JPH07126838A - 蒸着ボート - Google Patents
蒸着ボートInfo
- Publication number
- JPH07126838A JPH07126838A JP5270687A JP27068793A JPH07126838A JP H07126838 A JPH07126838 A JP H07126838A JP 5270687 A JP5270687 A JP 5270687A JP 27068793 A JP27068793 A JP 27068793A JP H07126838 A JPH07126838 A JP H07126838A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- boat
- metal
- container
- deposition boat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 昇華性の材料の蒸着膜において、膜の均一性
を増大させる。 【構成】 蒸着ボートの構造を熱的に均一にし、かつ材
料粒子の大きさをフィルターの導入によって一定にす
る。
を増大させる。 【構成】 蒸着ボートの構造を熱的に均一にし、かつ材
料粒子の大きさをフィルターの導入によって一定にす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、昇華特性を有する材料
を抵抗加熱方法で蒸着する際の蒸着ボートに関するもの
である。
を抵抗加熱方法で蒸着する際の蒸着ボートに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種の材料が蒸着方法で作製され
ている。抵抗加熱方法による蒸着方法は装置の単純なこ
とと、ボートの工夫によって各種の材料の薄膜化が可能
であることによって、最も応用性の広い技術となって確
立している。しかし昇華性の材料に関しては、溶融する
材料に比較して質の劣る膜しか得られていない。
ている。抵抗加熱方法による蒸着方法は装置の単純なこ
とと、ボートの工夫によって各種の材料の薄膜化が可能
であることによって、最も応用性の広い技術となって確
立している。しかし昇華性の材料に関しては、溶融する
材料に比較して質の劣る膜しか得られていない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】昇華性の材料を蒸着す
る場合には、溶融する材料に比較して蒸着は難しい。溶
融する場合には溶融温度で蒸発するために、一定温度で
蒸発するために蒸発速度の制御が容易である。それに比
較して昇華性の材料の場合には、試料各部の温度が異な
るために、各部の蒸発速度が異なるために蒸着速度の制
御が困難である。そのために突沸が生じて団子状の粒子
が一度に蒸発して基板に付着するという問題がある。従
来の構成では、蒸着ボートを工夫することによって、で
きる限り均一な温度で蒸発させることに主眼が注がれて
きた。本発明は従来の問題を解決し、昇華性の材料の蒸
着膜において、膜の均一性を増大させる蒸着ボートを提
供することを目的とするものである。
る場合には、溶融する材料に比較して蒸着は難しい。溶
融する場合には溶融温度で蒸発するために、一定温度で
蒸発するために蒸発速度の制御が容易である。それに比
較して昇華性の材料の場合には、試料各部の温度が異な
るために、各部の蒸発速度が異なるために蒸着速度の制
御が困難である。そのために突沸が生じて団子状の粒子
が一度に蒸発して基板に付着するという問題がある。従
来の構成では、蒸着ボートを工夫することによって、で
きる限り均一な温度で蒸発させることに主眼が注がれて
きた。本発明は従来の問題を解決し、昇華性の材料の蒸
着膜において、膜の均一性を増大させる蒸着ボートを提
供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し、昇華
性の材料を均一に蒸発させるために、本発明は蒸着用の
ボートの形を工夫することによって欠点を克服した。昇
華性の材料を蒸着する場合の鍵となる技術は如何に均一
に蒸発させるかにかかってくる。そのために従来はボー
トを二重にして均一性を増加させてきたが、それでも不
十分である。単純に層を増加させる場合には、一度蒸発
した材料が出口で再付着して蒸発の継続ができなくなる
ため、そのようなことが生じないように層の出口を大き
くとる必要が生じるが、これは層の分離効果を減少させ
る。
性の材料を均一に蒸発させるために、本発明は蒸着用の
ボートの形を工夫することによって欠点を克服した。昇
華性の材料を蒸着する場合の鍵となる技術は如何に均一
に蒸発させるかにかかってくる。そのために従来はボー
トを二重にして均一性を増加させてきたが、それでも不
十分である。単純に層を増加させる場合には、一度蒸発
した材料が出口で再付着して蒸発の継続ができなくなる
ため、そのようなことが生じないように層の出口を大き
くとる必要が生じるが、これは層の分離効果を減少させ
る。
【０００５】本発明は層の増加をさせることなしに、均
一に蒸発させるために、網目を有する中に材料を入れ
て、その編目を通して材料を昇華させるものである。な
お、単純な編目の導入は編目内の温度分布による編目の
目詰まりによって継続的な蒸着を妨げる。目詰まりを発
生させないボートの構成が要求される。
一に蒸発させるために、網目を有する中に材料を入れ
て、その編目を通して材料を昇華させるものである。な
お、単純な編目の導入は編目内の温度分布による編目の
目詰まりによって継続的な蒸着を妨げる。目詰まりを発
生させないボートの構成が要求される。
【０００６】
【作用】上記構成によって、昇華性の材料を抵抗加熱に
より均一な薄膜を得ることが可能となった。この方法に
よって薄膜を構成する材料の粒度は１ミクロン以下の均
一な薄膜を得ることができた。
より均一な薄膜を得ることが可能となった。この方法に
よって薄膜を構成する材料の粒度は１ミクロン以下の均
一な薄膜を得ることができた。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。図１は本発明の蒸発用のボートの
実施例を示す。本実施例は抵抗加熱による昇華性の材料
を蒸着させる場合を例にとった。上記のように構成され
た蒸着用ボートについて、図１を用いてその動作を説明
する。まず、図１において、11はＭo，Ｔa，Ｗ等の高融
点金属で構成された金属容器で、２枚の上板と下板から
できていて、さらに上板の上部に吹き出し穴が設けてあ
る。12は上下部分を分離するための隔壁、13は蒸着原料
である。12の隔壁部の構成は編目構造をとる金網で構成
されていて、その編目の大きさは100ミクロン以下が有
効である。その理由は、団子状の問題となる大きな粒子
は数ミクロンから数十ミクロンの大きさが多いが、編目
の目を細かくし過ぎることは蒸発速度の低下をもたら
す。実用的な結果として100ミクロンを選んだ。さらに
編目の効果を増加させることと電気抵抗を下げるために
編目層を１枚から複数枚に増加させることが有効であ
る。さらに編目の部分は全体でもよいし、隔壁の一部で
もよい。
照しながら説明する。図１は本発明の蒸発用のボートの
実施例を示す。本実施例は抵抗加熱による昇華性の材料
を蒸着させる場合を例にとった。上記のように構成され
た蒸着用ボートについて、図１を用いてその動作を説明
する。まず、図１において、11はＭo，Ｔa，Ｗ等の高融
点金属で構成された金属容器で、２枚の上板と下板から
できていて、さらに上板の上部に吹き出し穴が設けてあ
る。12は上下部分を分離するための隔壁、13は蒸着原料
である。12の隔壁部の構成は編目構造をとる金網で構成
されていて、その編目の大きさは100ミクロン以下が有
効である。その理由は、団子状の問題となる大きな粒子
は数ミクロンから数十ミクロンの大きさが多いが、編目
の目を細かくし過ぎることは蒸発速度の低下をもたら
す。実用的な結果として100ミクロンを選んだ。さらに
編目の効果を増加させることと電気抵抗を下げるために
編目層を１枚から複数枚に増加させることが有効であ
る。さらに編目の部分は全体でもよいし、隔壁の一部で
もよい。
【０００８】図１の構成は隔壁を通過した分子は金属容
器11の上部に設けられた穴から外部に噴出する。図２は
さらに単純な構成で、ボートの上部に金網を直接設けた
実施例で、この場合には左右部分の温度が低いために次
第に目詰まりしてゆくことに注意しなければならない。
図３は図１，図２の効果をより一層確実にするための構
成で、試料を金網の袋の中に入れて加熱するものであ
る。図１，図２は金網部分に電気が通電するために発熱
体の一部として働く。しかし図３の構造は発熱体の機能
はほとんどなく単に容器として働く。そのために容器内
は温度分布が少ない長所を有する。
器11の上部に設けられた穴から外部に噴出する。図２は
さらに単純な構成で、ボートの上部に金網を直接設けた
実施例で、この場合には左右部分の温度が低いために次
第に目詰まりしてゆくことに注意しなければならない。
図３は図１，図２の効果をより一層確実にするための構
成で、試料を金網の袋の中に入れて加熱するものであ
る。図１，図２は金網部分に電気が通電するために発熱
体の一部として働く。しかし図３の構造は発熱体の機能
はほとんどなく単に容器として働く。そのために容器内
は温度分布が少ない長所を有する。
【０００９】蒸着用ボートは直接通電して容器とヒータ
とを兼ねる構造を示してきたが、間接的な通電方法の場
合にも本発明は有効である。一つはアルミナ等のボート
を用いる場合であるが、金属に比較してセラミックの容
器は熱伝導が悪いため、特に突沸による巨大粒子の蒸発
が多いために本発明の構成は有効である。金属にアルミ
ナをコートしたボートの場合にも上記のことは当てはま
り、編目構造の有効性が発揮される。一般的に編目の線
は数十ミクロン以下の細線が多いために、特に耐熱性に
注意しなければならない。そのために高融点材料である
Ｗ，Ｔa，Ｍo，Ｐt，Ｎiステンレス等が不可欠な材料と
なる。
とを兼ねる構造を示してきたが、間接的な通電方法の場
合にも本発明は有効である。一つはアルミナ等のボート
を用いる場合であるが、金属に比較してセラミックの容
器は熱伝導が悪いため、特に突沸による巨大粒子の蒸発
が多いために本発明の構成は有効である。金属にアルミ
ナをコートしたボートの場合にも上記のことは当てはま
り、編目構造の有効性が発揮される。一般的に編目の線
は数十ミクロン以下の細線が多いために、特に耐熱性に
注意しなければならない。そのために高融点材料である
Ｗ，Ｔa，Ｍo，Ｐt，Ｎiステンレス等が不可欠な材料と
なる。
【００１０】以上の構成の編目構造を有するボートの導
入によって、昇華材料を均一に蒸着させることが可能と
なった。具体的に実験に用いた材料の実施例はＺnＳ，
ＣdＳ，ＳiＯ等の無機材料とＭg金属，高分子有機材料
でその有効性を実証した。
入によって、昇華材料を均一に蒸着させることが可能と
なった。具体的に実験に用いた材料の実施例はＺnＳ，
ＣdＳ，ＳiＯ等の無機材料とＭg金属，高分子有機材料
でその有効性を実証した。
【００１１】
【発明の効果】以上の構成の編目構造を有するボートの
導入によって、昇華材料を均一に蒸着させることが可能
となった。具体的に実験に用いた材料の実施例はＺn
Ｓ，ＣdＳ，ＳiＯ等の無機材料と、Ｍg金属，高分子有
機材料でその有効性を実証した。
導入によって、昇華材料を均一に蒸着させることが可能
となった。具体的に実験に用いた材料の実施例はＺn
Ｓ，ＣdＳ，ＳiＯ等の無機材料と、Ｍg金属，高分子有
機材料でその有効性を実証した。
【図１】本発明の実施例の内部仕切り構造形蒸着ボート
を示すものである。
を示すものである。
【図２】本発明の実施例の上部吹き出し部を編目構造を
とった蒸着ボートを示すものである。
とった蒸着ボートを示すものである。
【図３】本発明の実施例の内部に編目状の袋の中に蒸発
材料を入れて蒸発させるものである。
材料を入れて蒸発させるものである。
11…金属容器、 12…隔壁(網目状)、 13…蒸着原料。
Claims (8)
- 【請求項１】 薄膜を作製する際、特に昇華する材料を
蒸着する際の蒸着ボートにおいて、ボートを構成して容
器となる金属板と、金属金網とを備えたことを特徴とす
る蒸着ボート。 - 【請求項２】 昇華する材料を蒸着するための蒸着ボー
トにおいて、材料を入れて容器となるルツボと、金属金
網とを備え、特に金網を蒸着ルツボの材料の飛散部の上
に設けて蒸着することを特徴とする蒸着ボート。 - 【請求項３】 昇華する材料を蒸着するための蒸着ボー
トにおいて、ボートを構成して容器となる金属板と、金
属金網とを備えた蒸着ボートあるいは材料を入れて容器
となるルツボにおいて、特に金網を袋状に構成して袋の
内部に蒸着蒸着材料を入れて加熱して蒸着することを特
徴とする蒸着ボート。 - 【請求項４】 金属金網の編目の大きさを通常の場合の
(金網を用いない場合)昇華して飛ぶ粒子の大きさより細
かくとることを特徴とする請求項１，２または３記載の
蒸着ボート。 - 【請求項５】 昇華する材料を蒸着する際の蒸着ボート
において、ボートを構成して容器となる金属板と、金属
金網とを備え、容器となる金属材料部分と金網となる金
属材料部分との電気抵抗との比較において、金網部分の
電気抵抗が低いことを特徴とする蒸着ボート。 - 【請求項６】 薄膜を作製する際、特に昇華する材料を
蒸着する際の蒸着ボートにおいて、ボートを構成して容
器となる部分と、金属以外の金網状のメッシュとを備え
たことを特徴とする蒸着ボート。 - 【請求項７】 薄膜を作製する際、特に昇華する材料を
蒸着する際の蒸着ボートにおいて、ボートを構成して容
器となる金属板と、金属金網とを備えた蒸着ボートにお
いて用いる金属材料として、高融点金属、例えばタンタ
ル，モリブデン，タングステン，白金，ニッケル等を用
いることを特徴とする蒸着ボート。 - 【請求項８】 薄膜を作製する際、特に昇華する材料を
蒸着する際の蒸着ボートにおいて、ボートを構成して容
器となる部分に非金属を用い、特にセラミックあるいは
セラミックをコートした金属材料を用いて、金網部分に
高融点金属、例えばタンタル，モリブデン，タングステ
ン，白金，ニッケル等を用いることを特徴とする蒸着ボ
ート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5270687A JPH07126838A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 蒸着ボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5270687A JPH07126838A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 蒸着ボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07126838A true JPH07126838A (ja) | 1995-05-16 |
Family
ID=17489558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5270687A Pending JPH07126838A (ja) | 1993-10-28 | 1993-10-28 | 蒸着ボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07126838A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004047452A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
| JP2006265575A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Toppan Printing Co Ltd | 深底蒸着ボート |
| JP2007246424A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 有機材料の精製方法 |
| US8110509B2 (en) | 2002-05-17 | 2012-02-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating light emitting devices |
| US8206507B2 (en) | 2002-05-17 | 2012-06-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Evaporation method, evaporation device and method of fabricating light emitting device |
-
1993
- 1993-10-28 JP JP5270687A patent/JPH07126838A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004047452A (ja) * | 2002-05-17 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 製造装置 |
| US8110509B2 (en) | 2002-05-17 | 2012-02-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating light emitting devices |
| US8206507B2 (en) | 2002-05-17 | 2012-06-26 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Evaporation method, evaporation device and method of fabricating light emitting device |
| JP2006265575A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Toppan Printing Co Ltd | 深底蒸着ボート |
| JP2007246424A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 有機材料の精製方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |