上記のような放射状磁場内
で圧縮成形する場合の成形用金型１０の構成が極めて複
雑になるため，製作コストが高額になるのみならず，成
形体における磁粉の配向が困難であったり，配向の乱れ
が発生する。更に永久磁石５の曲率半径の大なるものに
おいては，成形用金型１０が必然的に大となり，一方曲
率半径の小なるものにおいては，正確な放射状磁場を形
成することが困難な場合がある。

【０００７】図９は前記図７における永久磁石５の成形
手段の他の例を示す要部横断面平面図であり，同一部分
は前記図８と同一の参照符号で示す。図９において成形
用キャビティ１４は，図７に示す永久磁石５の横断面輪
郭に相当する略円弧状に形成し，破線にて示す平行磁場
内に配設する。このような成形用金型１０によれば，前
記図８に示すものより簡単に永久磁石５を得ることがで
きる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，図９に
示すような成形手段によって成形した永久磁石５を使用
した揺動型アクチュエータにおいては，図７に示す可動
コイル８若しくはアーム７に作用する揺動方向の推力の
変化が大であり，リニアリティが低いという問題点があ
る。

【０００９】図６は前記図７に示す磁気空隙６内の磁束
密度とアームの回動角との関係を示す図である。図６に
おいて曲線ａ，ｂは図７における外側および内側の各々
磁気空隙６，６ａに対応するものである。図６から明ら
かなように，アームの回動角が各々０゜および５０゜近
傍における磁束密度が，中間部における磁束密度より低
い値を示しており，特に曲線ａ（外側の磁気空隙に対応
する）において甚だしい。今，磁束変化率を（最大値−
最小値）／最大値で表した場合，曲線ａにおいては４０
％以上の値となり，揺動型アクチュエータの性能を低下
させる要因となっている。

【００１０】次に図７に示す従来のものにおいては，セ
ンターヨーク２および永久磁石５の厚さ寸法が，可動コ
イル８の揺動方向において何れも同一寸法に形成されて
いる。一方永久磁石５の両端縁部においては漏洩磁束が
存在するため，磁気空隙６内における有効磁束が当然に
減少するから，前記図６において示すように，アームの
回動角両端部において磁束密度を減少させる一因となっ
ている。

【００１１】更に上記図７に示すヨーク１は，前記のよ
うな鉄系の強磁性材料によって形成されるのであるが，
これらの素材は，例えば冷間鍛造，粉末冶金，精密鋳造
等の成形手段によって成形される。そしてヨーク１を構
成するセンターヨーク２およびサイドヨーク３の凹凸円
筒面は，永久磁石５の取付精度および磁気空隙６の空隙
寸法精度を高水準に確保するために，機械加工により例
えば寸法精度を0.05mm以下にする必要がある。

【００１２】しかしながら，上記ヨーク１の凹凸円筒面
を高精度で機械加工する作業は極めて煩雑であり，かつ
その加工工数および加工時間が大になるのが通常であ
る。従って機械加工コストが嵩むこととなり，揺動型ア
クチュエータの製作費が高騰する結果を招来する。

【００１３】また，例えば精密鋳造等の手段を使用した
場合，その素材の磁気特性はＳ１０Ｃ相当となり，飽和
磁束密度Ｂs は1.６〜1.７（Ｔ）である。一方平板型ボ
イスコイル型モータに使用される鋼板（ＳＳ４１，ＳＰ
Ｃなど）は飽和磁束密度Ｂsは1.８（Ｔ）程度であり，
磁気特性が低下してしまう。

【００１４】更にヨーク１は図７に示すように，全体の
形状が複雑であるため，この素材を成形する場合の作業
もまた煩雑であり，生産性を低下させるという問題点が
ある。なお前記のような素材成形手段においては，何れ
も成形用の金型が必要であり，複雑な形状の素材を成形
するための金型は，製作コストが必然的に高価となるた
め，揺動型アクチュエータの製作費を増大させる一因と
なるのである。

【００１５】一方この種の揺動型アクチュエータに対す
る小型化，低コスト化への要求は近年において特に厳し
くなってきており，上記従来の構成のものでは製作コス
トが嵩むため，上記の要求を満足させることができない
という問題点がある。

【００１６】本発明は，上記従来技術に存在する問題点
を解決し，揺動方向の推力の変化を少なくすると共に，
構成部材を低コストかつ高精度で製作できる揺動型アク
チュエータを提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に，まず第１の発明においては，円弧状のセンターヨー
クの両側にそれと同軸の円弧状のアウターヨークとイン
ナーヨークとを設け平面への投影形状を略Ｅ字形に形成
したヨークと，アウターヨークとインナーヨークの内表
面に固着されかつ対向する面に同極が現れるように形成
された円弧状の永久磁石と，前記ヨークの開放端に固着
されたカウンターヨークと，一端に可動コイルを他端に
機能部材を各々固着して揺動自在に形成したアームとか
らなり，前記可動コイルを中空筒状に形成しかつ前記セ
ンターヨークに沿って移動可能に構成した揺動型アクチ
ュエータにおいて，センターヨークの可動コイルのスト
ローク端部近傍の厚さ寸法を中間部の厚さ寸法より大に
形成すると共に，少なくともアウターヨークに固着され
る永久磁石を曲率中心軸に向う方向に磁化して形成す
る，という技術的手段を採用した。

【００１８】次に第２の発明においては，円弧状のセン
ターヨークの両側にそれと同軸の円弧状のアウターヨー
クとインナーヨークとを設け平面への投影形状を略Ｅ字
形に形成したヨークと，アウターヨークとインナーヨー
クの内表面に固着されかつ対向する面に同極が現れるよ
うに形成された円弧状の永久磁石と，前記ヨークの開放
端に固着されたカウンターヨークと，一端に可動コイル
を他端に機能部材を各々固着して揺動自在に形成したア
ームとからなり，前記可動コイルを中空筒状に形成しか
つ前記センターヨークに沿って移動可能に構成した揺動
型アクチュエータにおいて，少なくともアウターヨーク
に固着される永久磁石を曲率中心軸に向う方向に磁化し
て形成し，かつ円周方向端縁部の厚さ寸法を中間部の厚
さ寸法より大に形成形成する，という技術的手段を採用
した。

【００１９】上記の発明において，センターヨークの可
動コイルのストローク端部近傍の厚さ寸法を中間部より
大に形成することおよび／またはヨークの横断面形状と
同一に形成した薄板を複数個積層してヨークを形成し，
ヨークおよび永久磁石の外表面に熱可塑性樹脂材料から
なる被覆を設けることができる。

【００２０】上記の発明において，構成部材としての永
久磁石はその厚さ寸法が制限されるため動作点が高くと
れないので，保磁力の大なる希土類系のものを使用する
ことが好ましい。更に近年のものにおいては一層の薄型
化および高性能化が要求されるため，磁気空隙内に高い
磁束密度を確保する点で，Ｒ−Ｆｅ−Ｂ系（Ｒ：Ｙ，Ｎ
ｄ等の希土類元素の１種以上）の永久磁石を使用するこ
とがより好ましい。

【００２１】次に上記の発明におけるヨークを形成する
薄板は，パンチ・ダイセットによって打抜き成形するこ
とが好ましく，この場合打抜きダイ中において連続的に
積層することも可能である。また薄板相互間は，例えば
ダボおよびダボ孔の係合によって密着一体化が可能であ
るが，層間に接着剤を介在させてもよい。更に積層体に
貫通孔を設けておき，積層後においてリベットその他の
締結手段を介して一体化してもよい。

【００２２】上記のヨークは，通常は鉄系材料によって
形成されるため，防錆のために外表面に耐食性材料から
なる被覆を設けるが，このような材料としては公知の樹
脂材料を使用することができる。被覆形成手段として
は，塗布，吹付等の他に，積層体を金型中にインサート
し，樹脂材料を充填して行うモールド成形（射出成形）
の手段を使用できる。

【００２３】また上記樹脂材料として熱可塑性樹脂材料
を使用することができ，例えばポリフェニレンサルファ
イド樹脂，ポリブチレンテレフタレート樹脂，ポリアミ
ド樹脂，ポリイミド樹脂，ポリアミドイミド樹脂，ポリ
エステル樹脂等の公知の樹脂（好ましくは耐熱性を有す
る樹脂）を使用することができる。

【００２４】

【作用】上記の構成により，可動コイルのストローク端
部における磁気空隙の磁束密度を確保することができ，
揺動方向の推力の変化を少なくし，リニアリティを向上
させ得る。

【００２５】またヨークを構成する薄板の外形輪郭寸法
は，薄板の成形時において精度が確保され，また薄板相
互間は例えば一体に成形されたダボとダボ孔との係合に
よって正確に位置決めされ得るから，積層後における機
械加工を省略することができる。この結果高精度かつ低
コストの製作が実現されるのである。

【００２６】

【実施例】図１は本発明の実施例における磁気回路を示
す要部平面図であり，同一部分は前記図７と同一の参照
符号で示す。図１において，２１は肉厚増大部であり，
センターヨーク２の先端部および根元部，すなわち可動
コイル（図示せず，図７における符号８参照）のストロ
ーク端部近傍に設け，それらの厚さ寸法ｔ₁を中間部の
厚さ寸法ｔより大に形成する。

【００２７】次に５１は分割磁石であり，外側のサイド
ヨーク３（アウターヨーク）に設けられ，例えば前記図
７に示す永久磁石５の円周方向長さの略１／３の円周方
向長さに形成し，これらの分割磁石５１を円周方向に接
続して永久磁石５を形成する。なおこれらの分割磁石５
１は，夫々厚さ方向であり，かつ曲率中心軸と円周方向
中間部とを含む平面と平行な磁場内における配向を施し
て形成する。破線は上記磁場の配向方向である。このよ
うな分割磁石５１は，前記図９に示すような平行磁場中
成形手段によって容易に成形することができる。

【００２８】上記の構成により，外側のサイドヨーク３
に設けられる分割磁石５１の個々の配向方向は平行であ
るが，永久磁石５全体としての配向方向はサイドヨーク
３の曲率中心軸（図示せず，図７における軸９の軸心）
に向かう，所謂ラジアル配向となるため，磁気空隙６内
の有効磁束を確保することができ，磁気回路の高性能化
が図られる。

【００２９】またセンターヨーク２の先端部および根元
部に肉厚増大部２１を設けたことにより，永久磁石５か
らの磁束を肉厚増大部２１に向けることができ，図７に
示す可動コイル８のストローク端部における漏洩磁束を
減少させ，この部位における磁気空隙６内の有効磁束を
確保できるのである。

【００３０】なお上記実施例においては，永久磁石５と
して分割磁石５１を接続して形成した例を示したが，こ
れに限らず一体成形した永久磁石（但し，曲率中心軸に
向かう方向，すわちラジアル方向に磁化したもの）を使
用することもできる。

【００３１】図２は本発明の他の実施例における磁気回
路を示す要部平面図であり，（ａ）は分割磁石の厚さ寸
法を連続して変化させた例，（ｂ）は分割磁石の厚さ寸
法を断続して変化させた例を示し，同一部分は前記図１
と同一の参照符号で示す。なお図２においては，説明の
都合上，外側のサイドヨーク３に設けられる分割磁石５
１についてのＮＳ極の表示は省略しているが，図１に示
すものと同一である。

【００３２】図２（ａ）において，円周方向端縁部の分
割磁石５１の自由端縁部の厚さ寸法をＴ₁，Ｔ₂とし，
中間部の分割磁石５１の中間部の厚さ寸法をＴとし，永
久磁石５全体として厚さ寸法がＴからＴ₁，Ｔ₂まで連
続して変化するように形成する。なお厚さ寸法Ｔ，
Ｔ₁，Ｔ₂は，Ｔ₁，Ｔ₂＞Ｔに形成する。従って分割
磁石５１，５１間の接続端縁部の厚さ寸法をＴ_Cとする
と，Ｔ₁，Ｔ₂＞Ｔ_C＞Ｔとなる。また分割磁石５１に
ついては，前記図１に示すものと同様な磁場配向を施す
ものとする。

【００３３】上記の構成により，分割磁石５１を接続し
て形成した永久磁石５の自由端縁部における磁束密度
を，中間部のそれより大にすることができ，漏洩磁束を
差引いても永久磁石５の自由端縁部，すなわち図７に示
す可動コイル８のストローク端部における磁気空隙６内
の有効磁束を確保することができる。図２（ａ）におい
ては，Ｔ₁＝Ｔ₂としてあるが，Ｔ₁≠Ｔ₂であっても
よい。

【００３４】次に図２（ｂ）に示すものは，中央の分割
磁石５１の厚さ寸法をＴとし，円周方向端縁部の分割磁
石５１の厚さ寸法をＴ₃，Ｔ₄としたとき，Ｔ₃，Ｔ₄
＞Ｔに形成したものである。なお分割磁石５１の磁場配
向方向は前記図１および図２（ａ）に示すものと同様で
ある。このような構成により，前記図２（ａ）に示すも
のと同様に，図７に示す可動コイル８のストローク端部
における磁気空隙６内の有効磁束を確保することができ
る。図２（ｂ）においては，Ｔ₃＝Ｔ₄としてあるが，
Ｔ₃≠Ｔ₄であってもよい。

【００３５】図５は本発明の実施例における磁気回路の
磁気空隙内の磁束密度とアーム回動角度との関係を示す
図であり，前記図６と対応する図である。すなわち図１
および図２に示す外側のサイドヨーク３（アウターヨー
ク）に固着した永久磁石５によって形成される磁気空隙
６，６ａ内の磁束密度分布を示している。

【００３６】図５において，曲線Ａ₁，Ａ₂，Ａ₃は夫
々下記のような構成の磁気回路に対応するものである。（曲線Ａ₁）センターヨーク２を等厚に形成し，永久
磁石５を図１に示す分割磁石５１を円周方向に３個接続
したもの。（曲線Ａ₂）センターヨーク２に図１に示す肉厚増大
部２１を設け，永久磁石５として図７に示す従来の構成
としたもの。（曲線Ａ₃）図１に示す構成の磁気回路としたもの。

【００３７】なお図５および図６は，永久磁石としてＮ
ｄ−Ｆｅ−Ｂ系焼結磁石（日立金属（株）製ＨＳ４２
ＡＨ）を使用し，磁気空隙の中間（図２（ａ）における
Ｒ₁＝18.15 mm, Ｒ₂＝26.95 mmの部位）における磁束
密度分布を示すものである。

【００３８】図５から明らかなように，曲線Ａ₁におい
ては磁束変化率は２３％となり，図６の曲線ａにおける
４０％から改善されることがわかる。すなわち永久磁石
５全体としてラジアル配向となるための効果と認められ
る。また曲線Ａ₂における磁束変化率は１８％に向上
し，曲線Ａ₁におけると同様な改善が認められる。これ
は図１に示すセンターヨーク２に設けた肉厚増大部２１
による磁束収束の効果であると認められる。そして曲線
Ａ₃においては，磁束変化率は１３％に向上し，上記ラ
ジアル配向と磁束収束による相乗効果が現れたものと認
められる。

【００３９】上記図１に示す構成において，永久磁石５
として図２に示すような構成とすることにより，磁束変
化率は更に減少し，リニアリティを大幅に向上させるこ
とが可能である。

【００４０】図３は本発明の更に他の実施例におけるヨ
ークの主要部を示す平面図，図４は図３におけるヨーク
の一部断面側面図であり，（ａ）はダボとダボ孔による
積層接合例，（ｂ）はリベットによる積層接合例を示
す。図３および図４において，２０は薄板であり，例え
ばＳＰＣＣのような軟鋼板により，前記図１に示すヨー
ク１の横断面形状と同一の平面形状に形成する。

【００４１】このような薄板２０を形成するには，パン
チ・ダイセットによる打抜成形手段を適用することが好
ましい。１６，１７は各々ダボおよびダボ孔であり，各
々同一の外径および内径に，かつ高さ寸法および深さ寸
法が例えば薄板２０の厚さ寸法より小になるように形成
する。このようなダボ１６およびダボ孔１７を形成する
には，前記パンチ・ダイセットにダボ１６およびダボ孔
１７を成形するパンチおよびダイを組み込んでおき，所
謂ハーフパンチ手段の適用により，薄板２０の打抜成形
時に同時に成形することが好ましい。薄板２０を成形
後，表面に例えばアラルダイトＡＶ１３８を塗布して所
定枚数を積層して所定寸法のヨーク１を形成する。

【００４２】上記の構成により，予め着磁した分割磁石
（図示せず，図１における符号５１参照）をヨーク１内
の所定位置に吸着固定した状態で，成形金型内にインサ
ートし，各構成部材の表面に熱可塑性樹脂（例えばポリ
フェニレンサルファイド，ポリカーボネート，不飽和ポ
リエステル，液晶性プラスチック等のエンジニアリング
プラスチック）を射出成形して被覆を形成する。この被
覆により各構成部材の表面の発錆が防止されると共に，
被覆の抱持作用により，各構成部材の相対移動が防止さ
れ得るのである。

【００４３】次に図２（ｂ）に示す積層接合例において
は，薄板２０の打抜成形時に，リベット孔１８を同時に
穿設し，所定枚数を積層後，リベット１９を介して締結
するのである。この場合ヨーク１の反りを防止するため
に，最上段の薄板２０ａと最下段の薄板２０ｂは，他の
薄板２０より厚さ寸法を大に形成することが望ましい。
この場合リベット１９に代えて，ボルトその他の締結手
段を使用してもよい。

【００４４】本実施例においては，分割磁石５１が３個
の場合について記述したが，これに限らず任意の複数個
としても作用は同様である。また分割磁石５１は外側の
サイドヨーク３（アウターヨーク）のみでなく，必要に
応じて内側のサイドヨーク３（インナーヨーク）に設け
てもよい。

【００４５】

【発明の効果】本発明は以上記述のような構成および作
用であるから，可動コイルのストローク端部における磁
気空隙の磁束密度を確保することができ，揺動方向の推
力の変化を少なくし，リニアリティを向上させることが
できる。また構成部材であるヨークを薄板の打抜き積層
のみによって形成することができ，かつ以後の機械加工
を省略することができ，低コストで製作できると共に，
高精度を確保することができる。更にヨークおよび永久
磁石の表面に耐食性材料からなる被覆を設けたことによ
り，発錆を防止し得ると共に，異物による装置内の汚染
を防止し得るという効果を奏し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における磁気回路を示す要部平
面図である。

【図２】本発明の他の実施例における磁気回路を示す要
部平面図であり，（ａ）は分割磁石の厚さ寸法を連続し
て変化させた例，（ｂ）は分割磁石の厚さ寸法を断続し
て変化させた例を示す。

【図３】本発明の更に他の実施例におけるヨークの主要
部を示す平面図である。

【図４】図３におけるヨークの一部断面側面図であり，
（ａ）はダボとダボ孔による積層接合例，（ｂ）はリベ
ットによる積層接合例を示す。

【図５】本発明の実施例における磁気回路の磁気空隙内
の磁束密度とアーム回動角度との関係を示す図である。

【図６】図７に示す磁気空隙６内の磁束密度とアームの
回動角度との関係を示す図である。

【図７】従来の揺動型アクチュエータの例を示す要部平
面図である。

【図８】図７における永久磁石５の成形手段の例を示す
要部横断面平面図である。

【図９】図７における永久磁石５の成形手段の他の例を
示す要部横断面平面図である。

【符号の説明】

１ヨーク２センターヨーク３サイドヨーク５永久磁石２１肉厚増大部５１分割磁石

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円弧状のセンターヨークの両側にそれと
同軸の円弧状のアウターヨークとインナーヨークとを設
け平面への投影形状を略Ｅ字形に形成したヨークと，ア
ウターヨークとインナーヨークの内表面に固着されかつ
対向する面に同極が現れるように形成された円弧状の永
久磁石と，前記ヨークの開放端に固着されたカウンター
ヨークと，一端に可動コイルを他端に機能部材を各々固
着して揺動自在に形成したアームとからなり，前記可動
コイルを中空筒状に形成しかつ前記センターヨークに沿
って移動可能に構成した揺動型アクチュエータにおい
て，センターヨークの可動コイルのストローク端部近傍の厚
さ寸法を中間部の厚さ寸法より大に形成すると共に，少
なくともアウターヨークに固着される永久磁石を曲率中
心軸に向う方向に磁化して形成したことを特徴とする揺
動型アクチュエータ。
【請求項２】円弧状のセンターヨークの両側にそれと
同軸の円弧状のアウターヨークとインナーヨークとを設
け平面への投影形状を略Ｅ字形に形成したヨークと，ア
ウターヨークとインナーヨークの内表面に固着されかつ
対向する面に同極が現れるように形成された円弧状の永
久磁石と，前記ヨークの開放端に固着されたカウンター
ヨークと，一端に可動コイルを他端に機能部材を各々固
着して揺動自在に形成したアームとからなり，前記可動
コイルを中空筒状に形成しかつ前記センターヨークに沿
って移動可能に構成した揺動型アクチュエータにおい
て，少なくともアウターヨークに固着される永久磁石を曲率
中心軸に向う方向に磁化して形成し，かつ円周方向端縁
部の厚さ寸法を中間部の厚さ寸法より大に形成したこと
を特徴とする揺動型アクチュエータ。
【請求項３】センターヨークの可動コイルのストロー
ク端部近傍の厚さ寸法を中間部より大に形成したことを
特徴とする請求項２記載の揺動型アクチュエータ。
【請求項４】ヨークの横断面形状と同一に形成した薄
板を複数個積層してヨークを形成し，ヨークおよび永久
磁石の外表面に熱可塑性樹脂材料からなる被覆を設けた
ことを特徴とする請求項１ないし３何れかに記載の揺動
型アクチュエータ。